半導体装置及びその製造方法
【課題】配線基板の両面での熱膨張のバランスが向上したことにより、反りが低減した半導体装置を提供する。
【解決手段】一面2aに接続パッド3を有し、他面2bに前記接続パッド3と電気的に接続された複数のランド4を有する配線基板2と、前記配線基板2の一面2aに搭載された少なくとも1以上の半導体チップ5と、前記半導体チップ5に設けられた電極パッド6と、前記電極パッド6と前記接続パッド3とを電気的に接続するワイヤ7と、少なくとも前記半導体チップ5と、前記ワイヤ7と、前記配線基板2の一面2aとを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体11と、前記配線基板2の他面2bを覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体12とを具備してなることを特徴とする。
【解決手段】一面2aに接続パッド3を有し、他面2bに前記接続パッド3と電気的に接続された複数のランド4を有する配線基板2と、前記配線基板2の一面2aに搭載された少なくとも1以上の半導体チップ5と、前記半導体チップ5に設けられた電極パッド6と、前記電極パッド6と前記接続パッド3とを電気的に接続するワイヤ7と、少なくとも前記半導体チップ5と、前記ワイヤ7と、前記配線基板2の一面2aとを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体11と、前記配線基板2の他面2bを覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体12とを具備してなることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
一般に、BGA(Ball Grid Array)型半導体装置は、図20に示す半導体装置1のように、一面2aに複数の接続パッド3を有し、他面2bに接続パッド3と電気的に接続された複数のランド4とを有する配線基板2と、配線基板2の一面2aに搭載された半導体チップ5と、半導体チップ5の電極パッド6と配線基板2の接続パッド3とを電気的に接続するワイヤ7と、少なくとも半導体チップ5とワイヤ7とを覆う絶縁性樹脂からなる封止体8と、ランド4に設けられた外部端子である半田ボール9とから概略構成されている。
【0003】
このようなBGA型の半導体装置1は、通常、生産性を高めるため、複数の製品を同時に製造するMAP(Mold Array Process)方式によって製造されている。
具体的には、複数の配線基板(製品形成部)がマトリクス状に配置された配線母基板を用い、それぞれの製品形成部で所定の工程を行い、最後に配線母基板を製品形成部毎に切断することで半導体装置を得るという方式である。
【0004】
ところで、このBGA型の半導体装置1には、配線基板2と封止体8との熱膨張係数の差に起因して、半導体装置1が反るという問題があった。
特に、複数の半導体装置1を同時に製造するMAP方式では、製造段階で、配線基板2複数個分の面積を有する配線母基板を、一括的に封止体で覆うことになるため、配線基板2と封止体8との熱膨張係数の差による反りの問題は深刻化していた。
【0005】
この問題を解決するため、特許文献1及び特許文献2には、配線母基板を覆う封止体を複数に分割して形成し、一度に封止する領域を小さくする方法が記載されている。
【特許文献1】特開2001−44229号公報
【特許文献2】特開2001−44324号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献1及び特許文献2に記載された方法では、配線母基板を覆う封止体を2つ以上に分割して形成するので、配線母基板の製品を形成する領域が小さくなってしまい、生産性が悪い。これにより、一つの配線母基板から得られる半導体装置の数が少なくなってしまい、半導体装置のコストアップにもつながる。
【0007】
また、近年は、携帯機器の小型・薄型化により、それらに組み込まれる半導体装置の小型・薄型化の必要性が益々高まり、配線基板や半導体チップの薄型化が進んでいる。
その結果、配線母基板を個片化した後においても、半導体装置が反るという問題が生じるようになった。
【0008】
すなわち、従来は、個片化した後の半導体装置においては、半導体装置自体が硬性を有しているので、熱膨張係数の差による応力に耐えられ、半導体装置は反らずにいられた。
しかし、薄型化の結果、半導体装置自体の硬性が低下したため、熱膨張係数の差による応力に耐えることができず、反るという不都合が生じるようになったのである。
【0009】
このような半導体装置の反りが発生すると、マザーボードへの半導体装置の実装時に、半田ボールが部分的に接続されない等、接続不良を引き起こす恐れがある。特に、PoP(Package on Package)等、複数の半導体装置を積層する半導体装置においては、半導体装置の反りの影響が大きい。
【課題を解決するための手段】
【0010】
そこで、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の半導体装置は、半導体チップと、一面に前記半導体チップが搭載され、他面にランドが設けられ、前記半導体チップと前記ランドとを電気的に接続する配線が備えられてなる配線基板と、前記一面及び前記半導体チップを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体と、前記第2の封止体を貫通して前記ランドに接続される外部端子と、を具備してなることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置は、一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有する配線基板と、前記配線基板の一面に搭載された少なくとも1以上の半導体チップと、前記半導体チップに設けられた電極パッドと、前記電極パッドと前記接続パッドとを電気的に接続するワイヤと、少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤと、前記配線基板の一面とを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記配線基板の他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体とを具備してなることを特徴とする。
更に、本発明の半導体装置の製造方法は、一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有し、前記ランド上に導体層が搭載された配線基板を準備する工程と、前記配線基板上に、半導体チップを搭載する工程と、前記接続パッドと前記半導体チップに設けられた電極パッドとを、電気的に接続する工程と、少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤとを、前記配線基板の一面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記導体層が露出されるように前記配線基板の他面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【0011】
本発明では、上記構成を採用したことにより、半導体装置の反りを低減することができる。
すなわち、配線基板の一面に第1の封止体を、他面に第2の封止体を設けたことにより、第1の封止体が膨張ないし伸縮する際には、第2の封止体も膨張ないし伸縮することとなる。これにより、配線基板の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置の反りが低減することとなる。
そして、半導体装置の反りが低減された結果、実装精度が向上し、良好に電気的接続することができ、半導体装置の二次実装の信頼性が上がる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
以下、本発明の実施形態である半導体装置及びその製造方法について、図面を参照して説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の他面(外部端子面)を示す平面図であり、図2は図1のA−A’間断面図である。
【0013】
図1及び図2に示すように、本実施形態の半導体装置1Aは、BGA型の半導体装置であり、平面視略四角形の配線基板2と、配線基板2の一面2aに搭載された半導体チップ5と、配線基板2の他面2bに設けられた導体層10(外部端子)と、導体層10に搭載された半田ボール9(外部端子)と、配線基板2の一面2aを覆う第1の封止体11と、配線基板2の他面2bを覆う第2の封止体12とを有した構成となっている。本実施形態では、導体層10と半田ボール9とによって外部端子が構成されている。
【0014】
配線基板2は、例えば0.2mm厚のガラスエポキシ基板であり、ガラスエポキシ基材の両面に所定の図示略の配線が形成されている。また、この配線は、部分的に図示略の絶縁膜によって覆われており、絶縁膜としては、例えばソルダーレジストが挙げられる。
【0015】
配線基板2の一面2aに設けられた配線で、ソルダーレジストから露出された部位には、複数の接続パッド3が形成されている。
また、配線基板2の他面2bに設けられた配線で、ソルダーレジストから露出された部位には、複数のランド4が形成されている。
そして、接続パッド3とこれに対応するランド4とは、配線基板2の内部配線14によりそれぞれ電気的に接続されている。このようにして、接続パッド5及び配線を介して半導体チップ5とランド4とが接続されている。
なお、複数のランド4は、配線基板2上に所定の間隔、例えば1mm間隔で格子状に配置されている。
【0016】
また、配線基板2の一面2aの略中央部位の上方には、半導体チップ5が絶縁性の接着剤或いはDAF(Die Attached Film)等の固定部材13を介して接着固定されている。
半導体チップ5は、平面視略四角形の板状で、一面5aに所望の回路、例えば論理回路や記憶回路が形成されている。
【0017】
半導体チップ5の一面5aの周辺近傍位置には、複数の電極パッド6が形成されている。また、電極パッド6を除く半導体チップ5の一面5aには図示略のパッシベーション膜が形成されており、回路形成面を保護している。
半導体チップ5の電極パッド6は、それぞれ対応する配線基板2の接続パッド3と、導電性のワイヤ7により結線されることで電気的に接続されている。ワイヤ7には、例えばAu、Cu等が用いられている。
