ロードポート装置
【課題】薄板に設けられた開口部と該開口部を閉鎖するドアとを有するロードポート装置において、微小空間内からドア周囲に沿って外部空間に至る気流の量の適正化を測る。
【解決手段】ドアの外周面に関して、下方及び側方の面１１５ｂ，１１５ｃにはドア外方に突き出すカラー部１１７からなる段差を設けて微小空間から外部空間に直線的に至る気体流路を無くし、ドア上方では開口に向かった開口端面１０５ｃから離れるテーパ面１１５ｄを配する。また、該テーパ面１１５ｄと開口部端面１０５ｃとの距離ｄ１を開口部が形成される板材の厚さｔ１よりも大きくする。
【解決手段】ドアの外周面に関して、下方及び側方の面１１５ｂ，１１５ｃにはドア外方に突き出すカラー部１１７からなる段差を設けて微小空間から外部空間に直線的に至る気体流路を無くし、ドア上方では開口に向かった開口端面１０５ｃから離れるテーパ面１１５ｄを配する。また、該テーパ面１１５ｄと開口部端面１０５ｃとの距離ｄ１を開口部が形成される板材の厚さｔ１よりも大きくする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置に移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。
【０００３】
ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部を開放、閉鎖すると共に、開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避或いは該空間への侵入をさせられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。
【０００４】
半導体の製造工程において、半導体素子の歩留まりを考慮した場合に、上述した微小空間への大気の流入は極力抑えなければならない。ところが開口部をドアにより密閉した状態からこれを一気に開放すると、開放の際に周囲の気体を該微小空間の内部まで巻き込んでしまうという問題があった、このため、例えば特許文献１に記載された構成では、予めドアと開口部の周囲壁との間に隙間を設け、ドアによる開口部の開け閉めに伴って生じ得るドア周囲の気流の乱れを抑制している。また、ドアと開口部外周囲壁との接触による塵等の発生も抑制する必要があり、特許文献２に記載されるようにドア外周面と開口部内周壁との間に空気シールを形成し、これにより接触を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２４３０２号公報
【特許文献２】特開２００２−０７６０９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。このため、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化され、これに伴ってロードポート装置における開口部の拡大とそれに伴うドアの大型化も要請される。この様なドアの大型化によって、ドアの重量は増加し、更にドア駆動機構もドア重量に対応可能な起動力が必要となる。このようなドア駆動機構としては、例えば公知のサーボモータとボールネジ等からなる構造が知られている。
【０００７】
また、ドアに関連する構成のみならず、開口部を形成する所謂サイドプレート等も大型化によって生じる撓み、歪み等を抑える必要上、その厚さ方向の剛性を高めるために板厚を厚くせざるを得なくなる。この場合、その重量が増加することによって、該ロードポート装置の半導体製造装置への組み付けが困難となる。このため、本出願人は板状の部材を組み合わせてロードポート装置全体としての強度と剛性とを得ることとし、その上で薄板によって閉鎖すべき面を閉鎖する様式とすることによる該装置の大形化への対応を推奨している。しかしながら、当該構成の場合、例えば特許文献１或いは２に開示する構成の場合、微小空間内部から外部空間に至る経路が短くなりすぎることから、微小空間内に生成されている所謂ダウンフローから外部空間に至るエア量が多くなりすぎ、微小空間内部と外部空間との間の差圧を適当に維持することが困難となる可能性が生じている。
【０００８】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、従来とは比較して薄板状の部材を用いて構成した開口部を有した場合であっても、微小空間内と外部空間との差圧を適切に維持しつつ開口部の外周領域から外部空間に至る適当な気流を得ることを可能とするロードポート装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、外部空間から隔置した微小空間を構成するサイドプレートと、サイドプレートに設けられて微小空間と外部空間とを連通させる矩形の開口部を閉鎖可能であって開口部の矩形に嵌合可能な所定厚さを有した矩形形状を有するドアと、を有するロードポート装置であって、ドアはドアの外部空間側の面に対して鈍角を構成して交わるテーパ面を上側端面に有すると共に、ドアが開口部を閉鎖した状態において前記開口部の中心を通り前記サイドプレートに垂直な方向から前記ドア及び前記開口部を見た場合に前記開口部の矩形からはみ出すように外方に突き出し且つ微小空間内に配置されるカラー部を、ドアの下側端面及び両横側端面の少なくとも何れかに有し、開口部が形成されたサイドプレートの厚さをｔ１とし、テーパ面とテーパ面に対向する開口部の内周面との距離をｄ１とした場合に、ｔ１≦ｄ１なる関係を満たす、ことを特徴とする。
【００１０】
なお、上述したロードポート装置において、サイドプレートの微小空間側面を含む平面と、ドアの微小空間側面を含む平面との距離をＷ１とした場合に、ｄ１≦Ｗ１なる関係を満たすことが好ましい。また、サイドプレートにおける開口部を構成する内周面とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とした場合に、ｔ１≦ｄ２なる関係を満たすことが好ましい。また、サイドプレートにおける開口部を構成する内周端部とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、カラー部の外部空間側面と前記サイドプレートの微小空間側面との距離をＷ２とした場合に、ｄ２≦Ｗ２なる関係を満たすことがより好ましい。更に、サイドプレートにおける開口部を構成する内周端部とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、カラー部の外周端面とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかの端面との距離をｄ３とした場合に、ｄ２≦ｄ３なる関係を満たすことがより好ましい。更に、ドア及び開口部の矩形の四隅は曲面により各々の端面が接続されており、上側端面と横側端面との接続部分では横側端面が連続的に曲がることにより曲面を構成し、前記曲面と前記上側端面の前記テーパ面が接続することがより好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、薄板により構成された開口部であっても、ドア周囲より適当な量のエアの噴出し状態を得ることが可能となり、微小空間と外部空間との間に所望の差圧を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るロードポート装置に関し、ポッド１を載置テーブル上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。
