モジュール式ヒータシステム
ヒートトレース部、このヒートトレース部を囲む断熱ジャケット、およびこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間に配置してある複数のスタンドオフを含むヒートトレース組立体を提供する。このヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に対応する複数の通路が作ってある。これらのスタンドオフは、この断熱ジャケットおよび／またはヒートトレース部の一部であってもよく、およびこれらのスタンドオフは、更にこの断熱ジャケットおよび／またはヒートトレース部と一体に作ってありおよび／またはそれらに別に取付けてあってもよい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願は、２００５年８月９日に提出した、“モジュール式ヒータシステム”という名称の米国特許出願第１１／１９９，８３２号の一部継続出願である、２００６年５月１６日に提出した、“モジュール式ヒータシステム”という名称の米国特許出願第１１／４３５，０７３号の一部継続出願である。上記出願の開示をここに参考までに援用する。
【０００２】
本開示は、一般的にはパイプラインに使用するための電気ヒータに関し、更に詳しくは、例えば、半導体処理システムのようなガスラインおよびポンプラインに使用するための電気ヒータに関する。
【背景技術】
【０００３】
この節の記述は、単に本開示に関する背景情報を提供するだけで、先行技術とはならないかも知れない。
【０００４】
特に供給源、例えば、油井または貯水池からの、油、ガス、および水のような流体の供給は、導管等によってその様な流体を輸送する必要がある。この流体をある温度以上に維持することに加えて、これらの導管内にこれらの流体の自由なまたは制限されない流れを維持することが屡々必要である。現在、これらの導管に、従ってこれらの流体に熱を与えるために、この技術で“ヒートトレース”として知られる、ケーブルまたはテープの形の電気ヒータが普通これらの導管の周りに使われている。その上、これらの導管およびヒートトレースは、周囲環境への熱損失を減らすために時々断熱ジャケットによって囲まれている。
【０００５】
ヒートトレースケーブルは、それらが比較的単純で低コストであるために、その様な流体導管を加熱するための一般的手段である。一般に、ヒートトレースケーブルは、導管の全長に亘って配置し、または導管の周りに巻付け且つバンド、保持ストラップまたはモンティアース外の米国特許第５，２９４，７８０号、バース外の米国特許第５，０８６，８３６号、モンティアース外の米国特許第４，７９１，２７７号、リービンズの米国特許第４，１５２，５７７号、ホーマーの米国特許第４，１２３，８３７号、ジョンソンの米国特許第３，９７１，４１６号、およびビルボロの米国再発行特許第２９，３３２号に示してあるような、何か他の適当なファスナで一定間隔で締結する。ヒートトレースケーブルをパイプまたは導管に締結することは、特に、とりわけ時間が最も重要である、ユーティリティ配管の交換および連続製造工程のために、時間が掛り且つ厄介であることが分っている。
【０００６】
ユーティリティ配管の交換を手早く処理するために、米国特許第６，７９２，２００号は、プレハブ方式のヒートトレース付きパイプを提案し、それは、加熱すべきパイプ、ヒートトレース、およびこのヒートトレースを電源に電気的に接続するためのコネクタを固めて予め一体に作り、古いパイプを交換する必要が起る前に在庫する。このプレハブ方式のパイプは、ユーティリティ配管の交換に関して幾らかの時間を節約するが、それは特注のヒートトレース付きパイプを要し、それによって望ましくない在庫スペース並びに製造および維持コストを増す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願第１１／４３５，０７３号明細書
【特許文献２】米国特許出願第１１／１９９，８３２号明細書
【特許文献３】米国特許第５，２９４，７８０号公報
【特許文献４】米国特許第５，０８６，８３６号公報
【特許文献５】米国特許第４，１５２，５７７号公報
【特許文献６】米国特許第４，１２３，８３７号公報
【特許文献７】米国特許第３，９７１，４１６号公報
【特許文献８】米国再発行特許第２９，３３２号公報
【特許文献９】米国特許第６，７９２，２００号公報
【特許文献１０】米国特許第４，８６１，２７８号公報
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一推奨形で、ヒートトレース部、このヒートトレース部を囲む断熱ジャケット、およびこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間に配置した複数のスタンドオフを含むヒートトレース組立体を提供する。このヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に対応する複数の通路を作る。ここに開示するスタンドオフは、一体に作っても、別に取付けてもよく、およびいろいろな幾何形状を採ってもよい。
【０００９】
別の形では、加熱システムに使うための断熱ジャケットで、この断熱ジャケットの内面からヒータの方へ内方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒータと断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるジャケットを提供する。
【００１０】
更に別の形では、加熱システムに使うためのヒートトレース部で、このヒートトレース部の内面から断熱ジャケットの方へ外方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるヒートトレース部を提供する。
【００１１】
更なる適用可能範囲が以下の説明から明白となるだろう。この説明および特定の例は、例示目的だけを意図し、本開示の範囲を制限することを意図しないことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
本開示は、この詳細な説明および添付の図面からより十分に理解されるようになるだろう。
【図１】加熱した半導体ガスラインおよびポンプラインへのモジュール式ヒートトレース組立体の適用の一つを示す概略図である。
【図２】ガスラインまたはポンプラインの周りに配置した先行技術のヒートトレースケーブルの透視図である。
【図３】先行技術のヒートトレースケーブルの透視破断図である。
【図４】図３の先行技術のヒートトレースケーブルの、線３−３による、断面図である。
【図５】本開示の第１実施例による、導管システムに固定したモジュール式ヒートトレース組立体の透視図である。
【図６】本開示の教示による、図５のモジュール式ヒートトレース組立体の分解透視図である。
【図７】本開示の教示により構成した、図５および６のヒートトレース部の透視図である。
【図８】本開示の教示による、図７のヒートトレース部の端面図である。
【図９】本開示の教示による、図５および６のコネクタの透視図である。
【図１０】本開示の教示による、図９のコネクタの平面図である。
【図１１ａ】本開示の原理によって構成した一実施例によるコネクタの透視図である。
【図１１ｂ】本開示の原理によって構成した別の実施例によるコネクタの透視図である。
【図１１ｃ】本開示の原理によって構成した更に別の実施例によるコネクタの透視図である。
【図１２】本開示の第２実施例により構成したヒートトレース部の透視図である。
【図１３】本開示の教示による、図１２のヒートトレース部の端面図である。
【図１４】本開示の教示によって構成した、バスアダプタの平面図である。
【図１５】本開示の第３実施例により構成したヒートトレース接合部の透視図である。
【図１６】本開示の教示によって構成し、導管システムのエルボ接合部用に設計した、図１５のヒートトレース接合部の代替形の透視図である。
【図１７】本開示の教示によって構成し、導管システムのＴ字形接合部用に設計した、図１５のヒートトレース接合部の代替形の透視図である。
【図１８】本開示の第４実施例による終端構造を備えるヒートトレース部の透視図で、これらのヒートトレース部は外した状態にある。
【図１９】本開示の教示による、図１８のヒートトレース部の側面図である。
【図２０】本開示の教示による、係合状態にある図１８のヒートトレース部の透視図である。
【図２１】本開示の教示による、図２０のヒートトレース部の側面図である。
【図２２】本開示の教示により構成した、図１８ないし２１のヒートトレース部の接続の代替形の側面図である。
【図２３】本開示の教示による、ヒータ構造の別の実施例、Ｚ方向ヒータの透視破断図である。
【図２４】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットの透視図である。
【図２５】本開示の教示により構成した、代替形状のポケットを備える断熱ジャケットの端面図である。
【図２６】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットの別の形の透視図である。
【図２７】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットの更に別の形の透視図である。
【図２８】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットのその上更に別の形の透視図である。
【図２９】本開示の教示により構成した、モジュール式ヒートトレース組立体の別の実施例の透視図である。
【図３０】本開示の教示による、図２９のモジュール式ヒートトレース組立体の別の透視図である。
【図３１】本開示の教示による、図３０のモジュール式ヒートトレース組立体の分解透視図である。
【図３２】本開示の教示により構成したヒートトレース部の透視図である。
【図３３】本開示の教示によるヒートトレース部の分解透視図である。
【図３４】本開示の教示により構成し、フィンを含むヒートトレース部の透視図である。
【図３５】本開示の教示によるフィンを含むヒートトレース部の端面図である。
【図３６】本開示の教示による、断熱ジャケット内に配置した、フィンを含むヒートトレース部の端面図である。
【図３７】本開示の教示により構成した断熱ジャケットの透視図である。
【図３８】本開示の教示による断熱ジャケットの端面図である。
【図３９】本開示の教示により構成した、終端部材と係合するヒートトレース部の透視図である。
【図４０】本開示の教示による終端部材の透視図である。
【図４１】本開示の教示により構成した、終端部材のハウジング本体の前透視図である。
【図４２】本開示の教示によるハウジング本体の後透視図である。
【図４３】本開示の教示により構成した、終端部材の端キャップの前透視図である。
【図４４】本開示の教示によるハウジング本体の後端面図である。
【図４５】本開示の教示により構成した、内部電気接続部を備えるハウジング本体の後端面図である。
【図４６】本開示の教示により構成した、電気接続部の部分を示す、ハウジング本体の前端面図である。
【図４７】本開示の教示により構成したモジュール式ヒートトレース組立体の前端面図である。
【図４８】本開示の教示により構成したコネクタ組立体の前透視図である。
【図４９】本開示の教示によるコネクタ組立体の後透視図である。
【図５０】本開示の教示によるコネクタ組立体の分解透視図である。
【図５１】本開示の教示により構成した管継手ヒータ組立体の部分透視図である。
【図５２】本開示の教示により構成した管継手ヒータ組立体の別の部分透視図である。
【図５３】本開示の教示により構成した、スナップ機構のある外側ケーシングの代替実施例の透視図である。
【図５４】本開示の教示により構成した、シェル部材と係合するカバーの透視図である。
【図５５】本開示の教示による、シェル部材と係合するカバーの側面図である。
【図５６】本開示の教示により構成したヒートトレース組立体の別の形の透視図である。
【図５７】本開示の教示によるヒートトレース組立体の端面図である。
【図５８】本開示の教示による、断熱ジャケットの回転可能なセグメントを示す、ヒートトレース組立体の透視図である。
【図５９ａ】本開示の教示により構成した、スタンドオフの代替形の透視図である。
【図５９ｂ】本開示の教示により構成した、スタンドオフの別の代替形の透視図である。
【図５９ｃ】本開示の教示により構成した、スタンドオフの別の代替形の透視図である。
【図６０】本開示の教示により構成した、キャリヤを利用する、ヒートトレース組立体の別の形の透視図である。
【図６１】本開示の教示によりる、キャリヤを備えるヒートトレース組立体の分解透視図である。
【図６２ａ】本開示の教示により構成した、キャリヤの代替形の端面図である。
【図６２ｂ】本開示の教示により構成した、キャリヤの別の代替形の端面図である。
【図６３】本開示の教示により構成した、端部を剥がしたヒートトレース部の代替形の透視図である。
【図６４】本開示の教示による、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した終端部材の透視図である。
【図６５】本開示の教示による、末端キャップと共に、中の電気接続部を示す、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した終端部材の透視図である。
【図６６】本開示の教示により構成した、端部を剥がしたヒートトレース部の別の代替形の透視図である。
【図６７】本開示の教示による、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した末端シールドの透視図である。
【図６８】本開示の教示による、末端シールドに固定した終端部材の透視図である。
【図６９】本開示の教示による、末端キャップと共に、中の電気接続部を示す、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した終端部材の透視図である。
【図７０】本開示の教示により構成した、複合誘電体カバーを有するヒートトレース部の代替形の端面図である。
【図７１】本開示の教示により構成した、複合誘電体カバーを有するヒートトレース部の別の代替形の端面図である。
【図７２】本開示の教示により構成した、縮減領域を有する代替ヒートトレース部の端面図である。
【図７３】本開示の教示により構成した管継手アダプタの代替形の透視図である。
【図７４】本開示の教示による管継手アダプタおよび隣接する管継手の分解透視図である。
【図７５】本開示の教示により構成した断熱ジャケットの代替形の透視図である。
【図７６】本開示の教示により構成した断熱ジャケットの端面図である。 対応する参照数字は、これらの図面の幾つかの図を通じて対応する部品を指す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下の説明は、性質が単に例示に過ぎず、本開示、用途、または使用法を限定することを意図しない。
【００１４】
本開示によるヒータの構造を次に詳細に説明する。最初に、この明細書全体を通じて使用する“導管”と言う語は、制限なく、流体または粉末若しくはスラリーのようなその他の材料を輸送するためのチューブ、パイプ、およびその他の閉鎖したまたは部分的に閉鎖した部材を含むことを理解すべきである。ここで説明する導管が運ぶ材料には固体、液体、および気体があり、例として、半導体処理装置内を輸送する流体を含んでもよい。その様な半導体処理装置に関する推奨実施例の以下の説明は、性質が単に例示に過ぎず、この開示、その用途、または使用法を限定することを少しも意図しない。従って、本開示の教示は、半導体処理装置に限定されず、本開示の範囲内に留まりながら導管のどんなシステムにも適用することができる。
【００１５】
図１を参照すると、一般的に遠隔ガス配送システムから処理ツールまで伸びる加熱したガスライン１２、およびこの処理ツールから、図示するように多数の構成装置を通って、スクラバまで伸びる加熱したポンプライン１４を含む、半導体処理システム１０が示してある。動作中、ガスライン１２とポンプライン１４の両方を特定の処理要件に従って加熱しなければならず、それは典型的には図２に示すようにヒートトレースケーブル１６で達成している。これらのヒートトレースケーブル１６は、図示するようにガスライン１２またはポンプライン１４の全長に亘って配置しまたは巻付け、およびガラステープ１８またはその他の固定手段を使ってこのガスライン１２またはポンプライン１４に固定する。その上、外部環境への熱損失を減らすために断熱材２０を屡々ヒートトレースケーブル１６の周りに配置する。この断熱材２０は、典型的にヒートトレースケーブル１６の周りに巻付け、別のテープまたはタイ片によってこのガスライン１２またはポンプライン１４の周りの所定の位置に固定する。
【００１６】
図３および４を参照すると、ヒートトレースケーブル１６の構造および材料が詳細に図示且つ説明してある。このヒートトレースケーブル１６は、典型的に発熱体として作用する半導性高分子材料２４によって囲まれた、１対のバス導体２２を含む。誘電または絶縁材料２６がこの半導性高分子材料２４を囲み、それは、任意に接地面のような付加的機能性のために図示するように金属編組材料２８によって囲まれていてもよい。更に、外側ジャケット３０がこの組立体全体を保護するためにこの金属編組材料２８を囲み、この外側ジャケット３０は、典型的に熱可塑性材料のような絶縁材料である。
【００１７】
他のヒータシステムより比較的低コストであるが、ヒートトレースケーブル１６は、現場で適切な長さに切断して適当なコネクタまたは端子に接合しなければ成らず、それは屡々時間が掛り、厄介である。その上、ヒートトレースケーブル１６は、被覆面積が限られ且つ導管に固定する手段が比較的粗雑であるために、導管の全長に亘って比較的均一な加熱分布を得ることに他の加熱システムほど有能でない。ヒートトレースケーブル１６は、それらが剛く且つ導管の形状に成るのが困難であるために、導管と不確実な接触しかしない。
【実施例１】
【００１８】
次に図５ないし８を参照すると、本開示の第１実施例による半導体処理システム１０に使うようになっているモジュール式ヒートトレース組立体が示してあり且つ全体を参照数字５０で指してある。このモジュール式ヒートトレース組立体５０は、この半導体処理システム１０の導管１３に接触し且つ加熱するためのヒートトレース部５２を含む。このモジュール式ヒートトレース組立体５０は、隣接するヒートトレース部５２を固定するためのおよびこのモジュール式ヒートトレース組立体５０を以下に詳細に説明するように半導体処理システム１０の部品に固定するためのコネクタ５４も含む。
【００１９】
これらのヒートトレース部５２は、図示するように細長い形状に作ってあり且つ湾曲部５６およびこの湾曲部５６の縦方向に伸びる１対のロック縁５８を含むのが好ましい。この湾曲部５６は、導管１３の周りに配置するための開いたチャンネル６２を形成する内面６０を有する。この内面６０は、このヒートトレース部５２を導管１３に固定できるようにするために導管１３の外面と相補であるのが好ましい。この湾曲部５６は、ヒートトレース部５２から導管１３へのより均一な熱伝達をもたらし且つロック縁５８による導管１３周りへのヒートトレース部５２の自動ロックを可能にするために、導管１３の全外面の少なくとも半分を囲むのが好ましい。
【００２０】
図示するように、ロック縁５８は、湾曲部５６の縦軸を横切る方向に離間していて且つこれらのヒートトレース部５２の導管１３への取付けを容易にするように構成してある。このヒートトレース材料が柔軟であるので、ヒートトレース部５２のチャンネル６２を導管１３の周りに配置するとき、ロック縁５８は、外方にそらすことができ且つ次にヒートトレース部５２を導管１３に固定するために放したとき導管１３に片寄せられる。
【００２１】
更に図示するように、１対の導体６４がヒートトレース部５２内に、好ましくは図示するようにロック縁５８に沿って設けてあり、これらの導体６４は、対向する端６６および６８から外方に伸びる。これらの導体６４は、このヒートトレース部５２に沿って熱を提供するために電源（図示せず）に接続するように構成してある。これらの導体６４は、以下に詳しく説明するように、隣接するヒートトレース部５２にまたは隣接するコネクタ５４に接続するようにも成っている。図５ないし８には示さないが、このヒートトレース部５２は、半導性高分子材料、この半導性高分子材料を囲む誘電または絶縁材料を含み、並びに先に説明したように接地面および外側ジャケットのための任意の材料も含んでよいことを理解すべきである。これらの別の材料は、明確さのためにヒートトレース部５２には図示しない。
【００２２】
これらのヒートトレース部５２は、種々のサイズ、または例えば、導管１３の外形に対応するサイズに前もって形成してあるのが好ましい。これらのヒートトレース部５２は、導管１３の特別な部分に所望の長さに従って、適切な長さに切断することも可能である。これらのヒートトレース部５２は、図示する半導体処理システム１０のような導管システム内の修理および交換を容易にするために標準サイズおよび長さで用意してあるのが好ましい。従って、本開示の教示によるヒータシステムのモジュール式構造は、導管システムに容易に適合する比較的低コストのヒータシステムを容易にする。
【００２３】
次に図５および６に関連して図９ないし１１ｃを参照すると、ヒートトレース部５２をこの導管システム１０の管継手７０の間でまたは横切って隣接するヒートトレース部５２に固定するために、コネクタ５４がこのヒートトレース部５２の対向する端６６または６８の少なくとも一つに近接して設けてある。このコネクタ５４は、設置および除去を容易にするためにこの管継手の形状に作ってあるのが好ましい。その上、この管継手に近接するコネクタ５４を覆うために、やはりこの管継手の形状に作ってある嵌め合いカバー７２が設けてある。
【００２４】
このヒートトレース部５２およびコネクタ５４は、このヒートトレース部５２とコネクタ５４の間の迅速な係合・離脱を可能にするために嵌め合い機構を形成する。この実施例では、コネクタ５４がピンの形をした、または導体６４を受けるために１対の対応する溝５８を備え、それらの導体は、以下に詳しく説明するように、ヒートトレース型ヒータでは典型的にピン、または剥取りの結果露出した線の形をしている。
【００２５】
このコネクタ５４は、本開示の教示による電気接続および熱伝達のための複数の形の一つを含んでもよい。図１１ａに示す第１形態では、コネクタ５４が絶縁材料を含み且つ溝５８内に配置した電気コネクタ素子７４を含む。これらの電気コネクタ素子７４は、一般的にソケットの形をしていて、図示するように導体６４を受けるようになっている。これらの電気コネクタ素子７４は、締り嵌めのためのサイズでもよく、またはその代りに、必要に応じて導体６４にかしめてもよい。その代りに、これらの電気コネクタ素子７４が、絶縁材排除または刺通コネクタとしても知られ、それらの周囲材料、例えば、絶縁材料、半導性高分子材料金属組編材料を通して導体６４に接触するために柔軟なカバーまたはハウジングによって動かされる電気接点を含む、スクイーズコネクタを含んでもよい。例示スクイーズコネクタが米国特許第４，８６１，２７８号に示してあり、多種多様なその様なコネクタが多数の製造業者から市販されていて、それで簡潔さのためにここには図示しない。従って、本開示の範囲内に留まりながら多種多様な電気コネクタを使ってもよいことを理解すべきである。本開示の範囲内に留まりながら多種多様な電気接続アプローチを使って、コネクタ５４を横切る電気的連続性をもたらすために、破線７５によって示すように、コネクタ５４を横切る電気コネクタ素子７４間の電気接続も使ってよいことも理解すべきである。
