フィルム包装体と包装装置
【課題】シリコンウエハを安全で破損しないように包装し、簡単に開封することができるフィルム包装体と包装装置を提供する。
【解決手段】熱収縮フィルム１２を巻き出すフィルム巻出し部２７と、フィルム巻出し部２７の途中に設けられたフィルム転向用ローラ３０に対向して設けられ、熱収縮性フィルム１２に長手方向に沿って第一ミシン線１８ａを形成する第一ミシン線用刃５０を備える。熱収縮性フィルム１２を筒状に形成した内側に、複数枚重ねたシリコンウエハ１４を入れて両端部を溶断溶着する溶断溶着装置部６６を有する。溶断溶着装置部６６には、熱収縮性フィルム１２に向かって移動する移動部材６７を備える。移動部材６７には、熱収縮性フィルム１２を長手方向に交差して切断するカット用刃６８と、カット用刃６８の両側に平行に設けられ熱収縮フィルム１２の長手方向に交差する第二ミシン線１８ｂを形成する一対の第二ミシン線用刃７０を備える。
【解決手段】熱収縮フィルム１２を巻き出すフィルム巻出し部２７と、フィルム巻出し部２７の途中に設けられたフィルム転向用ローラ３０に対向して設けられ、熱収縮性フィルム１２に長手方向に沿って第一ミシン線１８ａを形成する第一ミシン線用刃５０を備える。熱収縮性フィルム１２を筒状に形成した内側に、複数枚重ねたシリコンウエハ１４を入れて両端部を溶断溶着する溶断溶着装置部６６を有する。溶断溶着装置部６６には、熱収縮性フィルム１２に向かって移動する移動部材６７を備える。移動部材６７には、熱収縮性フィルム１２を長手方向に交差して切断するカット用刃６８と、カット用刃６８の両側に平行に設けられ熱収縮フィルム１２の長手方向に交差する第二ミシン線１８ｂを形成する一対の第二ミシン線用刃７０を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、シリコンウエハを包装するフィルム包装体とその包装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽光発電装置等に使用されるシリコンウエハは、薄形で破損しやすいため、包装体にはいろいろな工夫がされていた。
【０００３】
特許文献１に開示されている密閉袋体は、クリーン包装袋と、このクリーン包装袋内に収納されたハードケースから成り、ハードケースの中には複数枚のシリコンウエハが収容されている。このクリーン包装袋によれば、ハードケースにより確実にシリコンウエハが保護され、安全に運搬や保管を行うことができる。
【０００４】
また、特許文献２に開示されているように、熱収縮フィルムを用いて、商品に密着した状態で包むものである。このシュリンク包装には、開封時に容易に開裂させることのできる開封部が、前記シュリンク包装の外周の一部に形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−３３００３９号公報
【特許文献２】特開２００３−２９２０３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に開示された包装体の場合は、ハードケースが必要でコストがかかり、保管や運搬の際にかさばり不便である。特許文献２の包装体の場合、開封部は、中の商品を傷つけないように開封することが難しく、シリコンウエハのような繊細な商品には適していなかった。
【０００７】
この発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたものであり、シリコンウエハを安全で破損しないように包装し、簡単に開封することができるフィルム包装体と包装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数枚重ねられたシリコンウエハが熱収縮フィルムにより筒状に巻かれて包装され、前記熱収縮フィルムには開封用のミシン線が設けられているフィルム包装体である。
【０００９】
前記ミシン線は、複数本が互いに交差して形成されているものである。さらに、前記ミシン線は、熱収縮性フィルムの溶断溶着部と平行な部分と直角に形成された部分とを有するものである。
【００１０】
