基板加工処理システム、パレット管理装置および方法
【課題】次々と流れる各基板を、それぞれに適合したパレットに載せて搬送しながら加工処理を行うラインにおいて、パレットの混入による障害を防止することができる、基板加工処理システム、パレット管理装置および方法を提供する。
【解決手段】基板加工処理システム１は複数の基板４をパレット５に載置して、順次、入口から出口に向けてコンベア７で搬送しながら加工処理する基板加工処理装置２と、前記出口にて前記基板４を取り外した後の前記パレット５を、順次、別のコンベア８で搬送し前記入口に戻すパレット搬送装置３と、前記パレット５の運用を管理するパレット管理装置２０と、を備える。
【解決手段】基板加工処理システム１は複数の基板４をパレット５に載置して、順次、入口から出口に向けてコンベア７で搬送しながら加工処理する基板加工処理装置２と、前記出口にて前記基板４を取り外した後の前記パレット５を、順次、別のコンベア８で搬送し前記入口に戻すパレット搬送装置３と、前記パレット５の運用を管理するパレット管理装置２０と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を加工処理するシステム、特に量産ラインにおいて次々と流れる各基板を、それぞれに適合したパレットに載せて搬送しながら加工処理を行うシステムに関する。さらには、そのシステム内で上記パレットの運用を管理するためのパレット管理装置ならびに管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本明細書において開示する基板加工処理システムは、概括的には、各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、その出口にて基板を取り外した後のパレットを、順次、別のコンベア搬送により上記の入口に戻すパレット搬送装置と、これらのパレットの運用を管理するパレット管理装置とを備えたシステムである。
【０００３】
そのシステムの好適な一例としては、上記の基板加工処理装置として、表面実装（ＳＭＴ）基板上の電子部品に対するハンダプリコートやハンダ接合を行うリフロー炉があり、このリフロー炉にはさらに、使用後のパレットを自動的に再び入口に戻す、上記のパレット搬送装置としてのパレット搬送システム（ＰＣＳ）がある。さらにまた、これらのパレットの運用を管理するパレット管理装置がある。本明細書では主としてこのパレット管理装置について説明し、また、上記のリフロー炉とＰＣＳを好適な実例として説明する。
【０００４】
なお関連する公知技術としては、データ基板を用いてロットの終了を管理する技術や、ＦＰＣリフロー用搬送パレットに関する技術を記載した、下記の特許文献１および２などがある。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−３６４１０号公報
【特許文献２】特開平８−７８８３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図７は基板加工処理システムの一例としてのリフロー炉およびパケット搬送装置を模式的に示す正面図である。
本図において、参照番号１は基板加工処理システムを示し、大別して基板加工処理装置としてのリフロー炉２と、パレット搬送装置としてのパケット搬送システム（ＰＣＳ）３とから構成される。
【０００７】
本図の左側にはリフロー炉２の入口があり、さらにこの入口の左側から次々と供給される基板４が入口より順次投入される。このとき、各基板４は、ＰＣＳ３により次々と送り込まれるパレット５に載せられた上で、パレット付基板６として入口に投入されていく。
【０００８】
各パレット付基板６は、リフロー炉２内においてコンベア７により、「入口」から、リフロー炉２の「出口」に向って搬送されながら熱処理を受け、各基板（ＰＣＢ）４上の多数の電子部品（図示せず）に対してハンダプリコートやハンダ接合などの熱加工が施される。
【０００９】
その熱加工処理後の各パレット付基板６′は、本図右側の出口より次々と搬出されると共に、加工済み基板４′と使用済みパレット５に分離される。加工済み基板４′は、本図の右側へ次々と送り出され次工程に入る。
【００１０】
一方使用済みパレット５は、ＰＣＳ３内のコンベア８により、リフロー炉２の「出口」から再び「入口」に戻され、同一ロットの基板４が本図の左側から供給され続ける限り、何度も繰り返し再使用される。なお、出口からの使用済みパレット５は出口側昇降機９により、コンベア８に案内され、さらに入口側（本図の左側）に搬送される。入口側に戻った使用済みパレット５は、入口側昇降機１０により、リフロー炉２の入口に再び戻り、同一ロット内の新たな基板４を再び載せて炉２内に入り、コンベア搬送される。このような処理動作は、当該ロットでの基板４の供給が終了するまで続けられる。
【００１１】
上記の説明より明らかなようにパレット５は、システム１内を循環して何度も繰り返し使用される。そしてこの循環のためにＰＣＳ３がリフロー炉２に併設される。このように何度も繰り返しパレット５が使用されなければならないのは、次の理由による。
