フラットパネル表示基板製造装置、および、フラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法
【課題】フラットパネル表示基板製造でアライメントマークを検索するときに、アライメントマークのマスク領域を自動生成し、高精度にアライメントマークを検索できるようにする。
【解決手段】表示パネルとＴＡＢの各々に位置合わせをおこなうためのアライメントマークにより、アライメントマークを認識するときに、撮像画像よりアライメントマーク教示画像を切り出し、そのアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出する。そして、エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出し、アライメントマーク教示画像のエッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出し、算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成し、アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識する。
【解決手段】表示パネルとＴＡＢの各々に位置合わせをおこなうためのアライメントマークにより、アライメントマークを認識するときに、撮像画像よりアライメントマーク教示画像を切り出し、そのアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出する。そして、エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出し、アライメントマーク教示画像のエッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出し、算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成し、アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネル表示基板製造装置、および、フラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法に係り、特に、ＴＡＢなどにより、フラットパネルディスプレイにおける表示パネルに電子部品を実装する際に、精度よく位置決めをおこなうのに好適なフラットパネル表示基板製造装置、および、フラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイとしては、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Electro−Luminescence）ディスプレイ、プラズマディスプレイなどがある。このフラットパネルディスプレイにおける表示基板の周縁部には、駆動ＩＣの搭載や、ＣＯＦ（Chip on Film）、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などのＴＡＢ（Tape Automated Bonding）接続が行われる。また、表示基板の周辺には、例えば、ＰＣＢ（Printed Circuit Board）などの周辺基板が実装される。その結果、フラットパネルディスプレイモジュールが組み立てられる。
【０００３】
以下の説明で「搭載部材」と称する電子部品は、その詳細形状や部材の厚さの差異など
で、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）と呼称されたり、ＴＡＢと呼称されたり、ＣＯＦと呼称されたりする。これらＴＣＰやＴＡＢやＣＯＦは、スプロケット穴を有する長尺のポリイミドフィルムに配線を施したＦＰＣに、ＩＣチップを搭載し、ＦＰＣを切り出して構成されたものであり、実装する上での差異はない。また、パネルの設計によっては、ＩＣチップなしのＦＰＣのみを実装する場合もある。フラットパネルディスプレイの実装組立工程においては、これらの部品に実質上の差異はない。
【０００４】
フラットパネルディスプレイモジュール組立ラインは、複数の処理作業が行われる工程を順次行なうことにより、フラットパネルディスプレイの表示基板における周縁部及び周辺に、搭載部材を実装する装置であり、一例としては、図８に示されるようなものがある。
【０００５】
図８は、フラットパネルディスプレイにおける表示パネルに駆動ＩＣなどの搭載部材を実装する工程の概略図である。
【０００６】
フラットパネルディスプレイの表示パネルの製造において、先ず、フラットパネルディスプレイの表示パネルの電極端子上の固着物などを除去するためクリーニングをおこなう（端子クリーニング工程９０１)。
【０００７】
次に、表示パネルの電極端子にＡＣＦを貼付ける（ＡＣＦ貼付工程９０２)。
【０００８】
ＡＣＦは、接着剤の役割を果たすフィルムであり、熱硬化性樹脂に導電性を持つ微細な粒子を混ぜ合わせたものを、膜状に成型したフィルムである。
【０００９】
次に、搭載部材を打ち抜き、表示パネルの電極端子側と搭載部材の電極のアライメントマークの位置合わせをおこなって、仮圧着をおこなう（ＴＡＢ仮圧着工程９０３）。
【００１０】
そして、圧着ヘッドにより本圧着をおこなう（本圧着工程９０４）。本圧着工程では、圧着ヘッドにより、フラットパネルディスプレイと搭載部材が、ＡＣＦを介して加熱下で、表示パネルの電極端子と搭載部材の電極は、ＡＣＦの導電性粒子により電気的に接続された状態で固定される。
【００１１】
次に、表示パネルの電極端子と搭載部材の電極の圧着接続の良否、接続度合いをみるための検査をおこなう（検査工程９０５）。
【００１２】
次に、表示パネルの電極端子と接続した電極と反対方向の搭載部材の電極とプリント基板の電極を接続する（ＰＣＢ搭載工程９０６）。なお、この接続においても、ＡＣＦが使用される。
【００１３】
このような処理装置群による一連の工程を経ることによって、表示基板上の電極と搭載部材に設けた電極との間を熱圧着し、ＡＣＦ内部の導電性粒子を介して両電極の電気的な接続が行われる。なお、圧着工程を終えると、ＡＣＦ基材樹脂が硬化するため、両電極の電気的な接続と同時に、表示基板と搭載部材が機械的にも接続される。
【００１４】
なお、ＡＣＦは、接合する部材のどちらか一方に予め貼り付けられていればよい。例えば、上記ＡＣＦ工程の別な例では、ＡＣＦを搭載部材の側に予め貼り付けている。また、表示基板モジュール組立ラインには、処理する表示基板の辺の数、処理する搭載部材の数、各処理装置の数などに応じて、表示基板を回転する処理装置などが必要となる。
【００１５】
ここで、ＴＡＢ（ＴＣＰ）に形成される電極端子のピッチは、微細化の傾向にあり、極めて微細なピッチ間隔のものが用いられるようになってきている。
【００１６】
したがって、上記のＴＡＢ仮圧着工程９０３において、表示パネルにＴＡＢ（ＴＣＰ）を実装する際には、両者の電極端子を極めて厳格に位置合わせして接合しなければ、表示パネル側の電極と搭載部材側の出力端子を電気的に接続できなくなる。
【００１７】
そのために、両者を厳格に位置合わせするために、アライメントマークと呼ばれる位置決めマークが各部材に設けられており、アライメントマークを光源や照明レンズ，対物レンズ等の光学系と、ＣＣＤカメラ等からなる撮像部と、認識部からなる認識システムにより、各アライメントマークを個別的に検出し、ずれ量を算出して各部材の位置決めをおこなっている。
【００１８】
以下、図９ないし図１１を用いてアライメントマークによる位置決めについて説明する。
図９は、表示パネルに付与されているアライメントマークの位置を説明する図である。
図１０は、表示パネルの電極端子側のアライメントマークと、搭載部材側の電極端子側のアライメントマーク位置関係を説明する図である。
図１１は、表示パネルとカメラの位置関係を示す図である。
【００１９】
例えば、図９に示されるように、表示パネルの位置決めをおこなうために、表示パネル１０００には、一つ以上の辺の左側に、アライメントマーク１００１と、右側に、アライメントマーク１００２があり、これらアライメントマークのそれぞれのマーク位置を検索し、所定の位置からのずれ量（Ｘ，Ｙ，θ）を求めて、表示パネルを所定の位置に位置決め（位置補正）するような用途に用いるものである。
【００２０】
表示パネルの電極端子と、搭載部材の入力電極端子の位置関係は、図１０に示されるようになっており、表示パネルの電極端子１０１１と、搭載部材の入力電極端子１０２１を接続するために、表示パネルの電極端子１０１１の左側アライメントマーク１０１２と、搭載部材の入力電極端子１０２１の左側アライメントマーク１０２２、表示パネルのＯＬＢ電極端子１０１１の右側アライメントマーク１０１３と、搭載部材１０２４の入力電極端子１０２１の右側アライメントマーク１０２３を、それぞれ重ね合わせることにより、表示パネルの電極端子１０１１と、搭載部材の入力電極端子１０２１が電気的に厳格に接続できる。
【００２１】
このときには、図１１に示されるように、カメラ１６によりアライメントマークを撮像して、その画像処理をおこなう。
【００２２】
このようなアライメントマークの検出は、表示パネル基板の位置補正と、表示パネル基板の表示パネルの電極端子と、搭載部材の入力電極端子との位置決め、プリント基板の電極端子と搭載部材の出力電極端子との位置決めするために行われるものであって、図８に示された関連工程の全てで実施するものである。
【００２３】
アライメントマークの検出は、予め記憶しているアライメントマーク教示画像と被検索画像との相関係数からパターンマッチング等の手法で被検索画像内に存在するアライメントマーク教示画像位置を検索し、最高相関率となるアライメントマーク教示画像位置を検出する。
【００２４】
ここで、例えば、パターンマッチングによる画像認識の例として、特許文献１には、テンプレート画像（アライメントマーク教示画像に相当）とサーチ画像とを比較し、評価値が一定の閾値を超えたときに、類似度の評価を打ち切る技術が開示されている。
【００２５】
また、特許文献２には、テンプレートマッチング手法によるもので、パターンを構成する部分ごとに評価する技術が開示されている。
【００２６】
ところが、このようなアライメントマーク教示画像位置を用いた手法においては、表示パネルに搭載部材を実装した後のアライメントマーク画像は、貼り付けによる凸凹の影響によって画像にノイズが乗り、ノイズの影響により、相関率を低下させる問題点がある。
【００２７】
これは、ＣＯＦを用いた場合も同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２８】
【特許文献１】特開平１０−１８７９６７号公報
【特許文献２】特開２００７−０１２６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
上記のように、被検索ワークをカメラで撮影した被検索画像に対し、予め作成した教示画像に対するパターンマッチング等の手法によって画像位置を検索し、教示画像との相関率・位置情報等を取得し、複数の検索結果を得た場合は、最高相関率の検索結果を検索位置として識別するのような手法が知られているが、フラットパネルディスプレイの表示パネルに搭載部材を搭載する場合に用いるアライメントマーク画像では、貼り付けによる凸凹の影響によって画像にノイズが乗り、ノイズの影響により、相関率を低下させる問題がある。
【００３０】
以下、この具体例を、図１２ないし図１４を用いて説明する。
図１２は、被検索画像からアライメントマーク教示画像を作成することを説明する図である。
図１３は、アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響が無い被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
図１４は、アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響がある被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【００３１】
ここで、図１２に示されるように、被検査画像２００のアライメントマークから、アライメントマーク教示画像２０１を作成し、アライメントマーク教示画像２０１と、被検索画像のパターンが相関係数８０％（０．８）以上で、被検索画像のアライメントマークを認識するものとする。
【００３２】
図１３に示すように、テスクチャー(Texture)の影響が無い被検索画像を検索した場合、以下の表１に示すように９２．４％の高相関率となり相関係数８０％（０．８）で、正常に位置３０１において、アライメントマークを認識することになる。
【００３３】
【表１】
【００３４】
ところが、図１４に示すようにノイズの影響がある被検索画像を検索した場合、背景やアライメントマーク画像にノイズが乗り、アライメントマーク教示画像が存在する位置４０１において、以下の表２に示すように６４．３％の低相関率となり、相関係数８０％（０．８）では、相関係数＞相関率となり、位置４０１においては、アライメントマークを正常に認識できない。
【００３５】
【表２】
【００３６】
したがって、ノイズの影響を受けず、相関率を上げるためには、矩形範囲の教示画像に相関認識から除外するマスク領域を設けて、図１５に示されるように、アライメントマーク教示画像２０１からアライメントマーク教示マスク画像６００を除いたパターンマッチングをおこなう手法が知られている。
【００３７】