【図２】図１に示すロードポート装置に関し、ポッドの載置位置側から第一の開口部を介してドアを見た状態を示す模式図である。
【図３Ａ】図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図である。
【図３Ｂ】図３Ａに示される構成を同図中の線３Ｂ−３Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【図４Ａ】図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｂ−４Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【図４Ｃ】図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｃ−４Ｃに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態におけるロードポート装置に関し、ポッド１を載置テーブル上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。図２は、図１に示すロードポート装置に関し、ポッドの載置位置側から第一の開口部を介してドアを見た状態を示す模式図である。図３Ａは図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図であり、図３Ｂは図３Ａに示される構成を同図中の線３Ｂ−３Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。また、図４Ａは図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図であり、図４Ｂは図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｂ−４Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。また、図４Ｃは図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｃ−４Ｃに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【００１４】
本実施形態に係るロードポート装置の構成について、以下に述べる。ロードポート装置１０１は、サイドプレート１０５によって外部空間１０４と分離される微小空間１０３を構成し、該サイドプレート１０５に隣接して配置されるポッド載置部１２１を有する。サイドプレート１０５は、第一の開口部１１１、及びドアシステム１１４を有する。サイドプレート１０５等によって構築される微小空間１０３の上部には不図示のファンが配置され、ロードポート装置１０１が取付けられて微小空間１０３を区画する筐体の外部空間に存在する気体を微小空間内部に導入し、微小空間１０３内部に上方から下方に向かう気体の流である所謂ダウンフローを生成する。当該ファンに対しては、外部空間の清浄度に応じて、当該空間から導入される気体より塵埃等の汚染物質を除去するフィルタが付随している。微小空間１０３の下部にはダウンフローが流出可能となるような構造が配置されており、該微小空間１０３内部で発生する粉塵等は当該ダウンフローに運ばれて微小空間１０３の下部から外部空間に排出される。
【００１５】
ドアシステム１１４は、ドア１１６と、該ドア１１６を支持、駆動して第一の開口部１１１の開閉を行う不図示のドア駆動機構とにより構成される。第一の開口部１１１はドアシステムにおけるドア１１６により一見閉鎖状態とされるが、ドア１１６の外周と第一の開口部１１１の内周面との間には後述する隙間が形成されることから、当該ドア１１６は第一の開口部１１１を略閉鎖可能となっていると述べる。ドア１１６は、ポッド１の蓋を保持するための吸着パッド１０７と、ポッド１に対する蓋の取り付け取り外しを行うためのラッチ機構１０９を有する。ドア１１６は、矩形平板の形状を有するドア本体１１５と、ドア本体１１５における微小空間１０３側に存在する内側面１１５ｅに接合される平板形状のカラー部１１７とを有する。前述した吸着パッド１０７等は、このドア本体１１５におけるカラー部１１７との接合面と対向する平面（外側面１１５ａ、図３Ｂ及び図４Ｂ参照）側に配置される。なお、ドア１１６を構成するドア本体１１５とカラー部１１７とは、射出成形等により当初から一体物として形成されたものであっても良い。
【００１６】
ポッド載置部１２１は、載置されたポッド１を固定可能であると共に該ポッド１を前述した第一の開口部１１１（より正確にはこれを閉鎖するドア１１６）に対して接近及び離間させることが可能である。ポッド載置部１２１は、ポッド１が所定の間隔まで或いはドア１１６（ドア本体１１５の外側面１１５ａ）と当接するまでポッド１の接近動作を行い、ポッド１の駆動が停止した状態でドア１１６は蓋を保持する。ドア１１６はこの状態でポッド本体２からの蓋の分離を行い、更にドア駆動機構により第一の開口部１１１に対して下方に移動することによってポッド１の開口部を微小空間１０３に対して開放させる。なお、本実施例において、ポッド本体２の駆動方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸に直交して該Ｘ軸と共にウエハの延在面を規定する方向（紙面に垂直な方向）をＹ軸方向とし、これら軸からなるＸＹ平面に垂直な方向をＺ軸として便宜上規定する。本実施例では鉛直方向がＺ軸方向に対応し、本明細書における上方及び下方は鉛直方向における上方及び下方に対応する。しかし、本発明におけるＺ軸の延在方向はこの鉛直方向に限定されず、必要に応じて鉛直方向からずらせて設定することも可能である。
【００１７】
本発明が対象とするロードポート装置１００は、従来のロードポート装置に対してサイドプレートが異なる。より詳細には、従来装置では筐体の構成がある程度以上の厚さを有する一枚の板材よりなる所謂サイドベースと称呼される構造体より構成されたものであるのに対して、当該サイドプレート１０５は剛性を得るための複数の板材１０５ａと、該板材に取付けられて微小空間１０３の周囲を囲む壁の一部となり微小空間を規定する薄板１０５ｂとから構成される。第一の開口部１１１はこの薄板１０５ｂに対して形成されている。薄板１０５ｂは、図３Ｂ等に示されるように厚さｔ１を有する。なお、本発明において、薄板として規定される部材の厚さｔ１は、例えば0mm＜ｔ１≦10mmの範囲として規定する。
【００１８】