【００１２】
上述した表面実装（ＳＭＴ）基板４は例えば０．８mm程度と非常に薄い。そうすると、リフロー炉２内の高熱によりいわゆる「基板反り」が発生する。この「基板反り」は電子回路ボードとしての性能上好ましくない影響を及ぼす。そこで、その「基板反り」の発生を抑制すべく、特別なパレットが必要となる。つまり例えばＡ機種基板４の熱加工にはＡ機種パレット５のみが使用されなければならない。
【００１３】
図８はパレット５の概観の一例を表す斜視図である。一例として、Ｘ＝３７０mm、Ｙ＝３００mmの大きさを有する磁気性のメッシュ部材からなり、そのメッシュ１２上には複数本のピン１１が林立する。これらピン１１の各頂点において基板４が水平に支持されることになる。
【００１４】
この場合、各ピン１１の配置は基板毎に厳密に定められる。すなわち各ピン１１は、基板４の裏面側に設けられる各電子部品に当接しないような位置を選んで配置される。もしそのような当接があると、当該電子部品は不良品となり、同種の正常な部品との交換が必要となる。かかる電子部品がＢＧＡなどの高価な部品であったとすると、相当な費用がかかり、また交換に要する工数も大であって、生産面で負のコストをもたらす。
【００１５】
このため、上記ピン１１はマグネットピンになっており、基板の機種毎に柔軟に、各機種毎のピン配列治具ＭＰを用いて配置替えを行うことができるようになっている。この場合、一つの機種の基板に適合させたピン配置のパレット５は、１つのロットの生産中、一切変更してはならない。
【００１６】
ところが実際には、何らかの原因で、基板に適合しないパレットがシステム１内に混入し、上述した負のコストをもたらすピン干渉障害が発生している。なおその原因の一例については、後述する。
【００１７】
したがって本明細書においては、上述したピン干渉障害の発生を未然に防止可能な基板加工処理システム、特に該システムに付帯するパレット管理装置を提案する。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本明細書において開示するパレット管理方法は、第１に、基板４の加工処理のために使用する所定枚数のパレット５のうち、任意の１枚のみを基準パレット（残りは通常パレット）とする。第２に、システム１内を繰り返し循環するパレット５が所定位置（例えば「入口」）を通過する回数を計数するカウンタを設ける。そして上記の基準パレットは、あるロットの一群の基板４の加工処理が開始するときは、必ずその先頭に位置するようにセットする。
【００１９】
ここでその加工処理の開始ボタンが押されたとすると、最初のパレットが基準パレットであることが検出されれば、第１のチェックはパスする。もし何らかの要因で、最初のパレットが通常パレットであることが検出されると、その時点で、システム１は稼動を即座に停止し、基準パレットにセットし直す。
【００２０】
上記第１のチェックの後は、第２のチェックが行われる。この第２のチェックは、上記基準パレットがシステム１内を丁度一巡した時点で、全パレットを計数（減算）する上記のカウンタが、零を表示しているか否かのチェックである。零であれば本チェックはパスする。零でなければ、システム１内を循環する全パレットの総数が上記所定枚数より多いかまたは少ない。このとき、システム１は稼動を即座に停止する。その総数が多い場合は、重大である。他の機種用のパレットが混入している可能性が高く、放置すれば上記のピン干渉障害が発生する。一方、少ない場合は同一機種用のパレットを補充する。あるいはそのままでも良い。ただし生産効率が若干低下する。
【００２１】
ちなみに、パレットの所定枚数は、例えば、リフロー炉２内の加工処理に１パレット当たり仮に１０分を要するとし、新基板４が仮に２分毎に供給されるとすれば、５（＝１０／２）枚のパレットが必要である。この５枚よりパレットが多いと、無駄時間を生じ、一方その５枚より少ないと、基板の待ち時間が生じてしまう。
【００２２】
本明細書で開示するパレット管理装置は、上述したパレット管理方法を実施可能な装置であり、また、
本明細書で開示する基板加工処理システムは、上記のパレット管理装置によって運行管理されるシステムである。
【発明の効果】
【００２３】
上述した基板加工処理システムによれば、
（ｉ）例えばＡ機種の一連の基板４ＡをそれぞれＡ機種用のパレット５Ａに載せて加工処理を終了したあと、次に段取り替えにより、例えばＢ機種の一連の基板４Ｂについて、Ｂ機種用のパレット５Ｂを用意して作業を開始したとする。しかし、このとき直前工程のパレット５Ａがシステム１内に残留していたとすると、前述した第２のチェック（カウンタの過計数）によってこれを発見でき、ピン干渉障害を未然に防ぐことができる。
【００２４】
（ii）上記Ｂ機種用のパレット５Ｂの所定枚数の過不足が分かり、常に所定枚数での正しい運用が保証される。
【００２５】