またこの発明は、フィルムロールから熱収縮フィルムを巻き出すフィルム巻出し部と、前記フィルム巻出し部の途中に設けられたフィルム転向用ローラに対向して設けられ前記熱収縮性フィルムに長手方向に沿って第一ミシン線を形成する第一ミシン線用刃と、前記熱収縮性フィルムを筒状に形成した内側に複数枚重ねたシリコンウエハを入れて両端部を溶断溶着する溶断溶着装置部と、溶断溶着された前記熱収縮性フィルムを加熱して収縮させるシュリンクトンネルとが設けられ、前記溶断溶着装置部には、前記熱収縮性フィルムに向かって移動する移動部材が設けられ、前記移動部材には、前記熱収縮性フィルムを長手方向に交差して切断するカット用刃と、前記カット用刃の両側に平行に設けられ熱収縮フィルムの長手方向に交差する第二ミシン線を形成する一対の第二ミシン線用刃が設けられている包装装置である。前記一対の第二ミシン線用刃の外側と、前記カット用刃と前記第二ミシン線用刃の間に、前記熱収縮性フィルムを押さえる押さえ片が各々設けられているものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のフィルム包装体と包装装置は、シリコンウエハを安全で破損しないように包装し、簡単に開封することができる。さらに、包装に必要な材料が少ないためコストが安価で、軽量であり、環境にも優しい包装を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明の一実施形態のフィルム包装体の正面図である。
【図２】この実施形態のフィルム包装体の背面図である。
【図３】この実施形態の包装装置の正面図である。
【図４】この実施形態の包装装置の概略斜視図である。
【図５】この実施形態の包装装置の溶断溶着装置部の正面図である。
【図６】この実施形態の包装装置の第二ミシン線用刃の右側面図である。
【図７】この実施形態の包装装置の第一ミシン線用刃の正面図（ａ）と右側面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。図１〜図７はこの発明の一実施形態を示すもので、この実施形態のフィルム包装体１０は、熱可塑性樹脂からなる熱収縮性フィルム１２により商品であるシリコンウエハ１４を包み、熱収縮性フィルム１２を熱により収縮させて形成される。シリコンウエハ１４は、同形のものが複数枚重ねられた状態で包装されている。なお、シリコンウエハ１４の形状は薄い板状であり、正方形の角部が面取りされたような八角形である。フィルム包装体１０には、熱収縮性フィルム１２を溶断溶着した溶断溶着部１６が、相対する一対の側面に形成されている。
【００１４】
そして図１に示すように、シリコンウエハ１４の一方の面である正面１４ａに対向する熱収縮性フィルム１２には、開封用のミシン線１８が形成されている。ミシン線１８は、シリコンウエハ１４の正面１４ａのほぼ中心に位置し両端に位置する溶断溶着部１６に直角な直線である第一ミシン線１８ａと、溶断溶着部１６の近傍で溶断溶着部１６に対して平行な一対の第二ミシン線１８ｂから成り、１本の第一ミシン線１８ａと２本の第二ミシン線１８ｂで、Ｈ字形に形成されている。
【００１５】
シリコンウエハ１４の他方の面である背面１４ｂに対向する熱収縮性フィルム１２には、図２に示すように、相対する溶断溶着部１６をつなぐように、フィルム包装体１０を横断する状態に熱収縮性フィルム１２の側縁部１２ａ同士が重ね合わされている。この重ね合わせた箇所には、静電的に密着して包装されている。また、必要に応じて、熱可塑性の接着剤が印刷又は塗布され、互いに接着されるようにしても良い。
【００１６】
シリコンウエハ１４の包装には、図３、図４等に示す包装装置２２を用いる。包装装置２２には、熱収縮性フィルム１２をロール状に巻いたフィルムロール２４を載置する載置ローラ２５，２６が設けられている。載置ローラ２５，２６は自由回転可能に設けられている。
【００１７】
載置ローラ２５，２６の下流側近傍には、熱収縮性フィルム１２を送り出す一対のフィルム巻出しローラ２３が設けられている。フィルム巻出しローラ２３は、熱収縮性フィルム１２を挟んで、フィルムロール２４からフィルム１２を引き出す。フィルム巻出しローラ２３の下流側には、フィルム巻出し部２７が設けられ、フィルム巻出し部２７には、引き出した熱収縮性フィルム１２の送り方向をガイドする複数個のフィルム転向用ローラ２８，３０，３２，３４，３６，３８，４０，４２，４４，４６が、熱収縮性フィルム１２の上流から下流に向かって順番に設けられている。
【００１８】