第一の開口部１１１の形状及び大きさは、ドア１１６が該第一の開口部１１１を略閉鎖する位置にある際に、ドア１１６（ドア本体１１５）の外部空間１０４側に位置する面（以下外側面１１５ａと称する。）が嵌まり込むように設定される。更に、ドア１１６は、後述するドア本体の下側端面１１５ｂ及び両横側端面１１５ｃから内側面１１５ａに沿ってドア本体１１５の外方に突き出すカラー部１１７を有する。即ち、ドア１１６が第一の開口部１１１を閉鎖した状態において、該開口部１１１の中心を通り且つサイドプレート１０５に垂直な方向からドア１１５及び第一の開口部１１１を見た場合に、カラー部１１７は該第一の開口部１１１の矩形からはみ出すように外方に突き出している。また、本発明において、サイドプレート１０５における開口部を構成する内周面とは、図３Ｂ或いは後述する図４Ｂや４Ｃにおいて薄板１０５ｂの端面１０５ｃとして示される面であって、実際には平面或いは曲面より構成される。また、当該内周面と対象物との距離として定義される距離は、該内周面と対象物とを至近となる位置同士で結んだ場合の距離に当たることとする。
【００１９】
本実施形態において、ドア本体１１５の外側面１１５ａと繋がるドア本体１１５の下側の下側端面１１５ｂ及び両側面である横側端面１１５ｃは、これらの連結部分を含めて、ドア１１５本体の外側面１１５ａに対して垂直に繋がる態様とされている。これに対して、図４Ｂに示されるように、ドア１１５本体の上側の上側端面１１５ｄは、微小空間１０３側に位置する面（以下内側面１１５ｅと称する。）から外側面１１５ａに至るにつれてドア１１６の内側面１１７ａと平行なドア本体１１５の切断面を小さくするテーパ面とされている。より詳細には、内側面１１５ｅと該テーパ面とが鋭角を為し、外側面１１５ａと該テーパ面とが鈍角を為すように該テーパ面が内側面１１５ｅ及び外側面１１５ａと交錯している。なお、本形態では、カラー部１１７はドア本体１１５のテーパ面とは連続的ではなくドア本体内側面１１５ｅとに垂直な端面を有する構成として示している。しかし、該テーパ面の効果を考慮した場合、該カラー部１１７の上端面１１７ｃも、該テーパ面と連続する構造とすることが好ましい。この場合、内側面１１５ｅと同様に、ドア１１６の動作軌跡とポッド１の動作軌跡とを含む平面でのドア１１６の断面において、ドア１１６のカラー部１１７の微小空間１０３側に存在する面（ドア本体の内側面１１７ａ）がテーパ面と鋭角を為すように交錯することが好ましい。また、本発明において、鈍角とは公知のように９０度よりも大きな角度を示し、鋭角とは９０よりも小さな角度を示す。
【００２０】
なお、該上側端面１１５ｄは本実施形態では面積変化が単調な平面としているが、これを曲面とする或いは複数の平面を合成してなる面としても良い。即ち、該テーパ面と内側面１１７ａとの内側交線と、該テーパ面と外側面１１５ａとの外側交線とが、平行且つＺ軸に関して内側交線が上方に位置するように配置されていれば良い。なお、図４Ｃに示すように、本実施形態では横側端面１１５ｃと上側端面１１５ｄの連結部分については、所謂連結のコーナ部分については外側面１１５ａと垂直に連結される態様とし、この垂直面が上側端面１１５ｄのテーパ面に繋がる態様としている。
【００２１】
本実施形態では、カラー部１１７は、ドア１１５の下側端面１１５ｂ、横側端面１１５ｃ、これらの連結部分、及び横側端面１１５ｃと上側端面１１５ｄとの連結部分であるコーナ部において長さｄ３だけ突き出している。この長さｄ３は第一の開口部１１１を規定する薄板１０５ｂの内周端からドア本体１１５までの距離ｄ２よりも大きく設定されて、ｄ２≦ｄ３の関係を満たしている。従って、ドア１１６の側面及び下面については、このカラー部１１７の存在によって、微小空間１０３から外部空間１０４に直線的に繋がる経路は存在しなくなる。以上の構成により、従来とは異なる微小空間１０３から外部空間１０４に至る経路の長さが薄板の厚さｔ１と大きく減少した構成であっても、これら空間間での気体の流れが過剰に生成することを防止し、これら空間間での適度の微差圧の維持が可能となる。
【００２２】
単純に微小空間１０３から外部空間１０４に至る経路を狭くする、即ちドア１１６の外周面と第一の開口部１１１の内周端との距離を小さくするだけでも同様の効果が得られる。しかし、距離が小さくなった場合には、ドア１１６の動作における停止制度の影響が大きくなって規定の距離を精度良く再現することが困難となること、或いは場合によっては接触等が生じる恐れがあること、等が懸念される。しかし、当該構成とすることによって微小な隙間を精度良く保持することが無くとも、適当な微差圧の生成が可能となる。なお、上述した関係は下側端面及び横側端面の両者で満たされることが好ましいが、例えば薄板１０５ｂの厚さｔ１が大きく、内周端面１０５ｃとドア側の対向面とによって規定される気体流路長さあある程度大きい場合には、何れか一方が当該条件を満たすこととしても良い。当該関係を満足することによりこの領域を通過する気体の量を適宜抑制することが可能となる。
【００２３】
以上に述べたカラー部１１７を付加することにより過剰の気体の流れを抑制することが可能となるが、当該構成の場合、微小空間１０３から外部空間１０４にいたる気体流路が複雑になることから、従来構成で勘案されたドア開閉時の気流の乱れが生じる可能性が残る。本発明では、ドア本体１１５（或いはドア１１６）の上側端面１１５ｄ（１１５ｄ及び１１７ｃ）に上述したテーパ面を付与することによってドア１１６の開閉時において気体の流れが該テーパ面を主に生じる形態とすることにより、この乱流発生の可能性を抑制することが可能となっている。以上の構成により、微小空間１０３から外部空間１０４にいたる適切な気体の流れの確保が可能となると共に、前述したファンによるダウンフローの量の微調整を行わなくとも、ドア１１６開閉時での気体の巻き込み抑制することも可能となる。
【００２４】
ここで、このテーパ面である上側端面１１５ｄと第一の開口部１１１の内周部である薄板１０５ｂの内周端である端面１０５ｃとの距離がある程度以上に小さい場合には、この適切な気体流れの確保が困難となる可能性がある。種々検討したところ、第一の開口部１１１の内周面の厚さ、即ち薄板１０５ｂの厚さｔ１と、ドア本体１１５の上側端面１１５ｄとの薄板１０５ｂの内周端である端面１０５ｃとの距離ｄ４とについて、ｔ１≦ｄ４とすることにより、適当な気体流れの確保ができることが確認されている。なお、この距離ｄ４はテーパ面上の適当な位置と薄板１０５ｂ上の適当な位置との間の最短距離に対応する。しかし、ドア１１６の停止精度等により当該距離の特定が困難な場合には、例えば薄板１０５ｂの微小空間１０３の側の面をドア１１６の方向に延長して該延長面がドア本体１１５の上側端面１１５ｄと交わる点と、当該延長面における薄板１０５ｂの端部の点との距離ｄ１に置き換え、当該条件をｔ１≦ｄ１として規定しても良い。
【００２５】