（iii）一巡パレットの何枚目がリフロー炉に入ったか（あるいはリフロー炉から出たか）が、基準パレットを起点とすることで容易に把握できる。一般にリフロー炉２の中は外部からは覗くことができない構造になっているから、どのパレットがどの辺を移動中かを外部から知ることが可能なことは、例えば、ある生産ラインのオペレータが途中で、他の生産ラインの方に交替で異動したような場合に、現況把握が即座にできるという点で、有益である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
まず本明細書で開示する基板加工処理システムを理解する上で、前述したピン干渉障害の発生例を認識しておくことが必要である。そこで、図を参照する。
【００２７】
図９は直前のロットの加工処理中の様子を模式的に示す平面図であり、
図１０は次の新たなロットの加工処理が開始した後の様子を模式的に示す平面図である。なお前述した〔発明の効果〕の（ｉ）の場合を例にとる。
【００２８】
まず図９を参照すると、ここではリフロー炉２内の「入口」から「出口」に向けて、Ａ機種用のピン１１Ａを配置したパレット５Ａが基板４Ａ（図示省略）を載せてコンベア７により搬送中である。出口側で作業をするオペレータＯＰo（ｏｕｔ）は、加工済みの基板４′Ａを取り外してパレット５ＡをＰＣＡ３経由でリフロー炉２の入口側に戻す。その後、次のロットのための段取り替えが行われる。
【００２９】
次に図１０を参照すると、リフロー炉２の入口側で作業をするオペレータＯＰi（ｉｎ）は、Ｂ機種の一連の基板４Ｂ（図示省略）を順次、Ｂ機種用のピン１１Ｂを配置したパレット５Ｂに載せてコンベア７に投入する。しかし上記の段取り替えにおいて、最後のパレット５Ａの抜き忘れがあり、やがてこのパレット５Ａが入口に戻り、このパレット５Ａに基板４Ｂが載せられることになる。この結果、ピン干渉障害が発生する。
【００３０】
図１１は図１０をさらに拡張して模式的に示す図である。図１０の構成要素にさらに加えて、入口側および出口側のパレット搬入装置（ＰＣＳ）３とその中間のコンベア８に載ったパレットの流れ（←）が示されている。本図の５Ａが段取り替えでの抜き忘れにより残ったパレットである。
【００３１】
既述のとおり、リフロー炉２の内部が覗けないことに起因して、直前工程のパレット５Ａを全て排出したかどうか分からず、また本システム１内に何枚パレットが投入されているのかも分からない。これがピン干渉障害を招いていた。
【００３２】
通常は、厳重なパレット管理が行われている限り、このようなピン干渉障害は起こり得ない、と考えられる。ところが、実際には、多品種混在型の生産が行われており、各ロットの個数も大幅に変化し（例えば１０００個〜１００個）、またロット変えのための段取り替え作業も１日に例えば数１０回にも及び、さらには、多数の生産ラインの並列運転によりパレットの相互やりくり、あるいは、加工処理中のトラブル発生によるパレットの抜き取り／再投入、オペレータの生産ライン間での相互融通等、現状では、厳重なパレット管理がきわめて難しく、前述したピン干渉障害などによる負のコストを生じさせていた。
【００３３】
しかしここに開示するシステム、装置、方法によれば、基準パレットとカウンタの導入というきわめて低コストの対策で、ピン干渉障害はほぼ完璧に防止することができる。以下、具体的に説明する。
【００３４】
図１は一実施形態による基板加工処理システム１を模式的に示す正面図である。本図のシステム１は、前述した図７のシステム１に、パレット管理装置２０が付加されたものとなっている。
【００３５】
このパレット管理装置２０は、ＣＰＵ（コンピュータ）からなり、ＭＭＩ（man-machine interface）として、第１操作盤２１と第２操作盤２２とを有する。またこのパレット管理装置２０は、第１検知信号（Ｄ１）を出力する基準検知センサＳ１および、第２検知信号（Ｄ２）を出力するパレット検知センサＳ２とも協働する。
【００３６】
図２は第１および第２操作盤（２１，２２）の具体例を示す図であり、第１操作盤２１は、前述の所定枚数をセットする設定ボタン２３と、その設定された所定枚数（例えば「１０」）を表示する第１表示部２４と、パレットが次々と搬送されて減算されていく途中経過の値を表示する第２表示部２５などを有する。
【００３７】
一方第２操作盤２２は、一群のロットの基板４を入口に投入開始するときの開始ボタン２６を有する。オペレータＯＰiの便宜を考慮して、この開始ボタン２６は、第１ランプ２６ａと第２ランプ２６ｂを内蔵し、異常発生時にはそれぞれ第１アラームＡＬＭ１と第２アラームＡＬＭ２（後述）を発出（点灯点滅）する。
【００３８】
図３はパレット管理装置２０の中核をなすパケット管理ＣＰＵ３０とその周辺を表す図である。このパケット管理ＣＰＵ３０は、第１操作盤２１からのパレット５の所定枚数Ｎを入力とし、また、現在までの投入枚数（または残り枚数）ｎを該第１操作盤２１に送り返す。さらに、第２操作盤２２からパレット投入の開始指令Ｅを受け、一方、アラームＡＬＭ１やＡＬＭ２が発生したときは、これを該第２操作盤２２に出力する。この場合、基準検知センサＳ１からの信号Ｄ１と、パレット検知センサＳ２からの信号Ｄ２を入力として、投入枚数の計数と、上記アラームの生成を行う。このようなパレット管理ＣＰＵ３０の機能を以下に説明する。
【００３９】