【００２６】
図１１ｂに示すような第２形態では、コネクタ５４が上に示したような電気コネクタ素子７４を備える絶縁材料を含み、このコネクタ５４の本体内に配置した、前もって形成したヒートトレース部７６も含む。それでこのヒートトレース部７６は、この導管システム１０の管継手７０に必要な熱を与え、且つ上に説明したように本開示の教示に従って構成してある。
【００２７】
図１１ｃに示すような第３形態では、コネクタ５４が、前もって形成したヒートトレース部７６を備えるが電気コネクタ素子７４は備えない絶縁材料を含む。この形態で、導体６４は、図示するようにコネクタ５４から伸び、および電源（図示せず）に電気接続するために後に別のコネクタまたは端子に取付けてある。その代りに、このコネクタ５４は、ここに示す形態の各々で、このヒータシステムの温度制御を改善するために、個別温度センサ（図示せず）、またはＴＣＲ（抵抗温度係数）材料を使う固有の温度検知性能も含んでよい。
【００２８】
更に他の形態では、シリコンまたは非シリコンベースのペースト、またはとりわけシート型熱ゲルが、熱伝達を改善するために導管１３に隣接する一つ以上の露出面に、コネクタ５４の片側に配置してある。従って、本開示の範囲内に留まりながら熱伝達を改善または制御するために、多種多様な熱インタフェース材料をコネクタ５４とヒートトレース部５２の両方に使ってもよいことを理解すべきである。
【００２９】
ヒートトレース部５２をコネクタ５４に接続するためにピンと溝の機構を使うが、コネクタ５４がこのヒートトレース部５２を隣接するヒートトレース部５２に固定するようにおよびこの接続部を横切る電気的連続性をもたらすように機能する限り、同じ物を接続するための他の機構を使うことができることに注目すべきである。例えば、その様な機構は、嵌め合い構造を整列および／または固定するために、例として、ねじ、釘、スナップ、クリップ等を含んでもよい。その上、本開示の範囲内に留まりながら、電磁機能のような、機械的素子以外の機能を使ってもよい。
【００３０】
このヒートトレース部５２を第１実施例では湾曲部５６を有するように説明したが、このヒートトレース部５２は、ここに示したような形状および構造に限定されないことにも注目すべきである。ヒートトレース部５２は、それを導管１３に適正に固定して、この導管１３に熱を与えられる限り、どんな形状でもよい。例えば、このヒートトレース部５２は、矩形導管を受けるために角胴形でもよい。ヒートトレース部５２は、導管１３を加熱する目的を達成するためにここに図示し且つ説明するように導管１３に直接接触しているのが好ましいが、そうである必要はない。更に、ここに図示するような単品ではなく、複数品のヒートトレース部５２を導管１３の周囲に使ってもよい。その様な変形は、本開示の教示および範囲内にあると理解すべきである。
【実施例２】
【００３１】
図１２および１３を参照すると、本開示の第２実施例によるヒートトレース部が全体を参照数字１００で示してある。このヒートトレース部１００は、大きいサイズの導管１３を容易にし且つこの導管１３およびその中の流体を加熱するために必要な電力を供給するために複数の導体１１０を含む。これらの導体１１０は、対向する端１１２および１１４から電源（図示せず）へおよび／または隣接するヒートトレース部１００へ若しくはコネクタ５４へ電気接続するためにこのヒートトレース部１００の縦軸に沿って外方に伸びる。
【００３２】
この実施例では、中に導管１３を受けるための管状チャンネル１０６を形成する七つのパネル１０２が示してある。二つのパネル１０２は、図示するように縦スリット１０８を形成するために、それらの縦辺１０４の一つに沿って接合してない。この縦スリット１０８は、このヒートトレース部１００の導管１３への取付けを容易にする。このヒートトレース部１００は、柔軟な材料で出来ているので、この縦スリット１０８を形成する二つのパネル１０２を外方に撓めることによって、先に説明したヒートトレース部５２同様に、このヒートトレース部１００を導管１３の上に固定できる。
【００３３】
先に述べたように、この実施例のヒートトレース部１００は、特に大サイズの導管に適する。それでパネル１０２の枚数は、加熱すべき導管１３のサイズに依存し、図１２および１３の実施例に示すような七つに限定されない。本開示の範囲内に留まりながら、導管１３のサイズおよび所要熱量に従って幾つの導体１１０および対応するパネル１０２を使ってもよい。
【００３４】
図１４を参照すると、図１２および１３の多重導体実施例を先に示したような二導体コネクタ５４に適合させるように機能するバスアダプタが示してあり、全体を参照数字１５０で指してある。図示するように、このバスアダプタ１５０は、ヒートトレース部１００とコネクタ５４の間に配置したリング形であるのが好ましい。このバスアダプタ１５０は、絶縁性材料で、ヒートトレース部１００の複数の導体１１０を受けるための、好ましくはソケットの形の、複数の電気コネクタ素子１５２（破線で示す）を片側に含むのが好ましい。反対側に、このバスアダプタ１５０は、コネクタ５４の電気コネクタ素子７４（破線で示す）と係合するためにこのバスアダプタ１５０の本体から伸びる１対の導体１５４を含む。このバスアダプタ１５０の内部で、電気コネクタ素子７４は、電気的連続性をもたらすために、導体１５４の各々にバス接続してある。
【実施例３】
【００３５】
次に図１５ないし１７を参照すると、本開示の第３実施例に従って、導管システム１０の交差点または継手に使うためのヒートトレース接合部が提供してあり且つ全体を参照数字２００で指してある。図示するように、このヒートトレース接合部２００は、ベース部２０２から伸びる複数のアーム２０４を有する十字形状を形成するのが好ましい。各アーム２０４は、隣接する電源（図示せず）または隣接するヒートトレース部若しくは接合部に接続するための１対の導体２０８をを備える係合端２０６を有する。これらの係合端２０６に二つの導体２０８しか示さないが、本開示の範囲内に留まりながら、複数の導体、即ち三つ以上を使ってもよいことを理解すべきである。その上、これらの導体２０８の経路は、特定の所要熱量に従って変ってもよく、およびここに示す以外の経路、例えば、図示するように四つ全てではなく一つまたは二つのアーム２０４を下る経路を本開示の教示および範囲内に入ると解釈すべきことを理解すべきである。
【００３６】
このヒートトレース接合部２００は、この導管システム１０の接合部に適正に取付けられるように適当な形状に作ることができる。例えば、このヒートトレース接合部２００を導管システム１０（図１に示す）のエルボ接合部に使用するために図１６に示すようにエルボ形２１０に作ることができる。その代りに、このヒートトレース接合部２００を導管システム１０のＴ字形接合部（図示せず）に使うために図１７に示すようにＴ字形２１２に作ることができる。更に示すように、これらの導体２０８は、これらの接合部を隣接するヒートトレース部にまたはコネクタに接続するために必要性に依って、図１６および１７に示すように多種多様な構成を含んでもよい。
【実施例４】
【００３７】
図１８ないし２１を参照すると、本開示の第４実施例によるモジュール式ヒートトレースコネクタ組立体が全体を数字３００で指してある。このモジュール式ヒートトレースコネクタ組立体３００は、第１ヒートトレース部３０２、第１終端構造３０４、第２ヒートトレース部３０６、および第２終端構造３０８を含む。この第１ヒートトレース部３０２および第２ヒートトレース部３０６は、図１８ないし２１に比較的平坦な形状を形成するように示してあるが、それぞれのヒートトレース部３０２および３０６は、先に示した円形または円筒形のようなどんな幾何形状でもよいことを理解すべきである。従って、この平坦形状は、本開示の範囲を限定すると解釈すべきでない。
【００３８】
この第１ヒートトレース部３０２および第２ヒートトレース部３０６は、各々当接端３１０および３１２並びに末端３１４および３１６を有する。これらの終端構造３０４および３０８は、当接端３１０および３１２に設けてあり且つ一緒に機械的および電気的に結合するための嵌め合い機構を有する。更に具体的には、この第１終端構造３０４は、上係合部３１８および下係合部３２０を有する。この第２終端構造３０８も対応する上係合部３２２および対応する下係合部３２４を有する。この第１終端構造３０４の上係合部３１８は、ピン形状を形成し、一方第２終端構造３０８の上係合部３２２は、これらの上係合部３１８および３２２間の係合を容易にするためにソケット形状を形成する。一推奨形で、第１終端構造３０４の上係合部３１８は、１対のピン３２６を含む。この第２終端構造３０８の上係合部３２２は、中にこれらのピン３２６を受けるために対応する対のソケット３３０を含み、それで機械的および電気的結合をもたらす。これらの終端構造３０４および３０８は、ニッケル材料性であるのが好ましいが、本開示の範囲内に留まりながら、十分な電気的連続性をもたらす銅のようなその他の材料も使ってよい。
【００３９】
更に示すように、この第１終端構造３０４の下係合部３２０は、１対の延長部３３２を含み、それからこの上係合部３１８のピン３２６が上方に伸びる。第２終端構造３０８の下係合部３２４も１対の延長部３３４を含み、それから上係合部３２２の係合アーム３２８が伸びる。これらの延長部３３２および３３４は、各々電気的連続性のためにその中にヒートトレース３０２および３０６の導体３３６を受ける。
【００４０】
図面には示さないが、第１ヒートトレース部３０２および第２ヒートトレース部３０６の末端３１４および３１６は、任意に追加のヒートトレース部にまたはコネクタに接続するための終端構造３０４または３０８を備えてもよい。その代りに、これらの末端３１４および３１６が電源（図示せず）に接続するための適当な係合手段（図面には示さず）を備えてもよい。
【００４１】
図２２を参照すると、ヒートトーレス部３４０および３４２を接続するための代替コネクタが示してあり、全体を参照数字３４４で指してある。このコネクタ３４４は、図示するように導体３４６を接続するために全体として“Ｕ字形”形状を成す。本開示の一つの形で受け孔（図示せず）を形成するコネクタ３４４と係合するために、これらの柔軟な導体３４６を図示するように上方に曲げる。このコネクタ３４４は、この技術で知られる手法に従って導体３４６に圧入、接着、または溶接してもよい。従って、露出導体３４６を有するヒートトレース部３４０および３４２の端が先に図示した実施例より互いに近く、それでこれらのヒートトレース部に沿う熱伝達の均一性を改善する。
【００４２】
このモジュール式ヒートトレースコネクタ組立体３００は、高温用途でピンおよびソケットの熱疲労を減らすために、この様にこのピンおよびソケット接続領域をこれらのヒートトレース３０２および３０６の高温面から離して配置するように構成してある。
【００４３】
上に説明したモジュール式ヒータ組立体５０を従来のヒートトレースケーブルに類似する構造を有するように図示し且つ詳述したが、本開示の範囲内に留まりながら、ヒートトレース構造以外の他の種類のヒータ構造も使ってよいことを理解すべきである。とりわけ、モジュール式でモジュール式コネクタおよびここで説明したその他の実施例を使って導管システムで容易に交換および修理できる、高分子ヒータまたは多層フィルムヒータのような種類のヒータを本開示の範囲内にあると解釈すべきである。
【００４４】
図２３を参照すると、本開示の教示によるＺ方向ヒータの実施例が示してあり、全体を参照数字３５０で指してある。このＺ方向ヒータ３５０は、１対の導体３５２を含み、その各々が箔素子３５４に電気的に接続してある。導電性高分子材料３５６が図示するように箔素子３５４の間に配置してあり、且つ絶縁材料３５８がこの組立体全体を囲む。このＺ方向ヒータ３５０は、先に説明したようなモジュール構造に適合し、およびこれらの箔素子３５４の追加で、このヒータが供給する熱の質を特定の用途の必要条件に合わせられる。このＺ方向ヒータ３５０の形状および構造は、例示に過ぎず、ここの説明したような、他の形状および追加の素子、例えば、管状形状、接地面素子も、本開示の範囲内に留まりながら使用してもよいことを理解すべきである。更に、素子３５４は、箔材料に限らず、代替形では格子またはスクリーン材料を含む。
【００４５】
このＺ方向ヒータ３５０は、複数の導体３５２および対応する箔素子３５４を備えるシート料の形に作るのが好ましい。それで、どんなサイズのＺ方向ヒータ３５０も特定の用途の必要条件に従ってこのシートから容易に切取りまたは切出すことができる。例えば、導体３５２および箔素子３５４の複数部分、例えば、各２セット以上を、導体３５２および箔素子３５４の長さを所望の寸法に切断することに加えて、このシートの幅の全域から切出すことができる。
【００４６】
次に図２４を参照すると、ヒートトレース付き導管、または加熱した導管（図示せず）用の断熱ジャケットが全体を参照数字４００で指してある。この断熱ジャケット４００は、管状断熱本体４０２を形成するのが好ましく、それは外壁４０３、および加熱した導管を受けるためのチャンネル４０６を形成する内壁４０４を有し、その導管は先に説明したようなヒートトレース付き導管でもよい。この内壁４０４は、先に説明したように、導管の全長に亘って配置する、従来のヒートトレースケーブルを収容するためのポケット４０８を有する。その代りに、このポケットは、ここに図示し且つ説明したようなヒートトレース部５２を収容するために、図２５に示すアーチ形ポケット４１０のような、多数の形状に具体化してもよい。従って、このポケット４０８の形状は、どんな形であっても、このヒートトレース部の形状を反映または適合するように設計する。その上、このポケット４０８を有する断熱ジャケット４００は、導管の長さに沿って滑らせるのではなく、変形してこの導管の上に置くことができる。更に、図示する形状の断熱ジャケット４００は、環境への熱損失を制御する目的で一つ以上のヒートトレース部をこの導管に対して正確に配置するために役立つことができる。
【００４７】
図２６を参照すると、加熱した導管用の別の形の断熱ジャケットが全体を参照数字４２０で指してある。この断熱ジャケット４２０は、外壁４２３および内壁４２５を形成する管状断熱本体４２２を形成するのが好ましい。この管状断熱本体４２２は、図示するように外壁４２３と内壁４２５の間を縦に伸びる複数の空気室４２４でできている。それでこれらの空気室４２４は、これらのヒートトレース部に沿う熱放散の均一性を改善するためおよびこの断熱ジャケット４２０を通る熱損失を減らすための領域を提供する。
【００４８】
図２７を参照すると、加熱した導管用で空気室を有する断熱ジャケットの別の形が全体を参照数字４３０で指してある。この断熱ジャケット４３０は、外壁４３３および内壁４３５を有する管状断熱本体４３２を形成するのが好ましい。図示するように、この管状断熱本体４３２は、この内壁４３５に作り且つこの管状断熱本体４３２の縦方向に沿って幾らか不規則な構成に配置した複数の空気ポケット４３４を有する。従って、これらの空気ポケット４３４は、この断熱ジャケット４３０を通る熱損失を低減する。
【００４９】
図２８を参照すると、加熱した導管用断熱ジャケットの更に別の形が全体を参照数字４４０で指してある。この断熱ジャケット４４０は、管状断熱本体４４２を形成し、それは、対向する縦縁４４６および４４８が形成する縦スリット４４４を有する。これらの対向する縦縁４４６および４４８は、円周方向に離間し且つ加熱した導管周りに配置可能にするために適正に離れている。更に具体的には、この管状断熱本体４４２は、縦縁４４６および４４８が外方に撓んで、次にこの加熱した導管に片寄せられるように、柔軟な材料、例えば、多くの中でも、シリコンゴムシートまたは発泡材、ネオプレン、ポリイミド発泡材またはテープ製である。
【００５０】
更に図示するように、縦縁の一つ４４６は、この断熱ジャケット４４０を加熱した導管の周りに置いた後に縦縁の他の一つ４４６を適正に係合させるためにフラップ４５２を備える。縦スリット４４４を閉じるためにフラップ４５２を使うことは、外部環境への熱損失を減らすのに役立つ。このフラップ４５２も断熱のために断熱材料製であるのが好ましい。このフラップ４５２は、このフラップ４５２を縦縁の他の一つ４４８に且つこの管状断熱本体４４２の外面に沿って固定するように、他の固定手法の中でも、接着テープ製であるか、若しくは接着剤コーティングを備えてもよく、またはその代りにベルクロ（登録商標）であるか若しくは機械的スナップを含むフラップでもよい。
【００５１】
ここで説明した断熱ジャケット実施例の各々で、これらのジャケットは押出しであるのが好ましい。その上、これらの形態のどれも、例えば、空気室、ヒートトレース部の形状寸法に合わせた大きさのポケット、縦スリット、およびフラップは、本開示の範囲内に留まりながら、単独に設けても、または互いに組合わせて設けてもよい。更に、多重ポケットは、本開示の精神および範囲から逸脱せずに、多重ヒートトレース部５２を容易にするために設けてもよい。
【００５２】
次に図２９ないし３１を参照すると、別の形のモジュール式ヒータシステムが示してあり、且つ全体を参照数字５００で指してある。一般的に、このモジュール式ヒータシステム５００は、ヒートトレース組立体５０２およびコネクタ組立体５０４を含む。明確さのために一つのヒートトレース組立体５０２と一つのコネクタ組立体５０４しか示さないが、このモジュール式ヒータシステム５００は、最終用途に依って、ヒートトレース組立体５０２とコネクタ組立体５０４のどちらかまたは両方を複数含むことができることを理解すべきである。
【００５３】
このヒートトレース組立体５０２は、例えば、先に説明し且つ図１および２に示したような半導体処理システム１０の導管１３との接触および加熱用に適合させてある。このモジュール式ヒータシステム５００は、多数の最終用途に適用でき、従ってここに図示し且つ説明する半導体処理システム１０は例示に過ぎないことを理解すべきである。従って、これらの最終用途を以後このモジュール式ヒータシステム５００の“目標システム”と呼ぶ。このコネクタ組立体５０４も、例えば、この目標システムの継手、コネクタ、またはその他の部品との接触および加熱用に適合させてある。その上、このコネクタ組立体５０４は、隣接するヒートトレース組立体５０２を互いに固定しおよびこの目標システムの継手、コネクタ、またはその他の部品を収容する。このコネクタ組立体も、以下に詳しく説明するように、数ある機能の中で、この目標システムの部品への加熱と外部環境への熱損失の遮断の両方をもたらす。
（ヒートトレース組立体５０２）
【００５４】
図３２および３３に示すように、このヒートトレース組立体５０２は、ヒートトレース部５１０、断熱ジャケット５１２、および終端部材５１４を含む。一般的に、この断熱ジャケット５１２は、ヒートトレース部５１０の周りに配置するのに適合させてあり、およびこの終端部材５１４は、ヒートトレース部５１０と断熱ジャケット５１２の両方と係合するのに適合させてある。この終端部材５１４も、先に示したようにヒートトレース部５１０と隣接するコネクタ組立体５０４の間、または隣接するヒートトレース部５１０と電源（図示せず）の間の電気的接続を提供する。従って、リード線５１６がこの終端部材５１４を出て隣接する電気接続を創り出す。
【００５５】
図３４ないし３６を参照すると、このヒートトレース部５１０が示してあり、次に詳しく説明する。図示するように、このヒートトレース部５１０は、細長い形状をなし、湾曲部５２０およびこのヒートトレース部５１０に沿って縦に伸びる１対の対向するロック縁５２２を含む。この湾曲部５２０は、例えば、先に図５および６に示し且つ説明したように導管１３の周りに配置するための開いたチャンネル５２６を囲む内面５２４を形成する。この内面５２４は、ヒートトレース部５１０と導管１３の間の熱伝達および接続を改善するために導管１３の外面と相補であるのが好ましい。この湾曲部５２０は、より均一な熱伝達をもたらし且つロック縁５２２による導管１３周りのヒートトレース部５１０の自動ロックを可能にするために、導管１３の全外面の少なくとも半分を囲むのが好ましい。これらのロック縁５２２は、先に図示し且つ説明したロック縁５８（図７および８）のように機能し、従って以下に更に詳しくは説明しない。その上、このヒートトレース部５１０も図示するように導体５２８を含み、それは先に図示し且つ説明した導体６４（図７および８）のように機能するので、同様に以下に更に詳しくは説明しない。
【００５６】
先に説明したヒートトレース部５２（図７および８）同様、このヒートトレース部５１０は、種々のサイズ、または例えば、導管１３の外周に対応するサイズに前もって形成してあるのが好ましい。これらのヒートトレース部５１０は、押出しであり且つ導管１３の特別な部分のための所望の長さに従って、適切な長さに切断することも可能であるのが好ましい。これらのヒートトレース部５１０は、先に図示し且つ説明した半導体処理システム１０のような導管システム内の修理および交換を容易にするために標準サイズおよび長さで用意してあるのが好ましい。従って、本開示の教示によるヒータシステムのモジュール式構造は、例えば、導管システムに容易に適合する比較的低コストのヒータシステムを容易にする。
【００５７】
更に図示するように、このヒートトレース部５１０は、誘電体カバー５３２が囲む半導性高分子コア５３０を含むのが好ましい。図示しないが、このヒートトレース部５１０は、先に説明したように、他の機能性材料の中で、接地面および外部カバー用の任意の材料も含んでよい。その上、この誘電体カバー５３２は、半導性高分子コア５３０と同時押出しであるのが好ましいが、この誘電体カバー５３２は、その代りに別に作って後組立て工程での半導性高分子コア５３０の周りへの配置に適合させてもよい。
【００５８】
このヒートトレース部５１０は、誘電体カバー５３２の外面５４２およびロック縁５２２から、好ましくは図示するように垂直方向に、断熱ジャケット５１２の内面５１３の方へ伸びる、好ましくは図示するようにフィン５４０の形の、複数の断熱スタンドオフを形成するのが都合がよい。これらのフィン５４０は、根元部５４４から先端部５４６へ図示するように先細りになり且つ複数のフィン５４０と断熱ジャケット５１２の間に通路５４８を形成するのが好ましい。このヒートトレース部５１０を図３６に示すように断熱ジャケット５１２内に組立てると、これらの通路５４８は、動作中のヒートトレース部５１０から外部環境への熱損失が更に減るように、図示するように空気の形で、断熱する。その上、この改善した断熱効果は、ユーザがこのモジュール式ヒータシステム５００の作動中にこのヒートトレース組立体５０２に触れるように、この断熱ジャケット５１２の外部を“触っても安全な”温度にする。