【0018】
配線基板2の一面2aには、半導体チップ5及びワイヤ7を覆うように、略全面に第1の封止体11が形成されている。第1の封止体11には、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられており、その厚さは、例えば400μm程度に構成される。
【0019】
また、配線基板2の他面2bに設けられた複数のランド4上には、それぞれ柱状の導体層10が形成されている。導体層10は、例えばCuのメッキ等により形成されており、ランド4上から少なくとも10μm以上、例えば50μm程度突出するように設けられている。
【0020】
配線基板2の他面2bには、略全面に第2の封止体12が形成されており、導体層10の端部が露出されるように構成される。
すなわち、配線基板2の他面2bの導体層10が設けられていない部分に、第2の封止体12が設けられた構成となっている。
そして、第2の封止体12の厚さは、導体層の厚さと略等しくなるように、少なくとも10μm以上、例えば50μm程度に構成されている。
【0021】
第2の封止体12は、第1の封止体11と同様に、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられている。
また、第2の封止体12は、例えば第1の封止体11と同じ熱膨張係数の材料で構成され、配線基板の両面を同じ熱膨張係数の材料で挟み込むように構成する。
【0022】
そして、第2の封止体12の表面に露出した導体層10上には、それぞれ外部端子となる半田ボール9が搭載されている。このように、外部端子を構成する半田ボール9が、同じく外部端子を構成する導体層10を介してランド4に接続されることで、実質的に外部端子が第2の封止体12を貫通してランド4に接続された状態になる。
【0023】
このように、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成したことにより、配線基板2の両面での熱膨張のバランスが向上され、半導体装置1Aの反りを低減することができる。そして、半導体装置1Aの反りが低減することで、マザーボード等への実装精度が向上すると共に、良好に電気的接続ができ、半導体装置1Aの二次実装の信頼性が向上する。
【0024】
また、配線基板2のランド4上に所定の厚さの導体層10を設けて、配線基板2から離れた位置に半田ボール9を搭載したことにより、マザーボード等の実装基板と半導体チップ5との間の距離が大きくなった。
この結果、実装基板が歪むことで生じる半導体チップ5への応力を、緩和することができ、二次実装の信頼性が向上する。さらに、配線基板2と実装基板とのクロストークノイズを低減することができ、半導体装置1Aの電気特性を向上することができる。
【0025】
また、配線基板2の他面2b側に、略全面に所定の厚さの第2の封止樹脂12を設けたことにより、配線基板2の他面2bに設けられた配線を保護することができ、かつ、半導体装置1Aの機械的強度を向上することもできる。
【0026】
なお、本実施形態の半導体装置1Aでは、半導体チップ5とワイヤ7とを覆うため、第1の封止体11が第2の封止体12より厚く構成されており、その結果、同じ材料からなるため、第2の封止体より第1の封止体の熱膨張の程度が大きくなっている。
したがって、第1の封止体11を構成する絶縁性樹脂として、第2の封止体12を構成する絶縁性樹脂より、熱膨張係数が小さいものを用いるのが好ましい。これにより、さらに配線基板の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置の反りを低減できる。
【0027】
図3は、本実施形態の半導体装置1Aを、他の半導体装置にパッケージ積層したPoP型半導体装置を示す断面図である。
本実施形態の半導体装置1Aは、配線基板2の一面2a及び他面2bに、第1の封止体11と第2の封止体12を設けることで、半導体装置1Aの反りが低減している。これにより、図3(a)(b)に示すように、積層搭載される他の半導体装置の反りの方向に関係なく、良好に電気的に接続することができる。
【0028】
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について説明する。
図4は、本実施形態の半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図で、図5は、図4のB−B’間を示す断面図である。図6及び図7は、本実施形態の半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。図8は、封止体形成後の配線母基板の他面を示す平面図である。
【0029】
まず、図4及び図5に示すように、本実施形態に用いられる配線母基板21は、MAP(Mold Array Process)方式で処理されるものであり、複数の製品形成部22がマトリクス状に配置されている。製品形成部22は、切断分離した後で、配線基板2となる部位で、配線基板2と同様の構成であり、説明は省略する。
【0030】
本実施形態においては、製品形成部22のそれぞれのランド4上に、予めCu等の金属メッキにより、所定の高さ、少なくとも10μ以上、例えば50μm程度の高さの円柱状の導体層10が形成されている。
【0031】
また、マトリックス状に配置された製品形成部22の周囲には、枠部23が設けられている。枠部23には、所定の間隔で位置決め孔24が設けられ、搬送・位置決めが可能に構成されている。
また、製品形成部22間はダイシングライン25となっており、後の工程でこのダイシングライン25に沿って切断分離される。なお、枠部23には、ダイシング用の位置決めマーク26が形成されており、配線基板2の他面2b側に第2の封止体12を形成してもダイシングライン25を認識できるように構成されている。
【0032】
次に、配線母基板21は、ダイボンディング工程に移行される。この工程では、図6(a)に示すように製品形成部22の一面22aの略中央位置に、それぞれ半導体チップ5が図示しないダイボンディング装置により、図2に示す固定部材13を介して接着固定される。固定部材13としては、例えば絶縁性の接着材或いはDAF(Die Attached Film)等を用いる。
【0033】
全ての製品形成部22への半導体チップ5の搭載が完了した後、配線母基板21は、ワイヤボンディング工程に移行される。この工程では、図6(b)に示すように、半導体チップ5の一面5aの周囲近傍に形成された図2に示す電極パッド6と、それに対応する製品形成部22の接続パッド3とを導電性のワイヤ7により結線する。
具体的には、図示しないワイヤボンディング装置により、溶融され先端にボールが形成されたワイヤ7を、半導体チップ5の電極パッド6上に超音波熱圧着することで接続する。その後、所定のループ形状を描き、ワイヤ7の後端を対応する接続パッド3上に超音波熱圧着する方法により行う。
なお、ワイヤ7は、例えばAu、Cu等からなる。
【0034】
全ての電極パッド6と接続パッド3とのワイヤ7による接続が完了した後、配線母基板21は、封止工程に移行され、図6(c)に示すように配線母基板21の両面に封止体が形成される。
この封止工程では、配線母基板21を例えば図7(a)に示すように、トランスファモールド装置の上型27と下型28からなる成型金型29により型締めする。上型27と下型28にはそれぞれキャビティ30が形成されており、下型28のキャビティ30に、配線母基板21の他面21bに設けられた導体層10の端部が密着するように、配線母基板21が配置される。
【0035】
なお、導体層10の端部へ封止樹脂が回りこまないように、弾力性のあるシートを介して型締めするように構成しても良い。これにより、第2の封止体12から導体層10を良好に露出させることができる。
【0036】
成型金型29の上型27と下型28には、それぞれゲート部31が形成されており、図7(b)に示すように、上下のゲート部31から上下のキャビティ30に、それぞれ加熱溶融された封止樹脂32を注入する。封止樹脂32は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられる。
なお、図示しないが、上下のキャビティ30に供給される封止樹脂32のカル部及びランナー部を、上下で異なる位置に分けて配置することで、封止完了後の配線母基板21からのカル部とランナー部等の除去が容易にできる。
【0037】
そして、図7(c)に示すように、上下のキャビティ30が封止樹脂32で充填された状態で、所定の温度、例えば180℃程度でキュアすることで、封止樹脂32が熱硬化される。
以上の工程により、図6(c)に示すように、配線母基板21の複数の製品形成部22を一括的に覆う第1の封止体11と第2の封止体12が形成される。
【0038】
その後、配線母基板21は所定の温度、例えば240℃程度でリフローすることで、第1の封止体11及び第2の封止体12が硬化される。
配線母基板21の他面21b側は、柱状の導体層10をキャビティ30に密着させるように配置しているため、配線母基板21の他面21bに形成した第2の封止体12から、複数の導体層10の端部が露出するように構成される。
【0039】
以上のように、配線母基板21の一面21a及び他面21b側に、それぞれ第1の封止体11と第2の封止体12を形成したことにより、配線母基板21の両面での熱膨張のバランスを向上することができ、配線母基板21の反りを低減できる。
また、上下にそれぞれキャビティ30を設け、封止樹脂32を同時に上下のキャビティ30に充填するように構成しているため、工程の追加なく、第2の封止体12を形成できる。
【0040】
また、配線母基板21のランド4上に形成した導体層10を少なくとも10μm以上の厚さとすることで、配線母基板21とキャビティ30との間に封止樹脂32を注入することができる。
【0041】
また、複数の製品形成部22を一括的に封止するように、配線母基板21に合わせた一体的なキャビティ30を、上型27及び下型28にそれぞれ形成したことにより、配線母基板21の両面に効率良く封止樹脂32を注入できる。また、配線母基板21のサイズを共通化すれば、異なる大きさの製品形成部22の配線母基板21にも成型金型29を共用することができ、製造コストを低減できる。
【0042】
次に、第1の封止体11及び第2の封止体12が形成された配線母基板21は、ボールマウント工程に移行される。
この工程では、図6(d)に示すように、配線母基板21の他面21bに形成された第2の封止体12から露出され、格子状に配置された複数の導体層10の露出面上に、導電性の金属ボールを搭載し、外部端子となるバンプ電極を形成する。なお、金属ボールには、例えば半田等からなる半田ボール9を用いる。