図４はパケット管理ＣＰＵ３０の具体的な機能構成を示す図である。主として、基準検出部３１と、カウンタ部３２と、第１監視部３３と、第２監視部３４とを含んで構成される。
【００４０】
まずカウンタ部３２は、基板４に加工処理を施す基板加工処理装置（リフロー炉）２内に投入されコンベア（７）搬送される所定枚数のパレット５の枚数を、これらのパレット５の流れに合わせて減算しながら、リフロー炉２の「入口」にて計数する。一方、基準検出部３１は、予め所定枚数のパレット５のうち１枚を基準パレット５Ｒ（reference）として定めておいて、その基準パレット５Ｒの流れをリフロー炉２の入口にて監視する。
【００４１】
第１監視部３３は、加工処理の対象となる一群のロットの基板４をその入口に投入開始する際、その最初のパレットが基準パレット５Ｒでないことを基準検出部３１により検出したとき第１アラームＡＬＭ１を発生する。一方の第２監視部３４は、所定枚数のパレット４が一巡しカウンタ部３２が上記の所定枚数を計数し終えた時点で、基準パレット５Ｒが基準検出部３１により検出されなかったとき第２アラームＡＬＭ２を発生する。
【００４２】
上記第１監視部３３は、基準パレット５Ｒが到来したことを検知する第１検知信号Ｄ１を基準検出部３１に出力する基準検知センサＳ１と連携する。一方上記第２監視部３４は、基準パレット５Ｒおよびそれ以外の通常パレット５の通過を共に検知する第２検知信号Ｄ２をカウンタ部３２に出力するパレット検知センサＳ２と連携する。前記の所定枚数をセットする第１操作盤２１から出力されるセット信号Ｎを受信したカウンタ部３２は、この第２検知信号Ｄ２を受信する毎に、そのセット値を１ずつ減算（ｎ）する。
【００４３】
一方、第２操作盤２２からは、開始ボタン２６が押下されたとき起動信号Ｅが出力される。一群のロットの基板４をリフロー炉２の「入口」に投入開始する際に第２操作盤２２から出力されるその起動信号Ｅを第１監視部３３が受信すると、基準パレット５Ｒの到来の監視を開始する。
【００４４】
上記の監視のために、基準検知センサＳ１が設けられる。その設置場所はリフロー炉２の入口側にあるのが好ましい。一実施形態では、図１に示すように入口側昇降機１０の昇降台１３の一部に取り付けた。またパレット検知センサＳ２も、その昇降台１３の他の一部に取り付けた。
【００４５】
これらのセンサＳ１およびＳ２としては例えばホトセンサを用いることができる。すなわち、パレットの４の裏側で反射される光を、パレット検知センサＳ２は検知する。一方、基準検知センサＳ１は、基準パレット５Ｒの一部に予め形成された基準マーク（Ｍ）を光学的に検知する。一実施形態では、この基準マーク（Ｍ）を単なる貫通孔とした。この例を図で示す。
【００４６】
図５は基準パレット５Ｒに付与する基準マークＭの一例を示す平面図である。本図において、前述した昇降台１３の一部に基準検知センサ（ホトセンサ）Ｓ１が固定的に取り付けられている。コンベア８によって出口側から搬入されてきた基準パレット５Ｒは、入口側の昇降台１３に乗せ換えられる。このとき基準マークＭがあればセンサＳ１は、このパレットが基準パレット５Ｒであると判定する。この基準マークＭは上述の貫通孔として形成しており、センサＳ１は基準パレットから反射した光を受光しない。受光しないことが、すなわち基準パレットを検知（Ｄ１）したことになる。
【００４７】
したがって貫通孔（Ｍ）を用いることにより、センサＳ１とＳ２をそれぞれ同じセンサで構成することができる。また、任意のパレット５の一部に孔開けするだけで簡単に基準パレット５Ｒができ上がる。
【００４８】
かくして本明細書で開示する基板加工処理システム１（図１）は、次のように構成される。
この基板加工処理システム１は、各々がパレット５，５Ｒに搭載された複数の基板４を、順次、「入口」から「出口」に向けてコンベア（７）搬送しながら加工処理する基板加工処理装置（リフロー炉）２と、その出口にて基板４を取り外した後のパレット５，５Ｒを、順次、別のコンベア（８）搬送によりその入口に戻すパレット搬送装置（ＰＣＳ）３と、パレット５の運用を管理するパレット管理装置２０と、を備えるシステムである。
【００４９】
ここにパレット管理装置２０は、パケット管理ＣＰＵ３０を含み、このＣＰＵ３０内には、
・基板加工処理装置（リフロー炉）２内に投入された所定枚数のパレット５の枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながらその入口にて計数するカウンタ部３２と、
・予め上記の所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレット５Ｒとして定め、その基準パレット５Ｒの流れを上記の入口にて監視する基準検出部３１とを有する。
【００５０】
・そしてさらに、一群のロットの各基板４を順次各パレット５，５Ｒに搭載して上記入口に投入開始する際、その最初のパレットが基準パレット５Ｒでないことを基準検出部３１により検出したとき、第１アラームＡＬＭ１を発出する第１監視部３３と、