フィルム転向用ローラ３０には、熱収縮性フィルム１２に第一ミシン線１８ａを形成する第一ミシン線用刃５０が、軸方向を同じくして互いに平行に設けられ、熱収縮性フィルム１２がフィルム転向用ローラ３０を通過するときに第一ミシン線用刃５０により第一ミシン線１８ａが形成される。第一ミシン線用刃５０は、図７に示すように、円盤状に形成され、回転可能に設けられている。また、フィルム転向用ローラ３８，４０の間には、熱収縮性フィルム１２に開封方向や開封方法などを示す文字や矢印を印刷するプリンター５２が設けられている。プリンター５２は、熱収縮性フィルム１２がフィルム転向用ローラ３８，４０の間を間欠移動して通過するときに、停止状態の熱収縮フィルム１２に印刷を行う。
【００１９】
フィルム巻出し部２７の下流側には、熱収縮性フィルム１２を長手方向に沿う中心で二つ折りする三角板５４が設けられている。三角板５４は、二等辺三角形の頂点が下流側に設けられたものであり、この頂点が下方に向かって傾斜されている。三角板５４の下方には、二つ折りされた熱収縮性フィルム１２の送り方向を変える複数本のフィルム転向用ローラ５６が設けられている。
【００２０】
フィルム転向用ローラ５６の下流側には、図３、図４に示すように、左右一対の部材から構成されたフィルム成形器５８が設けられている。フィルム成形器５８は、二つ折りされた熱収縮性フィルム１２を拡げながら熱収縮性フィルム１２の送り方向を変えて表裏反転させ筒状にするものである。フィルム成形器５８の下方には、筒状に広げられた熱収縮性フィルム１２の側縁部１２ａ同士を静電的に密着させるスタティックシール部６０が設けられている。スタティックシール部６０の下流には、熱収縮性フィルム１２を送るフィルム繰り出し部６１が設けられている。
【００２１】
一対のフィルム成形器５８の間には、ベルトコンベア６２が設けられている。ベルトコンベア６２は、下流側の約半分が、筒状となった熱収縮性フィルム１２の中に位置し、筒状の熱収縮性フィルム１２の中にシリコンウエハ１４を搬入するものである。ベルトコンベア６２の上流側には、ベルトコンベア６２にシリコンウエハ１４を載せる別のベルトコンベア６４が設けられている。ベルトコンベア６２の下流側の端部近傍には、フィルム繰り出しローラ６１が設けられている。このフィルム繰り出しローラ６１は、図示しないモータにより駆動され、熱収縮性フィルム１２をベルトコンベア６２と等しい速度で引いて、熱収縮性フィルム１２を繰り出し可能にしている。
【００２２】
ベルトコンベア６２の下流側には溶断溶着装置部６６が設けられている。溶断溶着装置部６６は、シリコンウエハ１４を内部に収容した筒状の熱収縮性フィルム１２の端部を溶断溶着するものである。溶断溶着装置部６６には、図５に示すように、上下方向に位置する一対のロールに張られたチェーン６３が設けられ、チェーン６３には移動部材６７が取り付けられている。移動部材６７は、チェーン６３の移動に伴って、熱収縮性フィルム１２に向かって上下に移動する。移動部材６７の下端部には、熱収縮性フィルム１２の長手方向に対して直角に交差するカット用刃６８が設けられている。カット用刃６８の両側には、熱収縮性フィルム１２を抑える押さえ片７４が設けられている。一対の押さえ片７４の各外側には、第二ミシン線１８ｂを形成する第二ミシン線用刃７０が、所定間隔開けてカット用刃６８に対して平行に一対設けられている。第二ミシン線用刃７０は、図６に示すように、凹凸上の刃を有し、熱収縮性フィルム１２にミシン線を形成可能に設けられている。一対の第二ミシン線用刃７０の外側にも押さえ片７２が、所定間隔開けて設けられている。
【００２３】
チェーン６３の、移動部材６７が取り付けられていない部分には、当接部材６９が取り付けられている。当接部材６９は、熱収縮性フィルム１２をカットするとき、移動部材６７が下降して熱収縮性フィルム１２に当接する際に、チェーン６３の動きに伴って上昇して熱収縮性フィルム１２の下面に当接し、熱収縮性フィルム１２を、カット用刃６８及び第二ミシン線用刃７０とともに挟んで、確実に溶断溶着及び第二ミシン線１８ｂの形成を行うものである。
【００２４】
溶断溶着装置部６６の下流側には、ベルトコンベア６２と同じ高さのベルトコンベア７６，７７，７８が、ベルトコンベア６２の延長線上に順に設けられている。さらに、溶断溶着装置部６６の下流側には、シュリンクトンネル８０が設けられている。ベルトコンベア７８は、シュリンクトンネル８０の入り口から出口まで通過して、シュリンクトンネル８０の出口から熱収縮性フィルム１２が熱収縮された状態のフィルム包装体１０を出す。