【0043】
具体的には、配線母基板21上に配置された複数の導体層10の露出面に合わせて、複数の吸着孔が形成されたボールマウントツール33を用いて、半田ボール9を吸着保持する。
そして、吸着保持された半田ボール9にフラックスを転写形成し、配線母基板21に設けられた複数の導体層10の露出面に一括搭載する。
全ての製品形成部22へ半田ボール9を搭載した後、配線母基板21をリフローすることで外部端子となるバンプ電極が形成される。
【0044】
本実施形態では、配線母基板21の一面21a及び他面21bに第1の封止体11と第2の封止体12を形成したことで、配線母基板21の両面での熱膨張バランスが向上し、配線母基板21の反りが低減している。このため、精度良く半田ボール9を搭載することができる。
また、配線母基板21の反りが低減したことで、配線母基板21の全ての導体層10に合わせた吸着孔を有するボールマウントツール33で、配線母基板21の全ての製品形成部22に、半田ボール9を一括搭載することが可能となり、処理効率を良くすることができる。
【0045】
次に、半田ボール9を搭載した配線母基板21は、基板ダイシング工程に移行される。この工程では、図6(e)に示すように、配線母基板21を切断し、製品形成部22毎に分離する。
具体的には、配線母基板21の第1の封止体11側をダイシングテープ34に接着し、ダイシングテープ34によって配線母基板21を支持する。その後、図示略のダイシング装置のダイシングブレード35により、縦横に切断して製品形成部22毎に切断分離する。
【0046】
なお、図8に示すように、配線母基板21は、他面21b側に製品形成部22を一体的に覆う第2の封止体12が形成されたことで、製品形成部22間も第2の封止体12によって覆われたが、配線母基板21の枠部23にダイシング用マーク26を形成しているため、切断位置の認識ができ、製品形成部22毎の切断分離が可能となる。
そして、切断分離後、ダイシングテープ34からピックアップすることで、図1および図2に示すような反りを低減した半導体装置が得られる。
【0047】
本実施形態では、配線母基板21の一面21a及び他面21bに第1の封止体11及び第2の封止体12を形成したことで、配線母基板21の両面での熱膨張のバランスが向上し、反りが低減している。この結果、配線母基板21を精度良く、個々の製品形成部22毎に切断分離できる。
【0048】
[第2の実施形態]
図9は、本発明の第2の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。
本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0049】
図9に示すように、本実施形態の半導体装置1Bも、第1の実施形態と同様に、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成した構成となっている。
【0050】
また、本実施形態の半導体装置1Bでは、配線基板2の他面2bに設けられた導体層41(外部端子)を、半田ボール(外部端子)にて形成している。すなわち、外部端子を構成する導体層41及び半田ボール9が同一の材料からなっている。これにより、実質的に外部端子が第2の封止体12を貫通してランド4に接続された状態になる。
【0051】
本実施形態でも、第1の実施形態と同様に、配線基板2の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置1Bの反りを低減することができる。また、導体層41と半田ボール9とを同一の材料により形成したことにより、導体層41と半田ボール9とを良好に接合することができる。
【0052】
次に、本実施形態の半導体装置1Bの製造方法について説明する。
図10は、本実施形態の半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
なお、本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0053】
まず、図10(a)に示すように、本実施形態においても、第1の実施形態と略同様な配線母基板21が準備される。ただし、本実施形態に用いる配線母基板21では、この時点では、配線母基板21のランド4上に、導体層が形成されていない。
【0054】
次に、第1の実施形態と同様に、配線母基板21のそれぞれの製品形成部22に半導体チップ5が搭載される(チップマウント工程)。そして、製品形成部22の接続パッド3と半導体チップ5に設けられた図9に示す電極パッド6とを、ワイヤ7を用いて電気的に接続する(ワイヤボンディング工程)。
【0055】
次に、ワイヤボンディングの完了した配線母基板21は、ボールマウント工程に移行される。この工程では、まず、図10(b)に示すように、配線母基板21の一面21aを、製品形成部22に合わせて複数の凹部42が形成されたステージ43に保持する。
そして、その状態を維持したまま、配線母基板21の他面21bに設けられたランド4に、ボールマウントツール33により半田ボールを搭載し、導体層41を形成する。
すなわち、本実施形態では、導体層41として半田ボールを用いている。
【0056】
次に、ランド4に導体層41が搭載された配線母基板21は、封止工程に移行され、図10(c)に示すように、配線母基板21の一面21a及び他面21bに第1の封止体11と第2の封止体12とを形成する。
なお、本実施形態では、図7に示す下型28のキャビティ30に、配線母基板21の他面21bに形成された導体層41が、密着していなくても構わない。
【0057】
次に、図10(d)に示すように、配線母基板21の第2の封止体12を、図示しない研磨装置を用いて所定量研削することで、第2の封止体から導体層を露出させる。
このように、第2の封止体を研削することで導体層41を露出させているので、第2の封止体12から導体層41を良好に露出できると共に、複数の導体層41を平坦に形成でき、半導体装置1Bの平坦度が向上する。
【0058】
次に、第2の封止体12から導体層41が露出された配線母基板21は、ボールマウント工程に移行される。この工程では、図10(e)に示すように、配線母基板21の他面21bに形成された第2の封止体12から露出された、複数の導体層41の露出面上に、半田ボール9を搭載し、外部端子となるバンプ電極を形成する。
このように、導体層41と半田ボール9とを同一材料としたことで、導体層41と半田ボール9とを良好に接合することができる。
【0059】
次に、半田ボール9の搭載された配線母基板21は基板ダイシング工程に移行され、第1の実施形態と同様、図10(f)に示すように、配線母基板21を切断し、製品形成部22毎に分離し、図9に示すような反りの低減した半導体装置1Bが得られる。
【0060】
[第3の実施形態]
図11は、本発明の第3の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。 図12は、本実施形態の半導体装置に用いる配線母基板の他面を示す平面図で、図13は、図12のC−C’間を示す断面図である。
なお、本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0061】
本実施形態の半導体装置1Cは、第1の実施形態と略同様な配線基板を有している。
ただし、図11ないし図13に示すように、配線基板2(製品形成部22)の中央位置には、略長方形状の貫通孔である貫通スリット51が形成されている。また、複数の接続パッド3は、配線基板2の他面2bに、貫通スリット51に沿って設けられている。なお、接続パッド3は、配線によりランド4に電気的に接続されている。
【0062】
また、配線基板2の一面2aの略中央部位の上方には、半導体チップ5が配置されている。そして、半導体チップ5の一面5aの略中央位置に、複数の電極パッド6の列が形成されている。
【0063】
半導体チップ5は、一面5aを配線基板2側に向け、電極パッド6が配線基板2の貫通スリット51に配置されるように、DAF等の絶縁性の固定部材13を介して、配線基板2に搭載されている。
すなわち、半導体チップ5の電極パッド6は、半導体チップ5の配線基板2側で、かつ、貫通スリット51に対応する位置に設けられるように構成されている。
【0064】
そして、半導体チップ5の電極パッド6は、それぞれ対応する配線基板2の他面2b側の接続パッド3と、貫通スリット51を通じて、導電性のワイヤ7によって電気的に接続されている。
【0065】
配線基板2の一面2aには、半導体チップ5を覆うように、略全面に第1の封止体11が形成されている。また、配線基板2の他面2bに設けられた複数のランド4上には、第1の実施形態と同様に、それぞれ柱状の導体層10(外部端子)が配置されている。
【0066】
そして、配線基板2の他面2b側には、ワイヤ7と貫通スリット51を覆うように、略全面に第2の封止体12が配置されており、第2の封止体12から導体層10の端部が露出されるように構成されている。
また、第2の封止体12の表面に露出した導体層10(外部端子)上には、それぞれ外部端子を構成する半田ボール9が搭載されている。これにより、実質的に外部端子が第2の封止体12を貫通してランド4に接続された状態になる。
【0067】
本実施形態の半導体装置1Cにおいても、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成した構成が採用されている。これにより、第1の実施形態と同様に、配線基板2の両面での熱膨張のバランスを向上することができ、半導体装置の反りを低減することができる。
【0068】
さらに、電極パッド6を配線基板2側にするフェイスダウン方式で、半導体チップ5を配線基板2に搭載したことにより、半導体装置1Cを薄型化することができる。
また、配線基板2に貫通スリット51を設けたことで、配線基板2と第2の封止体12との接着面積を増やすことができ、密着性を向上することができる。さらに、密着性が向上した結果、半導体装置1Cの耐湿性を向上することもできる。
【0069】
[第4の実施形態]
図14は、本発明の第4の実施形態である半導体装置の他面を示す平面図であり、図15は図14のD−D’間断面図である。図16は、本実施形態の半導体装置に用いる配線母基板の他面を示す平面図で、図17は、図16のE−E’間を示す断面図である。
なお、本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0070】