・上記所定枚数のパレット５，５Ｒがコンベア（７，８）搬送を一巡し、カウンタ部３２が上記の所定枚数を計数し終えた時点で、基準パレット５Ｒが基準検出部３１により検出されなかったとき、第２アラームＡＬＭ２を発出する第２監視部とを有する。
【００５１】
したがってパケット管理ＣＰＵ３０は、基板加工処理システム１におけるパレット管理プログラムを内蔵する。このプログラムは、コンピュータに、
一群のロットの基板を順次入口に投入開始する際に、基板加工処理装置（リフロー炉）内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出させる手順と、一群のロットの基板を順次入口に投入開始する際に、パレットの所定枚数に相当する値をカウンタ部３２にセットさせる手順と、一群のロットの基板を順次入口に投入開始させる手順と、投入開始される最初のパレットが基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続させる手順と、継続するコンベア搬送中、入口にパレットが投入される都度、そのパレットの枚数分カウンタ部の値を減算させる手順と、カウンタ部が上記の値を減算し終えた時点で丁度、基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければアラームを発出してコンベア搬送を停止させ、一方、戻っていればコンベア搬送を続行させる手順と、を実行させるパレット管理プログラムである。
【００５２】
図６は本明細書で開示するパレット管理方法の一実施形態を表すフローチャートである。
【００５３】
ステップＳ１１：一群のロットの基板４をコンベア（７）搬送するためにリフロー炉２の入口に向けて待機する所定枚数のパレット５のうち、任意の１枚に基準マークＭを付与し、これを基準パレット５Ｒとする。
ステップＳ１２：一群の新規ロットの基板４を順次入口に投入開始する際に、リフロー炉２内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出する（注：ただし完全に全パレットを排出できているか否かは、炉２の外側からは確認できていない。）
【００５４】
ステップＳ１３：一群の新規ロットの基板４を順次リフロー炉２の入口に投入開始する際に、パレット５の所定枚数に相当する値をカウンタ部３２にセットする。
ステップＳ１４：一群の新規ロットの基板４と共にパレット５を順次入口に向けて搬入開始する。
【００５５】
ステップＳ１５：投入開始される最初のパレットが基準パレット５Ｒか否かを判定し、基準パレット５Ｒでなければ第１アラームＡＬＭ１を発出してコンベア（７）搬送を停止し（ステップＳ１６）、一方、基準パレット５Ｒであればコンベア（７）搬送を継続する（ステップＳ１７）。
ステップＳ１８：継続する上記のコンベア搬送中、リフロー炉２の入口にパレット５が投入される都度、そのパレットの枚数分カウンタ部３２の値を減算する。
ステップＳ１９：カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で丁度、基準パレット５Ｒが入口に戻ったか否か判定し、戻っていなければ第２アラームＡＬＭ２を発出してコンベア搬送を停止し（ステップＳ１６）、一方、戻っていればコンベア搬送を続行する（ステップＳ２０）。
ステップＳ２１：現ロットの全基板が処理済みとなるまで繰り返す。
【００５６】
上記ステップＳ１９においてさらに付言すると、カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で、基準パレット５Ｒが戻っていない場合、直前のロットで用いたパレット５がリフロー炉２内にまだ残留していたか、または、コンベア（７，８）搬送中にリフロー炉２の出口又は入口より別のパレット５が投入されたものと判定し、アラームを発出してコンベア搬送を停止するようにする。
【００５７】
さらにまた、カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で、基準パレット５Ｒが既に戻っていた場合、コンベア（７，８）搬送中に、リフロー炉２の出口又は入口よりいずれかのパレットが抜き出されたものと判定し、アラームを発出してコンベア搬送を停止するようにする。
【００５８】
さらに、カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で丁度、基準パレット５Ｒが戻ったとき、前記の値を再びカウンタ部３２に自動的にセットする工程を含むようにする。
【００５９】
さらにまたカウンタ部３２の現在値から、リフロー炉２内において現在コンベア（７）搬送中のパレットの枚数を検出し、第２表示部２５（図２）に表示する工程を含むようにする。
【００６０】
以上詳述したとおり、直前使用パレットのリフロー炉からの抜き忘れ等に起因するピン干渉障害を、簡単かつ安価な手段で、確実に防止することができる。その実施の態様は以下のとおりである。
【００６１】
（付記１）
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、別のコンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、ここに該パレット管理装置は、