図１５は、アライメントマーク教示画像とアライメントマーク教示マスク画像を用いて被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【００３８】
このようにすれば、以下の表３に示すように、８９．２％の高相関率を得ることができ、相関係数８０％（０．８）で、相関係数＜相関率となり、位置５０１において、アライメントマークを正常に認識することが可能となる。
【００３９】
【表３】
【００４０】
しかしながら、従来においては、相関関係の認識ためにアライメントマーク教示画像から領域から除外するためのマスク領域を示すアライメントマーク教示マスク画像は、アライメントマーク教示画像を目視しながら手作業で設定するため、作業効率と精度が悪いという問題点があった。
【００４１】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、フラットパネル表示基板製造のためのパターンマッチング手法により、アライメントマークを検索する画像処理方法において、アライメントマークのマスク領域を示すアライメントマーク教示マスク画像を自動生成することより、高速にアライメントマーク教示マスク画像を生成し、高精度にアライメントマークを検索するフラットパネル表示基板製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００４２】
本発明のフラットパネル表示基板製造装置は、表示パネルと搭載部材の各々に位置合わせをおこなうためのアライメントマークが付加されており、アライメントマークにより、表示パネルに搭載部材を搭載する際に位置合わせをおこなうフラットパネル表示基板製造装置であって、制御部と、搭載部材の搭載ヘッドと、カメラと、メモリとを有している。
【００４３】
制御部は、カメラにより撮像されて、メモリに格納される表示パネルと搭載部材の画像の各々のアライメントマークを認識し、各々の位置ずれ量を算出して、位置ずれ量に基づき、表示パネルの搬送位置と搭載部材の搭載ヘッドの位置を調節する。
【００４４】
そして、アライメントマークを認識する際に、制御部は、前記カメラにより撮像された表示パネルと搭載部材の画像より、アライメントマーク教示画像を切り出し、アライメントマーク教示画像のアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出し、エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出し、アライメントマーク教示画像の前記エッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出し、算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成し、アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識する。
【００４５】
本発明のフラットパネル表示基板製造装置では、このように、矩形範囲のアライメントマーク教示画像からアライメントマークのエッジ範囲を除いた画像部分を自動識別し、アライメントマークを認識するときに、認識領域から除外するマスク領域を自動生成する。
【００４６】
これにより、アライメントマーク教示画像からアライメントマークのエッジ範囲とエッジ範囲に含まれない領域を自動認識し、エッジ範囲に含まれない領域を自動抽出し、アライメントマークを認識するときに、認識領域から除外するマスク領域として設定するため、高精度、かつ、高速にマスク領域を設定することが可能となる。
【発明の効果】
【００４７】
本発明によれば、フラットパネル表示基板製造のためのパターンマッチング手法により、アライメントマークを検索する画像処理方法において、アライメントマークのマスク領域を示すアライメントマーク教示マスク画像を自動生成することより、高速にアライメントマーク教示マスク画像を生成し、高精度にアライメントマークを検索するフラットパネル表示基板製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明のフラットパネル表示基板製造装置の構成を示す図である。
【図２】本発明のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理に関する機能とデータフローを説明する図である。
【図３】アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
【図４】アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】アライメントマークが十字形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
【図６】アライメントマークが十字であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
【図７】アライメントマーク操作画面の一例を示す図である。
【図８】フラットパネルディスプレイにおける表示パネルに駆動ＩＣなどの搭載部材を実装する工程の概略図である。
【図９】表示パネルに付与されているアライメントマークの位置を説明する図である。
【図１０】表示パネルの電極端子側のアライメントマークと、搭載部材側の電極端子側のアライメントマーク位置関係を説明する図である。
【図１１】表示パネルとカメラの位置関係を示す図である。
【図１２】被検索画像からアライメントマーク教示画像を作成することを説明する図である。
【図１３】アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響が無い被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【図１４】アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響がある被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【図１５】アライメントマーク教示画像とアライメントマーク教示マスク画像を用いて被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、本発明に係る一実施形態を、図１ないし図７を用いて説明する。
【００５０】
先ず、図１を用いてフラットパネル表示基板製造装置の構成と動作について説明する。
図１は、本発明のフラットパネル表示基板製造装置の構成を示す図である。
図２は、本発明のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理に関する機能とデータフローを説明する図である。
【００５１】
本発明のフラットパネル表示基板製造装置１０は、例えば、図８に示したＴＡＢ仮圧着工程において、表示パネルに搭載部材を位置決めして、仮圧着をおこなうものである。
【００５２】
その際に、図１０に示したように、表示パネルのアライメントマークと、搭載部材のアライメントマークを位置合わせをおこなう。
【００５３】
フラットパネル表示基板製造装置１０の表示パネルと搭載部材の位置決めに関連するコンポーネントは、図１に示されるように、制御部１１、搭載ヘッド駆動部１２、搭載ヘッド部１３、メモリ１５、カメラ１６、操作部１７、ハードディスクドライブ１８、表示部１９、パネル搬送部２０、搬送駆動部２１である。
【００５４】
制御部１１は、フラットパネル表示基板製造装置１０の各部を制御し、メモリ１５上にロードされたプログラムを実行して、必要な演算をおこなって、動作の指示をおこなう部分である。
【００５５】
搭載ヘッド部１３は、ＴＡＢより搭載部材を吸着保持して、表示パネル基板の側辺まで搬送する装置である。
【００５６】
メモリ１５には、画像処理プログラムなどのプログラムやカメラ１６により撮像された画像、その他のワークデータが格納される。
【００５７】
カメラ１６は、表示パネル基板のアライメントマーク、および、搭載部材のアライメントマークを撮像して、メモリ１５に画像データを転送する。
【００５８】
操作部１７は、キーボードやマウスなどのユーザがデータやコマンドを入力する入力装置である。
【００５９】
ハードディスクドライブ１８は、大容量の補助記憶装置であり、制御部１１が実行するプログラムやその他のデータが格納される。本実施形態では、特に、プログラム領域１８１に画像処理プログラム３０が、データ領域１８２に、教示情報が記憶される。
【００６０】
表示部１９は、液晶ディスプレイ装置などの情報表示装置であり、本実施形態では、撮像した画像データとその関連情報を表示する。
【００６１】
パネル搬送部２０は、プリント基板Ｐを上流工程の装置から搬送する機構である。
【００６２】
搬送駆動部２１は、パネル搬送部を駆動する部分である。
【００６３】
ハードディスクドライブ１８のプログラム領域１８１に格納された画像処理プログラム３０は、アライメントマーク認識モジュール３１、教示画像作成モジュール３２、マスク画像作成モジュール３３、マッチング演算モジュール３４、位置ずれ量計算モジュール３５、ＧＵＩ制御モジュール３６の各モジュールよりなる。
【００６４】
アライメントマーク認識モジュール３１は、撮像した画像から、表示パネルやＴＡＢにおけるアライメントマークを画像認識するモジュールである。
【００６５】
教示画像作成モジュール３２は、撮像した画像からアライメントマーク教示画像と、関連する教示情報を作成するモジュールである。
【００６６】
マスク画像作成モジュール３３は、アライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成するモジュールである。
【００６７】
マッチング演算モジュール３４は、被検索画像からアライメントマークを検索するときの検出相関率を計算するモジュールである。
【００６８】
位置ずれ量計算モジュール３５は、認識された表示パネル基板のアライメントマークと、ＴＡＢにおけるアライメントマークを比較して、位置ずれ量を計算するモジュールである。
【００６９】
ＧＵＩ制御モジュール３６は、後に説明するアライメントマーク教示マスク画像作成画面などのユーザインターフェースを画像から提供するモジュールである。
【００７０】
次に、フラットパネル表示基板製造装置１０の処理の概略について説明する。
【００７１】
先ず、制御部１１が、搬送駆動部２１に指令して、パネル搬送部２０を駆動し、パネル搬送部２０上の保持手段（図示せず）により保持された基板Ｐが、所定位置に搬送される。
【００７２】
カメラ１６は、表示パネル基板のアライメントマーク（搬送位置決め、基板の隅）を撮像して、メモリ１５に画像データを転送する。
【００７３】
このとき、アライメントマーク認識モジュール３１を実行することにより、メモリ１５に格納された表示パネル基板のアライメントマーク（搬送位置決め、基板の隅）、および、アライメントマーク教示マスク画像（以下、単に「マスク画像」ともいう）を読み出して、アライメントマークにマスク画像を重ねることにより、アライメントマークの検出精度を上げて、各々のアライメントマークを認識処理する。
【００７４】
そして、制御部１１は、位置ずれ量計算モジュール３５により、アライメントマークの位置ずれ量を計算し、一定の位置ずれ量以上のときには、それを補正するように、制御部１１は、搬送駆動部２１により、パネル搬送部２０を駆動し、位置合わをおこなう。
【００７５】
一方、図１には図示していないが、ＴＡＢ供給部において、供給リールに巻かれて、供給されるＴＡＢテープから金型により打ち抜かれた搭載部材を、搭載ヘッド駆動部１２により駆動される搭載ヘッド部１３により表示パネル基板の側辺まで搬送する。
【００７６】
カメラ１６は、表示パネル基板のアライメントマーク（搭載部材との位置決め位置）、および、搭載部材のアライメントマークを撮像して、メモリ１５に画像データを転送に転送する。
【００７７】
そして、制御部１１は、アライメントマーク認識モジュール３１を実行することにより、メモリ１５に格納された表示パネル基板のアライメントマーク（搭載部材との位置決め
位置）、搭載部材のアライメントマーク、および、アライメントマーク教示マスク画像を読み出して、アライメントマークにマスク画像を重ねることにより、アライメントマークの検出精度を上げて、各々のアライメントマークを認識処理する。
【００７８】
そして、制御部１１は、位置ずれ量計算モジュール３５により、アライメントマーク相互の位置ずれ量を計算し、一定の位置ずれ量以上のときには、それを補正するように、制御部１１は、搭載ヘッド駆動部１２により、搭載ヘッド部１３を駆動し、位置合わをおこなう。
【００７９】
次に、図１には図示していないが、圧着ヘッドにより搭載部材と、表示パネル基板を加熱、加圧して、仮圧着をおこなう。
【００８０】
次に、図２を用いてフラットパネル表示基板製造装置１０の動作を説明すると以下のようになる。
【００８１】
先ず、フラットパネル表示基板製造装置１０は、カメラ１６により撮像された被検索画像１２１を、メモリ１１１に取り込み、アライメントマーク認識処理モジュール３１よりアライメントマークを認識処理する。
【００８２】
次に、教示画像作成モジュール３２により、被検索画像１２１により、教示情報を作成する（１２２）。
【００８３】
これは、図１２に示したように、被検索画像１２１のアライメントマーク画像位置２００から、矩形領域を切り出して、アライメントマーク教示画像２０１と、その切り出し位置などの教示情報１２３を作成し、データ領域１８２に記憶する処理である。
【００８４】