従来構成においては、この微小空間１０３から外部空間１０４に至る気体の噴出しを利用して、ポッド１の蓋表面の清浄化を図るという効果も得られていた。本形態では、前述したテーパ面をドア本体１１５の上側端面１１５ｄに付与することによって、蓋の上方から下方に向う流れを有した清浄気体を蓋表面に対して噴き付ける事が可能となる。従って、ドア１１６によって蓋を保持する直前において、蓋表面の清浄化を図り、且つ蓋と共に蓋に付着した塵を微小空間１０３内部に持ち込む可能性を低減するという効果も同時に得られる。本実施形態では、第一の開口部１１１を略閉鎖する位置にドア１１６が存在する場合における、ドア１１６の内側面１１７ａの延在面と薄板１０５ｂの微小空間１０３側面との距離Ｗ１とした場合、上述したｄ１或いはｄ４との関係において、ｄ１≦Ｗ１、或いはｄ４≦Ｗ１が成立することが好ましい。当該条件を満たすことにより、適度な流量を有した気流を蓋等に噴き付ける事が可能となる。また、ドア本体１１５の上側端面１１５ｄをテーパ面とすることにより、このＷ１の値がある程度大きくなっても、ドア１１６の開閉に伴う気流の乱れを抑制することが可能となる。
【００２６】
また、第一の開口部１１１を規定する薄板１０５ｂの内周端である端面１０５ｃからドア本体１１５の下側端面１１５ｂ、及び両横側端面１１５ｃまでの距離ｄ２は、薄板１０５ｂの端部厚さｔ１との関係においてｔ１≦ｄ２なる条件を満たすことが好ましい。当該条件を満足さない場合には、ドア本体１１５の下方及び両側方から外部空間に噴出す気流の量が小さくなりすぎて、安定した気流生成が成り立たなくなり、結果としてドア１１５の周囲に隙間を生成する意味が無くなる。また、同様の理由より、下側端面１１５ｂ及び両横側端面１１５ｃから突き出すカラー部１１７の外部空間１０４側の面１１７ｂと薄板１０５ｂの微小空間１０３側面との距離Ｗ２と前述した距離ｄ２とは、ｄ２≦Ｗ２の条件も満たすことが好ましい。以上の条件を満たすことにより、ドア１１６の下方及び両側方から外部空間１０４へ気流が噴出す状態を安定的に維持することが可能となる。なお、以上に述べた関係は下側端面１１５ｂ及び両横側端面１１５ｃの何れに関しても満たされることが好ましいが、上述したように例えば薄板１０５の厚さによっては少なくとも何れかの端面において当該関係が満たされることによっても、本発明における圧程度の効果を得ることが可能である。
【００２７】
ドア本体１１５（或いはドア１１６）及び第一の開口部１１１は、ポッドの載置位置からこれらを見た場合の形状が、単なる矩形ではなく四隅に配置される曲線部を介して各々の辺が繋がる形状とされている。本実施形態では、ドア本体１１５の横側端面１１５ｃから上側端面１１５ｄへ、各々の面が平面状態で交錯するのではなく、横側端面１１５ｃが前述した曲線部に沿った曲面を構成し、該曲面の端部において上側端面１１５ｄのテーパ部に繋がることとしている。これにより、この繋がり部分ではテーパ部が徐々に平坦面に至る形状が形成される。当該形態を配することによって、このテーパ部（１１５ｄ）に沿って外部空間１０４にいたる気流と両横側端面１１５ｃに沿って外部空間１０４にいたる気流と、の間に不連続となる領域を生成することが無くなり、外部空間側１０４側のドア１１６の正面での乱流生成を抑制し、ポッド１の蓋の前での塵等の滞留の可能性を低減することが可能となる。
【００２８】
本発明では、以上の構成を配することによって、第一の開口部１１１が薄板によって形成される構造からなるロードポート装置において、ドア１１６の開閉時の微小空間１０３内或いはポッド１内部への外部気体の巻き込みを抑制することが可能となる。なお、本実施形態では、本発明において最も好適な効果が得られる態様として前述した全ての条件を満たす構造を開示している。しかし、本発明は当該形態に限定されず、必要に応じて先の条件を適宜満たす態様として場合であっても、当該態様に応じた効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置むけのみに限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００３０】
１：ポッド、 ２：ポッド本体、 １００：ロードポート装置、 １０３：微小空間、 １０４：外部空間、 １０５：サイドプレート、 １０７:吸着パッド、 １１１：第一の開口部、 １１４：ドアシステム、 １１５：ドア本体、 １１６：ドア、 １１７：カラー部、 １２１：ポッド載置部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持されたウエハを半導体処理装置に移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。
【０００３】
ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部を開放、閉鎖すると共に、開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避或いは該空間への侵入をさせられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。
【０００４】
半導体の製造工程において、半導体素子の歩留まりを考慮した場合に、上述した微小空間への大気の流入は極力抑えなければならない。ところが開口部をドアにより密閉した状態からこれを一気に開放すると、開放の際に周囲の気体を該微小空間の内部まで巻き込んでしまうという問題があった、このため、例えば特許文献１に記載された構成では、予めドアと開口部の周囲壁との間に隙間を設け、ドアによる開口部の開け閉めに伴って生じ得るドア周囲の気流の乱れを抑制している。また、ドアと開口部外周囲壁との接触による塵等の発生も抑制する必要があり、特許文献２に記載されるようにドア外周面と開口部内周壁との間に空気シールを形成し、これにより接触を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２４３０２号公報
【特許文献２】特開２００２−０７６０９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。このため、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化され、これに伴ってロードポート装置における開口部の拡大とそれに伴うドアの大型化も要請される。この様なドアの大型化によって、ドアの重量は増加し、更にドア駆動機構もドア重量に対応可能な起動力が必要となる。このようなドア駆動機構としては、例えば公知のサーボモータとボールネジ等からなる構造が知られている。
【０００７】
また、ドアに関連する構成のみならず、開口部を形成する所謂サイドプレート等も大型化によって生じる撓み、歪み等を抑える必要上、その厚さ方向の剛性を高めるために板厚を厚くせざるを得なくなる。この場合、その重量が増加することによって、該ロードポート装置の半導体製造装置への組み付けが困難となる。このため、本出願人は板状の部材を組み合わせてロードポート装置全体としての強度と剛性とを得ることとし、その上で薄板によって閉鎖すべき面を閉鎖する様式とすることによる該装置の大形化への対応を推奨している。しかしながら、当該構成の場合、例えば特許文献１或いは２に開示する構成の場合、微小空間内部から外部空間に至る経路が短くなりすぎることから、微小空間内に生成されている所謂ダウンフローから外部空間に至るエア量が多くなりすぎ、微小空間内部と外部空間との間の差圧を適当に維持することが困難となる可能性が生じている。