【００２５】
次に、この実施形態の包装方法について、以下に説明する。包装装置２２では、フィルムロール２４から繰り出しローラ２６により熱収縮性フィルム１２が引き出され、第一ミシン線用刃５０で熱収縮フィルム１２の長手方向に沿って第一ミシン線１８ａを形成し、プリンター５２で所定の表示を印刷する。三角板５４により熱収縮性フィルム１２を二つ折りし、フィルム成形器５８により二つ折りされた熱収縮性フィルム１２を筒状に開き、熱収縮性フィルム１２の側縁部１２ａをスタティックシール部６０で接着し筒状に形成する。そして、熱収縮性フィルム１２の筒状の中に、ベルトコンベア６２により複数枚のシリコンウエハ１４が入れられる。熱収縮性フィルム１２の前端部には、予め溶断溶着部１６を形成しておく。そして、ベルトコンベア６２の終端にシリコンウエハ１４が来ると、シリコンウエハ１４の前端部が熱収縮性フィルム１２の溶断溶着部１６を押す。シリコンウエハ１４が溶断溶着装置部６６を通過すると、シリコンウエハ１４の後端部の熱収縮性フィルム１２が溶断溶着される。これにより溶断溶着装置部６６で積層されたシリコンウエハ１４のまとまり毎にカットされて包装されるとともに、一対の押さえ片７４の外側の第二ミシン線用刃７０により、第二ミシン線１８ｂが溶断溶着部１６と平行に形成される。
【００２６】
カットされた熱収縮性フィルム１２は、シリコンウエハ１４を入れた状態でシュリンクトンネル８０を通過し、熱収縮されてフィルム包装体１０となる。
【００２７】
この実施形態のフィルム包装体と包装方法によれば、シリコンウエハ１４を複数枚重ねて安全で破損しないように効率よく包装し、簡単に開封することができる。シリコンウエハ１４は複数枚重ねられているため強度が高くなり、破損することがなく、破損防止の補強材が不要で、コストが安くなおかつ安全に包装することができる。ミシン線１８は、第一ミシン線１８ａと第二ミシン線１８ｂが交差しているため開封しやすく、開封の際に弱い力で開封することができる。これにより、開封の際にシリコンウエハ１４を破損することも防ぐことができる。
【００２８】
なお、この発明のフィルム包装体と包装装置は上記実施形態に限定されるものではなく、包装装置の各部材の位置や数等は適宜変更可能である。また、溶断溶着装置部の移動部材を動かす手段は、ベルト以外でもよい。フィルムの形態も、二つ折り以外にあらかじめ筒状に形成されているフィルムを使用しても良い。ミシン線の形状は上記以外でもよく、Ｈ字形以外に十字形等、自由に変更することができる。
【符号の説明】
【００２９】
１０ フィルム包装体
１２ 熱収縮性フィルム
１４ シリコンウエハ
１６ 溶断溶着部
１８ ミシン線
１８ａ 第一ミシン線
１８ｂ 第二ミシン線
２４ フィルムロール
２７ フィルム巻出し部
２８，３０，３２，３４，３６，３８，４０，４２，４４，４６ フィルム転向ローラ
５０ 第一ミシン線用刃
６６ 溶断溶着装置部
６７ 移動部材
６８ カット用刃
７０ 第二ミシン線用刃
７２，７４ 押さえ片
８０ シュリンクトンネル
【技術分野】
【０００１】
この発明は、シリコンウエハを包装するフィルム包装体とその包装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽光発電装置等に使用されるシリコンウエハは、薄形で破損しやすいため、包装体にはいろいろな工夫がされていた。
【０００３】
特許文献１に開示されている密閉袋体は、クリーン包装袋と、このクリーン包装袋内に収納されたハードケースから成り、ハードケースの中には複数枚のシリコンウエハが収容されている。このクリーン包装袋によれば、ハードケースにより確実にシリコンウエハが保護され、安全に運搬や保管を行うことができる。
【０００４】
また、特許文献２に開示されているように、熱収縮フィルムを用いて、商品に密着した状態で包むものである。このシュリンク包装には、開封時に容易に開裂させることのできる開封部が、前記シュリンク包装の外周の一部に形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−３３００３９号公報