本実施形態の半導体装置1Dにおいては、図14ないし図17に示すように、配線基板2(製品形成部22)の側面2c(側面22c)に窪んだ形状をした凹部52が形成された構成となっている。
そして、凹部52を覆い、かつ、第1の封止体11及び第2の封止体12と接合された第3の封止体53が形成された構成となっている。これにより、第1の封止体11、第2の封止体12及び第3の封止体53が一体的に構成されることとなる。
【0071】
本実施形態の半導体装置1Dにおいても、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成した構成が採用されている。これにより、第1の実施形態と同様に、配線基板2の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置1Dの反りを低減することができる。
【0072】
さらに、配線基板2の側面2cに第3の封止体53を形成し、配線基板2を第1の封止体11ないし第3の封止体53で一体的に覆ったことにより、半導体装置1Dの耐湿性が向上する。
また、配線基板2の側面2cに凹部52を設けたことにより、配線基板2と第3の封止体53との接着面積を増やすことができ、配線基板2と、第3の封止体53、さらには、これと一体となって形成された第1の封止体11及び第2の封止体12との密着性が向上する。
【0073】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0074】
例えば、上記実施形態では、配線基板2に一つの半導体チップ5を搭載した半導体装置について説明したが、複数の半導体チップ5を並置あるいは積層搭載した半導体装置、さらには図18に示すように、配線基板2の他面2bにも半導体チップ54を搭載した半導体装置1Eについて、同様に適用して構わない。
また、配線基板2の側面2cに凹部52を設けた場合について説明したが、図19に示すように、配線基板2の他面に窪んだ形状をした凹部55を設けるように構成しても良い。これにより、配線基板2と封止体12との接着面積が増し、密着性が高まる。
また、ガラスエポキシ基材からなる配線基板2について説明したが、ポリイミド基材からなるフレキシブルな配線基板等に適用しても良い。
また、半導体チップ5と配線基板2とをワイヤ7により接続する場合について説明したが、半導体チップと配線基板との接続はフリップチップ接続を適用しても良い。
【産業上の利用可能性】
【0075】
本発明は、半導体装置を製造する製造業において幅広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0076】
【図1】図1は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の他面を示す平面図である。
【図2】図2は、図1のA−A’間断面図である。
【図3】図3は、本発明の第1の実施形態である半導体装置を用いたPoP型半導体装置を示す断面図である。
【図4】図4は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図5】図5は、図4のB−B’間断面図である。
【図6】図6は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
【図7】図7は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
【図8】図8は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図9】図9は、本発明の第2の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図10】図10は、本発明の第2の実施形態である半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
【図11】図11は、本発明の第3の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図12】図12は、本発明の第3の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図13】図13は、図12のC−C’間断面図である。
【図14】図14は、本発明の第4の実施形態である半導体装置の他面を示す平面図である。
【図15】図15は、図14のD−D’間断面図である。
【図16】図16は、本発明の第4の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図17】図17は、図16のE−E’間断面図である。
【図18】図18は、本発明の半導体装置の配線基板の他面に半導体チップを載せた様子を示す断面図である。
【図19】図19は、本発明の半導体装置の配線基板の他面に凹部を設けた様子を示す断面図である。
【図20】図20は、従来の半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【0077】
1,1A,1B,1C,1D,1E・・・半導体装置、2・・・配線基板、2a・・・配線基板の一面、2b・・・配線基板の他面、2c・・・配線基板の側面、3・・・接続パッド、4・・・ランド、5・・・半導体チップ、5a・・・半導体チップの一面、6電気パッド、7・・・ワイヤ、9・・・半田ボール(外部端子)、10・・・導体層(外部端子)、11・・・第1の封止体、12・・・第2の封止体、41・・・導体層(外部端子)、51・・・貫通スリット、52・・・凹部、53・・・第3の封止体、55・・・凹部
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
一般に、BGA(Ball Grid Array)型半導体装置は、図20に示す半導体装置1のように、一面2aに複数の接続パッド3を有し、他面2bに接続パッド3と電気的に接続された複数のランド4とを有する配線基板2と、配線基板2の一面2aに搭載された半導体チップ5と、半導体チップ5の電極パッド6と配線基板2の接続パッド3とを電気的に接続するワイヤ7と、少なくとも半導体チップ5とワイヤ7とを覆う絶縁性樹脂からなる封止体8と、ランド4に設けられた外部端子である半田ボール9とから概略構成されている。
【0003】
このようなBGA型の半導体装置1は、通常、生産性を高めるため、複数の製品を同時に製造するMAP(Mold Array Process)方式によって製造されている。
具体的には、複数の配線基板(製品形成部)がマトリクス状に配置された配線母基板を用い、それぞれの製品形成部で所定の工程を行い、最後に配線母基板を製品形成部毎に切断することで半導体装置を得るという方式である。
【0004】
ところで、このBGA型の半導体装置1には、配線基板2と封止体8との熱膨張係数の差に起因して、半導体装置1が反るという問題があった。
特に、複数の半導体装置1を同時に製造するMAP方式では、製造段階で、配線基板2複数個分の面積を有する配線母基板を、一括的に封止体で覆うことになるため、配線基板2と封止体8との熱膨張係数の差による反りの問題は深刻化していた。
【0005】
この問題を解決するため、特許文献1及び特許文献2には、配線母基板を覆う封止体を複数に分割して形成し、一度に封止する領域を小さくする方法が記載されている。
【特許文献1】特開2001−44229号公報
【特許文献2】特開2001−44324号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、特許文献1及び特許文献2に記載された方法では、配線母基板を覆う封止体を2つ以上に分割して形成するので、配線母基板の製品を形成する領域が小さくなってしまい、生産性が悪い。これにより、一つの配線母基板から得られる半導体装置の数が少なくなってしまい、半導体装置のコストアップにもつながる。
【0007】
また、近年は、携帯機器の小型・薄型化により、それらに組み込まれる半導体装置の小型・薄型化の必要性が益々高まり、配線基板や半導体チップの薄型化が進んでいる。
その結果、配線母基板を個片化した後においても、半導体装置が反るという問題が生じるようになった。
【0008】
すなわち、従来は、個片化した後の半導体装置においては、半導体装置自体が硬性を有しているので、熱膨張係数の差による応力に耐えられ、半導体装置は反らずにいられた。
しかし、薄型化の結果、半導体装置自体の硬性が低下したため、熱膨張係数の差による応力に耐えることができず、反るという不都合が生じるようになったのである。
【0009】
このような半導体装置の反りが発生すると、マザーボードへの半導体装置の実装時に、半田ボールが部分的に接続されない等、接続不良を引き起こす恐れがある。特に、PoP(Package on Package)等、複数の半導体装置を積層する半導体装置においては、半導体装置の反りの影響が大きい。
【課題を解決するための手段】
【0010】
そこで、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の半導体装置は、半導体チップと、一面に前記半導体チップが搭載され、他面にランドが設けられ、前記半導体チップと前記ランドとを電気的に接続する配線が備えられてなる配線基板と、前記一面及び前記半導体チップを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体と、前記第2の封止体を貫通して前記ランドに接続される外部端子と、を具備してなることを特徴とする。
また、本発明の半導体装置は、一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有する配線基板と、前記配線基板の一面に搭載された少なくとも1以上の半導体チップと、前記半導体チップに設けられた電極パッドと、前記電極パッドと前記接続パッドとを電気的に接続するワイヤと、少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤと、前記配線基板の一面とを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記配線基板の他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体とを具備してなることを特徴とする。