また、被検索画像１２１にアライメントマーク教示画像２０１が存在する位置を検索する場合には、被検索画像１２１と教示情報１２３を利用して、パターンマッチング等の手法によって、被検索画像１２１から切り出した画像とアライメントマーク教示画像２０１との画像比較をおこなう（１２５）。
【００８５】
そして、マッチング演算モジュール３４により、相関係数と相関率からマッチング判定をおこなって（１２６）、被検索画像内での画像位置とその相関率などの結果を出力する（１２７）。
【００８６】
このとき、アライメントマークの位置は、図１１に示したように、被検索画像の二ヶ所以上を検索して、位置ずれ量計算モジュール３５により、出力した各アライメントマークの位置情報から、（Ｘ，Ｙ，θ）の位置ずれ量を算出する。
【００８７】
上記において、図１３を用いて、テスクチャー(Texture)の影響が無い被検索画像を検索した場合、９２．４％の高相関率となり相関係数８０％（０．８）で、正常に位置３０１において、アライメントマークを認識することができる。
【００８８】
例えば、図２における比較処理１２５で実施するパターンマッチング手法では、被検索画像をスキャンして順にアライメントマーク教示画像と同一サイズの部分画像を切り出し、部分画像とアライメントマーク教示画像の一致率を計算する。そして、この一致率を相関率と呼び、相関率が最も高い部分画像をマッチング位置とする。しかし、相関率が最も高い部分画像をマッチング位置とするだけでは、被検索画像内に、アライメントマーク画像が存在しない場合であっても、相関率が最も高い部分画像のマッチング位置をマッチング位置と判断してしまい誤検出となる。そのため、マッチング位置判定で、低い相関率の部分画像位置を排除するための閾値（「相関係数」と呼ぶ）を設ける必要があり、被検索画像に存在するアライメントマーク画像位置を検索する際に、この相関係数を用いることで正しいアライメントマーク画像を検索可能としている。
【００８９】
ところが、図１４に示したように、被検索画像４００にノイズが存在した場合、アライメントマーク教示画像２０１を用いて、被検索画像４００に存在するアライメントマーク画像位置４０１を検索した結果では、相関係数８０％以上のアライメントマーク画像を検索した結果、６４．３％の相関率となり、アライメントマーク画像位置４０１を検索できない。
【００９０】
しかしながら、図１４に示したように、被検索画像４００にノイズが存在した場合に、図１５に示されるように、アライメントマーク教示画像２０１とアライメントマーク教示マスク画像６００を用いて、被検索画像５００に存在するアライメントマーク画像位置５０１を検索した結果は、相関係数８０％以上のアライメントマーク画像を検索した結果、８９．２％の相関率となる。
【００９１】
このように、アライメントマーク教示マスク画像６００は、アライメントマーク教示画像２０１と同一画像サイズであって、通常は被検索画像をスキャンして順にアライメントマーク教示画像と同一サイズの部分画像を切り出し、部分画像とアライメントマーク教示画像の全体から一致率を計算するが、アライメントマーク教示マスク画像６００を用いた場合は、マスク画像で教示するマスク画素位置を除いた画素から一致率を計算する。この結果、画像ノイズの影響による相関率の低減を最小限にすることが可能となる。
【００９２】
本実施形態は、このようなアライメントマーク教示マスク画像を、アライメントマーク教示画像から自動的に作成するものである。
【００９３】
以下、図３ないし図６を用いてこのようなアライメントマーク教示マスク画像を、アライメントマーク教示画像から作成する処理について説明する。
図３は、アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
図４は、アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
図５は、アライメントマークが十字形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
図６は、アライメントマークが十字であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
【００９４】
以下の処理は、図１に示す制御部１１が、マスク画像作成モジュールを実行することにより実行される。
【００９５】
第一のケースとして、アライメントマークが円形である場合のアライメントマーク教示画像（以下では、「円形のアライメントマーク教示画像」と言う）から、それに応じたアライメント教示マスク画像を作成する処理について説明する。
【００９６】
先ず、メモリ１５上にアライメント教示画像を読み込む（図４のＳ０１）。
【００９７】
次に、基本図形タイプを取得する（Ｓ０２）。ここでは、アライメントマーク教示画像のアライメントマークの形状は、円形である。これは、後に説明するアライメントマーク操作画面８００により、アライメント教示画像のアライメントマークの形状を明示的にユーザが指定することができる。
【００９８】
次に、図３に示されるように、円形のアライメントマーク教示画像２０１からエッジ点６１１を抽出し（図３（ａ）、Ｓ０３）、全てのエッジ点の重心位置から仮中心６１３を算出し（図３（ｂ）、Ｓ０４）、その仮中心６１３を基準とした０度から１０度毎に分割した３６領域を作成し、各領域内の任意の１エッジ点を取得し、１２０度の位相差となる３領域の各領域内の任意の１エッジ点（この例では、エッジ点６１５、エッジ点６１６、エッジ点６１７の３点を通る円の中心位置６１８と半径を求める。円の中心位置６１８と半径は、３６領域で１２０度の位相差で３点ずつ取るので、１２通りの中心位置と半径が算出できる。ここで、算出した１２通りの円の中心位置と半径における標準偏差内のそれぞれの中心位置と半径の平均を円の中心位置６１８と半径とする（図３（ｃ）、Ｓ０５）。
【００９９】
なお、この説明では、１０度毎に分割した３６領域を使ったが、分割数は任意に設定し、多分割で高精度化する場合や少分割で処理の高速化する場合もある。
【０１００】
次に、円の中心６１８から各エッジ点までの距離を求め、標準偏差内の各エッジ点の最大半径距離と最低半径距離を求める（図３（ｄ）（ｅ）、Ｓ０６）。最大半径距離はエッジ範囲外側円の半径値となり、最低半径距離はエッジ範囲内側円の半径値となる。
【０１０１】
そして、円形のアライメントマーク教示画像のマスク領域は、円の中心を基準としたエッジ範囲外側円周６２０の外側６２３とエッジ範囲内側円周６２１の内側６２４に存在する円形アライメントマーク教示画像のピクセル位置をマスク設定ピクセルとすることでマスク画像を作成する（Ｓ０７、Ｓ０８）。
【０１０２】
なお、エッジ点が円周上付近以外に存在する場合は、有効エッジを識別するためにＫ−Ｍｅａｎｓアルゴリズムによるクラスタリング等によって、同一円周上のエッジ点をクラス化し、有効エッジ点とすることで誤差を最小にすることができる。
【０１０３】
また、マスク画像作成基準となる円の中心を基準としたエッジ範囲外側円周６２０の外側６２３とエッジ範囲内側円周６２１の内側６２４の値を任意の尤度値で加減算し、マスクをかける範囲を狭めることで相関率算出範囲を広げ、被検索画像内のアライメントマークが多少楕円形になってもエッジ点を認識しパターンマッチングに対応させることが可能になる。
【０１０４】
次に、第二のケースとして、アライメントマークが十字形である場合のアライメントマーク教示画像（以下では、「十字形のアライメントマーク教示画像」と言う）から、それに応じたアライメント教示マスク画像を作成する処理について説明する。
【０１０５】
先ず、メモリ１５上にアライメント教示画像を読み込む（図６のＳ１１）。
【０１０６】
次に、基本図形タイプを取得する（Ｓ１２）。ここでは、アライメントマーク教示画像のアライメントマークの形状は、十字形である。これは、後に説明するアライメントマーク操作画面８００により、アライメント教示画像のアライメントマークを明示的にユーザは指定することができる。
【０１０７】
次に、図５に示されるように、十字形のアライメントマーク教示画像７００から、横方向エッジ点を求めクラスタリングによって分断線となるクラス分類をおこない、各クラスのエッジ点の近似直線を縦方向エッジ線７１１、７１２、７１３、７１４、７１５、７１６）として抽出する（図５（ａ）、Ｓ１３）。この近似直線算出時に標準偏差値を同時に求め、縦方向エッジ幅とする。
【０１０８】
同様に、十字形アライメントマーク教示画像７００から、縦方向エッジ点を求めクラスタリングによって分断線となるクラス分類をおこない、各クラスのエッジ点の近似直線を横方向エッジ線７２１、７２２、７２３、７２４、７２５、７２６として抽出する（図５（ｂ）、Ｓ１４）。この近似直線算出時に標準偏差値を同時に求め、横方向エッジ幅とする。
【０１０９】
そして、抽出した縦横エッジ線を延長して交点を求め、交点の位置から閉じた多角形を作成し、多角形の外周を図形のエッジ線７３１として抽出する（図５（ｃ）、Ｓ１５）。
【０１１０】
内側マスク範囲７４１は、エッジ線７３１を基準にエッジ幅の半分だけ内側となる多角形の内側領域とする（図５（ｄ）、Ｓ１６）。
【０１１１】
外側マスク範囲７５１は、エッジ線７３１を基準にエッジ幅の半分だけ外側となる多角形の外側領域とする（図５（ｅ）、Ｓ１７）。
【０１１２】
そして、エッジ範囲は、内側マスク範囲７４１と外側マスク範囲７５１を除いた範囲となり（Ｓ１８）、マスク領域は、内側マスク領域７６２と外側マスク領域７６１を合成した領域となり（Ｓ１９）、これにより、アライメントマーク教示マスク画像７７０を作成する（図５（ｆ）、Ｓ２０）。
【０１１３】
なお、エッジ幅は任意の尤度値で加算することによって、被検索画像内のアライメントマークが多少変形してもエッジ点を認識しパターンマッチングに対応させることが可能になる。
【０１１４】
ここでは、十字型のアライメントマークからマスク画像作成について述べたが、凸型のアライメントマーク等の多角形アライメントマーク（四角形、五角形、…など）は、ここで述べた十字型のアライメントマークからマスク画像を作成する手法の応用により、マスク画像作成を作成することが可能である。
【０１１５】
次に、図７を用いて本発明の一実施形態に係るフラットパネル表示基板製造装置の画像処理に関するユーザインタフェースについて説明する。
図７は、アライメントマーク操作画面の一例を示す図である。
【０１１６】
アライメントマーク操作画面８００は、図１に示される表示部１９に表示され、操作部１７により、ユーザからコマンドの指示が入力される。アライメントマーク操作画面８００は、被検索画像表示領域８１０と、教示画像表示領域８２０と、マスク画像表示領域８３０と、相関係数設定領域８４０と、教示レシピ設定領域８５０と、検索ボタン８６０とマスク画像作成領域８７０と検索結果表示領域８８０からなる。
【０１１７】
被検索画像表示領域８１０は、カメラ１６により撮像されて、メモリ１５に格納された被検索画像１２１を表示する領域である。
【０１１８】
教示画像表示領域８２０は、被検索画像１２１に関する教示画像を表示する領域であって、被検索画像１２１から切り取った教示画像、または、データ領域１８２に格納された教示情報から教示レシピ名欄８５１と教示レシピ読み込みボタン８５２の操作によって、ユーザが読み込んだ教示画像を表示する。
【０１１９】
マスク画像表示領域８３０は、マスク画像とマスク画像を用いた検索処理の実施切り替え指定ボタンを表示する領域であって、マスク画像作成領域８７０で作成したマスク画像、または、データ領域１８２に格納された教示情報から教示レシピ名８５１と教示レシピ読み込みボタン８５２の操作によって、ユーザが読み込んだマスク画像を表示し、マスク画像を用いた検索を実施するか否かを指定する有効と無効ボタンで指定状態を表示するとともにボタンをマウスでクリックすることで指定切り替えを実施する。
【０１２０】
相関係数設定領域８４０は、被検索画像１２１に存在する教示画像位置を検索する際の相関係数を設定する領域であって、キーボードから数値入力、または、データ領域１８２に格納された教示情報から教示レシピ名８５１と教示レシピ読み込みボタン８５２の操作によって、ユーザが読み込んだ相関係数を表示する。
【０１２１】
教示レシピ設定領域８５０は、データ領域１８２に格納された教示情報の読み込み、または、教示情報の保管操作をおこなうための領域である。教示レシピ設定領域８５０は、教示レシピ名設定領域８５１と、教示レシピ読み込みボタン８５２と、教示レシピ保管ボタン８５３からなる。
【０１２２】
教示レシピ名設定領域８５１は、データ領域１８２に格納された教示情報を読み込み、または、データ領域１８２に保管する教示情報レシピ名を設定する領域であって、キーボードから、教示レシピ名（文字列）を入力する。ここで、教示レシピ名は、教示情報を一意的に識別できる名称である。
【０１２３】
教示レシピ読み込みボタン８５２は、教示レシピ名設定領域８５１で指定したレシピ名の教示情報を、データ領域１８２から読み込むための操作ボタンであって、読み込みをおこなう際にマウスでクリックする。
【０１２４】
教示レシピ保管ボタン８５３は、教示情報を教示レシピ名設定領域８５１で指定した教示レシピ名で保管するための操作ボタンであって、保管する際にマウスでクリックする。
【０１２５】
検索ボタン８６０は、被検索画像領域８１０に表示されている被検索画像１２１と、教示画像領域８２０に表示されているアライメントマーク教示画像と、相関係数設定領域８４０に表示されている相関係数とに基き、マスク画像処理が有効な場合（マスク画像表示領域８３０で、有効を指定したとき）は、マスク画像表示領域８３０に表示されているマスク画像を使用して、被検索画像１２１上のアライメントマークの検索するための操作ボタンボタンであって、検索をおこなう際にマウスでクリックする。