【特許文献２】特開２００３−２９２０３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に開示された包装体の場合は、ハードケースが必要でコストがかかり、保管や運搬の際にかさばり不便である。特許文献２の包装体の場合、開封部は、中の商品を傷つけないように開封することが難しく、シリコンウエハのような繊細な商品には適していなかった。
【０００７】
この発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたものであり、シリコンウエハを安全で破損しないように包装し、簡単に開封することができるフィルム包装体と包装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数枚重ねられたシリコンウエハが熱収縮フィルムにより筒状に巻かれて包装され、前記熱収縮フィルムには開封用のミシン線が設けられているフィルム包装体である。
【０００９】
前記ミシン線は、複数本が互いに交差して形成されているものである。さらに、前記ミシン線は、熱収縮性フィルムの溶断溶着部と平行な部分と直角に形成された部分とを有するものである。
【００１０】
またこの発明は、フィルムロールから熱収縮フィルムを巻き出すフィルム巻出し部と、前記フィルム巻出し部の途中に設けられたフィルム転向用ローラに対向して設けられ前記熱収縮性フィルムに長手方向に沿って第一ミシン線を形成する第一ミシン線用刃と、前記熱収縮性フィルムを筒状に形成した内側に複数枚重ねたシリコンウエハを入れて両端部を溶断溶着する溶断溶着装置部と、溶断溶着された前記熱収縮性フィルムを加熱して収縮させるシュリンクトンネルとが設けられ、前記溶断溶着装置部には、前記熱収縮性フィルムに向かって移動する移動部材が設けられ、前記移動部材には、前記熱収縮性フィルムを長手方向に交差して切断するカット用刃と、前記カット用刃の両側に平行に設けられ熱収縮フィルムの長手方向に交差する第二ミシン線を形成する一対の第二ミシン線用刃が設けられている包装装置である。前記一対の第二ミシン線用刃の外側と、前記カット用刃と前記第二ミシン線用刃の間に、前記熱収縮性フィルムを押さえる押さえ片が各々設けられているものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のフィルム包装体と包装装置は、シリコンウエハを安全で破損しないように包装し、簡単に開封することができる。さらに、包装に必要な材料が少ないためコストが安価で、軽量であり、環境にも優しい包装を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明の一実施形態のフィルム包装体の正面図である。
【図２】この実施形態のフィルム包装体の背面図である。
【図３】この実施形態の包装装置の正面図である。
【図４】この実施形態の包装装置の概略斜視図である。
【図５】この実施形態の包装装置の溶断溶着装置部の正面図である。
【図６】この実施形態の包装装置の第二ミシン線用刃の右側面図である。
【図７】この実施形態の包装装置の第一ミシン線用刃の正面図（ａ）と右側面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。図１〜図７はこの発明の一実施形態を示すもので、この実施形態のフィルム包装体１０は、熱可塑性樹脂からなる熱収縮性フィルム１２により商品であるシリコンウエハ１４を包み、熱収縮性フィルム１２を熱により収縮させて形成される。シリコンウエハ１４は、同形のものが複数枚重ねられた状態で包装されている。なお、シリコンウエハ１４の形状は薄い板状であり、正方形の角部が面取りされたような八角形である。フィルム包装体１０には、熱収縮性フィルム１２を溶断溶着した溶断溶着部１６が、相対する一対の側面に形成されている。
【００１４】
そして図１に示すように、シリコンウエハ１４の一方の面である正面１４ａに対向する熱収縮性フィルム１２には、開封用のミシン線１８が形成されている。ミシン線１８は、シリコンウエハ１４の正面１４ａのほぼ中心に位置し両端に位置する溶断溶着部１６に直角な直線である第一ミシン線１８ａと、溶断溶着部１６の近傍で溶断溶着部１６に対して平行な一対の第二ミシン線１８ｂから成り、１本の第一ミシン線１８ａと２本の第二ミシン線１８ｂで、Ｈ字形に形成されている。
【００１５】