更に、本発明の半導体装置の製造方法は、一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有し、前記ランド上に導体層が搭載された配線基板を準備する工程と、前記配線基板上に、半導体チップを搭載する工程と、前記接続パッドと前記半導体チップに設けられた電極パッドとを、電気的に接続する工程と、少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤとを、前記配線基板の一面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記導体層が露出されるように前記配線基板の他面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【0011】
本発明では、上記構成を採用したことにより、半導体装置の反りを低減することができる。
すなわち、配線基板の一面に第1の封止体を、他面に第2の封止体を設けたことにより、第1の封止体が膨張ないし伸縮する際には、第2の封止体も膨張ないし伸縮することとなる。これにより、配線基板の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置の反りが低減することとなる。
そして、半導体装置の反りが低減された結果、実装精度が向上し、良好に電気的接続することができ、半導体装置の二次実装の信頼性が上がる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
以下、本発明の実施形態である半導体装置及びその製造方法について、図面を参照して説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の他面(外部端子面)を示す平面図であり、図2は図1のA−A’間断面図である。
【0013】
図1及び図2に示すように、本実施形態の半導体装置1Aは、BGA型の半導体装置であり、平面視略四角形の配線基板2と、配線基板2の一面2aに搭載された半導体チップ5と、配線基板2の他面2bに設けられた導体層10(外部端子)と、導体層10に搭載された半田ボール9(外部端子)と、配線基板2の一面2aを覆う第1の封止体11と、配線基板2の他面2bを覆う第2の封止体12とを有した構成となっている。本実施形態では、導体層10と半田ボール9とによって外部端子が構成されている。
【0014】
配線基板2は、例えば0.2mm厚のガラスエポキシ基板であり、ガラスエポキシ基材の両面に所定の図示略の配線が形成されている。また、この配線は、部分的に図示略の絶縁膜によって覆われており、絶縁膜としては、例えばソルダーレジストが挙げられる。
【0015】
配線基板2の一面2aに設けられた配線で、ソルダーレジストから露出された部位には、複数の接続パッド3が形成されている。
また、配線基板2の他面2bに設けられた配線で、ソルダーレジストから露出された部位には、複数のランド4が形成されている。
そして、接続パッド3とこれに対応するランド4とは、配線基板2の内部配線14によりそれぞれ電気的に接続されている。このようにして、接続パッド5及び配線を介して半導体チップ5とランド4とが接続されている。
なお、複数のランド4は、配線基板2上に所定の間隔、例えば1mm間隔で格子状に配置されている。
【0016】
また、配線基板2の一面2aの略中央部位の上方には、半導体チップ5が絶縁性の接着剤或いはDAF(Die Attached Film)等の固定部材13を介して接着固定されている。
半導体チップ5は、平面視略四角形の板状で、一面5aに所望の回路、例えば論理回路や記憶回路が形成されている。
【0017】
半導体チップ5の一面5aの周辺近傍位置には、複数の電極パッド6が形成されている。また、電極パッド6を除く半導体チップ5の一面5aには図示略のパッシベーション膜が形成されており、回路形成面を保護している。
半導体チップ5の電極パッド6は、それぞれ対応する配線基板2の接続パッド3と、導電性のワイヤ7により結線されることで電気的に接続されている。ワイヤ7には、例えばAu、Cu等が用いられている。
【0018】
配線基板2の一面2aには、半導体チップ5及びワイヤ7を覆うように、略全面に第1の封止体11が形成されている。第1の封止体11には、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられており、その厚さは、例えば400μm程度に構成される。
【0019】
また、配線基板2の他面2bに設けられた複数のランド4上には、それぞれ柱状の導体層10が形成されている。導体層10は、例えばCuのメッキ等により形成されており、ランド4上から少なくとも10μm以上、例えば50μm程度突出するように設けられている。
【0020】
配線基板2の他面2bには、略全面に第2の封止体12が形成されており、導体層10の端部が露出されるように構成される。
すなわち、配線基板2の他面2bの導体層10が設けられていない部分に、第2の封止体12が設けられた構成となっている。
そして、第2の封止体12の厚さは、導体層の厚さと略等しくなるように、少なくとも10μm以上、例えば50μm程度に構成されている。
【0021】
第2の封止体12は、第1の封止体11と同様に、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられている。
また、第2の封止体12は、例えば第1の封止体11と同じ熱膨張係数の材料で構成され、配線基板の両面を同じ熱膨張係数の材料で挟み込むように構成する。
【0022】
そして、第2の封止体12の表面に露出した導体層10上には、それぞれ外部端子となる半田ボール9が搭載されている。このように、外部端子を構成する半田ボール9が、同じく外部端子を構成する導体層10を介してランド4に接続されることで、実質的に外部端子が第2の封止体12を貫通してランド4に接続された状態になる。
【0023】
このように、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成したことにより、配線基板2の両面での熱膨張のバランスが向上され、半導体装置1Aの反りを低減することができる。そして、半導体装置1Aの反りが低減することで、マザーボード等への実装精度が向上すると共に、良好に電気的接続ができ、半導体装置1Aの二次実装の信頼性が向上する。
【0024】
また、配線基板2のランド4上に所定の厚さの導体層10を設けて、配線基板2から離れた位置に半田ボール9を搭載したことにより、マザーボード等の実装基板と半導体チップ5との間の距離が大きくなった。
この結果、実装基板が歪むことで生じる半導体チップ5への応力を、緩和することができ、二次実装の信頼性が向上する。さらに、配線基板2と実装基板とのクロストークノイズを低減することができ、半導体装置1Aの電気特性を向上することができる。
【0025】
また、配線基板2の他面2b側に、略全面に所定の厚さの第2の封止樹脂12を設けたことにより、配線基板2の他面2bに設けられた配線を保護することができ、かつ、半導体装置1Aの機械的強度を向上することもできる。
【0026】
なお、本実施形態の半導体装置1Aでは、半導体チップ5とワイヤ7とを覆うため、第1の封止体11が第2の封止体12より厚く構成されており、その結果、同じ材料からなるため、第2の封止体より第1の封止体の熱膨張の程度が大きくなっている。
したがって、第1の封止体11を構成する絶縁性樹脂として、第2の封止体12を構成する絶縁性樹脂より、熱膨張係数が小さいものを用いるのが好ましい。これにより、さらに配線基板の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置の反りを低減できる。
【0027】
図3は、本実施形態の半導体装置1Aを、他の半導体装置にパッケージ積層したPoP型半導体装置を示す断面図である。
本実施形態の半導体装置1Aは、配線基板2の一面2a及び他面2bに、第1の封止体11と第2の封止体12を設けることで、半導体装置1Aの反りが低減している。これにより、図3(a)(b)に示すように、積層搭載される他の半導体装置の反りの方向に関係なく、良好に電気的に接続することができる。
【0028】
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について説明する。
図4は、本実施形態の半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図で、図5は、図4のB−B’間を示す断面図である。図6及び図7は、本実施形態の半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。図8は、封止体形成後の配線母基板の他面を示す平面図である。
【0029】
まず、図4及び図5に示すように、本実施形態に用いられる配線母基板21は、MAP(Mold Array Process)方式で処理されるものであり、複数の製品形成部22がマトリクス状に配置されている。製品形成部22は、切断分離した後で、配線基板2となる部位で、配線基板2と同様の構成であり、説明は省略する。
【0030】
本実施形態においては、製品形成部22のそれぞれのランド4上に、予めCu等の金属メッキにより、所定の高さ、少なくとも10μ以上、例えば50μm程度の高さの円柱状の導体層10が形成されている。
【0031】
また、マトリックス状に配置された製品形成部22の周囲には、枠部23が設けられている。枠部23には、所定の間隔で位置決め孔24が設けられ、搬送・位置決めが可能に構成されている。
また、製品形成部22間はダイシングライン25となっており、後の工程でこのダイシングライン25に沿って切断分離される。なお、枠部23には、ダイシング用の位置決めマーク26が形成されており、配線基板2の他面2b側に第2の封止体12を形成してもダイシングライン25を認識できるように構成されている。
【0032】
次に、配線母基板21は、ダイボンディング工程に移行される。この工程では、図6(a)に示すように製品形成部22の一面22aの略中央位置に、それぞれ半導体チップ5が図示しないダイボンディング装置により、図2に示す固定部材13を介して接着固定される。固定部材13としては、例えば絶縁性の接着材或いはDAF(Die Attached Film)等を用いる。
【0033】
全ての製品形成部22への半導体チップ5の搭載が完了した後、配線母基板21は、ワイヤボンディング工程に移行される。この工程では、図6(b)に示すように、半導体チップ5の一面5aの周囲近傍に形成された図2に示す電極パッド6と、それに対応する製品形成部22の接続パッド3とを導電性のワイヤ7により結線する。