【００５９】
フィン５４０の図示する先細り形状と異なる幾何学的構成と共に、任意の数のフィン５４０を、本開示の範囲内に留まりながら、使ってもよいことを理解すべきである。例えば、図３５に示すように、この断熱ジャケット５１２の内面５１３に対して拭取り作用を与えて、隣接する通路５４８からの封止を改善した通路５４８を生じるために、曲ったフィン５４０’（破線で示す）を使ってもよい。更に、フィン５４０ではなく、またはそれに加えて、断面形状が“Ｓ字形”または“Ｚ字形”のような他の幾何学的構成も、本開示の範囲内に留まりながら、使ってよい。これらの通路５４８は、ここに図示し且つ説明したように空気を使うのではなく、その代りに、本開示の範囲内に留まりながら、他の形の材料の中で気泡のような断熱材、またはポリイミド発泡材で埋めてもよい。
【００６０】
次に図３７および３８を参照すると、断熱ジャケット５１２が示してあり、それで次に詳しく説明する。図示するように、この断熱ジャケット５１２は、二つの部分５５０および５５２を含むのが好ましく、それらは、同じ部分を組立てた断熱ジャケット５１２に使用できるように対称形であるのが好ましく、それで、これらの部分５５０および５５２は、互換性がある。各部分５５０および５５２は、先に説明したようにヒートトレース部５１０に適合している形状、即ち、図示する実施例では円形を成す。これらの部分５５０および５５２は、更に外壁５５６と内壁５５８の間を縦に伸び、支持部５５９によって分割された、室５５４を含む。これらの室５５４は、動作中のヒートトレース部５１０から外部環境への熱損失が更に減るように、図示するように空気の形で、断熱する。この断熱ジャケット５１２も押出しであり且つ本開示の一つの形でポリカーボネートのような半剛性高分子材料を含むのが好ましい。その代りに、この断熱ジャケット５１２は、図２４ないし２８に示す代替断熱ジャケットに関して上に示したもののような他の材料を含んでもよい。
【００６１】
更に示すように、この断熱ジャケット５１２は、この断熱ジャケット５１２をヒートトレース部５１０に容易に着脱できるようにヒンジ・スナップ機構を含む。更に具体的には、各部分５５０および５５２が、それぞれ、この断熱ジャケット５１２の対向するヒンジ５７０および５７２に沿って縦に伸びる、対向する湾曲リップ５６２および５６４並びに隣接する対向ロックタブ５６６および５６８を含む。これらのロックタブの一つ５６６が最初に隣接する湾曲リップ５６２内に係合し、次に対向するロックタブ５６８が隣接する湾曲リップ５６４に係合してパチンと嵌るまでこれら二つの部分５５０および５５２をこの断熱ジャケット５１２の縦軸Ｘの周りに回転する。それで、追加の部品または機材を必要とすることなく、この断熱ジャケット５１２をヒートトレース部５１０に容易に設置する。この断熱ジャケット５１２除去するためには、ロックタブ５６８が湾曲リップ５６４から外れるように、これら二つの部分５５０および５５２を互いの方にこの縦軸Ｘの周りに単純に回転する。従って、この断熱ジャケット５１２は、このヒンジ・スナップ機構を作動させるために、上に説明した半剛性ポリカーボネートのような、弾力があって比較的柔軟な材料であるのが好ましい。
【００６２】
代替形で、これら二つの５５０および５５２の各々は、図示するようにヒンジ５７０および５７２に隣接する凹んだ外面５８０を含むのが好ましい。これらの凹んだ外面５８０は、テープ片５８２（明確さのためにテープ片５８２の一つだけを示す）を収容し、それらは、付加的断熱をもたらし且つこれら二つの部分５５０および５５２を更に一緒に固定する。このテープ５８２は、非伝導性で且つ例として、ポリエステルまたはポリイミドのような材料であるのが好ましい。このテープの図および説明は例示に過ぎず、とりわけベルクロ（登録商標）のような他の固着部材も本開示の範囲内に留まりながら使ってよいことを理解すべきである。
【００６３】
図３７を参照すると、これらの部分の少なくとも一つ、図示するように部分５５２が更に端部５８６および５８８に隣接して作ったスロット５８４を含む。これらのスロット５８４は、図３２および３３に示した終端部材５１４の特徴に適合し、次にそれらを詳しく説明する。
【００６４】
図３９および４０を参照すると、この終端部材５１４がヒートトレース部５１０（および図示しない断熱ジャケットも）への接続に適合させてあり、およびリード線５１６用の出口を提供し且つこのリード線５１６用の歪み逃しとしても作用する突出部５９０を含む。それでこの突出部５９０は、先に図示し且つ説明したように断熱ジャケット５１２のスロット５８４内に配置するように構成してある。更に示すように、この突出部５９０は、隣接するランド５９２および５９４を含み、それらは溝５９６によって分離され、それでこの溝５９６が隣接するランド５９２および５９４の中の通路（図示せず）を通って出て行く二つのリード線５１６の間の誘電体スタンドオフとなる。この突出部５９０は、終端部材５１４と一体に作ってあるのが好ましく、この終端部材５１４は、例として、高分子材またはフルオロポリマのような断熱材であるのが好ましい。
【００６５】
本開示の一つの形で、この終端部材５１４は、ハウジング本体６００およびこのハウジング本体６００に固定した末端キャップ６０２を含む。一般的に、この末端キャップ６０２は、電気接続部を収容するハウジング本体６００の内部を覆い且つ絶縁するために設けてある。更に具体的に、および図４１ないし４３を参照して、この末端キャップ６０２は、図示するように末端部に、それぞれ、ロック延長部６０８および６１０を含む、弾性アーム６０４および６０６を含む。対応して、このハウジング本体６００は、これらの弾性アーム６０４および６０６を収容する溝６１２および６１４並びにこれらのロック延長部６０８および６１０と係合する面６１６を含む。末端キャップ６０２をハウジング本体６００上を滑らせると、弾性アーム６０４および６０６が次第に溝６１２および６１４に沿って滑り、これらの弾性アーム６０４および６０６が外方に撓む。次にロック延長部６０８および６１０が溝６１２および６１４を通過して前進すると、弾性アーム６０４および６０６が内方に戻り、ロック延長部６０８および６１０ハウジング本体６００の面６１６と係合して末端キャップ６０２をこのハウジング本体６００に固定する。弾性アーム６０４および６０６をハウジング本体６００の外部と係合するように図示し且つ説明したが、これらの弾性アーム６０４をその代りに、本開示の範囲内に留まりながら、ハウジング本体６００の内部に向けて配置してもよいことを理解すべきである。
【００６６】
その上、この末端キャップ６０２は、ハウジング本体６００の対応する内輪郭面６２４および６２６の上に嵌るサイズのフランジ６２０および６２２を含む。これらのフランジ６２０および６２２は、終端部材５１４内部の電気接続部へのあらゆる視線を除去することによって審美的外観も改善しながら、主としてこの終端部材５１４全体への付加的誘電体として機能する。これに関して、ハウジング本体６００は、更に面６１６から後方に伸びる壁６２７および６２８を含み、それらも電気接続部のための誘電体スタンドオフとなる。これらのフランジ６２０および６２２の誘電体延長部としての特別の形状および位置は、例示に過ぎず、他の部品（例えば、ハウジング本体６００）のための誘電体延長部の中で、末端キャップ６０２のその様な誘電体延長部の他の形状および位置を、本開示の範囲内に留まりながら、使ってもよいことを理解すべきである。
【００６７】
次に図４４ないし４６、および図４２も参照すると、ハウジング本体６００の裏側が、電気接続部を収容するために、内部空洞６３０および６３２並びに１組の上部開口６３４および６３６を、１組の下部開口６３８および６４０と共に含む。一般的に、リード線５１６は、突出部５９０を通り、上部開口６３４および６３６を通って内部空洞６３０および６３２の中へ伸びる。延長線６５０および６５２がヒートトレース部５１０の導体５２８（図示せず）に接続してあり、やはり内部空洞６３０および６３２の中へ伸びる。これらのリード線５１６は、次に図示するようにクリンプ６５４および６５６でこれらの延長線６５０および６５２に接続してあるのが好ましい。従って、リード線５１６とヒートトレース部５１０の間の電気接続部が空洞６３０および６３２内に配置してあり、このハウジング本体６００の壁６２７および６２８によって絶縁保護がもたらされる。
【００６８】
図３９および４１に戻り、並びに図４６ないし４７も参照すると、ハウジング本体６００の前側がスロット６６２によって分離された複数の外側延長部６６０を含む。これらの外側延長部６６０は、ヒートトレース部５１０の周りへの配置に適合し、更に具体的には、このヒートトレース部５１０の外面５４２に係合する。これらの外側延長部６６０は、それらがヒートトレース部５１０の外面５４２に対して確実な係合力を生じるように僅かな抜き勾配を付けて設計してあるのが好ましい。これらの外側延長部６６０は、ヒートトレース部５１０と外部環境の間に付加的誘電分離を与えるようにも機能する。ヒートトレース部５１０のフィン５４０は、次に図示するようにスロット６６２に入れ子になり、完全に組立てた状態で終端部材５１４の面６１６に当接する。その様な入れ子を更に容易にするために、外側延長部６６０は、これらの外側延長部６６０とフィン５４０の間の接触をより緊密にするために図示するような傾斜面６６４を含むのが好ましい。
【００６９】
このハウジング本体６００は、更に、アーチ形上部６７２並びに下部６７４および６７６を形成する異形の内側延長部６７０を含む。この異形の内側延長部６７０は、図示するようにヒートトレース部５１０の内面５２４と係合し、それがヒートトレース部５１０を終端部材５１４に更に固定する。この異形の内側延長部６７０は、外側延長部６６０同様に付加的誘電分離を与えるようにも機能する。このアーチ形上部６７２は、図示するように面６１６での厚い部分から薄い端部６７８へ断面が先細りであるのが好ましい。それでこの薄い端部６７８がヒートトレース部５１０と終端部材５１４の組立を容易にする。その上、これらの下部６７４および６７６は、図示するようにフィン５４０の外面と係合するように構成してある。
【００７０】
（コネクタ組立体５０４）
次に図４８ないし５０を参照すると、コネクタ組立体５０４がシェル７００を含み、それは、複数のシェル部材７０２および７０４を含むのが好ましい。これらのシェル部材７０２および７０４は、図示するようにそれらをシェル７００の上部７０６とシェル７００の下部７０８の両方に使うように、互換性があるのが好ましい。同時に、シェル部材７０２および７０４は、それぞれ外側リム７１０および７１２を形成し、これらのリム７１０および７１２は、図３０に示すようにヒートトレース組立体５０２の上の設置に適合させてある。これらのリム７１０および７１２は、付加的熱絶縁をもたらし、審美性改善のためにこのモジュール式ヒータシステム５００内の結合部内への視線を減らす。その上、上側リム７１４および下側リム７１６が、それぞれ、これらのシェル部材７０２および７０４の周りに作ってあり、それらも別のヒートトレース組立体５０２の上の設置に適合させてある。同様に、この上側リム７１４および下側リム７１６は、付加的熱絶縁をもたらし、審美性改善のためにこのコネクタ組立体５０４内の結合部への視線を減らす。
【００７１】
これらのシェル部材７０２および７０４は、支持体７２６によって分離された空洞７２４を形成する外壁７２０および内壁７２２も含む。これらの空洞７２４は、外部環境への熱損失を減らすための付加的断熱をもたらし、およびこのシェルの外部を触っても安全な温度にもする。これらのシェル部材７０２および７０４は一般に、断熱、誘電分離、および触っても安全な温度の目的で種々の空洞を形成するために図示するように複数の外壁および内壁を含む。従って、図示するこれらの付加的壁および空洞は、明確さのために以下に詳しくは説明しない。
【００７２】
その上、これらのシェル部材７０２および７０４は、図示するようにヒンジ要素７３０および、回り止め７３４と係合する柔軟なタブ７３２を含む。それで、この上部７０６および下部７０８は、このヒンジ要素７３０の回りに回転可能であり、およびこれらの外側リム７１０の端部に配置した柔軟なタブ７３２は、これらのシェル部７０６および７０８を一緒にロックするために他の外側リム７１２の端部に配置した回り止め７３４と係合する。これらの外側リム７１０および７１２は、ヒートトレース組立体５０２の外側に確実な係合力を与えるサイズになっているのが好ましい。
【００７３】
更に示すように、これらのシェル部材７０４は、シェル部材７０２の内壁７２２を通して作ってある開口７４２と係合する柔軟なタブ７４０のような付加的保持機構を含む。従って、これらの柔軟なタブ７４０および開口７４２は、隣接するシェル部材７０２および７０４の間をより確実に結する。その上、これらのシェル部材７０２は、図示するようにシェル部材７０４の対応する外壁凹み７４８と係合する外壁延長部７４６を含む。従って、これらの外壁延長部７４６および対応する外壁凹み７４８は、熱的分離および審美性改善のための視線減少に加えて、組立のためのシェル部材７０２および７０４の整列の両方をもたらす。シェル部材７０２および７０４は、断熱性材料であるのが好ましくおよび熱可塑性重合体のような耐熱材料で成形してあるのが好ましい。しかし、他の材料および加工方法を本開示の範囲内に留まりながら使ってもよいことを理解すべきである。
【００７４】
シェル７００内部に配置してあるのは、図５０ないし５２に最も良く示す、管継手ヒータ組立体７５０を含む、このコネクタ組立体５０４の追加の部品である。この管継手ヒータ組立体７５０は、管継手アダプタ７５２、ヒートトレース部７５４、および好ましくは図示するように二体構成の外側ケーシング７５６を含む。この管継手アダプタ７５２は、この目標システム（図示せず）の隣接する管継手または部品に嵌るサイズの開口７６０を形成する。従って、ここに図示し且つ説明する開口７６０のサイズおよび形状は、例示に過ぎず、本開示の範囲を制限すると解釈すべきでないことを理解すべきである。
【００７５】
この管継手アダプタ７５２は、溝７６４のある凹んだ外周７６２も形成し、その溝の両方は、図示するようにヒートトレース部７５４の形状寸法を収容する大きさである。この管継手アダプタ７５２は、アルミニウムのような伝導性材料であるのが好ましいが、しかし、本開示の範囲内に留まりながら他の材料も使ってよい。その代りに、この管継手アダプタ７５２は、この開口７６０の膨張に備えるため、従ってこの目標システムの隣接する管継手とより緊密な接触のためにスリット７６８（破線で示す）を含んでもよい。
【００７６】
この外側ケーシング７５６は、図示するように対称形に、交換可能な部品で設けてあるのが好ましい。この外側ケーシング７５６は、間にコンジット７７４を形成する外壁７７０および内壁７７２を含む。このコンジット７７４は、ヒートトレース部７５４へ接続するためのリード線（図示せず）のための通路を提供する。この外側ケーシング７５６は、図４９に示してある、シェル部材７０２および７０４のヒンジ要素７３０と協同するヒンジ要素７７６も含む。それで、これらのヒンジ要素７７６は、シェル部材ヒンジ要素７３０の穴７３１（図５０）内に配置するのに適合するピン７７８を含むのが好ましい。その上、これらのコンジット７７４は、ヒートトレース部７５４に接続するリード線用の出口を提供するために図示するようにヒンジ要素７７６を貫通する。これらのヒンジ要素７７６は、図示するように延長部７７９の上に配置してあるのが好ましく、そうすればこの延長部７７９がリード線の歪み逃しとして機能する。
【００７７】
この外側ケーシング７５６は、図示するようにそれらの外面７８２から伸びるスタンドオフ７８０も含むのが好ましい。これらのスタンドオフは、この管継手ヒータ組立体７５０を適正にシェル７００内に心出し、または配置するように機能する。
【００７８】
図５３に示すような、この外側ケーシング７５６の代替形では、スナップ機構を使って二つの外側ケーシング７５６の各々を互いにしっかりと結合する。（明確さのために一つの外側ケーシング７５６だけを示す）。更に具体的には、このケーシング７５６がボス７８１から伸びる柔軟なラッチ７８０を含み、それらの両方がこの外側ケーシング７５６と一体に作ってあるのが好ましい。これらの柔軟なラッチ７８０は、図示するように比較的平坦な横面７８３を含む先細りの端部７８２を形成する。更に示すように、穴７８４が対向するボス７８５を通して作ってあり、それも外側ケーシング７５６と一体に作ってあるのが好ましい。座ぐり７８６（破線で示す）もこの対向するボス７８５に作ってあり、それが内部肩７８７（破線で示す）を形成する。この先細りの端部７８２が対向する外側ケーシング７５６（図示せず）の穴７８４と係合すると、これらの柔軟なラッチ７８０と先細りの端部７８２がこの穴７８４の全長を横断できるように、これらの柔軟なラッチ７８０が互いの方へ、内方に撓む。これらの先細りの端部７８２が座ぐり７８６に入ると、柔軟なラッチ７８０が外方に撓み戻って、横面７８３が内部肩７８７と係合し、外側ケーシング７５６を一緒に固定する。二つの外側ケーシング７５６を分離するためには、横面７８３が内部肩７８７を通過するまで柔軟なラッチ７８０を座ぐり７８６を通して内方に撓め、すると二つの外側ケーシング７５６を引離すことができる。この結合装置は例示に過ぎず、それで外側ケーシング７５６用に、本開示の範囲内に留まりながら、他の結合装置も使ってよいことを理解すべきである。
【００７９】
次に図４９ないし５０および５４ないし５５を参照して、このコネクタ組立体５０４は、もしこの結合部が図示するようなエルボ構成かまたはＴ字形構成（図示せず）にあって、隣接するヒートトレース組立体５０２がこのコネクタ組立体５０４の片側に配置されていないならば、カバー８００も備えてよいかも知れない。従って、このカバー８００は、触っても安全な表面温度および審美性の向上ももたらしながら、管継手ヒータ組立体７５０と外部環境の間の付加的誘電分離をもたらす。図５３および５４に更にはっきり示すように、このカバー８００は、断熱および絶縁層分離の目的で間に隙間８０６を形成する外壁８０２および内壁８０４を含む。このカバー８００は、更に、このカバー８００をコネクタ組立体５０４全体に固定するためにシェル部材７０２の外壁８１０の上に配置するために適合した柔軟なクリップ８０８を含む。
【００８０】
ここに図示し且つ説明する例示コネクタ組立体５０４は、この目標システム内のエルボ型結合部用に構成してあること、並びにこのコネクタ組立体５０４およびその種々の部品の形状寸法および特徴は、この目標システム内に使う結合部に依って変ることを理解すべきである。例えば、もしこのコネクタ組立体５０４がＴ字形接合部若しくは交差型接合部、または、例としてポンプのような別部品の上にさえ設置するのに適合させてあるならば、これらのコネクタ組立体５０４部品の大きさおよび形状は、それに応じて調節されるだろう。従って、ここに図示し且つ説明したコネクタ組立体５０４の特定の設計は、本開示の範囲を限定すると解釈すべきでない。
【００８１】
本開示の別の形で、このヒートトレース組立体５０２は、それらの境界面全体に亘って一定の温度を達成するためにこれらのコネクタ組立体５０４に“整合”させてある。更に具体的には、コネクタ組立体５０４対ヒートトレース組立体５０２にそれぞれ異なる出力密度を要するかも知れず、それで各々に異なる出力密度を予定する。
【００８２】
更に別の形では、必要な出力を減らしおよびモジュール式ヒータシステム５００部品の外面温度も下げるために、断熱ジャケット５１２の内面５１３および／またはシェル部材７０２および７０４に沿って反射表面被覆を設けてもよい。その様な反射表面被覆は、放射率が低いのが好ましく、それで、例えば、アルミ箔または、例えば、蒸着法によって付けたその他の低放射率材料を含んでもよい。同様に、高放射率材料を導管１３と誘電または絶縁材料２６の間、またはヒートトレース部５１０の半導性高分子材料２４を囲むカバー、若しくは伝導性コアに付けてもよい（ヒートトレース部の基本構造およびその用語については図３および４参照）。それで、この高放射率材料がヒートトレース部５１０と導管１３の間の熱伝達を改善するだろう。
【００８３】
次に図５６ないし５８を参照すると、ヒートトレース組立体の別の形が示してあり、全体を参照数字８２０で指してある。このヒートトレース組立体８２０は、一般的に、明確さのために図示しない、先に説明したような終端部材およびコネクタ組立体と共に、断熱ジャケット８２４が囲むヒートトレース部８２２を含む。本開示のこの代替形では、スタンドオフ８２６が先に図示し且つ説明したようにヒートトレース部８２２の中ではなく断熱ジャケット８２４に組込んである。それで、これらのスタンドオフ８２６は、フィンの形であるのが好ましいが、本開示の範囲内に留まりながら、他の形状寸法および構成を使ってもよいことを理解すべきで、それらの例を以下に詳しく説明する。これらのスタンドオフ８２６、断熱ジャケット８２４の内面８２８から、このヒートトレース部８２２の半導性高分子コア８３２を囲む誘電体カバー８３０に隣接する位置へ伸び、それによってこの断熱ジャケット８２４とヒートトレース部８２２の間に通路８２７を作るのが好ましい。これらのスタンドオフ８２６の末端部８３４は、これらのスタンドオフ８２６がヒートトレース部８２２をこの断熱ジャケット８２４内に同心に位置付けるようにこのヒートトレース部８２２と物理的に接触しているのが好ましい。それで、これらスタンドオフ８２６の末端部８３４の位置および形状は、このヒートトレース部８２２の形状および／または大きさに適合していて、それはここに示す円形以外でもよい。
【００８４】
スタンドオフ８２６に加えて、この断熱ジャケット８２４は、更に、外壁８３８と、支持体８４２によって分離された内壁８４０との間を縦に伸びる室８３６を含む。これらの支持体８４２は、図示するようにスタンドオフ８２６に結合して作ってあるが、これらの支持体８４２およびスタンドオフ８２６は、本開示の範囲内に留まりながら、断熱ジャケット８２４の周りの別々の位置にあってもよい。先に説明したように、これらの室８３６は、動作中のヒートトレース部８２２から外部環境への熱損失が減るように、図示するように空気の形で断熱する。その上、これらの室８３６および／またはヒートトレース部８２２と断熱ジャケット８２４の間、スタンドオフ８２６間のスペースを発泡材のような断熱材またはその代りに先に説明したような低放射率材料で埋めてもよい。
【００８５】