前記基板加工処理装置内に投入された所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら前記入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
一群のロットの各前記基板を順次各前記パレットに搭載して前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したとき、第１アラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが前記コンベア搬送を一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったとき、第２アラームを発出する第２監視部と、を有する基板加工処理システム。
【００６２】
（付記２）
基板に加工処理を施す基板加工処理装置内に投入されコンベア搬送される所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら、前記基板加工処理装置の入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
加工処理の対象となる一群のロットの基板を前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したときアラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったときアラームを発出する第２監視部と、を有するパレット管理装置。
【００６３】
（付記３）
前記基準パレットが到来したことを検知する第１検知信号を、前記基準検出部に出力する基準検知センサを有する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６４】
（付記４）
前記基準検知センサは、前記基準パレットの一部に予め形成された基準マークを光学的に検知する付記３に記載のパレット管理装置。
【００６５】
（付記５）
前記基準パレットおよびそれ以外の通常パレットの通過を共に検知する第２検知信号を、前記カウンタ部に出力するパレット検知センサを有する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６６】
（付記６）
前記カウンタ部は、前記所定枚数をセットする操作盤からのセット信号を受信し、前記第２検知信号を受信する毎に、そのセット値を１ずつ減算する付記５に記載のパレット管理装置。
【００６７】
（付記７）
前記第１監視部は、前記一群のロットの基板を前記入口に投入開始する際に操作盤の開始ボタンを押下したとき出力される起動信号を受信したとき、前記基準パレットの到来の監視を開始する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６８】
（付記８）
前記開始ボタンはランプを内蔵し、該ランプの点灯または点滅により、前記第１および第２アラームの発出を表示する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６９】
（付記９）
前記基板加工処理装置はリフロー炉であり、前記基板はＳＭＴ基板である付記２に記載のパレット管理装置。
【００７０】
（付記１０）
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備える基板加工処理システムにおけるパレット管理方法であって、
一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与し、これを基準パレットとする工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出する工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットする工程と、
前記一群のロットの基板と共にパレットを順次前記入口に向けて搬入開始する工程と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止し、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続する工程と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算する工程と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければ前記コンベア搬送を停止し、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行する工程と、
を有する、基板加工処理システムにおけるパレット管理方法。
【００７１】
（付記１１）