具体的には、図示しないワイヤボンディング装置により、溶融され先端にボールが形成されたワイヤ7を、半導体チップ5の電極パッド6上に超音波熱圧着することで接続する。その後、所定のループ形状を描き、ワイヤ7の後端を対応する接続パッド3上に超音波熱圧着する方法により行う。
なお、ワイヤ7は、例えばAu、Cu等からなる。
【0034】
全ての電極パッド6と接続パッド3とのワイヤ7による接続が完了した後、配線母基板21は、封止工程に移行され、図6(c)に示すように配線母基板21の両面に封止体が形成される。
この封止工程では、配線母基板21を例えば図7(a)に示すように、トランスファモールド装置の上型27と下型28からなる成型金型29により型締めする。上型27と下型28にはそれぞれキャビティ30が形成されており、下型28のキャビティ30に、配線母基板21の他面21bに設けられた導体層10の端部が密着するように、配線母基板21が配置される。
【0035】
なお、導体層10の端部へ封止樹脂が回りこまないように、弾力性のあるシートを介して型締めするように構成しても良い。これにより、第2の封止体12から導体層10を良好に露出させることができる。
【0036】
成型金型29の上型27と下型28には、それぞれゲート部31が形成されており、図7(b)に示すように、上下のゲート部31から上下のキャビティ30に、それぞれ加熱溶融された封止樹脂32を注入する。封止樹脂32は、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられる。
なお、図示しないが、上下のキャビティ30に供給される封止樹脂32のカル部及びランナー部を、上下で異なる位置に分けて配置することで、封止完了後の配線母基板21からのカル部とランナー部等の除去が容易にできる。
【0037】
そして、図7(c)に示すように、上下のキャビティ30が封止樹脂32で充填された状態で、所定の温度、例えば180℃程度でキュアすることで、封止樹脂32が熱硬化される。
以上の工程により、図6(c)に示すように、配線母基板21の複数の製品形成部22を一括的に覆う第1の封止体11と第2の封止体12が形成される。
【0038】
その後、配線母基板21は所定の温度、例えば240℃程度でリフローすることで、第1の封止体11及び第2の封止体12が硬化される。
配線母基板21の他面21b側は、柱状の導体層10をキャビティ30に密着させるように配置しているため、配線母基板21の他面21bに形成した第2の封止体12から、複数の導体層10の端部が露出するように構成される。
【0039】
以上のように、配線母基板21の一面21a及び他面21b側に、それぞれ第1の封止体11と第2の封止体12を形成したことにより、配線母基板21の両面での熱膨張のバランスを向上することができ、配線母基板21の反りを低減できる。
また、上下にそれぞれキャビティ30を設け、封止樹脂32を同時に上下のキャビティ30に充填するように構成しているため、工程の追加なく、第2の封止体12を形成できる。
【0040】
また、配線母基板21のランド4上に形成した導体層10を少なくとも10μm以上の厚さとすることで、配線母基板21とキャビティ30との間に封止樹脂32を注入することができる。
【0041】
また、複数の製品形成部22を一括的に封止するように、配線母基板21に合わせた一体的なキャビティ30を、上型27及び下型28にそれぞれ形成したことにより、配線母基板21の両面に効率良く封止樹脂32を注入できる。また、配線母基板21のサイズを共通化すれば、異なる大きさの製品形成部22の配線母基板21にも成型金型29を共用することができ、製造コストを低減できる。
【0042】
次に、第1の封止体11及び第2の封止体12が形成された配線母基板21は、ボールマウント工程に移行される。
この工程では、図6(d)に示すように、配線母基板21の他面21bに形成された第2の封止体12から露出され、格子状に配置された複数の導体層10の露出面上に、導電性の金属ボールを搭載し、外部端子となるバンプ電極を形成する。なお、金属ボールには、例えば半田等からなる半田ボール9を用いる。
【0043】
具体的には、配線母基板21上に配置された複数の導体層10の露出面に合わせて、複数の吸着孔が形成されたボールマウントツール33を用いて、半田ボール9を吸着保持する。
そして、吸着保持された半田ボール9にフラックスを転写形成し、配線母基板21に設けられた複数の導体層10の露出面に一括搭載する。
全ての製品形成部22へ半田ボール9を搭載した後、配線母基板21をリフローすることで外部端子となるバンプ電極が形成される。
【0044】
本実施形態では、配線母基板21の一面21a及び他面21bに第1の封止体11と第2の封止体12を形成したことで、配線母基板21の両面での熱膨張バランスが向上し、配線母基板21の反りが低減している。このため、精度良く半田ボール9を搭載することができる。
また、配線母基板21の反りが低減したことで、配線母基板21の全ての導体層10に合わせた吸着孔を有するボールマウントツール33で、配線母基板21の全ての製品形成部22に、半田ボール9を一括搭載することが可能となり、処理効率を良くすることができる。
【0045】
次に、半田ボール9を搭載した配線母基板21は、基板ダイシング工程に移行される。この工程では、図6(e)に示すように、配線母基板21を切断し、製品形成部22毎に分離する。
具体的には、配線母基板21の第1の封止体11側をダイシングテープ34に接着し、ダイシングテープ34によって配線母基板21を支持する。その後、図示略のダイシング装置のダイシングブレード35により、縦横に切断して製品形成部22毎に切断分離する。
【0046】
なお、図8に示すように、配線母基板21は、他面21b側に製品形成部22を一体的に覆う第2の封止体12が形成されたことで、製品形成部22間も第2の封止体12によって覆われたが、配線母基板21の枠部23にダイシング用マーク26を形成しているため、切断位置の認識ができ、製品形成部22毎の切断分離が可能となる。
そして、切断分離後、ダイシングテープ34からピックアップすることで、図1および図2に示すような反りを低減した半導体装置が得られる。
【0047】
本実施形態では、配線母基板21の一面21a及び他面21bに第1の封止体11及び第2の封止体12を形成したことで、配線母基板21の両面での熱膨張のバランスが向上し、反りが低減している。この結果、配線母基板21を精度良く、個々の製品形成部22毎に切断分離できる。
【0048】
[第2の実施形態]
図9は、本発明の第2の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。
本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0049】
図9に示すように、本実施形態の半導体装置1Bも、第1の実施形態と同様に、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成した構成となっている。
【0050】
また、本実施形態の半導体装置1Bでは、配線基板2の他面2bに設けられた導体層41(外部端子)を、半田ボール(外部端子)にて形成している。すなわち、外部端子を構成する導体層41及び半田ボール9が同一の材料からなっている。これにより、実質的に外部端子が第2の封止体12を貫通してランド4に接続された状態になる。
【0051】
本実施形態でも、第1の実施形態と同様に、配線基板2の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置1Bの反りを低減することができる。また、導体層41と半田ボール9とを同一の材料により形成したことにより、導体層41と半田ボール9とを良好に接合することができる。
【0052】
次に、本実施形態の半導体装置1Bの製造方法について説明する。
図10は、本実施形態の半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
なお、本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0053】
まず、図10(a)に示すように、本実施形態においても、第1の実施形態と略同様な配線母基板21が準備される。ただし、本実施形態に用いる配線母基板21では、この時点では、配線母基板21のランド4上に、導体層が形成されていない。
【0054】
次に、第1の実施形態と同様に、配線母基板21のそれぞれの製品形成部22に半導体チップ5が搭載される(チップマウント工程)。そして、製品形成部22の接続パッド3と半導体チップ5に設けられた図9に示す電極パッド6とを、ワイヤ7を用いて電気的に接続する(ワイヤボンディング工程)。
【0055】
次に、ワイヤボンディングの完了した配線母基板21は、ボールマウント工程に移行される。この工程では、まず、図10(b)に示すように、配線母基板21の一面21aを、製品形成部22に合わせて複数の凹部42が形成されたステージ43に保持する。
そして、その状態を維持したまま、配線母基板21の他面21bに設けられたランド4に、ボールマウントツール33により半田ボールを搭載し、導体層41を形成する。
すなわち、本実施形態では、導体層41として半田ボールを用いている。
【0056】
次に、ランド4に導体層41が搭載された配線母基板21は、封止工程に移行され、図10(c)に示すように、配線母基板21の一面21a及び他面21bに第1の封止体11と第2の封止体12とを形成する。
なお、本実施形態では、図7に示す下型28のキャビティ30に、配線母基板21の他面21bに形成された導体層41が、密着していなくても構わない。
【0057】
次に、図10(d)に示すように、配線母基板21の第2の封止体12を、図示しない研磨装置を用いて所定量研削することで、第2の封止体から導体層を露出させる。
このように、第2の封止体を研削することで導体層41を露出させているので、第2の封止体12から導体層41を良好に露出できると共に、複数の導体層41を平坦に形成でき、半導体装置1Bの平坦度が向上する。
【0058】
次に、第2の封止体12から導体層41が露出された配線母基板21は、ボールマウント工程に移行される。この工程では、図10(e)に示すように、配線母基板21の他面21bに形成された第2の封止体12から露出された、複数の導体層41の露出面上に、半田ボール9を搭載し、外部端子となるバンプ電極を形成する。
このように、導体層41と半田ボール9とを同一材料としたことで、導体層41と半田ボール9とを良好に接合することができる。
【0059】
次に、半田ボール9の搭載された配線母基板21は基板ダイシング工程に移行され、第1の実施形態と同様、図10(f)に示すように、配線母基板21を切断し、製品形成部22毎に分離し、図9に示すような反りの低減した半導体装置1Bが得られる。