【０１２６】
マスク画像作成領域８７０は、教示画像表示領域８２０に表示されているアライメントマーク教示画像からマスク画像を作成するための操作をおこなう領域であって、教示画像形状指定欄８７１と、自動処理ボタン８７２と、処理経過画像表示領域８７３と、個別処理実行ボタン８７４と、マスク領域補正部８７５からなる。
【０１２７】
教示画像形状指定欄８７１は、教示画像の形状を指定するコンボボックスであって、マウスで▼ボタンをクリックして表示する一覧表から教示画像の形状を指定する。教示画像の形状には、円形と十字形と凸形と四角形などがある。
【０１２８】
自動処理ボタン８７２は、自動処理を指定するときに操作するボタンであって、マウスでクリックする。
【０１２９】
処理経過画像表示領域８７３は、個別処理の結果を表示する領域であって、エッジ画像表示領域と、エッジ範囲表示領域と、エッジ領域表示領域と、マスク画像表示領域があり、自動処理と個別処理で指定した個別処理の各段階毎の結果画像を表示する。
【０１３０】
個別処理実行ボタン８７４は、自動処理を分割して個別処理を段階的に順次実行するボタン群であって、エッジボタンと、範囲ボタンと、領域ボタンと、マスクボタンがあり、それぞれの個別処理を実施する操作のためのボタンであって、マウスでクリックする。
【０１３１】
エッジボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０１〜Ｓ０３、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ１１〜Ｓ１５を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、アライメントマーク教示画像からエッジ点が抽出される。
【０１３２】
範囲ボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０４〜Ｓ０６、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ１６〜Ｓ１８を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、抽出されたエッジ点に囲まれたアライメントマーク教示画像のエッジ範囲が算出される。
【０１３３】
領域ボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０７、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ１９を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、エッジ範囲とポジとネガの関係にあるマスク領域が算出される。
【０１３４】
マスクボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０８、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ２０を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、算出されたマスク領域に基いて、アライメントマーク教示マスク画像が作成される。
【０１３５】
マスク領域補正部８７５は、マスク画像の内側および外側範囲を補正する値の入力値の表示と補正ボタンで構成する領域であって、図３で説明した円形のアライメントマーク教示画像では、内半径欄と外半径欄と補正ボタンで構成する。このとき、内半径欄と外半径欄に円中心からの距離（ピクセル数）をキーボードにより入力し、補正処理を指示する補正ボタンを、マウスでクリックする。補正ボタンをクリックした際は、マスク画像のマスク設定領域を設定したデータに基づく範囲に変更し、マスク画像を再作成する。
【０１３６】
検索結果表示領域８８０は、検索ボタン８６０のクリックによって検索を実施した結果を表示する領域であって、検索結果リスト８８１と、リスト内容を消去するクリアボタン８８２よりなる。
【０１３７】
検索結果リスト８８１には検索を実施した毎に結果を追加表示する。この例では、（１０，２０）のアライメントマーク教示画像に対して、検索タイプが「Ｎｏｒｍａｌ」（マスクを使用しない）ときには、相関率が、６４．３％であったのに対して、検索タイプが「Ｍａｓｋ」（マスクを使用する）ときには、相関率が、８９．２％であることを示している。
【０１３８】
なお、図７に示した例では、アライメントマーク操作画面８００を一つの画面として構成しているが、画面内の機能毎に複数の画面を作成し、同時に表示して、操作することにより、ユーザは同じ機能を使用することができる。
【符号の説明】
【０１３９】
１０…フラットパネル表示基板製造装置
１１…制御部
１２…搭載ヘッド駆動部
１３…搭載ヘッド部
１５…メモリ
１６…カメラ
１７…操作部
１８…ハードディスクドライブ
１８１…プログラム領域
１８２…データ領域
１９…表示部
２０…パネル搬送部
２１…搬送駆動部
３０…画像処理プログラム
３１…アライメントマーク認識モジュール
３２…教示画像作成モジュール
３３…マスク画像作成モジュール
３４…マッチング演算モジュール
３５…位置ずれ量計算モジュール
３６…ＧＵＩ制御モジュール
１２１…被検索画像
１２２…教示情報作成処理
１２３…教示情報
１２５…比較処理
１２６…マッチング判定処理
１２７…結果出力処理
２００…被検索画像内のアライメントマーク位置
２０１…アライメントマーク教示画像
３００…ノイズの影響が無い被検索画像
３０１…検索したアライメントマーク位置
４００…ノイズの影響がある被検索画像
４０１…検索すべきアライメントマーク位置
５００…ノイズの影響がある被検索画像
５０１…検索したアライメントマーク位置
６００…円形のアライメントマーク教示マスク画像
６１１…エッジ点
６１３…仮中心
６１５…仮中心を基準とした１２０度位相差の１点目位置
６１６…仮中心を基準とした１２０度位相差の２点目位置
６１７…仮中心を基準とした１２０度位相差の３点目位置
６１８…円の中心位置
６２０…エッジ範囲外側円周
６２１…エッジ範囲内側円周
６２３…エッジ外側領域
６２４…エッジ内側領域
７００…十字形のアライメントマーク教示画像
７１１…縦エッジ線１
７１２…縦エッジ線２
７１３…縦エッジ線３
７１４…縦エッジ線４
７１５…縦エッジ線５
７１６…縦エッジ線６
７２１…横エッジ線１
７２２…横エッジ線２
７２３…横エッジ線３
７２４…横エッジ線４
７２５…横エッジ線５
７２６…横エッジ線６
７３１…図形エッジ線
７４１…内側マスク範囲
７５１…外側マスク範囲
７６１…外側マスク領域
７６２…内側マスク領域
７７０…十字形のアライメントマーク教示マスク画像
８００…アライメントマーク操作画面
８１０…被検索画像表示領域
８２０…教示画像表示領域
８３０…マスク画像表示領域
８４０…相関係数設定領域
８５０…教示レシピ設定領域
８５１…教示レシピ名欄
８５２…教示レシピ読み込みボタン
８５３…教示レシピ保管ボタン
８６０…検索ボタン
８７０…マスク画像作成領域
８７１…教示画像形状指定欄
８７２…自動処理ボタン
８７３…処理経過画像表示領域
８７４…個別処理実行ボタン
８７５…マスク領域補正部
８８０…検索結果表示領域
８８１…索結果表示リスト
８８２…クリアボタン
９０１…端子クリーニング工程
９０２…ＡＣＦ貼付け工程
９０３…ＴＡＢ仮圧着工程
９０４…本圧着工程
９０５…検査工程
９０６…ＰＣＢ搭載工程
１０００…表示パネル基板
１００１…アライメントマーク
１００２…アライメントマーク
１０１１…電極端子
１０１２…アライメントマーク
１０１３…アライメントマーク
１０２０…ＴＡＢ（Tape…Automated…Bonding）
１０２１…ＴＡＢの電極
１０２２…アライメントマーク
１０２３…アライメントマーク
１０２４…搭載部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネル表示基板製造装置、および、フラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法に係り、特に、ＴＡＢなどにより、フラットパネルディスプレイにおける表示パネルに電子部品を実装する際に、精度よく位置決めをおこなうのに好適なフラットパネル表示基板製造装置、および、フラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイとしては、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Electro−Luminescence）ディスプレイ、プラズマディスプレイなどがある。このフラットパネルディスプレイにおける表示基板の周縁部には、駆動ＩＣの搭載や、ＣＯＦ（Chip on Film）、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などのＴＡＢ（Tape Automated Bonding）接続が行われる。また、表示基板の周辺には、例えば、ＰＣＢ（Printed Circuit Board）などの周辺基板が実装される。その結果、フラットパネルディスプレイモジュールが組み立てられる。
【０００３】
以下の説明で「搭載部材」と称する電子部品は、その詳細形状や部材の厚さの差異など
で、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）と呼称されたり、ＴＡＢと呼称されたり、ＣＯＦと呼称されたりする。これらＴＣＰやＴＡＢやＣＯＦは、スプロケット穴を有する長尺のポリイミドフィルムに配線を施したＦＰＣに、ＩＣチップを搭載し、ＦＰＣを切り出して構成されたものであり、実装する上での差異はない。また、パネルの設計によっては、ＩＣチップなしのＦＰＣのみを実装する場合もある。フラットパネルディスプレイの実装組立工程においては、これらの部品に実質上の差異はない。
【０００４】
フラットパネルディスプレイモジュール組立ラインは、複数の処理作業が行われる工程を順次行なうことにより、フラットパネルディスプレイの表示基板における周縁部及び周辺に、搭載部材を実装する装置であり、一例としては、図８に示されるようなものがある。
【０００５】
図８は、フラットパネルディスプレイにおける表示パネルに駆動ＩＣなどの搭載部材を実装する工程の概略図である。
【０００６】
フラットパネルディスプレイの表示パネルの製造において、先ず、フラットパネルディスプレイの表示パネルの電極端子上の固着物などを除去するためクリーニングをおこなう（端子クリーニング工程９０１)。
【０００７】
次に、表示パネルの電極端子にＡＣＦを貼付ける（ＡＣＦ貼付工程９０２)。
【０００８】
ＡＣＦは、接着剤の役割を果たすフィルムであり、熱硬化性樹脂に導電性を持つ微細な粒子を混ぜ合わせたものを、膜状に成型したフィルムである。
【０００９】
次に、搭載部材を打ち抜き、表示パネルの電極端子側と搭載部材の電極のアライメントマークの位置合わせをおこなって、仮圧着をおこなう（ＴＡＢ仮圧着工程９０３）。
【００１０】
そして、圧着ヘッドにより本圧着をおこなう（本圧着工程９０４）。本圧着工程では、圧着ヘッドにより、フラットパネルディスプレイと搭載部材が、ＡＣＦを介して加熱下で、表示パネルの電極端子と搭載部材の電極は、ＡＣＦの導電性粒子により電気的に接続された状態で固定される。
【００１１】
次に、表示パネルの電極端子と搭載部材の電極の圧着接続の良否、接続度合いをみるための検査をおこなう（検査工程９０５）。
【００１２】
次に、表示パネルの電極端子と接続した電極と反対方向の搭載部材の電極とプリント基板の電極を接続する（ＰＣＢ搭載工程９０６）。なお、この接続においても、ＡＣＦが使用される。
【００１３】
このような処理装置群による一連の工程を経ることによって、表示基板上の電極と搭載部材に設けた電極との間を熱圧着し、ＡＣＦ内部の導電性粒子を介して両電極の電気的な接続が行われる。なお、圧着工程を終えると、ＡＣＦ基材樹脂が硬化するため、両電極の電気的な接続と同時に、表示基板と搭載部材が機械的にも接続される。
【００１４】
なお、ＡＣＦは、接合する部材のどちらか一方に予め貼り付けられていればよい。例えば、上記ＡＣＦ工程の別な例では、ＡＣＦを搭載部材の側に予め貼り付けている。また、表示基板モジュール組立ラインには、処理する表示基板の辺の数、処理する搭載部材の数、各処理装置の数などに応じて、表示基板を回転する処理装置などが必要となる。
【００１５】
ここで、ＴＡＢ（ＴＣＰ）に形成される電極端子のピッチは、微細化の傾向にあり、極めて微細なピッチ間隔のものが用いられるようになってきている。
【００１６】
したがって、上記のＴＡＢ仮圧着工程９０３において、表示パネルにＴＡＢ（ＴＣＰ）を実装する際には、両者の電極端子を極めて厳格に位置合わせして接合しなければ、表示パネル側の電極と搭載部材側の出力端子を電気的に接続できなくなる。
【００１７】
そのために、両者を厳格に位置合わせするために、アライメントマークと呼ばれる位置決めマークが各部材に設けられており、アライメントマークを光源や照明レンズ，対物レンズ等の光学系と、ＣＣＤカメラ等からなる撮像部と、認識部からなる認識システムにより、各アライメントマークを個別的に検出し、ずれ量を算出して各部材の位置決めをおこなっている。
【００１８】
以下、図９ないし図１１を用いてアライメントマークによる位置決めについて説明する。
図９は、表示パネルに付与されているアライメントマークの位置を説明する図である。
図１０は、表示パネルの電極端子側のアライメントマークと、搭載部材側の電極端子側のアライメントマーク位置関係を説明する図である。