この断熱ジャケット８２４は、ヒートトレース部８２２の周りに設置するために単一の、一体品であるが、柔軟なままであるように作ってあるのが好ましい。従って、この断熱ジャケット８２４は、リップ８５２およびロックタブ８５４に対向して作った縮減領域８５０を含む。この縮減領域８５０は、この断熱ジャケット８２４の圧壁部８５６を通して作り且つ外側凹み８５８、ウエブ部８６０、および内側凹み８６２を形成するのが好ましい。それでこの縮減領域８５０は、この断熱ジャケット８２４を第１セグメント８６４と第２セグメント８６６に分ける。この断熱ジャケット８２４は、先に示したポリカーボネートのような、半剛性高分子材料で作ってあるのが好ましく、それでこの縮減領域８５０，更に具体的に、ウエブ部８６０は、第１セグメント８６４および第２セグメント８６６がこの縮減領域８５０の周りに回転できるように“一体ヒンジ”を提供する。この第１セグメント８６４および第２セグメント８６６が互いの方へ回転すると、この断熱ジャケット８２４をヒートトレース部８２２に周りに固定するために、図示するようにロックタブ８５４がリップ８５２と係合する。その結果、この断熱ジャケット８２４を、先に図示し且つ説明したように複数品ではなく、単一の、一体品として都合よく設ける。更に、単一の縮減領域８５０ではなく、本開示の範囲内に留まりながら、複数の縮減領域８５０を断熱ジャケット８２４の周り使ってもよい。
【００８６】
図５９ａおよび５９ｂを参照すると、断熱スタンドオフの代替形が示してあり、全体を参照数字８７０で指してある。図示するように、これらの断熱スタンドオフ８７０は、断熱ジャケット８２４の周りに、先に図示し且つ説明したように縦ではなく円周方向に伸び、それで本開示の例示構造では“リング”の形を採る。これらのスタンドオフ８７０は、断熱ジャケット８２４の全長に亘って、例として、図２９ａに示すように連続で均等に離間してもよく、または図２９ｂに示すように不連続で交互に離間してもよい。その上、これらのスタンドオフ８７０は、長さおよび幾何形状が異なってもよく、それでもここに示すように断熱ジャケット８２４の一部としてでなく、ヒートトレース部８２２（図示せず）の一部として作ってもよい。更に、円周スタンドオフ８７０を断熱ジャケット８２４（またはヒートトレース部８２２）の一部として作るのが好ましいが、これらのスタンドオフ８７０は、断熱ジャケット８２４またはヒートトレース部８２２に組付ける別の部品でもよい。例えば、図５０ｃに示すように、断熱ジャケット８２４（またはヒートトレース部８２２）が別々のスタンドオフ８７０’を受ける複数のスロット８７２を含んでもよく、そうすればこれらのスタンドオフが交換可能で特定の用途の必要条件に従って数／間隔を変えることができる。それで、これらのスタンドオフ８７０’は、図示するようにスロット８７２に嵌る大きさでその中に固定される突起８７４を含む。するとこれらの突起８７４は、スロット８７２内に摺動可能に係合してスタンドオフ８７０’を所望の位置に固定する。
【００８７】
図５７に戻って参照すると、ヒートトレース部８２２は、電力を加えるためにヒートトレース部８２２の全長に亘って伸びる導体８３１の対と共に、半導性高分子コア８３２を囲む誘電体カバー８３０を含む。本開示の一つの形で、この誘電体カバー８３０（ここに図示し且つ説明するような、複数の幾何形状の）は、この半導性高分子コア８３２と同時押出し（一押出し行程か複数押出し行程で）であるのが好ましい。別の形では、誘電体カバー８３０を別に作って半導性高分子コア８３２の周りに摺動可能に係合させる。更に別の形では、誘電体カバー８３０を半導性高分子コア８３２上に滑らせる別部品ではなく、塗装、吹付け、浸せき塗装、テーピング、熱収縮、またはその他の類似の施用方法によって半導性高分子コア８３２に付ける。その上更に別の形では、誘電体カバー８３０をその代りに半導性高分子コア８３２の上に付けるのではなくまたはそれに加えて、これらの手段によって実際の導管１３（例えば、図５ないし８参照）に付けることができる。比較的低温で、従って断熱が必要ない用途に対しては、半導性高分子コア８３２と導体８３１だけがヒートトレース部８２２を形成するように、誘電体カバー８３０をヒートトレース部８２２から完全に除去することができる。従って、ある用途ではヒートトレース部８２２を何も誘電体カバー８３０なしに作ってもよい。その様な変形が本開示の範囲内にあることを理解すべきである。
【００８８】
次に図６０および６１を参照すると、ヒートトレース組立体の別の形が示してあり、全体を参照数字８８０で指してある。このヒートトレース組立体８８０は、導管１３の周りに配置するために適合させたキャリヤ８８２、およびこのキャリヤ８８２に固定したヒートトレース部８８４を含む。この実施例では、このヒートトレース部８８４を先に図示し且つ説明したように導管１３の形状に作るのではなく、標準／従来のヒートトレース部８８４を使うことができる。従って、このキャリヤ８８２は、図示するように導管１３の周囲の少なくとも半分の周りに伸びる延長部８８７と共に、導管１３と相補の形状を形成する内部面８８６を含む。このキャリヤ８８２は、更にこのヒートトレース部８８４を受けるための大きさの凹んだ上面８８８を含む。そこでこのヒートトレース部８８４を多種多様な手段のどれかでこの凹んだ上面８８８内に固定する。例えば、このヒートトレース部８８４を凹んだ上面８８８に圧入またはパチンと嵌めてもよく、キャリヤ８８２は、このヒートトレース部８８４を固定するための機構を含んでもよく、このヒートトレース部８８４をキャリヤ８８２に固定するために追加の部品（例えば、保持クリップ）を使ってもよく、または他の締結または固定手段の中で接着剤を使ってこのヒートトレース部８８４をキャリヤ８８２内に固定してもよい。このキャリヤ８８２は、ヒートトレース部８８４から発生した熱を効率的に導管１３に伝えられるように、アルミニウム、真鍮、銅、または伝導性高分子材料のような材料で作ってあるのが好ましい。先にここに図示し且つ説明したような断熱ジャケットを、この実施例ではっきり図示し且つ説明しないが、本開示の範囲内に留まりながらそれもこのヒートトレース組立体８８０に使ってもよいことを理解すべきである。
【００８９】
図６２ａおよび６２ｂを参照すると、キャリヤの代替形が示してあり、それぞれ、全体を参照数字８８２ａおよび８８２ｂで指してある。図６２ａに示すように、このキャリヤ８８２ａは、対応する湾曲したヒートトレース部８８４ａを収容するための湾曲した幾何形態を成す凹んだ上面８８８ａを形成する。それでこの湾曲した幾何形態は、ヒートトレース部８８４ａが一般的に下にある導管１３の輪郭に従うので、このヒートトレース部８８４ａから導管１３への熱伝達の向上をもたらす。図６２ｂに示すように、キャリヤ８８２ｂは、多角の凹んだ上面８８８ｂを形成し、それは図示するように湾曲していても、または比較的真っ直ぐでもまたは先に図６０および６１に示したように平坦でもよい。それで、このキャリヤ８８２ｂは、導管１３が比較的大型で、この導管１３を十分に囲むためには多数のヒートトレース部８８４ｂを要する用途に使うのが好ましい。
【００９０】
一つの形で、このキャリヤ８８２は、アルミニウム押出し品であるのが好ましいが、本開示の範囲内に留まりながら、熱をこのヒートトレース部８８４から導管１３へ十分に伝える他の材料も使ってよい。例えば、このキャリヤ８８２は、その代りの高分子材料でもよい。その上、本開示の範囲内に留まりながら、押出し以外の代替製造法、例えば、機械加工も使ってよい。
【００９１】
次に図６３ないし６５を参照すると、代替末端終結装置を有するヒートトレース部の形が示してあり且つ全体を参照数字９００で指してある。このヒートトレース部９００は、裸端部９０２を含み、そこでは導体９０８の対および誘電体カバー９０４の内壁９１２を図示のように露出するように、誘電体カバー９０４の一部および伝導性コア９０６が奥へ剥がしてある。終結部材９１０内部の電気接続部への視線をなくすることに加えて、ヒートトレース部９００の内壁９１２がこの終結部材９１０内に収容した部品（例えば、リード線９１４、伝導性コア９０６、および樽形クリンプ接続部９１６）、と導管１３の間に付加的誘電分離をもたらすように、次にこの末端終結装置９００を図示するようにヒートトレース部９００の上へ滑り込ませる。この終結部材９１０は、図示するような形態も含み、ヒートトレース部９００の外面をその様な形態で覆いまたは重なって先に説明したように誘電分離をもたらし且つ視線を減らすようにする。その上、先に図示し且つ説明した末端キャップ同様に、末端キャップ９１８を図示するように終結部材９１０に固定する。
【００９２】
図６６ないし６９に示す別の末端終結装置の実施例には、代替末端終結装置を有するヒートトレース部が示してあり且つ全体を参照数字９２０で指してある。このヒートトレース部９２０は、裸端部９２２を含み、そこでは導体９２８の対だけがこのヒートトレース部９２０の裸端部９２２から伸びるように、誘電体カバー９２４の一部および伝導性コア９２６が奥へ剥がしてある。更に示すように、末端シールド９３２がこのヒートトレース部９２０の裸端部９２２の上に置いてあり、そこでは導体９２８の対がこの末端シールド９３２のガイド９３４を貫通する。一般的に、この末端シールド９３２は、付加的誘電分離をもたらし且つ導管１３への視線を減らすために使用する。次にこの終結部材９３６を末端シールド９３２に固定して先に説明したようにリード線および電気接続部を収容する。その上、先に図示し且つ説明した末端キャップ同様、末端キャップ９３８を図示するように終結部材９３６に固定する。
【００９３】
次に図７０を参照すると、ヒートトレース組立体の代替形が示してあり且つ全体を参照数字９４０で指してある。このヒートトレース組立体９４０は、先に説明した構成同様に、伝導性コア９４２およびその中に配置した１対の導体９４４を含むが、図示するようにこの伝導性コア９４２の周りに誘電体カバーが使ってある。この実施例では、この複合誘電体カバーが内カバー９４３および外カバー９４６を含み、その各々が、それぞれ、湾曲した端部９４８および９５０を含む。これらの湾曲した端部９４８および９５０は、この複合誘電体カバーを伝導性コア９４２に固定するために、図示するように互いに重なって導体９４４の周りに伸びる。この内カバー９４３と外カバー９４６の両方は、伝導性コア９４２およびその導体９４４と別々に作ってあるのが好ましく、それで同時押出しではない。これらの湾曲した端部９４８および９５０ではなく、これらのカバーをヒートシール、溶接、接着、または多くの他の既知の方法によって互いに固着してもよい。例えば、図７１に示すように、内カバー９４３’がスタンドオフ９４５を含み、外カバー９４６’をこれらの方法の何れかによって境界面９５４に沿ってこれらのスタンドオフ９４５に固定する。
【００９４】
図７２に示すように、断熱ジャケットに関して先に示したような“一体ヒンジ”を含むヒートトレース部を図示し且つ全体を参照数字９６０によって指す。このヒートトレース部９６０は、図示するような縮減領域９６２を含み、それは、外側凹み、ウエブ部９６６、および内側凹み９６８を含む。それでこの縮減領域９６２は、このヒートトレース部９６０を第１セグメント９７０と第２セグメント９７２に分ける。従って、この縮減領域９６２、更に具体的にはウエブ部９６６は、第１セグメント９７−および第２セグメント９７２がこの縮減領域９６２の周りに回転できるように“一体ヒンジ”をもたらす。その結果、この代替形のヒートトレース部９６０を導管（図示せず）上により容易に設置できる。その上、本開示の範囲内に留まりながら、この単一縮減領域９６２ではなく多重縮減領域９６２をこのヒートトレース部９６０の周りに使ってもよいことを理解すべきである。
【００９５】
次に図７３および７４を参照すると、管継手アダプタの代替形（先に図５０ないし５２に参照数字５２として代替形で図示し且つ説明した）が示してあり且つ全体を参照数字９８０で指してある。この管継手アダプタ９８０は、先に図示し且つ説明したようにヒートトレース部７５４（図示せず）を収容するための凹んだ外周９８４と共に、図示するように隣接する管継手９８３に嵌る大きさの開口９８２を含む。この管継手アダプタ９８０は、この隣接する管継手９８３に固定した導管（図示せず）の一部に沿って伸びる、延長部９８６および９８８を含む。その代りに、これらの延長部９８６および９８８を、比較的短く従ってこの先に図示し且つ説明したようにヒートトレース組立体を付けるのが幾らか困難かも知れない導管の全部分に沿って配置する。それで、この管継手アダプタ９８０のこれら延長部９８６および９８８は、熱を、この凹んだ外周９８４内に配置したヒートトレース部７５４（図示せず）から導管の下にある部分へ分配できる。従って、この熱分配延長部９８６および９８８を使うことによって導管のある部分には別の発熱素子（即ち、ヒートトレース組立体）が必要ない。二つ以外の延長部９８６および９８８を使ってもよいことおよびこれら延長部９８６および９８８は、本開示の範囲内に留まりながら長さおよび幾何形状が違ってもよいことを理解すべきである。
【００９６】
更に図示するように、個の管継手アダプタ９８０は、先に図示し且つ説明したようなヒートトレース組立体の隣接する部分を収容するようになっている、内部溝９９０を含む。その上、この開口９８２の形状は、そこに挿入する隣接管継手の形状に従って変り、それでここに図示し且つ説明した角胴形は、本開示の範囲を限定すると解釈すべきでないことを理解すべきである。
【００９７】
図７５および７６を参照すると、断熱ジャケットの更に別の形が示してあり且つ全体を参照数字１０００で指してある。図示するように、この断熱ジャケット１０００は、第１セクション１００２およびこの第１セクション１００２に対向して配置した第２セクション１００４を含み、それらはヒンジ１０２０によって互いに結合してある。このヒンジ１０２０は、この第１セクション１００２および第２セクション１００４と同時押出しであるのが好ましく、それでこの断熱ジャケット１０００用に単一の一体の本体を作る。このヒンジ１０２０は、第１および第２セクション１００２および１００４の外面、それぞれ、１０２２および１０２４と面一であり、且つ図示するように第１および第２延長部１０３０および１０３２上に載っているのが好ましい。従って、このヒンジ１０２０は、この第１および第２セクション、それぞれ、１００２および１００４が着脱のために互いに対して回転できるように柔軟な材料で作ってある。
【００９８】
更に図示するように、この第１セクション１００２は、凹み１００８を形成する開放端部１００６を含み、および第２セクション１００４は、図示するようにこの第１セクション１００２の凹み１００８と係合する、移動止め１０１０を含む。この移動止め１０１０は、凹み１００８と係合して第１セクション１００２を第２セクション１００４に固定し、従ってこの断熱ジャケット１０００を着脱のために容易に係合・離脱できる結合部によってこのヒートトレース部（図示せず）の周りに固定する。
【００９９】
本開示の他の形では、種々の“表示”手段を意図し、そこではこのヒータシステムの状態または状況を表示し、外部環境から監視できる。例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）を戦略的位置にこのヒートトレース組立体に沿って置いてこのシステムが稼働中かどうかを表示してもよい。このＬＥＤは、このヒートトレース組立体の個々の部分内にまたはその代りにこのシステム内の種々の電気接続部に置いてもよい。別の例として、ある場所でのこのシステムの温度を表示するために、サーモクロミックコーティングをこのシステムの外面に沿うどこか、例えば、ヒートトレース組立体、コネクタ組立体に付けてもよい。その代りに、サーモクロミック添加剤を、例として、この断熱ジャケット内に使うためのある樹脂システム内に使用してもよい。その上、温度制御のために温度センサを使うと共に、所望の位置での温度表示のためにこのシステム内の個別温度センサを使ってもよい。これら種々の“表示”手段は、本開示の範囲内であると意図することを理解すべきである。
【０１００】
この開示の説明は、性質が単に例示に過ぎず、それでこの開示の要旨から逸脱しない変形は、この開示の範囲内にあることを意図する。例えば、これらのヒートトレース部に使う伝導性高分子材料は、温度を自己調整するために半伝導性材料であっても、または温度をこの材料によってではなく制御システムによって調整するように非半伝導性材料でもよい。その上、この断熱ジャケットは、この断熱ジャケットを外部環境からの損傷から保護するために、任意の形状または構成の外部シェル、例えば、剛性プラスチックを付けてもよい。その様な変形は、この開示の精神および範囲からの逸脱とは見做さない。
【技術分野】
【０００１】
この出願は、２００５年８月９日に提出した、“モジュール式ヒータシステム”という名称の米国特許出願第１１／１９９，８３２号の一部継続出願である、２００６年５月１６日に提出した、“モジュール式ヒータシステム”という名称の米国特許出願第１１／４３５，０７３号の一部継続出願である。上記出願の開示をここに参考までに援用する。
【０００２】
本開示は、一般的にはパイプラインに使用するための電気ヒータに関し、更に詳しくは、例えば、半導体処理システムのようなガスラインおよびポンプラインに使用するための電気ヒータに関する。
【背景技術】
【０００３】
この節の記述は、単に本開示に関する背景情報を提供するだけで、先行技術とはならないかも知れない。
【０００４】
特に供給源、例えば、油井または貯水池からの、油、ガス、および水のような流体の供給は、導管等によってその様な流体を輸送する必要がある。この流体をある温度以上に維持することに加えて、これらの導管内にこれらの流体の自由なまたは制限されない流れを維持することが屡々必要である。現在、これらの導管に、従ってこれらの流体に熱を与えるために、この技術で“ヒートトレース”として知られる、ケーブルまたはテープの形の電気ヒータが普通これらの導管の周りに使われている。その上、これらの導管およびヒートトレースは、周囲環境への熱損失を減らすために時々断熱ジャケットによって囲まれている。
【０００５】
ヒートトレースケーブルは、それらが比較的単純で低コストであるために、その様な流体導管を加熱するための一般的手段である。一般に、ヒートトレースケーブルは、導管の全長に亘って配置し、または導管の周りに巻付け且つバンド、保持ストラップまたはモンティアース外の米国特許第５，２９４，７８０号、バース外の米国特許第５，０８６，８３６号、モンティアース外の米国特許第４，７９１，２７７号、リービンズの米国特許第４，１５２，５７７号、ホーマーの米国特許第４，１２３，８３７号、ジョンソンの米国特許第３，９７１，４１６号、およびビルボロの米国再発行特許第２９，３３２号に示してあるような、何か他の適当なファスナで一定間隔で締結する。ヒートトレースケーブルをパイプまたは導管に締結することは、特に、とりわけ時間が最も重要である、ユーティリティ配管の交換および連続製造工程のために、時間が掛り且つ厄介であることが分っている。
【０００６】
ユーティリティ配管の交換を手早く処理するために、米国特許第６，７９２，２００号は、プレハブ方式のヒートトレース付きパイプを提案し、それは、加熱すべきパイプ、ヒートトレース、およびこのヒートトレースを電源に電気的に接続するためのコネクタを固めて予め一体に作り、古いパイプを交換する必要が起る前に在庫する。このプレハブ方式のパイプは、ユーティリティ配管の交換に関して幾らかの時間を節約するが、それは特注のヒートトレース付きパイプを要し、それによって望ましくない在庫スペース並びに製造および維持コストを増す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願第１１／４３５，０７３号明細書
【特許文献２】米国特許出願第１１／１９９，８３２号明細書
【特許文献３】米国特許第５，２９４，７８０号公報
【特許文献４】米国特許第５，０８６，８３６号公報
【特許文献５】米国特許第４，１５２，５７７号公報
【特許文献６】米国特許第４，１２３，８３７号公報
【特許文献７】米国特許第３，９７１，４１６号公報
【特許文献８】米国再発行特許第２９，３３２号公報
【特許文献９】米国特許第６，７９２，２００号公報
【特許文献１０】米国特許第４，８６１，２７８号公報
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一推奨形で、ヒートトレース部、このヒートトレース部を囲む断熱ジャケット、およびこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間に配置した複数のスタンドオフを含むヒートトレース組立体を提供する。このヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に対応する複数の通路を作る。ここに開示するスタンドオフは、一体に作っても、別に取付けてもよく、およびいろいろな幾何形状を採ってもよい。
【０００９】
別の形では、加熱システムに使うための断熱ジャケットで、この断熱ジャケットの内面からヒータの方へ内方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒータと断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるジャケットを提供する。
【００１０】
更に別の形では、加熱システムに使うためのヒートトレース部で、このヒートトレース部の内面から断熱ジャケットの方へ外方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるヒートトレース部を提供する。
【００１１】
更なる適用可能範囲が以下の説明から明白となるだろう。この説明および特定の例は、例示目的だけを意図し、本開示の範囲を制限することを意図しないことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
本開示は、この詳細な説明および添付の図面からより十分に理解されるようになるだろう。
【図１】加熱した半導体ガスラインおよびポンプラインへのモジュール式ヒートトレース組立体の適用の一つを示す概略図である。
【図２】ガスラインまたはポンプラインの周りに配置した先行技術のヒートトレースケーブルの透視図である。
【図３】先行技術のヒートトレースケーブルの透視破断図である。
【図４】図３の先行技術のヒートトレースケーブルの、線３−３による、断面図である。
【図５】本開示の第１実施例による、導管システムに固定したモジュール式ヒートトレース組立体の透視図である。
【図６】本開示の教示による、図５のモジュール式ヒートトレース組立体の分解透視図である。
【図７】本開示の教示により構成した、図５および６のヒートトレース部の透視図である。
【図８】本開示の教示による、図７のヒートトレース部の端面図である。
【図９】本開示の教示による、図５および６のコネクタの透視図である。
【図１０】本開示の教示による、図９のコネクタの平面図である。
【図１１ａ】本開示の原理によって構成した一実施例によるコネクタの透視図である。
【図１１ｂ】本開示の原理によって構成した別の実施例によるコネクタの透視図である。
【図１１ｃ】本開示の原理によって構成した更に別の実施例によるコネクタの透視図である。
【図１２】本開示の第２実施例により構成したヒートトレース部の透視図である。
【図１３】本開示の教示による、図１２のヒートトレース部の端面図である。
【図１４】本開示の教示によって構成した、バスアダプタの平面図である。
【図１５】本開示の第３実施例により構成したヒートトレース接合部の透視図である。
【図１６】本開示の教示によって構成し、導管システムのエルボ接合部用に設計した、図１５のヒートトレース接合部の代替形の透視図である。