【0060】
[第3の実施形態]
図11は、本発明の第3の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。 図12は、本実施形態の半導体装置に用いる配線母基板の他面を示す平面図で、図13は、図12のC−C’間を示す断面図である。
なお、本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0061】
本実施形態の半導体装置1Cは、第1の実施形態と略同様な配線基板を有している。
ただし、図11ないし図13に示すように、配線基板2(製品形成部22)の中央位置には、略長方形状の貫通孔である貫通スリット51が形成されている。また、複数の接続パッド3は、配線基板2の他面2bに、貫通スリット51に沿って設けられている。なお、接続パッド3は、配線によりランド4に電気的に接続されている。
【0062】
また、配線基板2の一面2aの略中央部位の上方には、半導体チップ5が配置されている。そして、半導体チップ5の一面5aの略中央位置に、複数の電極パッド6の列が形成されている。
【0063】
半導体チップ5は、一面5aを配線基板2側に向け、電極パッド6が配線基板2の貫通スリット51に配置されるように、DAF等の絶縁性の固定部材13を介して、配線基板2に搭載されている。
すなわち、半導体チップ5の電極パッド6は、半導体チップ5の配線基板2側で、かつ、貫通スリット51に対応する位置に設けられるように構成されている。
【0064】
そして、半導体チップ5の電極パッド6は、それぞれ対応する配線基板2の他面2b側の接続パッド3と、貫通スリット51を通じて、導電性のワイヤ7によって電気的に接続されている。
【0065】
配線基板2の一面2aには、半導体チップ5を覆うように、略全面に第1の封止体11が形成されている。また、配線基板2の他面2bに設けられた複数のランド4上には、第1の実施形態と同様に、それぞれ柱状の導体層10(外部端子)が配置されている。
【0066】
そして、配線基板2の他面2b側には、ワイヤ7と貫通スリット51を覆うように、略全面に第2の封止体12が配置されており、第2の封止体12から導体層10の端部が露出されるように構成されている。
また、第2の封止体12の表面に露出した導体層10(外部端子)上には、それぞれ外部端子を構成する半田ボール9が搭載されている。これにより、実質的に外部端子が第2の封止体12を貫通してランド4に接続された状態になる。
【0067】
本実施形態の半導体装置1Cにおいても、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成した構成が採用されている。これにより、第1の実施形態と同様に、配線基板2の両面での熱膨張のバランスを向上することができ、半導体装置の反りを低減することができる。
【0068】
さらに、電極パッド6を配線基板2側にするフェイスダウン方式で、半導体チップ5を配線基板2に搭載したことにより、半導体装置1Cを薄型化することができる。
また、配線基板2に貫通スリット51を設けたことで、配線基板2と第2の封止体12との接着面積を増やすことができ、密着性を向上することができる。さらに、密着性が向上した結果、半導体装置1Cの耐湿性を向上することもできる。
【0069】
[第4の実施形態]
図14は、本発明の第4の実施形態である半導体装置の他面を示す平面図であり、図15は図14のD−D’間断面図である。図16は、本実施形態の半導体装置に用いる配線母基板の他面を示す平面図で、図17は、図16のE−E’間を示す断面図である。
なお、本実施形態は、第1の実施形態の変形例であり、同様の部分については、説明を省略する。
【0070】
本実施形態の半導体装置1Dにおいては、図14ないし図17に示すように、配線基板2(製品形成部22)の側面2c(側面22c)に窪んだ形状をした凹部52が形成された構成となっている。
そして、凹部52を覆い、かつ、第1の封止体11及び第2の封止体12と接合された第3の封止体53が形成された構成となっている。これにより、第1の封止体11、第2の封止体12及び第3の封止体53が一体的に構成されることとなる。
【0071】
本実施形態の半導体装置1Dにおいても、配線基板2の一面2a及び他面2bにそれぞれ、略全面に亘って第1の封止体11と第2の封止体12を形成した構成が採用されている。これにより、第1の実施形態と同様に、配線基板2の両面での熱膨張のバランスが向上し、半導体装置1Dの反りを低減することができる。
【0072】
さらに、配線基板2の側面2cに第3の封止体53を形成し、配線基板2を第1の封止体11ないし第3の封止体53で一体的に覆ったことにより、半導体装置1Dの耐湿性が向上する。
また、配線基板2の側面2cに凹部52を設けたことにより、配線基板2と第3の封止体53との接着面積を増やすことができ、配線基板2と、第3の封止体53、さらには、これと一体となって形成された第1の封止体11及び第2の封止体12との密着性が向上する。
【0073】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【0074】
例えば、上記実施形態では、配線基板2に一つの半導体チップ5を搭載した半導体装置について説明したが、複数の半導体チップ5を並置あるいは積層搭載した半導体装置、さらには図18に示すように、配線基板2の他面2bにも半導体チップ54を搭載した半導体装置1Eについて、同様に適用して構わない。
また、配線基板2の側面2cに凹部52を設けた場合について説明したが、図19に示すように、配線基板2の他面に窪んだ形状をした凹部55を設けるように構成しても良い。これにより、配線基板2と封止体12との接着面積が増し、密着性が高まる。
また、ガラスエポキシ基材からなる配線基板2について説明したが、ポリイミド基材からなるフレキシブルな配線基板等に適用しても良い。
また、半導体チップ5と配線基板2とをワイヤ7により接続する場合について説明したが、半導体チップと配線基板との接続はフリップチップ接続を適用しても良い。
【産業上の利用可能性】
【0075】
本発明は、半導体装置を製造する製造業において幅広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【0076】
【図1】図1は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の他面を示す平面図である。
【図2】図2は、図1のA−A’間断面図である。
【図3】図3は、本発明の第1の実施形態である半導体装置を用いたPoP型半導体装置を示す断面図である。
【図4】図4は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図5】図5は、図4のB−B’間断面図である。
【図6】図6は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
【図7】図7は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
【図8】図8は、本発明の第1の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図9】図9は、本発明の第2の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図10】図10は、本発明の第2の実施形態である半導体装置の製造フローを示す断面工程図である。
【図11】図11は、本発明の第3の実施形態である半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【図12】図12は、本発明の第3の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図13】図13は、図12のC−C’間断面図である。
【図14】図14は、本発明の第4の実施形態である半導体装置の他面を示す平面図である。
【図15】図15は、図14のD−D’間断面図である。
【図16】図16は、本発明の第4の実施形態である半導体装置の製造に用いる配線母基板の他面を示す平面図である。
【図17】図17は、図16のE−E’間断面図である。
【図18】図18は、本発明の半導体装置の配線基板の他面に半導体チップを載せた様子を示す断面図である。
【図19】図19は、本発明の半導体装置の配線基板の他面に凹部を設けた様子を示す断面図である。
【図20】図20は、従来の半導体装置の概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【0077】
1,1A,1B,1C,1D,1E・・・半導体装置、2・・・配線基板、2a・・・配線基板の一面、2b・・・配線基板の他面、2c・・・配線基板の側面、3・・・接続パッド、4・・・ランド、5・・・半導体チップ、5a・・・半導体チップの一面、6電気パッド、7・・・ワイヤ、9・・・半田ボール(外部端子)、10・・・導体層(外部端子)、11・・・第1の封止体、12・・・第2の封止体、41・・・導体層(外部端子)、51・・・貫通スリット、52・・・凹部、53・・・第3の封止体、55・・・凹部
【特許請求の範囲】
【請求項1】
半導体チップと、
一面に前記半導体チップが搭載され、他面にランドが設けられ、前記半導体チップと前記ランドとを電気的に接続する配線が備えられてなる配線基板と、
前記一面及び前記半導体チップを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、
前記他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体と、
前記第2の封止体を貫通して前記ランドに接続される外部端子と、を具備してなることを特徴とする半導体装置。
【請求項2】
一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有する配線基板と、
前記配線基板の一面に搭載された少なくとも1以上の半導体チップと、
前記半導体チップに設けられた電極パッドと、
前記電極パッドと前記接続パッドとを電気的に接続するワイヤと、
少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤと、前記配線基板の一面とを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、