シリコンウエハ１４の他方の面である背面１４ｂに対向する熱収縮性フィルム１２には、図２に示すように、相対する溶断溶着部１６をつなぐように、フィルム包装体１０を横断する状態に熱収縮性フィルム１２の側縁部１２ａ同士が重ね合わされている。この重ね合わせた箇所には、静電的に密着して包装されている。また、必要に応じて、熱可塑性の接着剤が印刷又は塗布され、互いに接着されるようにしても良い。
【００１６】
シリコンウエハ１４の包装には、図３、図４等に示す包装装置２２を用いる。包装装置２２には、熱収縮性フィルム１２をロール状に巻いたフィルムロール２４を載置する載置ローラ２５，２６が設けられている。載置ローラ２５，２６は自由回転可能に設けられている。
【００１７】
載置ローラ２５，２６の下流側近傍には、熱収縮性フィルム１２を送り出す一対のフィルム巻出しローラ２３が設けられている。フィルム巻出しローラ２３は、熱収縮性フィルム１２を挟んで、フィルムロール２４からフィルム１２を引き出す。フィルム巻出しローラ２３の下流側には、フィルム巻出し部２７が設けられ、フィルム巻出し部２７には、引き出した熱収縮性フィルム１２の送り方向をガイドする複数個のフィルム転向用ローラ２８，３０，３２，３４，３６，３８，４０，４２，４４，４６が、熱収縮性フィルム１２の上流から下流に向かって順番に設けられている。
【００１８】
フィルム転向用ローラ３０には、熱収縮性フィルム１２に第一ミシン線１８ａを形成する第一ミシン線用刃５０が、軸方向を同じくして互いに平行に設けられ、熱収縮性フィルム１２がフィルム転向用ローラ３０を通過するときに第一ミシン線用刃５０により第一ミシン線１８ａが形成される。第一ミシン線用刃５０は、図７に示すように、円盤状に形成され、回転可能に設けられている。また、フィルム転向用ローラ３８，４０の間には、熱収縮性フィルム１２に開封方向や開封方法などを示す文字や矢印を印刷するプリンター５２が設けられている。プリンター５２は、熱収縮性フィルム１２がフィルム転向用ローラ３８，４０の間を間欠移動して通過するときに、停止状態の熱収縮フィルム１２に印刷を行う。
【００１９】
フィルム巻出し部２７の下流側には、熱収縮性フィルム１２を長手方向に沿う中心で二つ折りする三角板５４が設けられている。三角板５４は、二等辺三角形の頂点が下流側に設けられたものであり、この頂点が下方に向かって傾斜されている。三角板５４の下方には、二つ折りされた熱収縮性フィルム１２の送り方向を変える複数本のフィルム転向用ローラ５６が設けられている。
【００２０】
フィルム転向用ローラ５６の下流側には、図３、図４に示すように、左右一対の部材から構成されたフィルム成形器５８が設けられている。フィルム成形器５８は、二つ折りされた熱収縮性フィルム１２を拡げながら熱収縮性フィルム１２の送り方向を変えて表裏反転させ筒状にするものである。フィルム成形器５８の下方には、筒状に広げられた熱収縮性フィルム１２の側縁部１２ａ同士を静電的に密着させるスタティックシール部６０が設けられている。スタティックシール部６０の下流には、熱収縮性フィルム１２を送るフィルム繰り出し部６１が設けられている。
【００２１】
一対のフィルム成形器５８の間には、ベルトコンベア６２が設けられている。ベルトコンベア６２は、下流側の約半分が、筒状となった熱収縮性フィルム１２の中に位置し、筒状の熱収縮性フィルム１２の中にシリコンウエハ１４を搬入するものである。ベルトコンベア６２の上流側には、ベルトコンベア６２にシリコンウエハ１４を載せる別のベルトコンベア６４が設けられている。ベルトコンベア６２の下流側の端部近傍には、フィルム繰り出しローラ６１が設けられている。このフィルム繰り出しローラ６１は、図示しないモータにより駆動され、熱収縮性フィルム１２をベルトコンベア６２と等しい速度で引いて、熱収縮性フィルム１２を繰り出し可能にしている。
【００２２】
ベルトコンベア６２の下流側には溶断溶着装置部６６が設けられている。溶断溶着装置部６６は、シリコンウエハ１４を内部に収容した筒状の熱収縮性フィルム１２の端部を溶断溶着するものである。溶断溶着装置部６６には、図５に示すように、上下方向に位置する一対のロールに張られたチェーン６３が設けられ、チェーン６３には移動部材６７が取り付けられている。移動部材６７は、チェーン６３の移動に伴って、熱収縮性フィルム１２に向かって上下に移動する。移動部材６７の下端部には、熱収縮性フィルム１２の長手方向に対して直角に交差するカット用刃６８が設けられている。カット用刃６８の両側には、熱収縮性フィルム１２を抑える押さえ片７４が設けられている。一対の押さえ片７４の各外側には、第二ミシン線１８ｂを形成する第二ミシン線用刃７０が、所定間隔開けてカット用刃６８に対して平行に一対設けられている。第二ミシン線用刃７０は、図６に示すように、凹凸上の刃を有し、熱収縮性フィルム１２にミシン線を形成可能に設けられている。一対の第二ミシン線用刃７０の外側にも押さえ片７２が、所定間隔開けて設けられている。