【０００８】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、従来とは比較して薄板状の部材を用いて構成した開口部を有した場合であっても、微小空間内と外部空間との差圧を適切に維持しつつ開口部の外周領域から外部空間に至る適当な気流を得ることを可能とするロードポート装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置は、外部空間から隔置した微小空間を構成するサイドプレートと、サイドプレートに設けられて微小空間と外部空間とを連通させる矩形の開口部を閉鎖可能であって開口部の矩形に嵌合可能な所定厚さを有した矩形形状を有するドアと、を有するロードポート装置であって、ドアはドアの外部空間側の面に対して鈍角を構成して交わるテーパ面を上側端面に有すると共に、ドアが開口部を閉鎖した状態において前記開口部の中心を通り前記サイドプレートに垂直な方向から前記ドア及び前記開口部を見た場合に前記開口部の矩形からはみ出すように外方に突き出し且つ微小空間内に配置されるカラー部を、ドアの下側端面及び両横側端面の少なくとも何れかに有し、開口部が形成されたサイドプレートの厚さをｔ１とし、テーパ面とテーパ面に対向する開口部の内周面との距離をｄ１とした場合に、ｔ１≦ｄ１なる関係を満たす、ことを特徴とする。
【００１０】
なお、上述したロードポート装置において、サイドプレートの微小空間側面を含む平面と、ドアの微小空間側面を含む平面との距離をＷ１とした場合に、ｄ１≦Ｗ１なる関係を満たすことが好ましい。また、サイドプレートにおける開口部を構成する内周面とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とした場合に、ｔ１≦ｄ２なる関係を満たすことが好ましい。また、サイドプレートにおける開口部を構成する内周端部とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、カラー部の外部空間側面と前記サイドプレートの微小空間側面との距離をＷ２とした場合に、ｄ２≦Ｗ２なる関係を満たすことがより好ましい。更に、サイドプレートにおける開口部を構成する内周端部とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、カラー部の外周端面とドアにおける下側端面と横側端面との少なくとも何れかの端面との距離をｄ３とした場合に、ｄ２≦ｄ３なる関係を満たすことがより好ましい。更に、ドア及び開口部の矩形の四隅は曲面により各々の端面が接続されており、上側端面と横側端面との接続部分では横側端面が連続的に曲がることにより曲面を構成し、前記曲面と前記上側端面の前記テーパ面が接続することがより好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、薄板により構成された開口部であっても、ドア周囲より適当な量のエアの噴出し状態を得ることが可能となり、微小空間と外部空間との間に所望の差圧を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るロードポート装置に関し、ポッド１を載置テーブル上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。
【図２】図１に示すロードポート装置に関し、ポッドの載置位置側から第一の開口部を介してドアを見た状態を示す模式図である。
【図３Ａ】図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図である。
【図３Ｂ】図３Ａに示される構成を同図中の線３Ｂ−３Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【図４Ａ】図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｂ−４Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【図４Ｃ】図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｃ−４Ｃに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態におけるロードポート装置に関し、ポッド１を載置テーブル上に載置した状態を側面から見た場合の概略構成を示している。図２は、図１に示すロードポート装置に関し、ポッドの載置位置側から第一の開口部を介してドアを見た状態を示す模式図である。図３Ａは図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図であり、図３Ｂは図３Ａに示される構成を同図中の線３Ｂ−３Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。また、図４Ａは図２に示されるドアとサイドプレートとの間に形成される隙間を図２と同じ方向から見た部分拡大図であり、図４Ｂは図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｂ−４Ｂに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。また、図４Ｃは図４Ａに示される構成を同図中の線４Ｃ−４Ｃに沿って切断した際の断面において同図中の矢印方向から見た場合の構成を示す図である。
【００１４】
本実施形態に係るロードポート装置の構成について、以下に述べる。ロードポート装置１０１は、サイドプレート１０５によって外部空間１０４と分離される微小空間１０３を構成し、該サイドプレート１０５に隣接して配置されるポッド載置部１２１を有する。サイドプレート１０５は、第一の開口部１１１、及びドアシステム１１４を有する。サイドプレート１０５等によって構築される微小空間１０３の上部には不図示のファンが配置され、ロードポート装置１０１が取付けられて微小空間１０３を区画する筐体の外部空間に存在する気体を微小空間内部に導入し、微小空間１０３内部に上方から下方に向かう気体の流である所謂ダウンフローを生成する。当該ファンに対しては、外部空間の清浄度に応じて、当該空間から導入される気体より塵埃等の汚染物質を除去するフィルタが付随している。微小空間１０３の下部にはダウンフローが流出可能となるような構造が配置されており、該微小空間１０３内部で発生する粉塵等は当該ダウンフローに運ばれて微小空間１０３の下部から外部空間に排出される。
【００１５】