【図１７】本開示の教示によって構成し、導管システムのＴ字形接合部用に設計した、図１５のヒートトレース接合部の代替形の透視図である。
【図１８】本開示の第４実施例による終端構造を備えるヒートトレース部の透視図で、これらのヒートトレース部は外した状態にある。
【図１９】本開示の教示による、図１８のヒートトレース部の側面図である。
【図２０】本開示の教示による、係合状態にある図１８のヒートトレース部の透視図である。
【図２１】本開示の教示による、図２０のヒートトレース部の側面図である。
【図２２】本開示の教示により構成した、図１８ないし２１のヒートトレース部の接続の代替形の側面図である。
【図２３】本開示の教示による、ヒータ構造の別の実施例、Ｚ方向ヒータの透視破断図である。
【図２４】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットの透視図である。
【図２５】本開示の教示により構成した、代替形状のポケットを備える断熱ジャケットの端面図である。
【図２６】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットの別の形の透視図である。
【図２７】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットの更に別の形の透視図である。
【図２８】本開示の教示により構成した、加熱した導管用断熱ジャケットのその上更に別の形の透視図である。
【図２９】本開示の教示により構成した、モジュール式ヒートトレース組立体の別の実施例の透視図である。
【図３０】本開示の教示による、図２９のモジュール式ヒートトレース組立体の別の透視図である。
【図３１】本開示の教示による、図３０のモジュール式ヒートトレース組立体の分解透視図である。
【図３２】本開示の教示により構成したヒートトレース部の透視図である。
【図３３】本開示の教示によるヒートトレース部の分解透視図である。
【図３４】本開示の教示により構成し、フィンを含むヒートトレース部の透視図である。
【図３５】本開示の教示によるフィンを含むヒートトレース部の端面図である。
【図３６】本開示の教示による、断熱ジャケット内に配置した、フィンを含むヒートトレース部の端面図である。
【図３７】本開示の教示により構成した断熱ジャケットの透視図である。
【図３８】本開示の教示による断熱ジャケットの端面図である。
【図３９】本開示の教示により構成した、終端部材と係合するヒートトレース部の透視図である。
【図４０】本開示の教示による終端部材の透視図である。
【図４１】本開示の教示により構成した、終端部材のハウジング本体の前透視図である。
【図４２】本開示の教示によるハウジング本体の後透視図である。
【図４３】本開示の教示により構成した、終端部材の端キャップの前透視図である。
【図４４】本開示の教示によるハウジング本体の後端面図である。
【図４５】本開示の教示により構成した、内部電気接続部を備えるハウジング本体の後端面図である。
【図４６】本開示の教示により構成した、電気接続部の部分を示す、ハウジング本体の前端面図である。
【図４７】本開示の教示により構成したモジュール式ヒートトレース組立体の前端面図である。
【図４８】本開示の教示により構成したコネクタ組立体の前透視図である。
【図４９】本開示の教示によるコネクタ組立体の後透視図である。
【図５０】本開示の教示によるコネクタ組立体の分解透視図である。
【図５１】本開示の教示により構成した管継手ヒータ組立体の部分透視図である。
【図５２】本開示の教示により構成した管継手ヒータ組立体の別の部分透視図である。
【図５３】本開示の教示により構成した、スナップ機構のある外側ケーシングの代替実施例の透視図である。
【図５４】本開示の教示により構成した、シェル部材と係合するカバーの透視図である。
【図５５】本開示の教示による、シェル部材と係合するカバーの側面図である。
【図５６】本開示の教示により構成したヒートトレース組立体の別の形の透視図である。
【図５７】本開示の教示によるヒートトレース組立体の端面図である。
【図５８】本開示の教示による、断熱ジャケットの回転可能なセグメントを示す、ヒートトレース組立体の透視図である。
【図５９ａ】本開示の教示により構成した、スタンドオフの代替形の透視図である。
【図５９ｂ】本開示の教示により構成した、スタンドオフの別の代替形の透視図である。
【図５９ｃ】本開示の教示により構成した、スタンドオフの別の代替形の透視図である。
【図６０】本開示の教示により構成した、キャリヤを利用する、ヒートトレース組立体の別の形の透視図である。
【図６１】本開示の教示によりる、キャリヤを備えるヒートトレース組立体の分解透視図である。
【図６２ａ】本開示の教示により構成した、キャリヤの代替形の端面図である。
【図６２ｂ】本開示の教示により構成した、キャリヤの別の代替形の端面図である。
【図６３】本開示の教示により構成した、端部を剥がしたヒートトレース部の代替形の透視図である。
【図６４】本開示の教示による、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した終端部材の透視図である。
【図６５】本開示の教示による、末端キャップと共に、中の電気接続部を示す、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した終端部材の透視図である。
【図６６】本開示の教示により構成した、端部を剥がしたヒートトレース部の別の代替形の透視図である。
【図６７】本開示の教示による、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した末端シールドの透視図である。
【図６８】本開示の教示による、末端シールドに固定した終端部材の透視図である。
【図６９】本開示の教示による、末端キャップと共に、中の電気接続部を示す、ヒートトレース部の剥がした端部に固定した終端部材の透視図である。
【図７０】本開示の教示により構成した、複合誘電体カバーを有するヒートトレース部の代替形の端面図である。
【図７１】本開示の教示により構成した、複合誘電体カバーを有するヒートトレース部の別の代替形の端面図である。
【図７２】本開示の教示により構成した、縮減領域を有する代替ヒートトレース部の端面図である。
【図７３】本開示の教示により構成した管継手アダプタの代替形の透視図である。
【図７４】本開示の教示による管継手アダプタおよび隣接する管継手の分解透視図である。
【図７５】本開示の教示により構成した断熱ジャケットの代替形の透視図である。
【図７６】本開示の教示により構成した断熱ジャケットの端面図である。 対応する参照数字は、これらの図面の幾つかの図を通じて対応する部品を指す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下の説明は、性質が単に例示に過ぎず、本開示、用途、または使用法を限定することを意図しない。
【００１４】
本開示によるヒータの構造を次に詳細に説明する。最初に、この明細書全体を通じて使用する“導管”と言う語は、制限なく、流体または粉末若しくはスラリーのようなその他の材料を輸送するためのチューブ、パイプ、およびその他の閉鎖したまたは部分的に閉鎖した部材を含むことを理解すべきである。ここで説明する導管が運ぶ材料には固体、液体、および気体があり、例として、半導体処理装置内を輸送する流体を含んでもよい。その様な半導体処理装置に関する推奨実施例の以下の説明は、性質が単に例示に過ぎず、この開示、その用途、または使用法を限定することを少しも意図しない。従って、本開示の教示は、半導体処理装置に限定されず、本開示の範囲内に留まりながら導管のどんなシステムにも適用することができる。
【００１５】
図１を参照すると、一般的に遠隔ガス配送システムから処理ツールまで伸びる加熱したガスライン１２、およびこの処理ツールから、図示するように多数の構成装置を通って、スクラバまで伸びる加熱したポンプライン１４を含む、半導体処理システム１０が示してある。動作中、ガスライン１２とポンプライン１４の両方を特定の処理要件に従って加熱しなければならず、それは典型的には図２に示すようにヒートトレースケーブル１６で達成している。これらのヒートトレースケーブル１６は、図示するようにガスライン１２またはポンプライン１４の全長に亘って配置しまたは巻付け、およびガラステープ１８またはその他の固定手段を使ってこのガスライン１２またはポンプライン１４に固定する。その上、外部環境への熱損失を減らすために断熱材２０を屡々ヒートトレースケーブル１６の周りに配置する。この断熱材２０は、典型的にヒートトレースケーブル１６の周りに巻付け、別のテープまたはタイ片によってこのガスライン１２またはポンプライン１４の周りの所定の位置に固定する。
【００１６】
図３および４を参照すると、ヒートトレースケーブル１６の構造および材料が詳細に図示且つ説明してある。このヒートトレースケーブル１６は、典型的に発熱体として作用する半導性高分子材料２４によって囲まれた、１対のバス導体２２を含む。誘電または絶縁材料２６がこの半導性高分子材料２４を囲み、それは、任意に接地面のような付加的機能性のために図示するように金属編組材料２８によって囲まれていてもよい。更に、外側ジャケット３０がこの組立体全体を保護するためにこの金属編組材料２８を囲み、この外側ジャケット３０は、典型的に熱可塑性材料のような絶縁材料である。
【００１７】
他のヒータシステムより比較的低コストであるが、ヒートトレースケーブル１６は、現場で適切な長さに切断して適当なコネクタまたは端子に接合しなければ成らず、それは屡々時間が掛り、厄介である。その上、ヒートトレースケーブル１６は、被覆面積が限られ且つ導管に固定する手段が比較的粗雑であるために、導管の全長に亘って比較的均一な加熱分布を得ることに他の加熱システムほど有能でない。ヒートトレースケーブル１６は、それらが剛く且つ導管の形状に成るのが困難であるために、導管と不確実な接触しかしない。
【実施例１】
【００１８】
次に図５ないし８を参照すると、本開示の第１実施例による半導体処理システム１０に使うようになっているモジュール式ヒートトレース組立体が示してあり且つ全体を参照数字５０で指してある。このモジュール式ヒートトレース組立体５０は、この半導体処理システム１０の導管１３に接触し且つ加熱するためのヒートトレース部５２を含む。このモジュール式ヒートトレース組立体５０は、隣接するヒートトレース部５２を固定するためのおよびこのモジュール式ヒートトレース組立体５０を以下に詳細に説明するように半導体処理システム１０の部品に固定するためのコネクタ５４も含む。
【００１９】
これらのヒートトレース部５２は、図示するように細長い形状に作ってあり且つ湾曲部５６およびこの湾曲部５６の縦方向に伸びる１対のロック縁５８を含むのが好ましい。この湾曲部５６は、導管１３の周りに配置するための開いたチャンネル６２を形成する内面６０を有する。この内面６０は、このヒートトレース部５２を導管１３に固定できるようにするために導管１３の外面と相補であるのが好ましい。この湾曲部５６は、ヒートトレース部５２から導管１３へのより均一な熱伝達をもたらし且つロック縁５８による導管１３周りへのヒートトレース部５２の自動ロックを可能にするために、導管１３の全外面の少なくとも半分を囲むのが好ましい。
【００２０】
図示するように、ロック縁５８は、湾曲部５６の縦軸を横切る方向に離間していて且つこれらのヒートトレース部５２の導管１３への取付けを容易にするように構成してある。このヒートトレース材料が柔軟であるので、ヒートトレース部５２のチャンネル６２を導管１３の周りに配置するとき、ロック縁５８は、外方にそらすことができ且つ次にヒートトレース部５２を導管１３に固定するために放したとき導管１３に片寄せられる。
【００２１】
更に図示するように、１対の導体６４がヒートトレース部５２内に、好ましくは図示するようにロック縁５８に沿って設けてあり、これらの導体６４は、対向する端６６および６８から外方に伸びる。これらの導体６４は、このヒートトレース部５２に沿って熱を提供するために電源（図示せず）に接続するように構成してある。これらの導体６４は、以下に詳しく説明するように、隣接するヒートトレース部５２にまたは隣接するコネクタ５４に接続するようにも成っている。図５ないし８には示さないが、このヒートトレース部５２は、半導性高分子材料、この半導性高分子材料を囲む誘電または絶縁材料を含み、並びに先に説明したように接地面および外側ジャケットのための任意の材料も含んでよいことを理解すべきである。これらの別の材料は、明確さのためにヒートトレース部５２には図示しない。
【００２２】
これらのヒートトレース部５２は、種々のサイズ、または例えば、導管１３の外形に対応するサイズに前もって形成してあるのが好ましい。これらのヒートトレース部５２は、導管１３の特別な部分に所望の長さに従って、適切な長さに切断することも可能である。これらのヒートトレース部５２は、図示する半導体処理システム１０のような導管システム内の修理および交換を容易にするために標準サイズおよび長さで用意してあるのが好ましい。従って、本開示の教示によるヒータシステムのモジュール式構造は、導管システムに容易に適合する比較的低コストのヒータシステムを容易にする。
【００２３】
次に図５および６に関連して図９ないし１１ｃを参照すると、ヒートトレース部５２をこの導管システム１０の管継手７０の間でまたは横切って隣接するヒートトレース部５２に固定するために、コネクタ５４がこのヒートトレース部５２の対向する端６６または６８の少なくとも一つに近接して設けてある。このコネクタ５４は、設置および除去を容易にするためにこの管継手の形状に作ってあるのが好ましい。その上、この管継手に近接するコネクタ５４を覆うために、やはりこの管継手の形状に作ってある嵌め合いカバー７２が設けてある。
【００２４】
このヒートトレース部５２およびコネクタ５４は、このヒートトレース部５２とコネクタ５４の間の迅速な係合・離脱を可能にするために嵌め合い機構を形成する。この実施例では、コネクタ５４がピンの形をした、または導体６４を受けるために１対の対応する溝５８を備え、それらの導体は、以下に詳しく説明するように、ヒートトレース型ヒータでは典型的にピン、または剥取りの結果露出した線の形をしている。
【００２５】
このコネクタ５４は、本開示の教示による電気接続および熱伝達のための複数の形の一つを含んでもよい。図１１ａに示す第１形態では、コネクタ５４が絶縁材料を含み且つ溝５８内に配置した電気コネクタ素子７４を含む。これらの電気コネクタ素子７４は、一般的にソケットの形をしていて、図示するように導体６４を受けるようになっている。これらの電気コネクタ素子７４は、締り嵌めのためのサイズでもよく、またはその代りに、必要に応じて導体６４にかしめてもよい。その代りに、これらの電気コネクタ素子７４が、絶縁材排除または刺通コネクタとしても知られ、それらの周囲材料、例えば、絶縁材料、半導性高分子材料金属組編材料を通して導体６４に接触するために柔軟なカバーまたはハウジングによって動かされる電気接点を含む、スクイーズコネクタを含んでもよい。例示スクイーズコネクタが米国特許第４，８６１，２７８号に示してあり、多種多様なその様なコネクタが多数の製造業者から市販されていて、それで簡潔さのためにここには図示しない。従って、本開示の範囲内に留まりながら多種多様な電気コネクタを使ってもよいことを理解すべきである。本開示の範囲内に留まりながら多種多様な電気接続アプローチを使って、コネクタ５４を横切る電気的連続性をもたらすために、破線７５によって示すように、コネクタ５４を横切る電気コネクタ素子７４間の電気接続も使ってよいことも理解すべきである。
【００２６】
図１１ｂに示すような第２形態では、コネクタ５４が上に示したような電気コネクタ素子７４を備える絶縁材料を含み、このコネクタ５４の本体内に配置した、前もって形成したヒートトレース部７６も含む。それでこのヒートトレース部７６は、この導管システム１０の管継手７０に必要な熱を与え、且つ上に説明したように本開示の教示に従って構成してある。
【００２７】
図１１ｃに示すような第３形態では、コネクタ５４が、前もって形成したヒートトレース部７６を備えるが電気コネクタ素子７４は備えない絶縁材料を含む。この形態で、導体６４は、図示するようにコネクタ５４から伸び、および電源（図示せず）に電気接続するために後に別のコネクタまたは端子に取付けてある。その代りに、このコネクタ５４は、ここに示す形態の各々で、このヒータシステムの温度制御を改善するために、個別温度センサ（図示せず）、またはＴＣＲ（抵抗温度係数）材料を使う固有の温度検知性能も含んでよい。
【００２８】
更に他の形態では、シリコンまたは非シリコンベースのペースト、またはとりわけシート型熱ゲルが、熱伝達を改善するために導管１３に隣接する一つ以上の露出面に、コネクタ５４の片側に配置してある。従って、本開示の範囲内に留まりながら熱伝達を改善または制御するために、多種多様な熱インタフェース材料をコネクタ５４とヒートトレース部５２の両方に使ってもよいことを理解すべきである。
【００２９】
ヒートトレース部５２をコネクタ５４に接続するためにピンと溝の機構を使うが、コネクタ５４がこのヒートトレース部５２を隣接するヒートトレース部５２に固定するようにおよびこの接続部を横切る電気的連続性をもたらすように機能する限り、同じ物を接続するための他の機構を使うことができることに注目すべきである。例えば、その様な機構は、嵌め合い構造を整列および／または固定するために、例として、ねじ、釘、スナップ、クリップ等を含んでもよい。その上、本開示の範囲内に留まりながら、電磁機能のような、機械的素子以外の機能を使ってもよい。
【００３０】
このヒートトレース部５２を第１実施例では湾曲部５６を有するように説明したが、このヒートトレース部５２は、ここに示したような形状および構造に限定されないことにも注目すべきである。ヒートトレース部５２は、それを導管１３に適正に固定して、この導管１３に熱を与えられる限り、どんな形状でもよい。例えば、このヒートトレース部５２は、矩形導管を受けるために角胴形でもよい。ヒートトレース部５２は、導管１３を加熱する目的を達成するためにここに図示し且つ説明するように導管１３に直接接触しているのが好ましいが、そうである必要はない。更に、ここに図示するような単品ではなく、複数品のヒートトレース部５２を導管１３の周囲に使ってもよい。その様な変形は、本開示の教示および範囲内にあると理解すべきである。
【実施例２】
【００３１】
図１２および１３を参照すると、本開示の第２実施例によるヒートトレース部が全体を参照数字１００で示してある。このヒートトレース部１００は、大きいサイズの導管１３を容易にし且つこの導管１３およびその中の流体を加熱するために必要な電力を供給するために複数の導体１１０を含む。これらの導体１１０は、対向する端１１２および１１４から電源（図示せず）へおよび／または隣接するヒートトレース部１００へ若しくはコネクタ５４へ電気接続するためにこのヒートトレース部１００の縦軸に沿って外方に伸びる。
【００３２】
この実施例では、中に導管１３を受けるための管状チャンネル１０６を形成する七つのパネル１０２が示してある。二つのパネル１０２は、図示するように縦スリット１０８を形成するために、それらの縦辺１０４の一つに沿って接合してない。この縦スリット１０８は、このヒートトレース部１００の導管１３への取付けを容易にする。このヒートトレース部１００は、柔軟な材料で出来ているので、この縦スリット１０８を形成する二つのパネル１０２を外方に撓めることによって、先に説明したヒートトレース部５２同様に、このヒートトレース部１００を導管１３の上に固定できる。
【００３３】
先に述べたように、この実施例のヒートトレース部１００は、特に大サイズの導管に適する。それでパネル１０２の枚数は、加熱すべき導管１３のサイズに依存し、図１２および１３の実施例に示すような七つに限定されない。本開示の範囲内に留まりながら、導管１３のサイズおよび所要熱量に従って幾つの導体１１０および対応するパネル１０２を使ってもよい。
【００３４】
図１４を参照すると、図１２および１３の多重導体実施例を先に示したような二導体コネクタ５４に適合させるように機能するバスアダプタが示してあり、全体を参照数字１５０で指してある。図示するように、このバスアダプタ１５０は、ヒートトレース部１００とコネクタ５４の間に配置したリング形であるのが好ましい。このバスアダプタ１５０は、絶縁性材料で、ヒートトレース部１００の複数の導体１１０を受けるための、好ましくはソケットの形の、複数の電気コネクタ素子１５２（破線で示す）を片側に含むのが好ましい。反対側に、このバスアダプタ１５０は、コネクタ５４の電気コネクタ素子７４（破線で示す）と係合するためにこのバスアダプタ１５０の本体から伸びる１対の導体１５４を含む。このバスアダプタ１５０の内部で、電気コネクタ素子７４は、電気的連続性をもたらすために、導体１５４の各々にバス接続してある。
【実施例３】
【００３５】
次に図１５ないし１７を参照すると、本開示の第３実施例に従って、導管システム１０の交差点または継手に使うためのヒートトレース接合部が提供してあり且つ全体を参照数字２００で指してある。図示するように、このヒートトレース接合部２００は、ベース部２０２から伸びる複数のアーム２０４を有する十字形状を形成するのが好ましい。各アーム２０４は、隣接する電源（図示せず）または隣接するヒートトレース部若しくは接合部に接続するための１対の導体２０８をを備える係合端２０６を有する。これらの係合端２０６に二つの導体２０８しか示さないが、本開示の範囲内に留まりながら、複数の導体、即ち三つ以上を使ってもよいことを理解すべきである。その上、これらの導体２０８の経路は、特定の所要熱量に従って変ってもよく、およびここに示す以外の経路、例えば、図示するように四つ全てではなく一つまたは二つのアーム２０４を下る経路を本開示の教示および範囲内に入ると解釈すべきことを理解すべきである。
【００３６】
このヒートトレース接合部２００は、この導管システム１０の接合部に適正に取付けられるように適当な形状に作ることができる。例えば、このヒートトレース接合部２００を導管システム１０（図１に示す）のエルボ接合部に使用するために図１６に示すようにエルボ形２１０に作ることができる。その代りに、このヒートトレース接合部２００を導管システム１０のＴ字形接合部（図示せず）に使うために図１７に示すようにＴ字形２１２に作ることができる。更に示すように、これらの導体２０８は、これらの接合部を隣接するヒートトレース部にまたはコネクタに接続するために必要性に依って、図１６および１７に示すように多種多様な構成を含んでもよい。
【実施例４】
【００３７】
図１８ないし２１を参照すると、本開示の第４実施例によるモジュール式ヒートトレースコネクタ組立体が全体を数字３００で指してある。このモジュール式ヒートトレースコネクタ組立体３００は、第１ヒートトレース部３０２、第１終端構造３０４、第２ヒートトレース部３０６、および第２終端構造３０８を含む。この第１ヒートトレース部３０２および第２ヒートトレース部３０６は、図１８ないし２１に比較的平坦な形状を形成するように示してあるが、それぞれのヒートトレース部３０２および３０６は、先に示した円形または円筒形のようなどんな幾何形状でもよいことを理解すべきである。従って、この平坦形状は、本開示の範囲を限定すると解釈すべきでない。