【００２３】
チェーン６３の、移動部材６７が取り付けられていない部分には、当接部材６９が取り付けられている。当接部材６９は、熱収縮性フィルム１２をカットするとき、移動部材６７が下降して熱収縮性フィルム１２に当接する際に、チェーン６３の動きに伴って上昇して熱収縮性フィルム１２の下面に当接し、熱収縮性フィルム１２を、カット用刃６８及び第二ミシン線用刃７０とともに挟んで、確実に溶断溶着及び第二ミシン線１８ｂの形成を行うものである。
【００２４】
溶断溶着装置部６６の下流側には、ベルトコンベア６２と同じ高さのベルトコンベア７６，７７，７８が、ベルトコンベア６２の延長線上に順に設けられている。さらに、溶断溶着装置部６６の下流側には、シュリンクトンネル８０が設けられている。ベルトコンベア７８は、シュリンクトンネル８０の入り口から出口まで通過して、シュリンクトンネル８０の出口から熱収縮性フィルム１２が熱収縮された状態のフィルム包装体１０を出す。
【００２５】
次に、この実施形態の包装方法について、以下に説明する。包装装置２２では、フィルムロール２４から繰り出しローラ２６により熱収縮性フィルム１２が引き出され、第一ミシン線用刃５０で熱収縮フィルム１２の長手方向に沿って第一ミシン線１８ａを形成し、プリンター５２で所定の表示を印刷する。三角板５４により熱収縮性フィルム１２を二つ折りし、フィルム成形器５８により二つ折りされた熱収縮性フィルム１２を筒状に開き、熱収縮性フィルム１２の側縁部１２ａをスタティックシール部６０で接着し筒状に形成する。そして、熱収縮性フィルム１２の筒状の中に、ベルトコンベア６２により複数枚のシリコンウエハ１４が入れられる。熱収縮性フィルム１２の前端部には、予め溶断溶着部１６を形成しておく。そして、ベルトコンベア６２の終端にシリコンウエハ１４が来ると、シリコンウエハ１４の前端部が熱収縮性フィルム１２の溶断溶着部１６を押す。シリコンウエハ１４が溶断溶着装置部６６を通過すると、シリコンウエハ１４の後端部の熱収縮性フィルム１２が溶断溶着される。これにより溶断溶着装置部６６で積層されたシリコンウエハ１４のまとまり毎にカットされて包装されるとともに、一対の押さえ片７４の外側の第二ミシン線用刃７０により、第二ミシン線１８ｂが溶断溶着部１６と平行に形成される。
【００２６】
カットされた熱収縮性フィルム１２は、シリコンウエハ１４を入れた状態でシュリンクトンネル８０を通過し、熱収縮されてフィルム包装体１０となる。
【００２７】
この実施形態のフィルム包装体と包装方法によれば、シリコンウエハ１４を複数枚重ねて安全で破損しないように効率よく包装し、簡単に開封することができる。シリコンウエハ１４は複数枚重ねられているため強度が高くなり、破損することがなく、破損防止の補強材が不要で、コストが安くなおかつ安全に包装することができる。ミシン線１８は、第一ミシン線１８ａと第二ミシン線１８ｂが交差しているため開封しやすく、開封の際に弱い力で開封することができる。これにより、開封の際にシリコンウエハ１４を破損することも防ぐことができる。
【００２８】
なお、この発明のフィルム包装体と包装装置は上記実施形態に限定されるものではなく、包装装置の各部材の位置や数等は適宜変更可能である。また、溶断溶着装置部の移動部材を動かす手段は、ベルト以外でもよい。フィルムの形態も、二つ折り以外にあらかじめ筒状に形成されているフィルムを使用しても良い。ミシン線の形状は上記以外でもよく、Ｈ字形以外に十字形等、自由に変更することができる。
【符号の説明】
【００２９】
１０ フィルム包装体
１２ 熱収縮性フィルム
１４ シリコンウエハ
１６ 溶断溶着部
１８ ミシン線
１８ａ 第一ミシン線
１８ｂ 第二ミシン線
２４ フィルムロール
２７ フィルム巻出し部
２８，３０，３２，３４，３６，３８，４０，４２，４４，４６ フィルム転向ローラ
５０ 第一ミシン線用刃