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが戻っていない場合、直前のロットで用いたパレットが前記基板加工処理装置内にまだ残留していたか、または、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口より別のパレットが投入されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７２】
（付記１２）
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが既に戻っていた場合、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口よりパレットが抜き出されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７３】
（付記１３）
前記カウンタ部の現在値から、前記基板加工処理装置内において現在コンベア搬送中のパレットの枚数を検出する工程を含む付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７４】
（付記１４）
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったとき、前記値を再び該カウンタ部に自動セットする工程を含む付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７５】
（付記１５）
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、かつ、一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与してこれを基準パレットとして用いる、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラムであって、コンピュータに、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出させる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットさせる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始させる手順と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければ警告を発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続させる手順と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算させる手順と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければ前記コンベア搬送を停止させ、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行させる手順と、を実行させるための、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラム。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】一実施形態による基板加工処理システム１を模式的に示す平面図である。
【図２】第１及び第２操作盤（２１，２２）の具体例を示す図である。
【図３】パレット管理装置２０の中核をなすパケット管理ＣＰＵ３０とその周辺を表す図である。
【図４】パケット管理ＣＰＵ３０の具体的な機能構成を示す図である。
【図５】基準パレット５Ｒに付与する基準マークＭの一例を示す平面図である。
【図６】本明細書で開示するパレット管理方法の一実施形態を表すフローチャートである。
【図７】基板加工処理システムの一例としてのリフロー炉およびパケット搬送装置を模式的に示す図である。
【図８】パレット５の概観の一例を表す斜視図である。
【図９】直前のロットの加工処理中の様子を模式的に示す平面図である。
【図１０】次の新たなロットの加工処理が開始した後の様子を模式的に示す平面図である。
【図１１】図１０をさらに拡張して模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００７７】
１ 基板加工処理システム
２ 基板加工処理装置（リフロー炉）
３ パレット搬送装置（ＰＣＳ）
４ 基板
４′ 加工済み基板
５ パレット
５Ｒ 基準パレット
６ パレット付基板
７ コンベア
８ コンベア
９ 出口側昇降機
１０ 入口側昇降機
１１ マグネットピン
１３ 昇降台
２０ パレット管理装置
２１ 第１操作盤
２２ 第２操作盤
Ｓ１ 基準検知センサ
Ｓ２ パレット検知センサ
２３ 設定ボタン
２４ 第１表示部
２５ 第２表示部
２６ 開始ボタン
２６ａ 第１ランプ
２６ｂ 第２ランプ
３０ パケット管理ＣＰＵ
３１ 基準検出部
３２ カウンタ部
３３ 第１監視部