【００３８】
この第１ヒートトレース部３０２および第２ヒートトレース部３０６は、各々当接端３１０および３１２並びに末端３１４および３１６を有する。これらの終端構造３０４および３０８は、当接端３１０および３１２に設けてあり且つ一緒に機械的および電気的に結合するための嵌め合い機構を有する。更に具体的には、この第１終端構造３０４は、上係合部３１８および下係合部３２０を有する。この第２終端構造３０８も対応する上係合部３２２および対応する下係合部３２４を有する。この第１終端構造３０４の上係合部３１８は、ピン形状を形成し、一方第２終端構造３０８の上係合部３２２は、これらの上係合部３１８および３２２間の係合を容易にするためにソケット形状を形成する。一推奨形で、第１終端構造３０４の上係合部３１８は、１対のピン３２６を含む。この第２終端構造３０８の上係合部３２２は、中にこれらのピン３２６を受けるために対応する対のソケット３３０を含み、それで機械的および電気的結合をもたらす。これらの終端構造３０４および３０８は、ニッケル材料性であるのが好ましいが、本開示の範囲内に留まりながら、十分な電気的連続性をもたらす銅のようなその他の材料も使ってよい。
【００３９】
更に示すように、この第１終端構造３０４の下係合部３２０は、１対の延長部３３２を含み、それからこの上係合部３１８のピン３２６が上方に伸びる。第２終端構造３０８の下係合部３２４も１対の延長部３３４を含み、それから上係合部３２２の係合アーム３２８が伸びる。これらの延長部３３２および３３４は、各々電気的連続性のためにその中にヒートトレース３０２および３０６の導体３３６を受ける。
【００４０】
図面には示さないが、第１ヒートトレース部３０２および第２ヒートトレース部３０６の末端３１４および３１６は、任意に追加のヒートトレース部にまたはコネクタに接続するための終端構造３０４または３０８を備えてもよい。その代りに、これらの末端３１４および３１６が電源（図示せず）に接続するための適当な係合手段（図面には示さず）を備えてもよい。
【００４１】
図２２を参照すると、ヒートトーレス部３４０および３４２を接続するための代替コネクタが示してあり、全体を参照数字３４４で指してある。このコネクタ３４４は、図示するように導体３４６を接続するために全体として“Ｕ字形”形状を成す。本開示の一つの形で受け孔（図示せず）を形成するコネクタ３４４と係合するために、これらの柔軟な導体３４６を図示するように上方に曲げる。このコネクタ３４４は、この技術で知られる手法に従って導体３４６に圧入、接着、または溶接してもよい。従って、露出導体３４６を有するヒートトレース部３４０および３４２の端が先に図示した実施例より互いに近く、それでこれらのヒートトレース部に沿う熱伝達の均一性を改善する。
【００４２】
このモジュール式ヒートトレースコネクタ組立体３００は、高温用途でピンおよびソケットの熱疲労を減らすために、この様にこのピンおよびソケット接続領域をこれらのヒートトレース３０２および３０６の高温面から離して配置するように構成してある。
【００４３】
上に説明したモジュール式ヒータ組立体５０を従来のヒートトレースケーブルに類似する構造を有するように図示し且つ詳述したが、本開示の範囲内に留まりながら、ヒートトレース構造以外の他の種類のヒータ構造も使ってよいことを理解すべきである。とりわけ、モジュール式でモジュール式コネクタおよびここで説明したその他の実施例を使って導管システムで容易に交換および修理できる、高分子ヒータまたは多層フィルムヒータのような種類のヒータを本開示の範囲内にあると解釈すべきである。
【００４４】
図２３を参照すると、本開示の教示によるＺ方向ヒータの実施例が示してあり、全体を参照数字３５０で指してある。このＺ方向ヒータ３５０は、１対の導体３５２を含み、その各々が箔素子３５４に電気的に接続してある。導電性高分子材料３５６が図示するように箔素子３５４の間に配置してあり、且つ絶縁材料３５８がこの組立体全体を囲む。このＺ方向ヒータ３５０は、先に説明したようなモジュール構造に適合し、およびこれらの箔素子３５４の追加で、このヒータが供給する熱の質を特定の用途の必要条件に合わせられる。このＺ方向ヒータ３５０の形状および構造は、例示に過ぎず、ここの説明したような、他の形状および追加の素子、例えば、管状形状、接地面素子も、本開示の範囲内に留まりながら使用してもよいことを理解すべきである。更に、素子３５４は、箔材料に限らず、代替形では格子またはスクリーン材料を含む。
【００４５】
このＺ方向ヒータ３５０は、複数の導体３５２および対応する箔素子３５４を備えるシート料の形に作るのが好ましい。それで、どんなサイズのＺ方向ヒータ３５０も特定の用途の必要条件に従ってこのシートから容易に切取りまたは切出すことができる。例えば、導体３５２および箔素子３５４の複数部分、例えば、各２セット以上を、導体３５２および箔素子３５４の長さを所望の寸法に切断することに加えて、このシートの幅の全域から切出すことができる。
【００４６】
次に図２４を参照すると、ヒートトレース付き導管、または加熱した導管（図示せず）用の断熱ジャケットが全体を参照数字４００で指してある。この断熱ジャケット４００は、管状断熱本体４０２を形成するのが好ましく、それは外壁４０３、および加熱した導管を受けるためのチャンネル４０６を形成する内壁４０４を有し、その導管は先に説明したようなヒートトレース付き導管でもよい。この内壁４０４は、先に説明したように、導管の全長に亘って配置する、従来のヒートトレースケーブルを収容するためのポケット４０８を有する。その代りに、このポケットは、ここに図示し且つ説明したようなヒートトレース部５２を収容するために、図２５に示すアーチ形ポケット４１０のような、多数の形状に具体化してもよい。従って、このポケット４０８の形状は、どんな形であっても、このヒートトレース部の形状を反映または適合するように設計する。その上、このポケット４０８を有する断熱ジャケット４００は、導管の長さに沿って滑らせるのではなく、変形してこの導管の上に置くことができる。更に、図示する形状の断熱ジャケット４００は、環境への熱損失を制御する目的で一つ以上のヒートトレース部をこの導管に対して正確に配置するために役立つことができる。
【００４７】
図２６を参照すると、加熱した導管用の別の形の断熱ジャケットが全体を参照数字４２０で指してある。この断熱ジャケット４２０は、外壁４２３および内壁４２５を形成する管状断熱本体４２２を形成するのが好ましい。この管状断熱本体４２２は、図示するように外壁４２３と内壁４２５の間を縦に伸びる複数の空気室４２４でできている。それでこれらの空気室４２４は、これらのヒートトレース部に沿う熱放散の均一性を改善するためおよびこの断熱ジャケット４２０を通る熱損失を減らすための領域を提供する。
【００４８】
図２７を参照すると、加熱した導管用で空気室を有する断熱ジャケットの別の形が全体を参照数字４３０で指してある。この断熱ジャケット４３０は、外壁４３３および内壁４３５を有する管状断熱本体４３２を形成するのが好ましい。図示するように、この管状断熱本体４３２は、この内壁４３５に作り且つこの管状断熱本体４３２の縦方向に沿って幾らか不規則な構成に配置した複数の空気ポケット４３４を有する。従って、これらの空気ポケット４３４は、この断熱ジャケット４３０を通る熱損失を低減する。
【００４９】
図２８を参照すると、加熱した導管用断熱ジャケットの更に別の形が全体を参照数字４４０で指してある。この断熱ジャケット４４０は、管状断熱本体４４２を形成し、それは、対向する縦縁４４６および４４８が形成する縦スリット４４４を有する。これらの対向する縦縁４４６および４４８は、円周方向に離間し且つ加熱した導管周りに配置可能にするために適正に離れている。更に具体的には、この管状断熱本体４４２は、縦縁４４６および４４８が外方に撓んで、次にこの加熱した導管に片寄せられるように、柔軟な材料、例えば、多くの中でも、シリコンゴムシートまたは発泡材、ネオプレン、ポリイミド発泡材またはテープ製である。
【００５０】
更に図示するように、縦縁の一つ４４６は、この断熱ジャケット４４０を加熱した導管の周りに置いた後に縦縁の他の一つ４４６を適正に係合させるためにフラップ４５２を備える。縦スリット４４４を閉じるためにフラップ４５２を使うことは、外部環境への熱損失を減らすのに役立つ。このフラップ４５２も断熱のために断熱材料製であるのが好ましい。このフラップ４５２は、このフラップ４５２を縦縁の他の一つ４４８に且つこの管状断熱本体４４２の外面に沿って固定するように、他の固定手法の中でも、接着テープ製であるか、若しくは接着剤コーティングを備えてもよく、またはその代りにベルクロ（登録商標）であるか若しくは機械的スナップを含むフラップでもよい。
【００５１】
ここで説明した断熱ジャケット実施例の各々で、これらのジャケットは押出しであるのが好ましい。その上、これらの形態のどれも、例えば、空気室、ヒートトレース部の形状寸法に合わせた大きさのポケット、縦スリット、およびフラップは、本開示の範囲内に留まりながら、単独に設けても、または互いに組合わせて設けてもよい。更に、多重ポケットは、本開示の精神および範囲から逸脱せずに、多重ヒートトレース部５２を容易にするために設けてもよい。
【００５２】
次に図２９ないし３１を参照すると、別の形のモジュール式ヒータシステムが示してあり、且つ全体を参照数字５００で指してある。一般的に、このモジュール式ヒータシステム５００は、ヒートトレース組立体５０２およびコネクタ組立体５０４を含む。明確さのために一つのヒートトレース組立体５０２と一つのコネクタ組立体５０４しか示さないが、このモジュール式ヒータシステム５００は、最終用途に依って、ヒートトレース組立体５０２とコネクタ組立体５０４のどちらかまたは両方を複数含むことができることを理解すべきである。
【００５３】
このヒートトレース組立体５０２は、例えば、先に説明し且つ図１および２に示したような半導体処理システム１０の導管１３との接触および加熱用に適合させてある。このモジュール式ヒータシステム５００は、多数の最終用途に適用でき、従ってここに図示し且つ説明する半導体処理システム１０は例示に過ぎないことを理解すべきである。従って、これらの最終用途を以後このモジュール式ヒータシステム５００の“目標システム”と呼ぶ。このコネクタ組立体５０４も、例えば、この目標システムの継手、コネクタ、またはその他の部品との接触および加熱用に適合させてある。その上、このコネクタ組立体５０４は、隣接するヒートトレース組立体５０２を互いに固定しおよびこの目標システムの継手、コネクタ、またはその他の部品を収容する。このコネクタ組立体も、以下に詳しく説明するように、数ある機能の中で、この目標システムの部品への加熱と外部環境への熱損失の遮断の両方をもたらす。
（ヒートトレース組立体５０２）
【００５４】
図３２および３３に示すように、このヒートトレース組立体５０２は、ヒートトレース部５１０、断熱ジャケット５１２、および終端部材５１４を含む。一般的に、この断熱ジャケット５１２は、ヒートトレース部５１０の周りに配置するのに適合させてあり、およびこの終端部材５１４は、ヒートトレース部５１０と断熱ジャケット５１２の両方と係合するのに適合させてある。この終端部材５１４も、先に示したようにヒートトレース部５１０と隣接するコネクタ組立体５０４の間、または隣接するヒートトレース部５１０と電源（図示せず）の間の電気的接続を提供する。従って、リード線５１６がこの終端部材５１４を出て隣接する電気接続を創り出す。
【００５５】
図３４ないし３６を参照すると、このヒートトレース部５１０が示してあり、次に詳しく説明する。図示するように、このヒートトレース部５１０は、細長い形状をなし、湾曲部５２０およびこのヒートトレース部５１０に沿って縦に伸びる１対の対向するロック縁５２２を含む。この湾曲部５２０は、例えば、先に図５および６に示し且つ説明したように導管１３の周りに配置するための開いたチャンネル５２６を囲む内面５２４を形成する。この内面５２４は、ヒートトレース部５１０と導管１３の間の熱伝達および接続を改善するために導管１３の外面と相補であるのが好ましい。この湾曲部５２０は、より均一な熱伝達をもたらし且つロック縁５２２による導管１３周りのヒートトレース部５１０の自動ロックを可能にするために、導管１３の全外面の少なくとも半分を囲むのが好ましい。これらのロック縁５２２は、先に図示し且つ説明したロック縁５８（図７および８）のように機能し、従って以下に更に詳しくは説明しない。その上、このヒートトレース部５１０も図示するように導体５２８を含み、それは先に図示し且つ説明した導体６４（図７および８）のように機能するので、同様に以下に更に詳しくは説明しない。
【００５６】
先に説明したヒートトレース部５２（図７および８）同様、このヒートトレース部５１０は、種々のサイズ、または例えば、導管１３の外周に対応するサイズに前もって形成してあるのが好ましい。これらのヒートトレース部５１０は、押出しであり且つ導管１３の特別な部分のための所望の長さに従って、適切な長さに切断することも可能であるのが好ましい。これらのヒートトレース部５１０は、先に図示し且つ説明した半導体処理システム１０のような導管システム内の修理および交換を容易にするために標準サイズおよび長さで用意してあるのが好ましい。従って、本開示の教示によるヒータシステムのモジュール式構造は、例えば、導管システムに容易に適合する比較的低コストのヒータシステムを容易にする。
【００５７】
更に図示するように、このヒートトレース部５１０は、誘電体カバー５３２が囲む半導性高分子コア５３０を含むのが好ましい。図示しないが、このヒートトレース部５１０は、先に説明したように、他の機能性材料の中で、接地面および外部カバー用の任意の材料も含んでよい。その上、この誘電体カバー５３２は、半導性高分子コア５３０と同時押出しであるのが好ましいが、この誘電体カバー５３２は、その代りに別に作って後組立て工程での半導性高分子コア５３０の周りへの配置に適合させてもよい。
【００５８】
このヒートトレース部５１０は、誘電体カバー５３２の外面５４２およびロック縁５２２から、好ましくは図示するように垂直方向に、断熱ジャケット５１２の内面５１３の方へ伸びる、好ましくは図示するようにフィン５４０の形の、複数の断熱スタンドオフを形成するのが都合がよい。これらのフィン５４０は、根元部５４４から先端部５４６へ図示するように先細りになり且つ複数のフィン５４０と断熱ジャケット５１２の間に通路５４８を形成するのが好ましい。このヒートトレース部５１０を図３６に示すように断熱ジャケット５１２内に組立てると、これらの通路５４８は、動作中のヒートトレース部５１０から外部環境への熱損失が更に減るように、図示するように空気の形で、断熱する。その上、この改善した断熱効果は、ユーザがこのモジュール式ヒータシステム５００の作動中にこのヒートトレース組立体５０２に触れるように、この断熱ジャケット５１２の外部を“触っても安全な”温度にする。
【００５９】
フィン５４０の図示する先細り形状と異なる幾何学的構成と共に、任意の数のフィン５４０を、本開示の範囲内に留まりながら、使ってもよいことを理解すべきである。例えば、図３５に示すように、この断熱ジャケット５１２の内面５１３に対して拭取り作用を与えて、隣接する通路５４８からの封止を改善した通路５４８を生じるために、曲ったフィン５４０’（破線で示す）を使ってもよい。更に、フィン５４０ではなく、またはそれに加えて、断面形状が“Ｓ字形”または“Ｚ字形”のような他の幾何学的構成も、本開示の範囲内に留まりながら、使ってよい。これらの通路５４８は、ここに図示し且つ説明したように空気を使うのではなく、その代りに、本開示の範囲内に留まりながら、他の形の材料の中で気泡のような断熱材、またはポリイミド発泡材で埋めてもよい。
【００６０】
次に図３７および３８を参照すると、断熱ジャケット５１２が示してあり、それで次に詳しく説明する。図示するように、この断熱ジャケット５１２は、二つの部分５５０および５５２を含むのが好ましく、それらは、同じ部分を組立てた断熱ジャケット５１２に使用できるように対称形であるのが好ましく、それで、これらの部分５５０および５５２は、互換性がある。各部分５５０および５５２は、先に説明したようにヒートトレース部５１０に適合している形状、即ち、図示する実施例では円形を成す。これらの部分５５０および５５２は、更に外壁５５６と内壁５５８の間を縦に伸び、支持部５５９によって分割された、室５５４を含む。これらの室５５４は、動作中のヒートトレース部５１０から外部環境への熱損失が更に減るように、図示するように空気の形で、断熱する。この断熱ジャケット５１２も押出しであり且つ本開示の一つの形でポリカーボネートのような半剛性高分子材料を含むのが好ましい。その代りに、この断熱ジャケット５１２は、図２４ないし２８に示す代替断熱ジャケットに関して上に示したもののような他の材料を含んでもよい。
【００６１】
更に示すように、この断熱ジャケット５１２は、この断熱ジャケット５１２をヒートトレース部５１０に容易に着脱できるようにヒンジ・スナップ機構を含む。更に具体的には、各部分５５０および５５２が、それぞれ、この断熱ジャケット５１２の対向するヒンジ５７０および５７２に沿って縦に伸びる、対向する湾曲リップ５６２および５６４並びに隣接する対向ロックタブ５６６および５６８を含む。これらのロックタブの一つ５６６が最初に隣接する湾曲リップ５６２内に係合し、次に対向するロックタブ５６８が隣接する湾曲リップ５６４に係合してパチンと嵌るまでこれら二つの部分５５０および５５２をこの断熱ジャケット５１２の縦軸Ｘの周りに回転する。それで、追加の部品または機材を必要とすることなく、この断熱ジャケット５１２をヒートトレース部５１０に容易に設置する。この断熱ジャケット５１２除去するためには、ロックタブ５６８が湾曲リップ５６４から外れるように、これら二つの部分５５０および５５２を互いの方にこの縦軸Ｘの周りに単純に回転する。従って、この断熱ジャケット５１２は、このヒンジ・スナップ機構を作動させるために、上に説明した半剛性ポリカーボネートのような、弾力があって比較的柔軟な材料であるのが好ましい。
【００６２】
代替形で、これら二つの５５０および５５２の各々は、図示するようにヒンジ５７０および５７２に隣接する凹んだ外面５８０を含むのが好ましい。これらの凹んだ外面５８０は、テープ片５８２（明確さのためにテープ片５８２の一つだけを示す）を収容し、それらは、付加的断熱をもたらし且つこれら二つの部分５５０および５５２を更に一緒に固定する。このテープ５８２は、非伝導性で且つ例として、ポリエステルまたはポリイミドのような材料であるのが好ましい。このテープの図および説明は例示に過ぎず、とりわけベルクロ（登録商標）のような他の固着部材も本開示の範囲内に留まりながら使ってよいことを理解すべきである。
【００６３】
図３７を参照すると、これらの部分の少なくとも一つ、図示するように部分５５２が更に端部５８６および５８８に隣接して作ったスロット５８４を含む。これらのスロット５８４は、図３２および３３に示した終端部材５１４の特徴に適合し、次にそれらを詳しく説明する。
【００６４】
図３９および４０を参照すると、この終端部材５１４がヒートトレース部５１０（および図示しない断熱ジャケットも）への接続に適合させてあり、およびリード線５１６用の出口を提供し且つこのリード線５１６用の歪み逃しとしても作用する突出部５９０を含む。それでこの突出部５９０は、先に図示し且つ説明したように断熱ジャケット５１２のスロット５８４内に配置するように構成してある。更に示すように、この突出部５９０は、隣接するランド５９２および５９４を含み、それらは溝５９６によって分離され、それでこの溝５９６が隣接するランド５９２および５９４の中の通路（図示せず）を通って出て行く二つのリード線５１６の間の誘電体スタンドオフとなる。この突出部５９０は、終端部材５１４と一体に作ってあるのが好ましく、この終端部材５１４は、例として、高分子材またはフルオロポリマのような断熱材であるのが好ましい。
【００６５】
本開示の一つの形で、この終端部材５１４は、ハウジング本体６００およびこのハウジング本体６００に固定した末端キャップ６０２を含む。一般的に、この末端キャップ６０２は、電気接続部を収容するハウジング本体６００の内部を覆い且つ絶縁するために設けてある。更に具体的に、および図４１ないし４３を参照して、この末端キャップ６０２は、図示するように末端部に、それぞれ、ロック延長部６０８および６１０を含む、弾性アーム６０４および６０６を含む。対応して、このハウジング本体６００は、これらの弾性アーム６０４および６０６を収容する溝６１２および６１４並びにこれらのロック延長部６０８および６１０と係合する面６１６を含む。末端キャップ６０２をハウジング本体６００上を滑らせると、弾性アーム６０４および６０６が次第に溝６１２および６１４に沿って滑り、これらの弾性アーム６０４および６０６が外方に撓む。次にロック延長部６０８および６１０が溝６１２および６１４を通過して前進すると、弾性アーム６０４および６０６が内方に戻り、ロック延長部６０８および６１０ハウジング本体６００の面６１６と係合して末端キャップ６０２をこのハウジング本体６００に固定する。弾性アーム６０４および６０６をハウジング本体６００の外部と係合するように図示し且つ説明したが、これらの弾性アーム６０４をその代りに、本開示の範囲内に留まりながら、ハウジング本体６００の内部に向けて配置してもよいことを理解すべきである。
【００６６】
その上、この末端キャップ６０２は、ハウジング本体６００の対応する内輪郭面６２４および６２６の上に嵌るサイズのフランジ６２０および６２２を含む。これらのフランジ６２０および６２２は、終端部材５１４内部の電気接続部へのあらゆる視線を除去することによって審美的外観も改善しながら、主としてこの終端部材５１４全体への付加的誘電体として機能する。これに関して、ハウジング本体６００は、更に面６１６から後方に伸びる壁６２７および６２８を含み、それらも電気接続部のための誘電体スタンドオフとなる。これらのフランジ６２０および６２２の誘電体延長部としての特別の形状および位置は、例示に過ぎず、他の部品（例えば、ハウジング本体６００）のための誘電体延長部の中で、末端キャップ６０２のその様な誘電体延長部の他の形状および位置を、本開示の範囲内に留まりながら、使ってもよいことを理解すべきである。
【００６７】
次に図４４ないし４６、および図４２も参照すると、ハウジング本体６００の裏側が、電気接続部を収容するために、内部空洞６３０および６３２並びに１組の上部開口６３４および６３６を、１組の下部開口６３８および６４０と共に含む。一般的に、リード線５１６は、突出部５９０を通り、上部開口６３４および６３６を通って内部空洞６３０および６３２の中へ伸びる。延長線６５０および６５２がヒートトレース部５１０の導体５２８（図示せず）に接続してあり、やはり内部空洞６３０および６３２の中へ伸びる。これらのリード線５１６は、次に図示するようにクリンプ６５４および６５６でこれらの延長線６５０および６５２に接続してあるのが好ましい。従って、リード線５１６とヒートトレース部５１０の間の電気接続部が空洞６３０および６３２内に配置してあり、このハウジング本体６００の壁６２７および６２８によって絶縁保護がもたらされる。