ドアシステム１１４は、ドア１１６と、該ドア１１６を支持、駆動して第一の開口部１１１の開閉を行う不図示のドア駆動機構とにより構成される。第一の開口部１１１はドアシステムにおけるドア１１６により一見閉鎖状態とされるが、ドア１１６の外周と第一の開口部１１１の内周面との間には後述する隙間が形成されることから、当該ドア１１６は第一の開口部１１１を略閉鎖可能となっていると述べる。ドア１１６は、ポッド１の蓋を保持するための吸着パッド１０７と、ポッド１に対する蓋の取り付け取り外しを行うためのラッチ機構１０９を有する。ドア１１６は、矩形平板の形状を有するドア本体１１５と、ドア本体１１５における微小空間１０３側に存在する内側面１１５ｅに接合される平板形状のカラー部１１７とを有する。前述した吸着パッド１０７等は、このドア本体１１５におけるカラー部１１７との接合面と対向する平面（外側面１１５ａ、図３Ｂ及び図４Ｂ参照）側に配置される。なお、ドア１１６を構成するドア本体１１５とカラー部１１７とは、射出成形等により当初から一体物として形成されたものであっても良い。
【００１６】
ポッド載置部１２１は、載置されたポッド１を固定可能であると共に該ポッド１を前述した第一の開口部１１１（より正確にはこれを閉鎖するドア１１６）に対して接近及び離間させることが可能である。ポッド載置部１２１は、ポッド１が所定の間隔まで或いはドア１１６（ドア本体１１５の外側面１１５ａ）と当接するまでポッド１の接近動作を行い、ポッド１の駆動が停止した状態でドア１１６は蓋を保持する。ドア１１６はこの状態でポッド本体２からの蓋の分離を行い、更にドア駆動機構により第一の開口部１１１に対して下方に移動することによってポッド１の開口部を微小空間１０３に対して開放させる。なお、本実施例において、ポッド本体２の駆動方向をＸ軸方向とし、該Ｘ軸に直交して該Ｘ軸と共にウエハの延在面を規定する方向（紙面に垂直な方向）をＹ軸方向とし、これら軸からなるＸＹ平面に垂直な方向をＺ軸として便宜上規定する。本実施例では鉛直方向がＺ軸方向に対応し、本明細書における上方及び下方は鉛直方向における上方及び下方に対応する。しかし、本発明におけるＺ軸の延在方向はこの鉛直方向に限定されず、必要に応じて鉛直方向からずらせて設定することも可能である。
【００１７】
本発明が対象とするロードポート装置１００は、従来のロードポート装置に対してサイドプレートが異なる。より詳細には、従来装置では筐体の構成がある程度以上の厚さを有する一枚の板材よりなる所謂サイドベースと称呼される構造体より構成されたものであるのに対して、当該サイドプレート１０５は剛性を得るための複数の板材１０５ａと、該板材に取付けられて微小空間１０３の周囲を囲む壁の一部となり微小空間を規定する薄板１０５ｂとから構成される。第一の開口部１１１はこの薄板１０５ｂに対して形成されている。薄板１０５ｂは、図３Ｂ等に示されるように厚さｔ１を有する。なお、本発明において、薄板として規定される部材の厚さｔ１は、例えば0mm＜ｔ１≦10mmの範囲として規定する。
【００１８】
第一の開口部１１１の形状及び大きさは、ドア１１６が該第一の開口部１１１を略閉鎖する位置にある際に、ドア１１６（ドア本体１１５）の外部空間１０４側に位置する面（以下外側面１１５ａと称する。）が嵌まり込むように設定される。更に、ドア１１６は、後述するドア本体の下側端面１１５ｂ及び両横側端面１１５ｃから内側面１１５ａに沿ってドア本体１１５の外方に突き出すカラー部１１７を有する。即ち、ドア１１６が第一の開口部１１１を閉鎖した状態において、該開口部１１１の中心を通り且つサイドプレート１０５に垂直な方向からドア１１５及び第一の開口部１１１を見た場合に、カラー部１１７は該第一の開口部１１１の矩形からはみ出すように外方に突き出している。また、本発明において、サイドプレート１０５における開口部を構成する内周面とは、図３Ｂ或いは後述する図４Ｂや４Ｃにおいて薄板１０５ｂの端面１０５ｃとして示される面であって、実際には平面或いは曲面より構成される。また、当該内周面と対象物との距離として定義される距離は、該内周面と対象物とを至近となる位置同士で結んだ場合の距離に当たることとする。
【００１９】
本実施形態において、ドア本体１１５の外側面１１５ａと繋がるドア本体１１５の下側の下側端面１１５ｂ及び両側面である横側端面１１５ｃは、これらの連結部分を含めて、ドア１１５本体の外側面１１５ａに対して垂直に繋がる態様とされている。これに対して、図４Ｂに示されるように、ドア１１５本体の上側の上側端面１１５ｄは、微小空間１０３側に位置する面（以下内側面１１５ｅと称する。）から外側面１１５ａに至るにつれてドア１１６の内側面１１７ａと平行なドア本体１１５の切断面を小さくするテーパ面とされている。より詳細には、内側面１１５ｅと該テーパ面とが鋭角を為し、外側面１１５ａと該テーパ面とが鈍角を為すように該テーパ面が内側面１１５ｅ及び外側面１１５ａと交錯している。なお、本形態では、カラー部１１７はドア本体１１５のテーパ面とは連続的ではなくドア本体内側面１１５ｅとに垂直な端面を有する構成として示している。しかし、該テーパ面の効果を考慮した場合、該カラー部１１７の上端面１１７ｃも、該テーパ面と連続する構造とすることが好ましい。この場合、内側面１１５ｅと同様に、ドア１１６の動作軌跡とポッド１の動作軌跡とを含む平面でのドア１１６の断面において、ドア１１６のカラー部１１７の微小空間１０３側に存在する面（ドア本体の内側面１１７ａ）がテーパ面と鋭角を為すように交錯することが好ましい。また、本発明において、鈍角とは公知のように９０度よりも大きな角度を示し、鋭角とは９０よりも小さな角度を示す。
【００２０】
なお、該上側端面１１５ｄは本実施形態では面積変化が単調な平面としているが、これを曲面とする或いは複数の平面を合成してなる面としても良い。即ち、該テーパ面と内側面１１７ａとの内側交線と、該テーパ面と外側面１１５ａとの外側交線とが、平行且つＺ軸に関して内側交線が上方に位置するように配置されていれば良い。なお、図４Ｃに示すように、本実施形態では横側端面１１５ｃと上側端面１１５ｄの連結部分については、所謂連結のコーナ部分については外側面１１５ａと垂直に連結される態様とし、この垂直面が上側端面１１５ｄのテーパ面に繋がる態様としている。
【００２１】
本実施形態では、カラー部１１７は、ドア１１５の下側端面１１５ｂ、横側端面１１５ｃ、これらの連結部分、及び横側端面１１５ｃと上側端面１１５ｄとの連結部分であるコーナ部において長さｄ３だけ突き出している。この長さｄ３は第一の開口部１１１を規定する薄板１０５ｂの内周端からドア本体１１５までの距離ｄ２よりも大きく設定されて、ｄ２≦ｄ３の関係を満たしている。従って、ドア１１６の側面及び下面については、このカラー部１１７の存在によって、微小空間１０３から外部空間１０４に直線的に繋がる経路は存在しなくなる。以上の構成により、従来とは異なる微小空間１０３から外部空間１０４に至る経路の長さが薄板の厚さｔ１と大きく減少した構成であっても、これら空間間での気体の流れが過剰に生成することを防止し、これら空間間での適度の微差圧の維持が可能となる。
【００２２】