図１１は、表示パネルとカメラの位置関係を示す図である。
【００１９】
例えば、図９に示されるように、表示パネルの位置決めをおこなうために、表示パネル１０００には、一つ以上の辺の左側に、アライメントマーク１００１と、右側に、アライメントマーク１００２があり、これらアライメントマークのそれぞれのマーク位置を検索し、所定の位置からのずれ量（Ｘ，Ｙ，θ）を求めて、表示パネルを所定の位置に位置決め（位置補正）するような用途に用いるものである。
【００２０】
表示パネルの電極端子と、搭載部材の入力電極端子の位置関係は、図１０に示されるようになっており、表示パネルの電極端子１０１１と、搭載部材の入力電極端子１０２１を接続するために、表示パネルの電極端子１０１１の左側アライメントマーク１０１２と、搭載部材の入力電極端子１０２１の左側アライメントマーク１０２２、表示パネルのＯＬＢ電極端子１０１１の右側アライメントマーク１０１３と、搭載部材１０２４の入力電極端子１０２１の右側アライメントマーク１０２３を、それぞれ重ね合わせることにより、表示パネルの電極端子１０１１と、搭載部材の入力電極端子１０２１が電気的に厳格に接続できる。
【００２１】
このときには、図１１に示されるように、カメラ１６によりアライメントマークを撮像して、その画像処理をおこなう。
【００２２】
このようなアライメントマークの検出は、表示パネル基板の位置補正と、表示パネル基板の表示パネルの電極端子と、搭載部材の入力電極端子との位置決め、プリント基板の電極端子と搭載部材の出力電極端子との位置決めするために行われるものであって、図８に示された関連工程の全てで実施するものである。
【００２３】
アライメントマークの検出は、予め記憶しているアライメントマーク教示画像と被検索画像との相関係数からパターンマッチング等の手法で被検索画像内に存在するアライメントマーク教示画像位置を検索し、最高相関率となるアライメントマーク教示画像位置を検出する。
【００２４】
ここで、例えば、パターンマッチングによる画像認識の例として、特許文献１には、テンプレート画像（アライメントマーク教示画像に相当）とサーチ画像とを比較し、評価値が一定の閾値を超えたときに、類似度の評価を打ち切る技術が開示されている。
【００２５】
また、特許文献２には、テンプレートマッチング手法によるもので、パターンを構成する部分ごとに評価する技術が開示されている。
【００２６】
ところが、このようなアライメントマーク教示画像位置を用いた手法においては、表示パネルに搭載部材を実装した後のアライメントマーク画像は、貼り付けによる凸凹の影響によって画像にノイズが乗り、ノイズの影響により、相関率を低下させる問題点がある。
【００２７】
これは、ＣＯＦを用いた場合も同様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２８】
【特許文献１】特開平１０−１８７９６７号公報
【特許文献２】特開２００７−０１２６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
上記のように、被検索ワークをカメラで撮影した被検索画像に対し、予め作成した教示画像に対するパターンマッチング等の手法によって画像位置を検索し、教示画像との相関率・位置情報等を取得し、複数の検索結果を得た場合は、最高相関率の検索結果を検索位置として識別するのような手法が知られているが、フラットパネルディスプレイの表示パネルに搭載部材を搭載する場合に用いるアライメントマーク画像では、貼り付けによる凸凹の影響によって画像にノイズが乗り、ノイズの影響により、相関率を低下させる問題がある。
【００３０】
以下、この具体例を、図１２ないし図１４を用いて説明する。
図１２は、被検索画像からアライメントマーク教示画像を作成することを説明する図である。
図１３は、アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響が無い被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
図１４は、アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響がある被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【００３１】
ここで、図１２に示されるように、被検査画像２００のアライメントマークから、アライメントマーク教示画像２０１を作成し、アライメントマーク教示画像２０１と、被検索画像のパターンが相関係数８０％（０．８）以上で、被検索画像のアライメントマークを認識するものとする。
【００３２】
図１３に示すように、テスクチャー(Texture)の影響が無い被検索画像を検索した場合、以下の表１に示すように９２．４％の高相関率となり相関係数８０％（０．８）で、正常に位置３０１において、アライメントマークを認識することになる。
【００３３】
【表１】
【００３４】
ところが、図１４に示すようにノイズの影響がある被検索画像を検索した場合、背景やアライメントマーク画像にノイズが乗り、アライメントマーク教示画像が存在する位置４０１において、以下の表２に示すように６４．３％の低相関率となり、相関係数８０％（０．８）では、相関係数＞相関率となり、位置４０１においては、アライメントマークを正常に認識できない。
【００３５】
【表２】
【００３６】
したがって、ノイズの影響を受けず、相関率を上げるためには、矩形範囲の教示画像に相関認識から除外するマスク領域を設けて、図１５に示されるように、アライメントマーク教示画像２０１からアライメントマーク教示マスク画像６００を除いたパターンマッチングをおこなう手法が知られている。
【００３７】
図１５は、アライメントマーク教示画像とアライメントマーク教示マスク画像を用いて被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【００３８】
このようにすれば、以下の表３に示すように、８９．２％の高相関率を得ることができ、相関係数８０％（０．８）で、相関係数＜相関率となり、位置５０１において、アライメントマークを正常に認識することが可能となる。
【００３９】
【表３】
【００４０】
しかしながら、従来においては、相関関係の認識ためにアライメントマーク教示画像から領域から除外するためのマスク領域を示すアライメントマーク教示マスク画像は、アライメントマーク教示画像を目視しながら手作業で設定するため、作業効率と精度が悪いという問題点があった。
【００４１】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、フラットパネル表示基板製造のためのパターンマッチング手法により、アライメントマークを検索する画像処理方法において、アライメントマークのマスク領域を示すアライメントマーク教示マスク画像を自動生成することより、高速にアライメントマーク教示マスク画像を生成し、高精度にアライメントマークを検索するフラットパネル表示基板製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００４２】
本発明のフラットパネル表示基板製造装置は、表示パネルと搭載部材の各々に位置合わせをおこなうためのアライメントマークが付加されており、アライメントマークにより、表示パネルに搭載部材を搭載する際に位置合わせをおこなうフラットパネル表示基板製造装置であって、制御部と、搭載部材の搭載ヘッドと、カメラと、メモリとを有している。
【００４３】
制御部は、カメラにより撮像されて、メモリに格納される表示パネルと搭載部材の画像の各々のアライメントマークを認識し、各々の位置ずれ量を算出して、位置ずれ量に基づき、表示パネルの搬送位置と搭載部材の搭載ヘッドの位置を調節する。
【００４４】
そして、アライメントマークを認識する際に、制御部は、前記カメラにより撮像された表示パネルと搭載部材の画像より、アライメントマーク教示画像を切り出し、アライメントマーク教示画像のアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出し、エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出し、アライメントマーク教示画像の前記エッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出し、算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成し、アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識する。
【００４５】
本発明のフラットパネル表示基板製造装置では、このように、矩形範囲のアライメントマーク教示画像からアライメントマークのエッジ範囲を除いた画像部分を自動識別し、アライメントマークを認識するときに、認識領域から除外するマスク領域を自動生成する。
【００４６】
これにより、アライメントマーク教示画像からアライメントマークのエッジ範囲とエッジ範囲に含まれない領域を自動認識し、エッジ範囲に含まれない領域を自動抽出し、アライメントマークを認識するときに、認識領域から除外するマスク領域として設定するため、高精度、かつ、高速にマスク領域を設定することが可能となる。
【発明の効果】
【００４７】
本発明によれば、フラットパネル表示基板製造のためのパターンマッチング手法により、アライメントマークを検索する画像処理方法において、アライメントマークのマスク領域を示すアライメントマーク教示マスク画像を自動生成することより、高速にアライメントマーク教示マスク画像を生成し、高精度にアライメントマークを検索するフラットパネル表示基板製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明のフラットパネル表示基板製造装置の構成を示す図である。
【図２】本発明のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理に関する機能とデータフローを説明する図である。
【図３】アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
【図４】アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
【図５】アライメントマークが十字形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
【図６】アライメントマークが十字であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
【図７】アライメントマーク操作画面の一例を示す図である。
【図８】フラットパネルディスプレイにおける表示パネルに駆動ＩＣなどの搭載部材を実装する工程の概略図である。
【図９】表示パネルに付与されているアライメントマークの位置を説明する図である。
【図１０】表示パネルの電極端子側のアライメントマークと、搭載部材側の電極端子側のアライメントマーク位置関係を説明する図である。
【図１１】表示パネルとカメラの位置関係を示す図である。
【図１２】被検索画像からアライメントマーク教示画像を作成することを説明する図である。
【図１３】アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響が無い被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【図１４】アライメントマーク教示画像により、ノイズの影響がある被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【図１５】アライメントマーク教示画像とアライメントマーク教示マスク画像を用いて被検索画像のアライメントマークを検索している様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、本発明に係る一実施形態を、図１ないし図７を用いて説明する。
【００５０】
先ず、図１を用いてフラットパネル表示基板製造装置の構成と動作について説明する。
図１は、本発明のフラットパネル表示基板製造装置の構成を示す図である。
図２は、本発明のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理に関する機能とデータフローを説明する図である。
【００５１】
本発明のフラットパネル表示基板製造装置１０は、例えば、図８に示したＴＡＢ仮圧着工程において、表示パネルに搭載部材を位置決めして、仮圧着をおこなうものである。
【００５２】
その際に、図１０に示したように、表示パネルのアライメントマークと、搭載部材のアライメントマークを位置合わせをおこなう。
【００５３】
フラットパネル表示基板製造装置１０の表示パネルと搭載部材の位置決めに関連するコンポーネントは、図１に示されるように、制御部１１、搭載ヘッド駆動部１２、搭載ヘッド部１３、メモリ１５、カメラ１６、操作部１７、ハードディスクドライブ１８、表示部１９、パネル搬送部２０、搬送駆動部２１である。
【００５４】
制御部１１は、フラットパネル表示基板製造装置１０の各部を制御し、メモリ１５上にロードされたプログラムを実行して、必要な演算をおこなって、動作の指示をおこなう部分である。
【００５５】
搭載ヘッド部１３は、ＴＡＢより搭載部材を吸着保持して、表示パネル基板の側辺まで搬送する装置である。
【００５６】
メモリ１５には、画像処理プログラムなどのプログラムやカメラ１６により撮像された画像、その他のワークデータが格納される。