【００６８】
図３９および４１に戻り、並びに図４６ないし４７も参照すると、ハウジング本体６００の前側がスロット６６２によって分離された複数の外側延長部６６０を含む。これらの外側延長部６６０は、ヒートトレース部５１０の周りへの配置に適合し、更に具体的には、このヒートトレース部５１０の外面５４２に係合する。これらの外側延長部６６０は、それらがヒートトレース部５１０の外面５４２に対して確実な係合力を生じるように僅かな抜き勾配を付けて設計してあるのが好ましい。これらの外側延長部６６０は、ヒートトレース部５１０と外部環境の間に付加的誘電分離を与えるようにも機能する。ヒートトレース部５１０のフィン５４０は、次に図示するようにスロット６６２に入れ子になり、完全に組立てた状態で終端部材５１４の面６１６に当接する。その様な入れ子を更に容易にするために、外側延長部６６０は、これらの外側延長部６６０とフィン５４０の間の接触をより緊密にするために図示するような傾斜面６６４を含むのが好ましい。
【００６９】
このハウジング本体６００は、更に、アーチ形上部６７２並びに下部６７４および６７６を形成する異形の内側延長部６７０を含む。この異形の内側延長部６７０は、図示するようにヒートトレース部５１０の内面５２４と係合し、それがヒートトレース部５１０を終端部材５１４に更に固定する。この異形の内側延長部６７０は、外側延長部６６０同様に付加的誘電分離を与えるようにも機能する。このアーチ形上部６７２は、図示するように面６１６での厚い部分から薄い端部６７８へ断面が先細りであるのが好ましい。それでこの薄い端部６７８がヒートトレース部５１０と終端部材５１４の組立を容易にする。その上、これらの下部６７４および６７６は、図示するようにフィン５４０の外面と係合するように構成してある。
【００７０】
（コネクタ組立体５０４）
次に図４８ないし５０を参照すると、コネクタ組立体５０４がシェル７００を含み、それは、複数のシェル部材７０２および７０４を含むのが好ましい。これらのシェル部材７０２および７０４は、図示するようにそれらをシェル７００の上部７０６とシェル７００の下部７０８の両方に使うように、互換性があるのが好ましい。同時に、シェル部材７０２および７０４は、それぞれ外側リム７１０および７１２を形成し、これらのリム７１０および７１２は、図３０に示すようにヒートトレース組立体５０２の上の設置に適合させてある。これらのリム７１０および７１２は、付加的熱絶縁をもたらし、審美性改善のためにこのモジュール式ヒータシステム５００内の結合部内への視線を減らす。その上、上側リム７１４および下側リム７１６が、それぞれ、これらのシェル部材７０２および７０４の周りに作ってあり、それらも別のヒートトレース組立体５０２の上の設置に適合させてある。同様に、この上側リム７１４および下側リム７１６は、付加的熱絶縁をもたらし、審美性改善のためにこのコネクタ組立体５０４内の結合部への視線を減らす。
【００７１】
これらのシェル部材７０２および７０４は、支持体７２６によって分離された空洞７２４を形成する外壁７２０および内壁７２２も含む。これらの空洞７２４は、外部環境への熱損失を減らすための付加的断熱をもたらし、およびこのシェルの外部を触っても安全な温度にもする。これらのシェル部材７０２および７０４は一般に、断熱、誘電分離、および触っても安全な温度の目的で種々の空洞を形成するために図示するように複数の外壁および内壁を含む。従って、図示するこれらの付加的壁および空洞は、明確さのために以下に詳しくは説明しない。
【００７２】
その上、これらのシェル部材７０２および７０４は、図示するようにヒンジ要素７３０および、回り止め７３４と係合する柔軟なタブ７３２を含む。それで、この上部７０６および下部７０８は、このヒンジ要素７３０の回りに回転可能であり、およびこれらの外側リム７１０の端部に配置した柔軟なタブ７３２は、これらのシェル部７０６および７０８を一緒にロックするために他の外側リム７１２の端部に配置した回り止め７３４と係合する。これらの外側リム７１０および７１２は、ヒートトレース組立体５０２の外側に確実な係合力を与えるサイズになっているのが好ましい。
【００７３】
更に示すように、これらのシェル部材７０４は、シェル部材７０２の内壁７２２を通して作ってある開口７４２と係合する柔軟なタブ７４０のような付加的保持機構を含む。従って、これらの柔軟なタブ７４０および開口７４２は、隣接するシェル部材７０２および７０４の間をより確実に結する。その上、これらのシェル部材７０２は、図示するようにシェル部材７０４の対応する外壁凹み７４８と係合する外壁延長部７４６を含む。従って、これらの外壁延長部７４６および対応する外壁凹み７４８は、熱的分離および審美性改善のための視線減少に加えて、組立のためのシェル部材７０２および７０４の整列の両方をもたらす。シェル部材７０２および７０４は、断熱性材料であるのが好ましくおよび熱可塑性重合体のような耐熱材料で成形してあるのが好ましい。しかし、他の材料および加工方法を本開示の範囲内に留まりながら使ってもよいことを理解すべきである。
【００７４】
シェル７００内部に配置してあるのは、図５０ないし５２に最も良く示す、管継手ヒータ組立体７５０を含む、このコネクタ組立体５０４の追加の部品である。この管継手ヒータ組立体７５０は、管継手アダプタ７５２、ヒートトレース部７５４、および好ましくは図示するように二体構成の外側ケーシング７５６を含む。この管継手アダプタ７５２は、この目標システム（図示せず）の隣接する管継手または部品に嵌るサイズの開口７６０を形成する。従って、ここに図示し且つ説明する開口７６０のサイズおよび形状は、例示に過ぎず、本開示の範囲を制限すると解釈すべきでないことを理解すべきである。
【００７５】
この管継手アダプタ７５２は、溝７６４のある凹んだ外周７６２も形成し、その溝の両方は、図示するようにヒートトレース部７５４の形状寸法を収容する大きさである。この管継手アダプタ７５２は、アルミニウムのような伝導性材料であるのが好ましいが、しかし、本開示の範囲内に留まりながら他の材料も使ってよい。その代りに、この管継手アダプタ７５２は、この開口７６０の膨張に備えるため、従ってこの目標システムの隣接する管継手とより緊密な接触のためにスリット７６８（破線で示す）を含んでもよい。
【００７６】
この外側ケーシング７５６は、図示するように対称形に、交換可能な部品で設けてあるのが好ましい。この外側ケーシング７５６は、間にコンジット７７４を形成する外壁７７０および内壁７７２を含む。このコンジット７７４は、ヒートトレース部７５４へ接続するためのリード線（図示せず）のための通路を提供する。この外側ケーシング７５６は、図４９に示してある、シェル部材７０２および７０４のヒンジ要素７３０と協同するヒンジ要素７７６も含む。それで、これらのヒンジ要素７７６は、シェル部材ヒンジ要素７３０の穴７３１（図５０）内に配置するのに適合するピン７７８を含むのが好ましい。その上、これらのコンジット７７４は、ヒートトレース部７５４に接続するリード線用の出口を提供するために図示するようにヒンジ要素７７６を貫通する。これらのヒンジ要素７７６は、図示するように延長部７７９の上に配置してあるのが好ましく、そうすればこの延長部７７９がリード線の歪み逃しとして機能する。
【００７７】
この外側ケーシング７５６は、図示するようにそれらの外面７８２から伸びるスタンドオフ７８０も含むのが好ましい。これらのスタンドオフは、この管継手ヒータ組立体７５０を適正にシェル７００内に心出し、または配置するように機能する。
【００７８】
図５３に示すような、この外側ケーシング７５６の代替形では、スナップ機構を使って二つの外側ケーシング７５６の各々を互いにしっかりと結合する。（明確さのために一つの外側ケーシング７５６だけを示す）。更に具体的には、このケーシング７５６がボス７８１から伸びる柔軟なラッチ７８０を含み、それらの両方がこの外側ケーシング７５６と一体に作ってあるのが好ましい。これらの柔軟なラッチ７８０は、図示するように比較的平坦な横面７８３を含む先細りの端部７８２を形成する。更に示すように、穴７８４が対向するボス７８５を通して作ってあり、それも外側ケーシング７５６と一体に作ってあるのが好ましい。座ぐり７８６（破線で示す）もこの対向するボス７８５に作ってあり、それが内部肩７８７（破線で示す）を形成する。この先細りの端部７８２が対向する外側ケーシング７５６（図示せず）の穴７８４と係合すると、これらの柔軟なラッチ７８０と先細りの端部７８２がこの穴７８４の全長を横断できるように、これらの柔軟なラッチ７８０が互いの方へ、内方に撓む。これらの先細りの端部７８２が座ぐり７８６に入ると、柔軟なラッチ７８０が外方に撓み戻って、横面７８３が内部肩７８７と係合し、外側ケーシング７５６を一緒に固定する。二つの外側ケーシング７５６を分離するためには、横面７８３が内部肩７８７を通過するまで柔軟なラッチ７８０を座ぐり７８６を通して内方に撓め、すると二つの外側ケーシング７５６を引離すことができる。この結合装置は例示に過ぎず、それで外側ケーシング７５６用に、本開示の範囲内に留まりながら、他の結合装置も使ってよいことを理解すべきである。
【００７９】
次に図４９ないし５０および５４ないし５５を参照して、このコネクタ組立体５０４は、もしこの結合部が図示するようなエルボ構成かまたはＴ字形構成（図示せず）にあって、隣接するヒートトレース組立体５０２がこのコネクタ組立体５０４の片側に配置されていないならば、カバー８００も備えてよいかも知れない。従って、このカバー８００は、触っても安全な表面温度および審美性の向上ももたらしながら、管継手ヒータ組立体７５０と外部環境の間の付加的誘電分離をもたらす。図５３および５４に更にはっきり示すように、このカバー８００は、断熱および絶縁層分離の目的で間に隙間８０６を形成する外壁８０２および内壁８０４を含む。このカバー８００は、更に、このカバー８００をコネクタ組立体５０４全体に固定するためにシェル部材７０２の外壁８１０の上に配置するために適合した柔軟なクリップ８０８を含む。
【００８０】
ここに図示し且つ説明する例示コネクタ組立体５０４は、この目標システム内のエルボ型結合部用に構成してあること、並びにこのコネクタ組立体５０４およびその種々の部品の形状寸法および特徴は、この目標システム内に使う結合部に依って変ることを理解すべきである。例えば、もしこのコネクタ組立体５０４がＴ字形接合部若しくは交差型接合部、または、例としてポンプのような別部品の上にさえ設置するのに適合させてあるならば、これらのコネクタ組立体５０４部品の大きさおよび形状は、それに応じて調節されるだろう。従って、ここに図示し且つ説明したコネクタ組立体５０４の特定の設計は、本開示の範囲を限定すると解釈すべきでない。
【００８１】
本開示の別の形で、このヒートトレース組立体５０２は、それらの境界面全体に亘って一定の温度を達成するためにこれらのコネクタ組立体５０４に“整合”させてある。更に具体的には、コネクタ組立体５０４対ヒートトレース組立体５０２にそれぞれ異なる出力密度を要するかも知れず、それで各々に異なる出力密度を予定する。
【００８２】
更に別の形では、必要な出力を減らしおよびモジュール式ヒータシステム５００部品の外面温度も下げるために、断熱ジャケット５１２の内面５１３および／またはシェル部材７０２および７０４に沿って反射表面被覆を設けてもよい。その様な反射表面被覆は、放射率が低いのが好ましく、それで、例えば、アルミ箔または、例えば、蒸着法によって付けたその他の低放射率材料を含んでもよい。同様に、高放射率材料を導管１３と誘電または絶縁材料２６の間、またはヒートトレース部５１０の半導性高分子材料２４を囲むカバー、若しくは伝導性コアに付けてもよい（ヒートトレース部の基本構造およびその用語については図３および４参照）。それで、この高放射率材料がヒートトレース部５１０と導管１３の間の熱伝達を改善するだろう。
【００８３】
次に図５６ないし５８を参照すると、ヒートトレース組立体の別の形が示してあり、全体を参照数字８２０で指してある。このヒートトレース組立体８２０は、一般的に、明確さのために図示しない、先に説明したような終端部材およびコネクタ組立体と共に、断熱ジャケット８２４が囲むヒートトレース部８２２を含む。本開示のこの代替形では、スタンドオフ８２６が先に図示し且つ説明したようにヒートトレース部８２２の中ではなく断熱ジャケット８２４に組込んである。それで、これらのスタンドオフ８２６は、フィンの形であるのが好ましいが、本開示の範囲内に留まりながら、他の形状寸法および構成を使ってもよいことを理解すべきで、それらの例を以下に詳しく説明する。これらのスタンドオフ８２６、断熱ジャケット８２４の内面８２８から、このヒートトレース部８２２の半導性高分子コア８３２を囲む誘電体カバー８３０に隣接する位置へ伸び、それによってこの断熱ジャケット８２４とヒートトレース部８２２の間に通路８２７を作るのが好ましい。これらのスタンドオフ８２６の末端部８３４は、これらのスタンドオフ８２６がヒートトレース部８２２をこの断熱ジャケット８２４内に同心に位置付けるようにこのヒートトレース部８２２と物理的に接触しているのが好ましい。それで、これらスタンドオフ８２６の末端部８３４の位置および形状は、このヒートトレース部８２２の形状および／または大きさに適合していて、それはここに示す円形以外でもよい。
【００８４】
スタンドオフ８２６に加えて、この断熱ジャケット８２４は、更に、外壁８３８と、支持体８４２によって分離された内壁８４０との間を縦に伸びる室８３６を含む。これらの支持体８４２は、図示するようにスタンドオフ８２６に結合して作ってあるが、これらの支持体８４２およびスタンドオフ８２６は、本開示の範囲内に留まりながら、断熱ジャケット８２４の周りの別々の位置にあってもよい。先に説明したように、これらの室８３６は、動作中のヒートトレース部８２２から外部環境への熱損失が減るように、図示するように空気の形で断熱する。その上、これらの室８３６および／またはヒートトレース部８２２と断熱ジャケット８２４の間、スタンドオフ８２６間のスペースを発泡材のような断熱材またはその代りに先に説明したような低放射率材料で埋めてもよい。
【００８５】
この断熱ジャケット８２４は、ヒートトレース部８２２の周りに設置するために単一の、一体品であるが、柔軟なままであるように作ってあるのが好ましい。従って、この断熱ジャケット８２４は、リップ８５２およびロックタブ８５４に対向して作った縮減領域８５０を含む。この縮減領域８５０は、この断熱ジャケット８２４の圧壁部８５６を通して作り且つ外側凹み８５８、ウエブ部８６０、および内側凹み８６２を形成するのが好ましい。それでこの縮減領域８５０は、この断熱ジャケット８２４を第１セグメント８６４と第２セグメント８６６に分ける。この断熱ジャケット８２４は、先に示したポリカーボネートのような、半剛性高分子材料で作ってあるのが好ましく、それでこの縮減領域８５０，更に具体的に、ウエブ部８６０は、第１セグメント８６４および第２セグメント８６６がこの縮減領域８５０の周りに回転できるように“一体ヒンジ”を提供する。この第１セグメント８６４および第２セグメント８６６が互いの方へ回転すると、この断熱ジャケット８２４をヒートトレース部８２２に周りに固定するために、図示するようにロックタブ８５４がリップ８５２と係合する。その結果、この断熱ジャケット８２４を、先に図示し且つ説明したように複数品ではなく、単一の、一体品として都合よく設ける。更に、単一の縮減領域８５０ではなく、本開示の範囲内に留まりながら、複数の縮減領域８５０を断熱ジャケット８２４の周り使ってもよい。
【００８６】
図５９ａおよび５９ｂを参照すると、断熱スタンドオフの代替形が示してあり、全体を参照数字８７０で指してある。図示するように、これらの断熱スタンドオフ８７０は、断熱ジャケット８２４の周りに、先に図示し且つ説明したように縦ではなく円周方向に伸び、それで本開示の例示構造では“リング”の形を採る。これらのスタンドオフ８７０は、断熱ジャケット８２４の全長に亘って、例として、図２９ａに示すように連続で均等に離間してもよく、または図２９ｂに示すように不連続で交互に離間してもよい。その上、これらのスタンドオフ８７０は、長さおよび幾何形状が異なってもよく、それでもここに示すように断熱ジャケット８２４の一部としてでなく、ヒートトレース部８２２（図示せず）の一部として作ってもよい。更に、円周スタンドオフ８７０を断熱ジャケット８２４（またはヒートトレース部８２２）の一部として作るのが好ましいが、これらのスタンドオフ８７０は、断熱ジャケット８２４またはヒートトレース部８２２に組付ける別の部品でもよい。例えば、図５０ｃに示すように、断熱ジャケット８２４（またはヒートトレース部８２２）が別々のスタンドオフ８７０’を受ける複数のスロット８７２を含んでもよく、そうすればこれらのスタンドオフが交換可能で特定の用途の必要条件に従って数／間隔を変えることができる。それで、これらのスタンドオフ８７０’は、図示するようにスロット８７２に嵌る大きさでその中に固定される突起８７４を含む。するとこれらの突起８７４は、スロット８７２内に摺動可能に係合してスタンドオフ８７０’を所望の位置に固定する。
【００８７】
図５７に戻って参照すると、ヒートトレース部８２２は、電力を加えるためにヒートトレース部８２２の全長に亘って伸びる導体８３１の対と共に、半導性高分子コア８３２を囲む誘電体カバー８３０を含む。本開示の一つの形で、この誘電体カバー８３０（ここに図示し且つ説明するような、複数の幾何形状の）は、この半導性高分子コア８３２と同時押出し（一押出し行程か複数押出し行程で）であるのが好ましい。別の形では、誘電体カバー８３０を別に作って半導性高分子コア８３２の周りに摺動可能に係合させる。更に別の形では、誘電体カバー８３０を半導性高分子コア８３２上に滑らせる別部品ではなく、塗装、吹付け、浸せき塗装、テーピング、熱収縮、またはその他の類似の施用方法によって半導性高分子コア８３２に付ける。その上更に別の形では、誘電体カバー８３０をその代りに半導性高分子コア８３２の上に付けるのではなくまたはそれに加えて、これらの手段によって実際の導管１３（例えば、図５ないし８参照）に付けることができる。比較的低温で、従って断熱が必要ない用途に対しては、半導性高分子コア８３２と導体８３１だけがヒートトレース部８２２を形成するように、誘電体カバー８３０をヒートトレース部８２２から完全に除去することができる。従って、ある用途ではヒートトレース部８２２を何も誘電体カバー８３０なしに作ってもよい。その様な変形が本開示の範囲内にあることを理解すべきである。
【００８８】
次に図６０および６１を参照すると、ヒートトレース組立体の別の形が示してあり、全体を参照数字８８０で指してある。このヒートトレース組立体８８０は、導管１３の周りに配置するために適合させたキャリヤ８８２、およびこのキャリヤ８８２に固定したヒートトレース部８８４を含む。この実施例では、このヒートトレース部８８４を先に図示し且つ説明したように導管１３の形状に作るのではなく、標準／従来のヒートトレース部８８４を使うことができる。従って、このキャリヤ８８２は、図示するように導管１３の周囲の少なくとも半分の周りに伸びる延長部８８７と共に、導管１３と相補の形状を形成する内部面８８６を含む。このキャリヤ８８２は、更にこのヒートトレース部８８４を受けるための大きさの凹んだ上面８８８を含む。そこでこのヒートトレース部８８４を多種多様な手段のどれかでこの凹んだ上面８８８内に固定する。例えば、このヒートトレース部８８４を凹んだ上面８８８に圧入またはパチンと嵌めてもよく、キャリヤ８８２は、このヒートトレース部８８４を固定するための機構を含んでもよく、このヒートトレース部８８４をキャリヤ８８２に固定するために追加の部品（例えば、保持クリップ）を使ってもよく、または他の締結または固定手段の中で接着剤を使ってこのヒートトレース部８８４をキャリヤ８８２内に固定してもよい。このキャリヤ８８２は、ヒートトレース部８８４から発生した熱を効率的に導管１３に伝えられるように、アルミニウム、真鍮、銅、または伝導性高分子材料のような材料で作ってあるのが好ましい。先にここに図示し且つ説明したような断熱ジャケットを、この実施例ではっきり図示し且つ説明しないが、本開示の範囲内に留まりながらそれもこのヒートトレース組立体８８０に使ってもよいことを理解すべきである。
【００８９】
図６２ａおよび６２ｂを参照すると、キャリヤの代替形が示してあり、それぞれ、全体を参照数字８８２ａおよび８８２ｂで指してある。図６２ａに示すように、このキャリヤ８８２ａは、対応する湾曲したヒートトレース部８８４ａを収容するための湾曲した幾何形態を成す凹んだ上面８８８ａを形成する。それでこの湾曲した幾何形態は、ヒートトレース部８８４ａが一般的に下にある導管１３の輪郭に従うので、このヒートトレース部８８４ａから導管１３への熱伝達の向上をもたらす。図６２ｂに示すように、キャリヤ８８２ｂは、多角の凹んだ上面８８８ｂを形成し、それは図示するように湾曲していても、または比較的真っ直ぐでもまたは先に図６０および６１に示したように平坦でもよい。それで、このキャリヤ８８２ｂは、導管１３が比較的大型で、この導管１３を十分に囲むためには多数のヒートトレース部８８４ｂを要する用途に使うのが好ましい。
【００９０】
一つの形で、このキャリヤ８８２は、アルミニウム押出し品であるのが好ましいが、本開示の範囲内に留まりながら、熱をこのヒートトレース部８８４から導管１３へ十分に伝える他の材料も使ってよい。例えば、このキャリヤ８８２は、その代りの高分子材料でもよい。その上、本開示の範囲内に留まりながら、押出し以外の代替製造法、例えば、機械加工も使ってよい。
【００９１】
次に図６３ないし６５を参照すると、代替末端終結装置を有するヒートトレース部の形が示してあり且つ全体を参照数字９００で指してある。このヒートトレース部９００は、裸端部９０２を含み、そこでは導体９０８の対および誘電体カバー９０４の内壁９１２を図示のように露出するように、誘電体カバー９０４の一部および伝導性コア９０６が奥へ剥がしてある。終結部材９１０内部の電気接続部への視線をなくすることに加えて、ヒートトレース部９００の内壁９１２がこの終結部材９１０内に収容した部品（例えば、リード線９１４、伝導性コア９０６、および樽形クリンプ接続部９１６）、と導管１３の間に付加的誘電分離をもたらすように、次にこの末端終結装置９００を図示するようにヒートトレース部９００の上へ滑り込ませる。この終結部材９１０は、図示するような形態も含み、ヒートトレース部９００の外面をその様な形態で覆いまたは重なって先に説明したように誘電分離をもたらし且つ視線を減らすようにする。その上、先に図示し且つ説明した末端キャップ同様に、末端キャップ９１８を図示するように終結部材９１０に固定する。
【００９２】