単純に微小空間１０３から外部空間１０４に至る経路を狭くする、即ちドア１１６の外周面と第一の開口部１１１の内周端との距離を小さくするだけでも同様の効果が得られる。しかし、距離が小さくなった場合には、ドア１１６の動作における停止制度の影響が大きくなって規定の距離を精度良く再現することが困難となること、或いは場合によっては接触等が生じる恐れがあること、等が懸念される。しかし、当該構成とすることによって微小な隙間を精度良く保持することが無くとも、適当な微差圧の生成が可能となる。なお、上述した関係は下側端面及び横側端面の両者で満たされることが好ましいが、例えば薄板１０５ｂの厚さｔ１が大きく、内周端面１０５ｃとドア側の対向面とによって規定される気体流路長さあある程度大きい場合には、何れか一方が当該条件を満たすこととしても良い。当該関係を満足することによりこの領域を通過する気体の量を適宜抑制することが可能となる。
【００２３】
以上に述べたカラー部１１７を付加することにより過剰の気体の流れを抑制することが可能となるが、当該構成の場合、微小空間１０３から外部空間１０４にいたる気体流路が複雑になることから、従来構成で勘案されたドア開閉時の気流の乱れが生じる可能性が残る。本発明では、ドア本体１１５（或いはドア１１６）の上側端面１１５ｄ（１１５ｄ及び１１７ｃ）に上述したテーパ面を付与することによってドア１１６の開閉時において気体の流れが該テーパ面を主に生じる形態とすることにより、この乱流発生の可能性を抑制することが可能となっている。以上の構成により、微小空間１０３から外部空間１０４にいたる適切な気体の流れの確保が可能となると共に、前述したファンによるダウンフローの量の微調整を行わなくとも、ドア１１６開閉時での気体の巻き込み抑制することも可能となる。
【００２４】
ここで、このテーパ面である上側端面１１５ｄと第一の開口部１１１の内周部である薄板１０５ｂの内周端である端面１０５ｃとの距離がある程度以上に小さい場合には、この適切な気体流れの確保が困難となる可能性がある。種々検討したところ、第一の開口部１１１の内周面の厚さ、即ち薄板１０５ｂの厚さｔ１と、ドア本体１１５の上側端面１１５ｄとの薄板１０５ｂの内周端である端面１０５ｃとの距離ｄ４とについて、ｔ１≦ｄ４とすることにより、適当な気体流れの確保ができることが確認されている。なお、この距離ｄ４はテーパ面上の適当な位置と薄板１０５ｂ上の適当な位置との間の最短距離に対応する。しかし、ドア１１６の停止精度等により当該距離の特定が困難な場合には、例えば薄板１０５ｂの微小空間１０３の側の面をドア１１６の方向に延長して該延長面がドア本体１１５の上側端面１１５ｄと交わる点と、当該延長面における薄板１０５ｂの端部の点との距離ｄ１に置き換え、当該条件をｔ１≦ｄ１として規定しても良い。
【００２５】
従来構成においては、この微小空間１０３から外部空間１０４に至る気体の噴出しを利用して、ポッド１の蓋表面の清浄化を図るという効果も得られていた。本形態では、前述したテーパ面をドア本体１１５の上側端面１１５ｄに付与することによって、蓋の上方から下方に向う流れを有した清浄気体を蓋表面に対して噴き付ける事が可能となる。従って、ドア１１６によって蓋を保持する直前において、蓋表面の清浄化を図り、且つ蓋と共に蓋に付着した塵を微小空間１０３内部に持ち込む可能性を低減するという効果も同時に得られる。本実施形態では、第一の開口部１１１を略閉鎖する位置にドア１１６が存在する場合における、ドア１１６の内側面１１７ａの延在面と薄板１０５ｂの微小空間１０３側面との距離Ｗ１とした場合、上述したｄ１或いはｄ４との関係において、ｄ１≦Ｗ１、或いはｄ４≦Ｗ１が成立することが好ましい。当該条件を満たすことにより、適度な流量を有した気流を蓋等に噴き付ける事が可能となる。また、ドア本体１１５の上側端面１１５ｄをテーパ面とすることにより、このＷ１の値がある程度大きくなっても、ドア１１６の開閉に伴う気流の乱れを抑制することが可能となる。
【００２６】
また、第一の開口部１１１を規定する薄板１０５ｂの内周端である端面１０５ｃからドア本体１１５の下側端面１１５ｂ、及び両横側端面１１５ｃまでの距離ｄ２は、薄板１０５ｂの端部厚さｔ１との関係においてｔ１≦ｄ２なる条件を満たすことが好ましい。当該条件を満足さない場合には、ドア本体１１５の下方及び両側方から外部空間に噴出す気流の量が小さくなりすぎて、安定した気流生成が成り立たなくなり、結果としてドア１１５の周囲に隙間を生成する意味が無くなる。また、同様の理由より、下側端面１１５ｂ及び両横側端面１１５ｃから突き出すカラー部１１７の外部空間１０４側の面１１７ｂと薄板１０５ｂの微小空間１０３側面との距離Ｗ２と前述した距離ｄ２とは、ｄ２≦Ｗ２の条件も満たすことが好ましい。以上の条件を満たすことにより、ドア１１６の下方及び両側方から外部空間１０４へ気流が噴出す状態を安定的に維持することが可能となる。なお、以上に述べた関係は下側端面１１５ｂ及び両横側端面１１５ｃの何れに関しても満たされることが好ましいが、上述したように例えば薄板１０５の厚さによっては少なくとも何れかの端面において当該関係が満たされることによっても、本発明における圧程度の効果を得ることが可能である。
【００２７】
ドア本体１１５（或いはドア１１６）及び第一の開口部１１１は、ポッドの載置位置からこれらを見た場合の形状が、単なる矩形ではなく四隅に配置される曲線部を介して各々の辺が繋がる形状とされている。本実施形態では、ドア本体１１５の横側端面１１５ｃから上側端面１１５ｄへ、各々の面が平面状態で交錯するのではなく、横側端面１１５ｃが前述した曲線部に沿った曲面を構成し、該曲面の端部において上側端面１１５ｄのテーパ部に繋がることとしている。これにより、この繋がり部分ではテーパ部が徐々に平坦面に至る形状が形成される。当該形態を配することによって、このテーパ部（１１５ｄ）に沿って外部空間１０４にいたる気流と両横側端面１１５ｃに沿って外部空間１０４にいたる気流と、の間に不連続となる領域を生成することが無くなり、外部空間側１０４側のドア１１６の正面での乱流生成を抑制し、ポッド１の蓋の前での塵等の滞留の可能性を低減することが可能となる。
【００２８】
本発明では、以上の構成を配することによって、第一の開口部１１１が薄板によって形成される構造からなるロードポート装置において、ドア１１６の開閉時の微小空間１０３内或いはポッド１内部への外部気体の巻き込みを抑制することが可能となる。なお、本実施形態では、本発明において最も好適な効果が得られる態様として前述した全ての条件を満たす構造を開示している。しかし、本発明は当該形態に限定されず、必要に応じて先の条件を適宜満たす態様として場合であっても、当該態様に応じた効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置むけのみに限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００３０】
１：ポッド、 ２：ポッド本体、 １００：ロードポート装置、 １０３：微小空間、 １０４：外部空間、 １０５：サイドプレート、 １０７:吸着パッド、 １１１：第一の開口部、 １１４：ドアシステム、 １１５：ドア本体、 １１６：ドア、 １１７：カラー部、 １２１：ポッド載置部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部空間から隔置した微小空間を構成するサイドプレートと、