【００５７】
カメラ１６は、表示パネル基板のアライメントマーク、および、搭載部材のアライメントマークを撮像して、メモリ１５に画像データを転送する。
【００５８】
操作部１７は、キーボードやマウスなどのユーザがデータやコマンドを入力する入力装置である。
【００５９】
ハードディスクドライブ１８は、大容量の補助記憶装置であり、制御部１１が実行するプログラムやその他のデータが格納される。本実施形態では、特に、プログラム領域１８１に画像処理プログラム３０が、データ領域１８２に、教示情報が記憶される。
【００６０】
表示部１９は、液晶ディスプレイ装置などの情報表示装置であり、本実施形態では、撮像した画像データとその関連情報を表示する。
【００６１】
パネル搬送部２０は、プリント基板Ｐを上流工程の装置から搬送する機構である。
【００６２】
搬送駆動部２１は、パネル搬送部を駆動する部分である。
【００６３】
ハードディスクドライブ１８のプログラム領域１８１に格納された画像処理プログラム３０は、アライメントマーク認識モジュール３１、教示画像作成モジュール３２、マスク画像作成モジュール３３、マッチング演算モジュール３４、位置ずれ量計算モジュール３５、ＧＵＩ制御モジュール３６の各モジュールよりなる。
【００６４】
アライメントマーク認識モジュール３１は、撮像した画像から、表示パネルやＴＡＢにおけるアライメントマークを画像認識するモジュールである。
【００６５】
教示画像作成モジュール３２は、撮像した画像からアライメントマーク教示画像と、関連する教示情報を作成するモジュールである。
【００６６】
マスク画像作成モジュール３３は、アライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成するモジュールである。
【００６７】
マッチング演算モジュール３４は、被検索画像からアライメントマークを検索するときの検出相関率を計算するモジュールである。
【００６８】
位置ずれ量計算モジュール３５は、認識された表示パネル基板のアライメントマークと、ＴＡＢにおけるアライメントマークを比較して、位置ずれ量を計算するモジュールである。
【００６９】
ＧＵＩ制御モジュール３６は、後に説明するアライメントマーク教示マスク画像作成画面などのユーザインターフェースを画像から提供するモジュールである。
【００７０】
次に、フラットパネル表示基板製造装置１０の処理の概略について説明する。
【００７１】
先ず、制御部１１が、搬送駆動部２１に指令して、パネル搬送部２０を駆動し、パネル搬送部２０上の保持手段（図示せず）により保持された基板Ｐが、所定位置に搬送される。
【００７２】
カメラ１６は、表示パネル基板のアライメントマーク（搬送位置決め、基板の隅）を撮像して、メモリ１５に画像データを転送する。
【００７３】
このとき、アライメントマーク認識モジュール３１を実行することにより、メモリ１５に格納された表示パネル基板のアライメントマーク（搬送位置決め、基板の隅）、および、アライメントマーク教示マスク画像（以下、単に「マスク画像」ともいう）を読み出して、アライメントマークにマスク画像を重ねることにより、アライメントマークの検出精度を上げて、各々のアライメントマークを認識処理する。
【００７４】
そして、制御部１１は、位置ずれ量計算モジュール３５により、アライメントマークの位置ずれ量を計算し、一定の位置ずれ量以上のときには、それを補正するように、制御部１１は、搬送駆動部２１により、パネル搬送部２０を駆動し、位置合わをおこなう。
【００７５】
一方、図１には図示していないが、ＴＡＢ供給部において、供給リールに巻かれて、供給されるＴＡＢテープから金型により打ち抜かれた搭載部材を、搭載ヘッド駆動部１２により駆動される搭載ヘッド部１３により表示パネル基板の側辺まで搬送する。
【００７６】
カメラ１６は、表示パネル基板のアライメントマーク（搭載部材との位置決め位置）、および、搭載部材のアライメントマークを撮像して、メモリ１５に画像データを転送に転送する。
【００７７】
そして、制御部１１は、アライメントマーク認識モジュール３１を実行することにより、メモリ１５に格納された表示パネル基板のアライメントマーク（搭載部材との位置決め
位置）、搭載部材のアライメントマーク、および、アライメントマーク教示マスク画像を読み出して、アライメントマークにマスク画像を重ねることにより、アライメントマークの検出精度を上げて、各々のアライメントマークを認識処理する。
【００７８】
そして、制御部１１は、位置ずれ量計算モジュール３５により、アライメントマーク相互の位置ずれ量を計算し、一定の位置ずれ量以上のときには、それを補正するように、制御部１１は、搭載ヘッド駆動部１２により、搭載ヘッド部１３を駆動し、位置合わをおこなう。
【００７９】
次に、図１には図示していないが、圧着ヘッドにより搭載部材と、表示パネル基板を加熱、加圧して、仮圧着をおこなう。
【００８０】
次に、図２を用いてフラットパネル表示基板製造装置１０の動作を説明すると以下のようになる。
【００８１】
先ず、フラットパネル表示基板製造装置１０は、カメラ１６により撮像された被検索画像１２１を、メモリ１１１に取り込み、アライメントマーク認識処理モジュール３１よりアライメントマークを認識処理する。
【００８２】
次に、教示画像作成モジュール３２により、被検索画像１２１により、教示情報を作成する（１２２）。
【００８３】
これは、図１２に示したように、被検索画像１２１のアライメントマーク画像位置２００から、矩形領域を切り出して、アライメントマーク教示画像２０１と、その切り出し位置などの教示情報１２３を作成し、データ領域１８２に記憶する処理である。
【００８４】
また、被検索画像１２１にアライメントマーク教示画像２０１が存在する位置を検索する場合には、被検索画像１２１と教示情報１２３を利用して、パターンマッチング等の手法によって、被検索画像１２１から切り出した画像とアライメントマーク教示画像２０１との画像比較をおこなう（１２５）。
【００８５】
そして、マッチング演算モジュール３４により、相関係数と相関率からマッチング判定をおこなって（１２６）、被検索画像内での画像位置とその相関率などの結果を出力する（１２７）。
【００８６】
このとき、アライメントマークの位置は、図１１に示したように、被検索画像の二ヶ所以上を検索して、位置ずれ量計算モジュール３５により、出力した各アライメントマークの位置情報から、（Ｘ，Ｙ，θ）の位置ずれ量を算出する。
【００８７】
上記において、図１３を用いて、テスクチャー(Texture)の影響が無い被検索画像を検索した場合、９２．４％の高相関率となり相関係数８０％（０．８）で、正常に位置３０１において、アライメントマークを認識することができる。
【００８８】
例えば、図２における比較処理１２５で実施するパターンマッチング手法では、被検索画像をスキャンして順にアライメントマーク教示画像と同一サイズの部分画像を切り出し、部分画像とアライメントマーク教示画像の一致率を計算する。そして、この一致率を相関率と呼び、相関率が最も高い部分画像をマッチング位置とする。しかし、相関率が最も高い部分画像をマッチング位置とするだけでは、被検索画像内に、アライメントマーク画像が存在しない場合であっても、相関率が最も高い部分画像のマッチング位置をマッチング位置と判断してしまい誤検出となる。そのため、マッチング位置判定で、低い相関率の部分画像位置を排除するための閾値（「相関係数」と呼ぶ）を設ける必要があり、被検索画像に存在するアライメントマーク画像位置を検索する際に、この相関係数を用いることで正しいアライメントマーク画像を検索可能としている。
【００８９】
ところが、図１４に示したように、被検索画像４００にノイズが存在した場合、アライメントマーク教示画像２０１を用いて、被検索画像４００に存在するアライメントマーク画像位置４０１を検索した結果では、相関係数８０％以上のアライメントマーク画像を検索した結果、６４．３％の相関率となり、アライメントマーク画像位置４０１を検索できない。
【００９０】
しかしながら、図１４に示したように、被検索画像４００にノイズが存在した場合に、図１５に示されるように、アライメントマーク教示画像２０１とアライメントマーク教示マスク画像６００を用いて、被検索画像５００に存在するアライメントマーク画像位置５０１を検索した結果は、相関係数８０％以上のアライメントマーク画像を検索した結果、８９．２％の相関率となる。
【００９１】
このように、アライメントマーク教示マスク画像６００は、アライメントマーク教示画像２０１と同一画像サイズであって、通常は被検索画像をスキャンして順にアライメントマーク教示画像と同一サイズの部分画像を切り出し、部分画像とアライメントマーク教示画像の全体から一致率を計算するが、アライメントマーク教示マスク画像６００を用いた場合は、マスク画像で教示するマスク画素位置を除いた画素から一致率を計算する。この結果、画像ノイズの影響による相関率の低減を最小限にすることが可能となる。
【００９２】
本実施形態は、このようなアライメントマーク教示マスク画像を、アライメントマーク教示画像から自動的に作成するものである。
【００９３】
以下、図３ないし図６を用いてこのようなアライメントマーク教示マスク画像を、アライメントマーク教示画像から作成する処理について説明する。
図３は、アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
図４は、アライメントマークが円形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
図５は、アライメントマークが十字形であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理を説明する図である。
図６は、アライメントマークが十字であるアライメントマーク教示画像からアライメントマーク教示マスク画像を作成する処理の手順を示すフローチャートである。
【００９４】
以下の処理は、図１に示す制御部１１が、マスク画像作成モジュールを実行することにより実行される。
【００９５】
第一のケースとして、アライメントマークが円形である場合のアライメントマーク教示画像（以下では、「円形のアライメントマーク教示画像」と言う）から、それに応じたアライメント教示マスク画像を作成する処理について説明する。
【００９６】
先ず、メモリ１５上にアライメント教示画像を読み込む（図４のＳ０１）。
【００９７】
次に、基本図形タイプを取得する（Ｓ０２）。ここでは、アライメントマーク教示画像のアライメントマークの形状は、円形である。これは、後に説明するアライメントマーク操作画面８００により、アライメント教示画像のアライメントマークの形状を明示的にユーザが指定することができる。
【００９８】
次に、図３に示されるように、円形のアライメントマーク教示画像２０１からエッジ点６１１を抽出し（図３（ａ）、Ｓ０３）、全てのエッジ点の重心位置から仮中心６１３を算出し（図３（ｂ）、Ｓ０４）、その仮中心６１３を基準とした０度から１０度毎に分割した３６領域を作成し、各領域内の任意の１エッジ点を取得し、１２０度の位相差となる３領域の各領域内の任意の１エッジ点（この例では、エッジ点６１５、エッジ点６１６、エッジ点６１７の３点を通る円の中心位置６１８と半径を求める。円の中心位置６１８と半径は、３６領域で１２０度の位相差で３点ずつ取るので、１２通りの中心位置と半径が算出できる。ここで、算出した１２通りの円の中心位置と半径における標準偏差内のそれぞれの中心位置と半径の平均を円の中心位置６１８と半径とする（図３（ｃ）、Ｓ０５）。
【００９９】
なお、この説明では、１０度毎に分割した３６領域を使ったが、分割数は任意に設定し、多分割で高精度化する場合や少分割で処理の高速化する場合もある。
【０１００】
次に、円の中心６１８から各エッジ点までの距離を求め、標準偏差内の各エッジ点の最大半径距離と最低半径距離を求める（図３（ｄ）（ｅ）、Ｓ０６）。最大半径距離はエッジ範囲外側円の半径値となり、最低半径距離はエッジ範囲内側円の半径値となる。
【０１０１】
そして、円形のアライメントマーク教示画像のマスク領域は、円の中心を基準としたエッジ範囲外側円周６２０の外側６２３とエッジ範囲内側円周６２１の内側６２４に存在する円形アライメントマーク教示画像のピクセル位置をマスク設定ピクセルとすることでマスク画像を作成する（Ｓ０７、Ｓ０８）。
【０１０２】
なお、エッジ点が円周上付近以外に存在する場合は、有効エッジを識別するためにＫ−Ｍｅａｎｓアルゴリズムによるクラスタリング等によって、同一円周上のエッジ点をクラス化し、有効エッジ点とすることで誤差を最小にすることができる。
【０１０３】
また、マスク画像作成基準となる円の中心を基準としたエッジ範囲外側円周６２０の外側６２３とエッジ範囲内側円周６２１の内側６２４の値を任意の尤度値で加減算し、マスクをかける範囲を狭めることで相関率算出範囲を広げ、被検索画像内のアライメントマークが多少楕円形になってもエッジ点を認識しパターンマッチングに対応させることが可能になる。
【０１０４】
次に、第二のケースとして、アライメントマークが十字形である場合のアライメントマーク教示画像（以下では、「十字形のアライメントマーク教示画像」と言う）から、それに応じたアライメント教示マスク画像を作成する処理について説明する。
【０１０５】
先ず、メモリ１５上にアライメント教示画像を読み込む（図６のＳ１１）。
【０１０６】
次に、基本図形タイプを取得する（Ｓ１２）。ここでは、アライメントマーク教示画像のアライメントマークの形状は、十字形である。これは、後に説明するアライメントマーク操作画面８００により、アライメント教示画像のアライメントマークを明示的にユーザは指定することができる。