図６６ないし６９に示す別の末端終結装置の実施例には、代替末端終結装置を有するヒートトレース部が示してあり且つ全体を参照数字９２０で指してある。このヒートトレース部９２０は、裸端部９２２を含み、そこでは導体９２８の対だけがこのヒートトレース部９２０の裸端部９２２から伸びるように、誘電体カバー９２４の一部および伝導性コア９２６が奥へ剥がしてある。更に示すように、末端シールド９３２がこのヒートトレース部９２０の裸端部９２２の上に置いてあり、そこでは導体９２８の対がこの末端シールド９３２のガイド９３４を貫通する。一般的に、この末端シールド９３２は、付加的誘電分離をもたらし且つ導管１３への視線を減らすために使用する。次にこの終結部材９３６を末端シールド９３２に固定して先に説明したようにリード線および電気接続部を収容する。その上、先に図示し且つ説明した末端キャップ同様、末端キャップ９３８を図示するように終結部材９３６に固定する。
【００９３】
次に図７０を参照すると、ヒートトレース組立体の代替形が示してあり且つ全体を参照数字９４０で指してある。このヒートトレース組立体９４０は、先に説明した構成同様に、伝導性コア９４２およびその中に配置した１対の導体９４４を含むが、図示するようにこの伝導性コア９４２の周りに誘電体カバーが使ってある。この実施例では、この複合誘電体カバーが内カバー９４３および外カバー９４６を含み、その各々が、それぞれ、湾曲した端部９４８および９５０を含む。これらの湾曲した端部９４８および９５０は、この複合誘電体カバーを伝導性コア９４２に固定するために、図示するように互いに重なって導体９４４の周りに伸びる。この内カバー９４３と外カバー９４６の両方は、伝導性コア９４２およびその導体９４４と別々に作ってあるのが好ましく、それで同時押出しではない。これらの湾曲した端部９４８および９５０ではなく、これらのカバーをヒートシール、溶接、接着、または多くの他の既知の方法によって互いに固着してもよい。例えば、図７１に示すように、内カバー９４３’がスタンドオフ９４５を含み、外カバー９４６’をこれらの方法の何れかによって境界面９５４に沿ってこれらのスタンドオフ９４５に固定する。
【００９４】
図７２に示すように、断熱ジャケットに関して先に示したような“一体ヒンジ”を含むヒートトレース部を図示し且つ全体を参照数字９６０によって指す。このヒートトレース部９６０は、図示するような縮減領域９６２を含み、それは、外側凹み、ウエブ部９６６、および内側凹み９６８を含む。それでこの縮減領域９６２は、このヒートトレース部９６０を第１セグメント９７０と第２セグメント９７２に分ける。従って、この縮減領域９６２、更に具体的にはウエブ部９６６は、第１セグメント９７−および第２セグメント９７２がこの縮減領域９６２の周りに回転できるように“一体ヒンジ”をもたらす。その結果、この代替形のヒートトレース部９６０を導管（図示せず）上により容易に設置できる。その上、本開示の範囲内に留まりながら、この単一縮減領域９６２ではなく多重縮減領域９６２をこのヒートトレース部９６０の周りに使ってもよいことを理解すべきである。
【００９５】
次に図７３および７４を参照すると、管継手アダプタの代替形（先に図５０ないし５２に参照数字５２として代替形で図示し且つ説明した）が示してあり且つ全体を参照数字９８０で指してある。この管継手アダプタ９８０は、先に図示し且つ説明したようにヒートトレース部７５４（図示せず）を収容するための凹んだ外周９８４と共に、図示するように隣接する管継手９８３に嵌る大きさの開口９８２を含む。この管継手アダプタ９８０は、この隣接する管継手９８３に固定した導管（図示せず）の一部に沿って伸びる、延長部９８６および９８８を含む。その代りに、これらの延長部９８６および９８８を、比較的短く従ってこの先に図示し且つ説明したようにヒートトレース組立体を付けるのが幾らか困難かも知れない導管の全部分に沿って配置する。それで、この管継手アダプタ９８０のこれら延長部９８６および９８８は、熱を、この凹んだ外周９８４内に配置したヒートトレース部７５４（図示せず）から導管の下にある部分へ分配できる。従って、この熱分配延長部９８６および９８８を使うことによって導管のある部分には別の発熱素子（即ち、ヒートトレース組立体）が必要ない。二つ以外の延長部９８６および９８８を使ってもよいことおよびこれら延長部９８６および９８８は、本開示の範囲内に留まりながら長さおよび幾何形状が違ってもよいことを理解すべきである。
【００９６】
更に図示するように、個の管継手アダプタ９８０は、先に図示し且つ説明したようなヒートトレース組立体の隣接する部分を収容するようになっている、内部溝９９０を含む。その上、この開口９８２の形状は、そこに挿入する隣接管継手の形状に従って変り、それでここに図示し且つ説明した角胴形は、本開示の範囲を限定すると解釈すべきでないことを理解すべきである。
【００９７】
図７５および７６を参照すると、断熱ジャケットの更に別の形が示してあり且つ全体を参照数字１０００で指してある。図示するように、この断熱ジャケット１０００は、第１セクション１００２およびこの第１セクション１００２に対向して配置した第２セクション１００４を含み、それらはヒンジ１０２０によって互いに結合してある。このヒンジ１０２０は、この第１セクション１００２および第２セクション１００４と同時押出しであるのが好ましく、それでこの断熱ジャケット１０００用に単一の一体の本体を作る。このヒンジ１０２０は、第１および第２セクション１００２および１００４の外面、それぞれ、１０２２および１０２４と面一であり、且つ図示するように第１および第２延長部１０３０および１０３２上に載っているのが好ましい。従って、このヒンジ１０２０は、この第１および第２セクション、それぞれ、１００２および１００４が着脱のために互いに対して回転できるように柔軟な材料で作ってある。
【００９８】
更に図示するように、この第１セクション１００２は、凹み１００８を形成する開放端部１００６を含み、および第２セクション１００４は、図示するようにこの第１セクション１００２の凹み１００８と係合する、移動止め１０１０を含む。この移動止め１０１０は、凹み１００８と係合して第１セクション１００２を第２セクション１００４に固定し、従ってこの断熱ジャケット１０００を着脱のために容易に係合・離脱できる結合部によってこのヒートトレース部（図示せず）の周りに固定する。
【００９９】
本開示の他の形では、種々の“表示”手段を意図し、そこではこのヒータシステムの状態または状況を表示し、外部環境から監視できる。例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）を戦略的位置にこのヒートトレース組立体に沿って置いてこのシステムが稼働中かどうかを表示してもよい。このＬＥＤは、このヒートトレース組立体の個々の部分内にまたはその代りにこのシステム内の種々の電気接続部に置いてもよい。別の例として、ある場所でのこのシステムの温度を表示するために、サーモクロミックコーティングをこのシステムの外面に沿うどこか、例えば、ヒートトレース組立体、コネクタ組立体に付けてもよい。その代りに、サーモクロミック添加剤を、例として、この断熱ジャケット内に使うためのある樹脂システム内に使用してもよい。その上、温度制御のために温度センサを使うと共に、所望の位置での温度表示のためにこのシステム内の個別温度センサを使ってもよい。これら種々の“表示”手段は、本開示の範囲内であると意図することを理解すべきである。
【０１００】
この開示の説明は、性質が単に例示に過ぎず、それでこの開示の要旨から逸脱しない変形は、この開示の範囲内にあることを意図する。例えば、これらのヒートトレース部に使う伝導性高分子材料は、温度を自己調整するために半伝導性材料であっても、または温度をこの材料によってではなく制御システムによって調整するように非半伝導性材料でもよい。その上、この断熱ジャケットは、この断熱ジャケットを外部環境からの損傷から保護するために、任意の形状または構成の外部シェル、例えば、剛性プラスチックを付けてもよい。その様な変形は、この開示の精神および範囲からの逸脱とは見做さない。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒートトレース組立体であって：
ヒートトレース部；
このヒートトレース部を囲む断熱ジャケット；
このヒートトレース部と断熱ジャケットの間に配置してある複数のスタンドオフ；並びに
このヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に作ってある、対応する複数の通路を含む組立体。
【請求項２】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットと一体に作ってある組立体。
【請求項３】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部と一体に作ってある組立体。
【請求項４】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットに組付けてある別々の部品である組立体。
【請求項５】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部に組付けてある別々の部品である組立体。
【請求項６】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフがフィンである組立体。
【請求項７】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの一部であって末端部を形成し、および上記ヒートトレース部を上記断熱ジャケット内に同心に配置するためにこの末端部が上記ヒートトレース部と物理的に接触する組立体。
【請求項８】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記複数の通路が断熱材料と低放射率材料から成るグループから選択した材料で埋めてある組立体。
【請求項９】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記断熱ジャケットが更に、上記断熱ジャケットの外壁と内壁の間を縦に伸びる複数の室を含む組立体。
【請求項１０】
請求項９によるヒートトレース組立体に於いて、上記複数の室が断熱材料と低放射率材料から成るグループから選択した材料で埋めてある組立体。
【請求項１１】
加熱システムに使うための断熱ジャケットであって、この断熱ジャケットがこの断熱ジャケットの内面からヒータの方へ内方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒータと断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるジャケット。
【請求項１２】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットと一体に作ってあるジャケット。
【請求項１３】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットに組付けてある別々の部品であるジャケット。
【請求項１４】
請求項１１による断熱ジャケットであって、更に複数のセグメントおよびこれらのセグメントの間に配置してある少なくとも一つの縮減領域を含み、そこでこの縮減領域がこれらのセグメントをこの縮減領域の周りに回転可能にするジャケット。
【請求項１５】
請求項１４による断熱ジャケットに於いて、上記セグメントおよび縮減領域は、上記断熱ジャケットが単一の、一体品であるように、上記断熱ジャケットと一体に作ってあるジャケット。
【請求項１６】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの全長に亘って縦に伸びるジャケット。
【請求項１７】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの周りに円周方向に伸びるジャケット。
【請求項１８】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの全長に亘って不連続であるジャケット。
【請求項１９】
加熱システムに使うためのヒートトレース部であって、このヒートトレース部がこのヒートトレース部の内面から断熱ジャケットの方へ外方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるヒートトレース部。
【請求項２０】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部と一体に作ってあるヒートトレース部。
【請求項２１】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部に組付けてある別々の部品であるヒートトレース部。
【請求項２２】
請求項１９によるヒートトレース部であって、更に複数のセグメントおよびこれらのセグメントの間に配置してある少なくとも一つの縮減領域を含み、そこでこの縮減領域がこれらのセグメントをこの縮減領域の周りに回転可能にするヒートトレース部。
【請求項２３】
請求項２２によるヒートトレース部に於いて、上記セグメントおよび縮減領域は、上記ヒートトレース部が単一の、一体品であるように、上記ヒートトレース部と一体に作ってあるヒートトレース部。
【請求項２４】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部の全長に亘って縦に伸びるヒートトレース部。
【請求項２５】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部の周りに円周方向に伸びるヒートトレース部。
【請求項２６】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部の全長に亘って不連続であるヒートトレース部。
【請求項２７】
請求項１１によるヒートトレース部に於いて、上記ヒートトレース部が半導性高分子コアを囲む誘電体カバーを含み、そこでこの誘電体カバーが複数品を含むヒートトレース部。
【請求項１】
ヒートトレース組立体であって：
ヒートトレース部；
このヒートトレース部を囲む断熱ジャケット；
このヒートトレース部と断熱ジャケットの間に配置してある複数のスタンドオフ；並びに
このヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に作ってある、対応する複数の通路を含む組立体。
【請求項２】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットと一体に作ってある組立体。
【請求項３】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部と一体に作ってある組立体。
【請求項４】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットに組付けてある別々の部品である組立体。
【請求項５】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部に組付けてある別々の部品である組立体。
【請求項６】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフがフィンである組立体。
【請求項７】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの一部であって末端部を形成し、および上記ヒートトレース部を上記断熱ジャケット内に同心に配置するためにこの末端部が上記ヒートトレース部と物理的に接触する組立体。
【請求項８】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記複数の通路が断熱材料と低放射率材料から成るグループから選択した材料で埋めてある組立体。
【請求項９】
請求項１によるヒートトレース組立体に於いて、上記断熱ジャケットが更に、上記断熱ジャケットの外壁と内壁の間を縦に伸びる複数の室を含む組立体。
【請求項１０】
請求項９によるヒートトレース組立体に於いて、上記複数の室が断熱材料と低放射率材料から成るグループから選択した材料で埋めてある組立体。
【請求項１１】
加熱システムに使うための断熱ジャケットであって、この断熱ジャケットがこの断熱ジャケットの内面からヒータの方へ内方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒータと断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるジャケット。
【請求項１２】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットと一体に作ってあるジャケット。
【請求項１３】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットに組付けてある別々の部品であるジャケット。
【請求項１４】
請求項１１による断熱ジャケットであって、更に複数のセグメントおよびこれらのセグメントの間に配置してある少なくとも一つの縮減領域を含み、そこでこの縮減領域がこれらのセグメントをこの縮減領域の周りに回転可能にするジャケット。
【請求項１５】
請求項１４による断熱ジャケットに於いて、上記セグメントおよび縮減領域は、上記断熱ジャケットが単一の、一体品であるように、上記断熱ジャケットと一体に作ってあるジャケット。
【請求項１６】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの全長に亘って縦に伸びるジャケット。
【請求項１７】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの周りに円周方向に伸びるジャケット。
【請求項１８】
請求項１１による断熱ジャケットに於いて、上記スタンドオフが上記断熱ジャケットの全長に亘って不連続であるジャケット。
【請求項１９】
加熱システムに使うためのヒートトレース部であって、このヒートトレース部がこのヒートトレース部の内面から断熱ジャケットの方へ外方に伸びる複数のスタンドオフを含み、そこでこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に複数の通路が作ってあるヒートトレース部。
【請求項２０】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部と一体に作ってあるヒートトレース部。
【請求項２１】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部に組付けてある別々の部品であるヒートトレース部。
【請求項２２】
請求項１９によるヒートトレース部であって、更に複数のセグメントおよびこれらのセグメントの間に配置してある少なくとも一つの縮減領域を含み、そこでこの縮減領域がこれらのセグメントをこの縮減領域の周りに回転可能にするヒートトレース部。
【請求項２３】
請求項２２によるヒートトレース部に於いて、上記セグメントおよび縮減領域は、上記ヒートトレース部が単一の、一体品であるように、上記ヒートトレース部と一体に作ってあるヒートトレース部。
【請求項２４】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部の全長に亘って縦に伸びるヒートトレース部。
【請求項２５】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部の周りに円周方向に伸びるヒートトレース部。
【請求項２６】
請求項１９によるヒートトレース部に於いて、上記スタンドオフが上記ヒートトレース部の全長に亘って不連続であるヒートトレース部。
【請求項２７】
請求項１１によるヒートトレース部に於いて、上記ヒートトレース部が半導性高分子コアを囲む誘電体カバーを含み、そこでこの誘電体カバーが複数品を含むヒートトレース部。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１ａ】
【図１１ｂ】
【図１１ｃ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図３９】
【図４０】
【図４１】
【図４２】
【図４３】
【図４４】
【図４５】
【図４６】
【図４７】
【図４８】
【図４９】
【図５０】
【図５１】
【図５２】
【図５３】
【図５４】
【図５５】
【図５６】
【図５７】
【図５８】
【図５９ａ】
【図５９ｂ】
【図５９ｃ】
【図６０】
【図６１】
【図６２ａ】
【図６２ｂ】
【図６３】
【図６４】
【図６５】
【図６６】
【図６７】
【図６８】
【図６９】
【図７０】
【図７１】
【図７２】
【図７３】
【図７４】
【図７５】
【図７６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１ａ】
【図１１ｂ】
【図１１ｃ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図３９】
【図４０】
【図４１】
【図４２】
【図４３】
【図４４】
【図４５】
【図４６】
【図４７】
【図４８】
【図４９】
【図５０】
【図５１】
【図５２】
【図５３】
【図５４】
【図５５】
【図５６】
【図５７】
【図５８】
【図５９ａ】
【図５９ｂ】
【図５９ｃ】
【図６０】
【図６１】
【図６２ａ】
【図６２ｂ】
【図６３】
【図６４】
【図６５】
【図６６】
【図６７】
【図６８】
【図６９】
【図７０】
【図７１】
【図７２】
【図７３】
【図７４】
【図７５】
【図７６】
【公表番号】特表２０１０−５０３９６６（Ｐ２０１０−５０３９６６Ａ）
【公表日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−５２８４５１（Ｐ２００９−５２８４５１）
【出願日】平成１９年９月１２日（２００７．９．１２）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００７／０７８２７８
【国際公開番号】ＷＯ２００８／０３３９２７
【国際公開日】平成２０年３月２０日（２００８．３．２０）
【出願人】（５００１５７６５３）ワトロウ エレクトリック マニュファクチュアリング カンパニー (25)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２２年２月４日（２０１０．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年９月１２日（２００７．９．１２）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＵＳ２００７／０７８２７８
【国際公開番号】ＷＯ２００８／０３３９２７
【国際公開日】平成２０年３月２０日（２００８．３．２０）
【出願人】（５００１５７６５３）ワトロウ エレクトリック マニュファクチュアリング カンパニー (25)
【Ｆターム（参考）】
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