前記配線基板の他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体と、を具備してなることを特徴とする半導体装置。
【請求項3】
前記第1の封止体を構成する絶縁性樹脂の熱膨張係数と、前記第2の封止体を構成する絶縁性樹脂の熱膨張係数とが、略等しいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
【請求項4】
前記第1の封止体及び前記第2の封止体のうち、厚さの大きい封止体を構成する絶縁性樹脂の方が、他の封止体を構成する絶縁性樹脂よりも、熱膨張係数が小さいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
【請求項5】
前記配線基板の他面に設けられた前記ランド上に、導体層が設けられ、
前記配線基板の他面の前記導体層が設けられていない部分に、前記第2の封止体が設けられ、
前記導体層の厚さと、前記配線基板の他面に設けられた第2の封止体の厚さとが略等しいことを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項6】
前記導体層に外部端子が設けられ、
前記導体層と前記外部端子とが、略同一の材料からなることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
【請求項7】
前記配線基板に貫通孔が設けられ、
前記電極パッドが、前記半導体チップの前記配線基板側で、かつ、前記貫通孔に対応する位置に設けられ、
前記ワイヤが、前記貫通孔を通って、前記電極パッドと前記接続パッドとを電気的に接続することを特徴とする請求項2ないし請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項8】
前記配線基板の側面に窪んだ形状をした凹部が設けられ、
該凹部を覆い、かつ、前記第1の封止体及び前記第2の封止体と接合された第3の封止体が設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項9】
前記配線基板の他面に窪んだ形状をした凹部が設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項10】
前記配線基板の他面に半導体チップが設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項11】
前記第1の封止体及び第2の封止体は、それぞれ配線基板の一面及び他面の全面に亘って設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項12】
一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有し、前記ランド上に導体層が搭載された配線基板を準備する工程と、
前記配線基板上に、半導体チップを搭載する工程と、
前記接続パッドと前記半導体チップに設けられた電極パッドとを、電気的に接続する工程と、
少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤとを、前記配線基板の一面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記導体層が露出されるように前記配線基板の他面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体を形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項13】
前記配線基板の他面に設けられた導体層は、配線基板の全面に第2の封止体を形成した後、第2の封止体を、研磨装置を用いて所定の厚さまで研削することで、第2の封止体から露出させることを特徴とする請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項14】
前記第1の封止体及び第2の封止体は、配線基板上に同時に形成されることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項1】
半導体チップと、
一面に前記半導体チップが搭載され、他面にランドが設けられ、前記半導体チップと前記ランドとを電気的に接続する配線が備えられてなる配線基板と、
前記一面及び前記半導体チップを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、
前記他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体と、
前記第2の封止体を貫通して前記ランドに接続される外部端子と、を具備してなることを特徴とする半導体装置。
【請求項2】
一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有する配線基板と、
前記配線基板の一面に搭載された少なくとも1以上の半導体チップと、
前記半導体チップに設けられた電極パッドと、
前記電極パッドと前記接続パッドとを電気的に接続するワイヤと、
少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤと、前記配線基板の一面とを覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、
前記配線基板の他面を覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体と、を具備してなることを特徴とする半導体装置。
【請求項3】
前記第1の封止体を構成する絶縁性樹脂の熱膨張係数と、前記第2の封止体を構成する絶縁性樹脂の熱膨張係数とが、略等しいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
【請求項4】
前記第1の封止体及び前記第2の封止体のうち、厚さの大きい封止体を構成する絶縁性樹脂の方が、他の封止体を構成する絶縁性樹脂よりも、熱膨張係数が小さいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
【請求項5】
前記配線基板の他面に設けられた前記ランド上に、導体層が設けられ、
前記配線基板の他面の前記導体層が設けられていない部分に、前記第2の封止体が設けられ、
前記導体層の厚さと、前記配線基板の他面に設けられた第2の封止体の厚さとが略等しいことを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項6】
前記導体層に外部端子が設けられ、
前記導体層と前記外部端子とが、略同一の材料からなることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
【請求項7】
前記配線基板に貫通孔が設けられ、
前記電極パッドが、前記半導体チップの前記配線基板側で、かつ、前記貫通孔に対応する位置に設けられ、
前記ワイヤが、前記貫通孔を通って、前記電極パッドと前記接続パッドとを電気的に接続することを特徴とする請求項2ないし請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項8】
前記配線基板の側面に窪んだ形状をした凹部が設けられ、
該凹部を覆い、かつ、前記第1の封止体及び前記第2の封止体と接合された第3の封止体が設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項9】
前記配線基板の他面に窪んだ形状をした凹部が設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項10】
前記配線基板の他面に半導体チップが設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項11】
前記第1の封止体及び第2の封止体は、それぞれ配線基板の一面及び他面の全面に亘って設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載の半導体装置。
【請求項12】
一面に接続パッドを有し、他面に前記接続パッドと電気的に接続された複数のランドを有し、前記ランド上に導体層が搭載された配線基板を準備する工程と、
前記配線基板上に、半導体チップを搭載する工程と、
前記接続パッドと前記半導体チップに設けられた電極パッドとを、電気的に接続する工程と、
少なくとも前記半導体チップと、前記ワイヤとを、前記配線基板の一面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第1の封止体と、前記導体層が露出されるように前記配線基板の他面の略全面に亘って覆う絶縁性樹脂からなる第2の封止体を形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項13】
前記配線基板の他面に設けられた導体層は、配線基板の全面に第2の封止体を形成した後、第2の封止体を、研磨装置を用いて所定の厚さまで研削することで、第2の封止体から露出させることを特徴とする請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項14】
前記第1の封止体及び第2の封止体は、配線基板上に同時に形成されることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図2】
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【図18】
【図19】
【図20】
【公開番号】特開2010−103348(P2010−103348A)
【公開日】平成22年5月6日(2010.5.6)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−274253(P2008−274253)
【出願日】平成20年10月24日(2008.10.24)
【出願人】(500174247)エルピーダメモリ株式会社 (2,599)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年5月6日(2010.5.6)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年10月24日(2008.10.24)
【出願人】(500174247)エルピーダメモリ株式会社 (2,599)
【Fターム(参考)】
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