【０１０７】
次に、図５に示されるように、十字形のアライメントマーク教示画像７００から、横方向エッジ点を求めクラスタリングによって分断線となるクラス分類をおこない、各クラスのエッジ点の近似直線を縦方向エッジ線７１１、７１２、７１３、７１４、７１５、７１６）として抽出する（図５（ａ）、Ｓ１３）。この近似直線算出時に標準偏差値を同時に求め、縦方向エッジ幅とする。
【０１０８】
同様に、十字形アライメントマーク教示画像７００から、縦方向エッジ点を求めクラスタリングによって分断線となるクラス分類をおこない、各クラスのエッジ点の近似直線を横方向エッジ線７２１、７２２、７２３、７２４、７２５、７２６として抽出する（図５（ｂ）、Ｓ１４）。この近似直線算出時に標準偏差値を同時に求め、横方向エッジ幅とする。
【０１０９】
そして、抽出した縦横エッジ線を延長して交点を求め、交点の位置から閉じた多角形を作成し、多角形の外周を図形のエッジ線７３１として抽出する（図５（ｃ）、Ｓ１５）。
【０１１０】
内側マスク範囲７４１は、エッジ線７３１を基準にエッジ幅の半分だけ内側となる多角形の内側領域とする（図５（ｄ）、Ｓ１６）。
【０１１１】
外側マスク範囲７５１は、エッジ線７３１を基準にエッジ幅の半分だけ外側となる多角形の外側領域とする（図５（ｅ）、Ｓ１７）。
【０１１２】
そして、エッジ範囲は、内側マスク範囲７４１と外側マスク範囲７５１を除いた範囲となり（Ｓ１８）、マスク領域は、内側マスク領域７６２と外側マスク領域７６１を合成した領域となり（Ｓ１９）、これにより、アライメントマーク教示マスク画像７７０を作成する（図５（ｆ）、Ｓ２０）。
【０１１３】
なお、エッジ幅は任意の尤度値で加算することによって、被検索画像内のアライメントマークが多少変形してもエッジ点を認識しパターンマッチングに対応させることが可能になる。
【０１１４】
ここでは、十字型のアライメントマークからマスク画像作成について述べたが、凸型のアライメントマーク等の多角形アライメントマーク（四角形、五角形、…など）は、ここで述べた十字型のアライメントマークからマスク画像を作成する手法の応用により、マスク画像作成を作成することが可能である。
【０１１５】
次に、図７を用いて本発明の一実施形態に係るフラットパネル表示基板製造装置の画像処理に関するユーザインタフェースについて説明する。
図７は、アライメントマーク操作画面の一例を示す図である。
【０１１６】
アライメントマーク操作画面８００は、図１に示される表示部１９に表示され、操作部１７により、ユーザからコマンドの指示が入力される。アライメントマーク操作画面８００は、被検索画像表示領域８１０と、教示画像表示領域８２０と、マスク画像表示領域８３０と、相関係数設定領域８４０と、教示レシピ設定領域８５０と、検索ボタン８６０とマスク画像作成領域８７０と検索結果表示領域８８０からなる。
【０１１７】
被検索画像表示領域８１０は、カメラ１６により撮像されて、メモリ１５に格納された被検索画像１２１を表示する領域である。
【０１１８】
教示画像表示領域８２０は、被検索画像１２１に関する教示画像を表示する領域であって、被検索画像１２１から切り取った教示画像、または、データ領域１８２に格納された教示情報から教示レシピ名欄８５１と教示レシピ読み込みボタン８５２の操作によって、ユーザが読み込んだ教示画像を表示する。
【０１１９】
マスク画像表示領域８３０は、マスク画像とマスク画像を用いた検索処理の実施切り替え指定ボタンを表示する領域であって、マスク画像作成領域８７０で作成したマスク画像、または、データ領域１８２に格納された教示情報から教示レシピ名８５１と教示レシピ読み込みボタン８５２の操作によって、ユーザが読み込んだマスク画像を表示し、マスク画像を用いた検索を実施するか否かを指定する有効と無効ボタンで指定状態を表示するとともにボタンをマウスでクリックすることで指定切り替えを実施する。
【０１２０】
相関係数設定領域８４０は、被検索画像１２１に存在する教示画像位置を検索する際の相関係数を設定する領域であって、キーボードから数値入力、または、データ領域１８２に格納された教示情報から教示レシピ名８５１と教示レシピ読み込みボタン８５２の操作によって、ユーザが読み込んだ相関係数を表示する。
【０１２１】
教示レシピ設定領域８５０は、データ領域１８２に格納された教示情報の読み込み、または、教示情報の保管操作をおこなうための領域である。教示レシピ設定領域８５０は、教示レシピ名設定領域８５１と、教示レシピ読み込みボタン８５２と、教示レシピ保管ボタン８５３からなる。
【０１２２】
教示レシピ名設定領域８５１は、データ領域１８２に格納された教示情報を読み込み、または、データ領域１８２に保管する教示情報レシピ名を設定する領域であって、キーボードから、教示レシピ名（文字列）を入力する。ここで、教示レシピ名は、教示情報を一意的に識別できる名称である。
【０１２３】
教示レシピ読み込みボタン８５２は、教示レシピ名設定領域８５１で指定したレシピ名の教示情報を、データ領域１８２から読み込むための操作ボタンであって、読み込みをおこなう際にマウスでクリックする。
【０１２４】
教示レシピ保管ボタン８５３は、教示情報を教示レシピ名設定領域８５１で指定した教示レシピ名で保管するための操作ボタンであって、保管する際にマウスでクリックする。
【０１２５】
検索ボタン８６０は、被検索画像領域８１０に表示されている被検索画像１２１と、教示画像領域８２０に表示されているアライメントマーク教示画像と、相関係数設定領域８４０に表示されている相関係数とに基き、マスク画像処理が有効な場合（マスク画像表示領域８３０で、有効を指定したとき）は、マスク画像表示領域８３０に表示されているマスク画像を使用して、被検索画像１２１上のアライメントマークの検索するための操作ボタンボタンであって、検索をおこなう際にマウスでクリックする。
【０１２６】
マスク画像作成領域８７０は、教示画像表示領域８２０に表示されているアライメントマーク教示画像からマスク画像を作成するための操作をおこなう領域であって、教示画像形状指定欄８７１と、自動処理ボタン８７２と、処理経過画像表示領域８７３と、個別処理実行ボタン８７４と、マスク領域補正部８７５からなる。
【０１２７】
教示画像形状指定欄８７１は、教示画像の形状を指定するコンボボックスであって、マウスで▼ボタンをクリックして表示する一覧表から教示画像の形状を指定する。教示画像の形状には、円形と十字形と凸形と四角形などがある。
【０１２８】
自動処理ボタン８７２は、自動処理を指定するときに操作するボタンであって、マウスでクリックする。
【０１２９】
処理経過画像表示領域８７３は、個別処理の結果を表示する領域であって、エッジ画像表示領域と、エッジ範囲表示領域と、エッジ領域表示領域と、マスク画像表示領域があり、自動処理と個別処理で指定した個別処理の各段階毎の結果画像を表示する。
【０１３０】
個別処理実行ボタン８７４は、自動処理を分割して個別処理を段階的に順次実行するボタン群であって、エッジボタンと、範囲ボタンと、領域ボタンと、マスクボタンがあり、それぞれの個別処理を実施する操作のためのボタンであって、マウスでクリックする。
【０１３１】
エッジボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０１〜Ｓ０３、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ１１〜Ｓ１５を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、アライメントマーク教示画像からエッジ点が抽出される。
【０１３２】
範囲ボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０４〜Ｓ０６、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ１６〜Ｓ１８を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、抽出されたエッジ点に囲まれたアライメントマーク教示画像のエッジ範囲が算出される。
【０１３３】
領域ボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０７、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ１９を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、エッジ範囲とポジとネガの関係にあるマスク領域が算出される。
【０１３４】
マスクボタンは、円形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図４のＳ０８、十字形のアライメントマーク教示画像のときの処理の図６のＳ２０を進めるボタンであり、このボタンをクリックすることにより、算出されたマスク領域に基いて、アライメントマーク教示マスク画像が作成される。
【０１３５】
マスク領域補正部８７５は、マスク画像の内側および外側範囲を補正する値の入力値の表示と補正ボタンで構成する領域であって、図３で説明した円形のアライメントマーク教示画像では、内半径欄と外半径欄と補正ボタンで構成する。このとき、内半径欄と外半径欄に円中心からの距離（ピクセル数）をキーボードにより入力し、補正処理を指示する補正ボタンを、マウスでクリックする。補正ボタンをクリックした際は、マスク画像のマスク設定領域を設定したデータに基づく範囲に変更し、マスク画像を再作成する。
【０１３６】
検索結果表示領域８８０は、検索ボタン８６０のクリックによって検索を実施した結果を表示する領域であって、検索結果リスト８８１と、リスト内容を消去するクリアボタン８８２よりなる。
【０１３７】
検索結果リスト８８１には検索を実施した毎に結果を追加表示する。この例では、（１０，２０）のアライメントマーク教示画像に対して、検索タイプが「Ｎｏｒｍａｌ」（マスクを使用しない）ときには、相関率が、６４．３％であったのに対して、検索タイプが「Ｍａｓｋ」（マスクを使用する）ときには、相関率が、８９．２％であることを示している。
【０１３８】
なお、図７に示した例では、アライメントマーク操作画面８００を一つの画面として構成しているが、画面内の機能毎に複数の画面を作成し、同時に表示して、操作することにより、ユーザは同じ機能を使用することができる。
【符号の説明】
【０１３９】
１０…フラットパネル表示基板製造装置
１１…制御部
１２…搭載ヘッド駆動部
１３…搭載ヘッド部
１５…メモリ
１６…カメラ
１７…操作部
１８…ハードディスクドライブ
１８１…プログラム領域
１８２…データ領域
１９…表示部
２０…パネル搬送部
２１…搬送駆動部
３０…画像処理プログラム
３１…アライメントマーク認識モジュール
３２…教示画像作成モジュール
３３…マスク画像作成モジュール
３４…マッチング演算モジュール
３５…位置ずれ量計算モジュール
３６…ＧＵＩ制御モジュール
１２１…被検索画像
１２２…教示情報作成処理
１２３…教示情報
１２５…比較処理
１２６…マッチング判定処理
１２７…結果出力処理
２００…被検索画像内のアライメントマーク位置
２０１…アライメントマーク教示画像
３００…ノイズの影響が無い被検索画像
３０１…検索したアライメントマーク位置
４００…ノイズの影響がある被検索画像
４０１…検索すべきアライメントマーク位置
５００…ノイズの影響がある被検索画像
５０１…検索したアライメントマーク位置
６００…円形のアライメントマーク教示マスク画像
６１１…エッジ点
６１３…仮中心
６１５…仮中心を基準とした１２０度位相差の１点目位置
６１６…仮中心を基準とした１２０度位相差の２点目位置
６１７…仮中心を基準とした１２０度位相差の３点目位置
６１８…円の中心位置
６２０…エッジ範囲外側円周
６２１…エッジ範囲内側円周
６２３…エッジ外側領域
６２４…エッジ内側領域
７００…十字形のアライメントマーク教示画像
７１１…縦エッジ線１
７１２…縦エッジ線２
７１３…縦エッジ線３
７１４…縦エッジ線４
７１５…縦エッジ線５
７１６…縦エッジ線６
７２１…横エッジ線１
７２２…横エッジ線２
７２３…横エッジ線３
７２４…横エッジ線４
７２５…横エッジ線５
７２６…横エッジ線６
７３１…図形エッジ線
７４１…内側マスク範囲
７５１…外側マスク範囲
７６１…外側マスク領域
７６２…内側マスク領域
７７０…十字形のアライメントマーク教示マスク画像
８００…アライメントマーク操作画面
８１０…被検索画像表示領域
８２０…教示画像表示領域
８３０…マスク画像表示領域
８４０…相関係数設定領域
８５０…教示レシピ設定領域
８５１…教示レシピ名欄
８５２…教示レシピ読み込みボタン
８５３…教示レシピ保管ボタン
８６０…検索ボタン
８７０…マスク画像作成領域
８７１…教示画像形状指定欄
８７２…自動処理ボタン
８７３…処理経過画像表示領域
８７４…個別処理実行ボタン
８７５…マスク領域補正部
８８０…検索結果表示領域
８８１…索結果表示リスト
８８２…クリアボタン
９０１…端子クリーニング工程
９０２…ＡＣＦ貼付け工程
９０３…ＴＡＢ仮圧着工程
９０４…本圧着工程
９０５…検査工程
９０６…ＰＣＢ搭載工程
１０００…表示パネル基板
１００１…アライメントマーク
１００２…アライメントマーク
１０１１…電極端子
１０１２…アライメントマーク
１０１３…アライメントマーク
１０２０…ＴＡＢ（Tape…Automated…Bonding）
１０２１…ＴＡＢの電極
１０２２…アライメントマーク
１０２３…アライメントマーク