前記サイドプレートに設けられて前記微小空間と前記外部空間とを連通させる矩形の開口部を閉鎖可能であって前記開口部の矩形に嵌合可能な所定厚さを有した矩形形状を有するドアと、を有するロードポート装置であって、
前記ドアは前記ドアの外部空間側の面に対して鈍角を構成して交わるテーパ面を上側端面に有すると共に、
前記ドアが前記開口部を閉鎖した状態において前記開口部の中心を通り前記サイドプレートに垂直な方向から前記ドア及び前記開口部を見た場合に、前記開口部の矩形からはみ出すように外方に突き出し且つ前記微小空間内に配置されるカラー部を、前記ドアの下側端面及び両横側端面に有し、
前記開口部が形成されたサイドプレートの厚さをｔ１とし、前記テーパ面と前記テーパ面に対向する前記開口部の内周面との距離をｄ１とした場合に、ｔ１≦ｄ１なる関係を満たす、
ことを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
前記サイドプレートの微小空間側面を含む平面と、前記ドアの微小空間側面を含む平面との距離をＷ１とした場合に、ｄ１≦Ｗ１なる関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
【請求項３】
前記サイドプレートにおける前記開口部を構成する内周面と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とした場合に、ｔ１≦ｄ２なる関係を満たすことを特徴とする請求項１又は２の何れかに記載のロードポート装置。
【請求項４】
前記サイドプレートにおける前記開口部を構成する内周端部と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、前記カラー部の外部空間側面と前記サイドプレートの微小空間側面との距離をＷ２とした場合に、ｄ２≦Ｗ２なる関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のロードポート装置。
【請求項５】
前記サイドプレートにおける前記開口部を構成する内周端部と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、前記カラー部の外周端面と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかの端面との距離をｄ３とした場合に、ｄ２≦ｄ３なる関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のロードポート装置。
【請求項６】
前記ドア及び前記開口部の矩形の四隅は曲面により各々の端面が接続されており、前記上側端面と前記横側端面との接続部分では前記横側端面が連続的に曲がることにより前記曲面を構成し、前記曲面と前記上側端面の前記テーパ面とが接続することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のロードポート装置。
【請求項１】
外部空間から隔置した微小空間を構成するサイドプレートと、
前記サイドプレートに設けられて前記微小空間と前記外部空間とを連通させる矩形の開口部を閉鎖可能であって前記開口部の矩形に嵌合可能な所定厚さを有した矩形形状を有するドアと、を有するロードポート装置であって、
前記ドアは前記ドアの外部空間側の面に対して鈍角を構成して交わるテーパ面を上側端面に有すると共に、
前記ドアが前記開口部を閉鎖した状態において前記開口部の中心を通り前記サイドプレートに垂直な方向から前記ドア及び前記開口部を見た場合に、前記開口部の矩形からはみ出すように外方に突き出し且つ前記微小空間内に配置されるカラー部を、前記ドアの下側端面及び両横側端面に有し、
前記開口部が形成されたサイドプレートの厚さをｔ１とし、前記テーパ面と前記テーパ面に対向する前記開口部の内周面との距離をｄ１とした場合に、ｔ１≦ｄ１なる関係を満たす、
ことを特徴とするロードポート装置。
【請求項２】
前記サイドプレートの微小空間側面を含む平面と、前記ドアの微小空間側面を含む平面との距離をＷ１とした場合に、ｄ１≦Ｗ１なる関係を満たすことを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。
【請求項３】
前記サイドプレートにおける前記開口部を構成する内周面と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とした場合に、ｔ１≦ｄ２なる関係を満たすことを特徴とする請求項１又は２の何れかに記載のロードポート装置。
【請求項４】
前記サイドプレートにおける前記開口部を構成する内周端部と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、前記カラー部の外部空間側面と前記サイドプレートの微小空間側面との距離をＷ２とした場合に、ｄ２≦Ｗ２なる関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のロードポート装置。
【請求項５】
前記サイドプレートにおける前記開口部を構成する内周端部と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかとの距離をｄ２とし、前記カラー部の外周端面と前記ドアにおける前記下側端面と前記横側端面との少なくとも何れかの端面との距離をｄ３とした場合に、ｄ２≦ｄ３なる関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のロードポート装置。
【請求項６】
前記ドア及び前記開口部の矩形の四隅は曲面により各々の端面が接続されており、前記上側端面と前記横側端面との接続部分では前記横側端面が連続的に曲がることにより前記曲面を構成し、前記曲面と前記上側端面の前記テーパ面とが接続することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のロードポート装置。
【図１】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図４Ｃ】
【公開番号】特開２０１３−１６６６２（Ｐ２０１３−１６６６２Ａ）
【公開日】平成２５年１月２４日（２０１３．１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１４８７３５（Ｐ２０１１−１４８７３５）
【出願日】平成２３年７月５日（２０１１．７．５）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年１月２４日（２０１３．１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月５日（２０１１．７．５）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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