６６ 溶断溶着装置部
６７ 移動部材
６８ カット用刃
７０ 第二ミシン線用刃
７２，７４ 押さえ片
８０ シュリンクトンネル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚重ねられたシリコンウエハが熱収縮フィルムにより筒状に巻かれて包装され、前記熱収縮フィルムには開封用のミシン線が設けられていることを特徴とするフィルム包装体。
【請求項２】
前記ミシン線は、複数本が互いに交差して形成されている請求項１記載のフィルム包装体。
【請求項３】
前記ミシン線は、熱収縮性フィルムの溶断溶着部と平行な部分と直角に形成された部分とを有する請求項２記載のフィルム包装体。
【請求項４】
フィルムロールから熱収縮フィルムを巻き出すフィルム巻出し部と、前記フィルム巻出し部の途中に設けられたフィルム転向用ローラに対向して設けられ前記熱収縮性フィルムに長手方向に沿って第一ミシン線を形成する第一ミシン線用刃と、前記熱収縮性フィルムを筒状に形成した内側に複数枚重ねたシリコンウエハを入れて両端部を溶断溶着する溶断溶着装置部と、溶断溶着された前記熱収縮性フィルムを加熱して収縮させるシュリンクトンネルとが設けられ、前記溶断溶着装置部には、前記熱収縮性フィルムに向かって移動する移動部材が設けられ、前記移動部材には、前記熱収縮性フィルムを長手方向に交差して切断するカット用刃と、前記カット用刃の両側に平行に設けられ熱収縮フィルムの長手方向に交差する第二ミシン線を形成する一対の第二ミシン線用刃が設けられていることを特徴とする包装装置。
【請求項５】
前記一対の第二ミシン線用刃の外側と、前記カット用刃と前記第二ミシン線用刃の間に、前記熱収縮性フィルムを押さえる押さえ片が各々設けられている請求項４記載のフィルム包装装置。
【請求項１】
複数枚重ねられたシリコンウエハが熱収縮フィルムにより筒状に巻かれて包装され、前記熱収縮フィルムには開封用のミシン線が設けられていることを特徴とするフィルム包装体。
【請求項２】
前記ミシン線は、複数本が互いに交差して形成されている請求項１記載のフィルム包装体。
【請求項３】
前記ミシン線は、熱収縮性フィルムの溶断溶着部と平行な部分と直角に形成された部分とを有する請求項２記載のフィルム包装体。
【請求項４】
フィルムロールから熱収縮フィルムを巻き出すフィルム巻出し部と、前記フィルム巻出し部の途中に設けられたフィルム転向用ローラに対向して設けられ前記熱収縮性フィルムに長手方向に沿って第一ミシン線を形成する第一ミシン線用刃と、前記熱収縮性フィルムを筒状に形成した内側に複数枚重ねたシリコンウエハを入れて両端部を溶断溶着する溶断溶着装置部と、溶断溶着された前記熱収縮性フィルムを加熱して収縮させるシュリンクトンネルとが設けられ、前記溶断溶着装置部には、前記熱収縮性フィルムに向かって移動する移動部材が設けられ、前記移動部材には、前記熱収縮性フィルムを長手方向に交差して切断するカット用刃と、前記カット用刃の両側に平行に設けられ熱収縮フィルムの長手方向に交差する第二ミシン線を形成する一対の第二ミシン線用刃が設けられていることを特徴とする包装装置。
【請求項５】
前記一対の第二ミシン線用刃の外側と、前記カット用刃と前記第二ミシン線用刃の間に、前記熱収縮性フィルムを押さえる押さえ片が各々設けられている請求項４記載のフィルム包装装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−１１６４１０（Ｐ２０１１−１１６４１０Ａ）
【公開日】平成２３年６月１６日（２０１１．６．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２７５７９４（Ｐ２００９−２７５７９４）
【出願日】平成２１年１２月３日（２００９．１２．３）
【出願人】（０００１３５５７５）株式会社ハナガタ (8)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月１６日（２０１１．６．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１２月３日（２００９．１２．３）
【出願人】（０００１３５５７５）株式会社ハナガタ (8)
【Ｆターム（参考）】
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