１０２４…搭載部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークにアライメントマークが付加されており、前記アライメントマークにより、前記ワークの位置合わせをおこなうフラットパネル表示基板製造装置であって、
制御部と、
駆動部と、
カメラと、
メモリとを有し、
前記制御部は、前記カメラにより撮像され前記メモリに格納されたワークの画像から、前記ワークのアライメントマークを認識し、前記ワークの位置ずれ量を算出して、前記位置ずれ量に基づき、前記駆動部によりワークの位置を調節するフラットパネル表示基板製造装置において、
前記アライメントマークを認識する際に、
前記制御部は、前記カメラにより撮像されたワークの画像より、アライメントマーク教示画像を切り出し、
前記アライメントマーク教示画像のアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出し、
前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出し、
前記アライメントマーク教示画像の前記エッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出し、
前記算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成し、
前記アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識することを特徴とするフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項２】
前記ワークは、フラットパネルディスプレイにおける表示パネル基板または前記表示パネル基板に搭載される搭載部材であり、
前記ワークに付加されたアライメントマークは、前記表示パネル基板の搬入位置を調節するためのアライメントマークであるか、または、前記表示パネルと前記搭載部材の各々を位置合わせをおこなうために、それぞれに付加されたアライメントマークであることを特徴とする請求項１記載のフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項３】
前記アライメントマークは、円形であって、
前記エッジ範囲は、円形のアライメントマークの内側にとった円周と、外側にとった円周の範囲内であることを特徴とする請求項１記載のフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項４】
前記アライメントマークは、多角形であって、
前記アライメントマークのエッジ点を抽出するときに、垂直方向の縦エッジ線を算出し、水平方向の横エッジ線を算出し、前記縦エッジ線と前記横エッジ線に囲まれた図形の線をエッジ点とし、
前記エッジ範囲は、前記エッジ点に所定幅分離れて内側にとった内側領域と、前記エッジ点に所定幅分離れて外側にとった外側領域とに囲まれた範囲であることを特徴とする請求項１記載のフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項５】
ワークにアライメントマークが付加されており、前記アライメントマークにより、前記ワークの位置合わせをおこなうフラットパネル表示基板製造装置であって、
制御部と、
駆動部と、
カメラと、
メモリとを有し、
前記制御部は、前記カメラにより撮像され前記メモリに格納されたワークの画像から、前記ワークのアライメントマークを認識し、前記ワークの位置ずれ量を算出して、前記位置ずれ量に基づき、前記駆動部によりワークの位置を調節するフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法において、
前記アライメントマークを認識する際に、
前記制御部は、前記カメラにより撮像されたワークの画像より、アライメントマーク教示画像を切り出すステップと、
前記制御部が、前記アライメントマーク教示画像のアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出するステップと、
前記制御部が、前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出するステップと、
前記制御部が、前記アライメントマーク教示画像の前記エッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出するステップと、
前記制御部が、前記算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成するステップとを実行し、
前記アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識することを特徴とするフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【請求項６】
前記ワークは、フラットパネルディスプレイにおける表示パネル基板または前記表示パネル基板に搭載される搭載部材であり、
前記ワークに付加されたアライメントマークは、前記表示パネル基板の搬入位置を調節するためのアライメントマークであるか、または、前記表示パネルと前記搭載部材の各々を位置合わせをおこなうために、それぞれに付加されたアライメントマークであることを特徴とする請求項５記載のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【請求項７】
前記アライメントマークは、円形であって、
前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出するステップにおいて、前記エッジ範囲を円形のアライメントマークの内側にとった円周と、外側にとった円周の範囲内とすることを特徴とする請求項５記載のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【請求項８】
前記アライメントマークは、多角形であって、
前記アライメントマークのエッジ点を抽出するステップにおいて、垂直方向の縦エッジ線を算出し、水平方向の横エッジ線を算出し、前記縦エッジ線と前記横エッジ線に囲まれた図形の線をエッジ点とし、
前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出するステップにおいて、前記エッジ範囲は、前記エッジ点に所定幅分離れて内側にとった内側領域と、前記エッジ点に所定幅分離れて外側にとった外側領域とに囲まれた範囲であることを特徴とする請求項５記載のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【請求項１】
ワークにアライメントマークが付加されており、前記アライメントマークにより、前記ワークの位置合わせをおこなうフラットパネル表示基板製造装置であって、
制御部と、
駆動部と、
カメラと、
メモリとを有し、
前記制御部は、前記カメラにより撮像され前記メモリに格納されたワークの画像から、前記ワークのアライメントマークを認識し、前記ワークの位置ずれ量を算出して、前記位置ずれ量に基づき、前記駆動部によりワークの位置を調節するフラットパネル表示基板製造装置において、
前記アライメントマークを認識する際に、
前記制御部は、前記カメラにより撮像されたワークの画像より、アライメントマーク教示画像を切り出し、
前記アライメントマーク教示画像のアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出し、
前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出し、
前記アライメントマーク教示画像の前記エッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出し、
前記算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成し、
前記アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識することを特徴とするフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項２】
前記ワークは、フラットパネルディスプレイにおける表示パネル基板または前記表示パネル基板に搭載される搭載部材であり、
前記ワークに付加されたアライメントマークは、前記表示パネル基板の搬入位置を調節するためのアライメントマークであるか、または、前記表示パネルと前記搭載部材の各々を位置合わせをおこなうために、それぞれに付加されたアライメントマークであることを特徴とする請求項１記載のフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項３】
前記アライメントマークは、円形であって、
前記エッジ範囲は、円形のアライメントマークの内側にとった円周と、外側にとった円周の範囲内であることを特徴とする請求項１記載のフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項４】
前記アライメントマークは、多角形であって、
前記アライメントマークのエッジ点を抽出するときに、垂直方向の縦エッジ線を算出し、水平方向の横エッジ線を算出し、前記縦エッジ線と前記横エッジ線に囲まれた図形の線をエッジ点とし、
前記エッジ範囲は、前記エッジ点に所定幅分離れて内側にとった内側領域と、前記エッジ点に所定幅分離れて外側にとった外側領域とに囲まれた範囲であることを特徴とする請求項１記載のフラットパネル表示基板製造装置。
【請求項５】
ワークにアライメントマークが付加されており、前記アライメントマークにより、前記ワークの位置合わせをおこなうフラットパネル表示基板製造装置であって、
制御部と、
駆動部と、
カメラと、
メモリとを有し、
前記制御部は、前記カメラにより撮像され前記メモリに格納されたワークの画像から、前記ワークのアライメントマークを認識し、前記ワークの位置ずれ量を算出して、前記位置ずれ量に基づき、前記駆動部によりワークの位置を調節するフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法において、
前記アライメントマークを認識する際に、
前記制御部は、前記カメラにより撮像されたワークの画像より、アライメントマーク教示画像を切り出すステップと、
前記制御部が、前記アライメントマーク教示画像のアライメントマークを認識して、アライメントマークのエッジ点を抽出するステップと、
前記制御部が、前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出するステップと、
前記制御部が、前記アライメントマーク教示画像の前記エッジ範囲に含まれない領域を、マスク領域として算出するステップと、
前記制御部が、前記算出されたマスク領域により、アライメントマーク教示マスク画像を生成するステップとを実行し、
前記アライメントマーク教示マスク画像によりマスクしたアライメントマークを認識することを特徴とするフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【請求項６】
前記ワークは、フラットパネルディスプレイにおける表示パネル基板または前記表示パネル基板に搭載される搭載部材であり、
前記ワークに付加されたアライメントマークは、前記表示パネル基板の搬入位置を調節するためのアライメントマークであるか、または、前記表示パネルと前記搭載部材の各々を位置合わせをおこなうために、それぞれに付加されたアライメントマークであることを特徴とする請求項５記載のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【請求項７】
前記アライメントマークは、円形であって、
前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出するステップにおいて、前記エッジ範囲を円形のアライメントマークの内側にとった円周と、外側にとった円周の範囲内とすることを特徴とする請求項５記載のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【請求項８】
前記アライメントマークは、多角形であって、
前記アライメントマークのエッジ点を抽出するステップにおいて、垂直方向の縦エッジ線を算出し、水平方向の横エッジ線を算出し、前記縦エッジ線と前記横エッジ線に囲まれた図形の線をエッジ点とし、
前記エッジ点に囲まれたエッジ範囲を算出するステップにおいて、前記エッジ範囲は、前記エッジ点に所定幅分離れて内側にとった内側領域と、前記エッジ点に所定幅分離れて外側にとった外側領域とに囲まれた範囲であることを特徴とする請求項５記載のフラットパネル表示基板製造装置の画像処理方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１３−８４０５０（Ｐ２０１３−８４０５０Ａ）
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２２２００３（Ｐ２０１１−２２２００３）
【出願日】平成２３年１０月６日（２０１１．１０．６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月６日（２０１１．１０．６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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