３４ 第２監視部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を加工処理するシステム、特に量産ラインにおいて次々と流れる各基板を、それぞれに適合したパレットに載せて搬送しながら加工処理を行うシステムに関する。さらには、そのシステム内で上記パレットの運用を管理するためのパレット管理装置ならびに管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本明細書において開示する基板加工処理システムは、概括的には、各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、その出口にて基板を取り外した後のパレットを、順次、別のコンベア搬送により上記の入口に戻すパレット搬送装置と、これらのパレットの運用を管理するパレット管理装置とを備えたシステムである。
【０００３】
そのシステムの好適な一例としては、上記の基板加工処理装置として、表面実装（ＳＭＴ）基板上の電子部品に対するハンダプリコートやハンダ接合を行うリフロー炉があり、このリフロー炉にはさらに、使用後のパレットを自動的に再び入口に戻す、上記のパレット搬送装置としてのパレット搬送システム（ＰＣＳ）がある。さらにまた、これらのパレットの運用を管理するパレット管理装置がある。本明細書では主としてこのパレット管理装置について説明し、また、上記のリフロー炉とＰＣＳを好適な実例として説明する。
【０００４】
なお関連する公知技術としては、データ基板を用いてロットの終了を管理する技術や、ＦＰＣリフロー用搬送パレットに関する技術を記載した、下記の特許文献１および２などがある。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−３６４１０号公報
【特許文献２】特開平８−７８８３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図７は基板加工処理システムの一例としてのリフロー炉およびパケット搬送装置を模式的に示す正面図である。
本図において、参照番号１は基板加工処理システムを示し、大別して基板加工処理装置としてのリフロー炉２と、パレット搬送装置としてのパケット搬送システム（ＰＣＳ）３とから構成される。
【０００７】
本図の左側にはリフロー炉２の入口があり、さらにこの入口の左側から次々と供給される基板４が入口より順次投入される。このとき、各基板４は、ＰＣＳ３により次々と送り込まれるパレット５に載せられた上で、パレット付基板６として入口に投入されていく。
【０００８】
各パレット付基板６は、リフロー炉２内においてコンベア７により、「入口」から、リフロー炉２の「出口」に向って搬送されながら熱処理を受け、各基板（ＰＣＢ）４上の多数の電子部品（図示せず）に対してハンダプリコートやハンダ接合などの熱加工が施される。
【０００９】
その熱加工処理後の各パレット付基板６′は、本図右側の出口より次々と搬出されると共に、加工済み基板４′と使用済みパレット５に分離される。加工済み基板４′は、本図の右側へ次々と送り出され次工程に入る。
【００１０】
一方使用済みパレット５は、ＰＣＳ３内のコンベア８により、リフロー炉２の「出口」から再び「入口」に戻され、同一ロットの基板４が本図の左側から供給され続ける限り、何度も繰り返し再使用される。なお、出口からの使用済みパレット５は出口側昇降機９により、コンベア８に案内され、さらに入口側（本図の左側）に搬送される。入口側に戻った使用済みパレット５は、入口側昇降機１０により、リフロー炉２の入口に再び戻り、同一ロット内の新たな基板４を再び載せて炉２内に入り、コンベア搬送される。このような処理動作は、当該ロットでの基板４の供給が終了するまで続けられる。
【００１１】
上記の説明より明らかなようにパレット５は、システム１内を循環して何度も繰り返し使用される。そしてこの循環のためにＰＣＳ３がリフロー炉２に併設される。このように何度も繰り返しパレット５が使用されなければならないのは、次の理由による。
【００１２】
上述した表面実装（ＳＭＴ）基板４は例えば０．８mm程度と非常に薄い。そうすると、リフロー炉２内の高熱によりいわゆる「基板反り」が発生する。この「基板反り」は電子回路ボードとしての性能上好ましくない影響を及ぼす。そこで、その「基板反り」の発生を抑制すべく、特別なパレットが必要となる。つまり例えばＡ機種基板４の熱加工にはＡ機種パレット５のみが使用されなければならない。
【００１３】
図８はパレット５の概観の一例を表す斜視図である。一例として、Ｘ＝３７０mm、Ｙ＝３００mmの大きさを有する磁気性のメッシュ部材からなり、そのメッシュ１２上には複数本のピン１１が林立する。これらピン１１の各頂点において基板４が水平に支持されることになる。
【００１４】
この場合、各ピン１１の配置は基板毎に厳密に定められる。すなわち各ピン１１は、基板４の裏面側に設けられる各電子部品に当接しないような位置を選んで配置される。もしそのような当接があると、当該電子部品は不良品となり、同種の正常な部品との交換が必要となる。かかる電子部品がＢＧＡなどの高価な部品であったとすると、相当な費用がかかり、また交換に要する工数も大であって、生産面で負のコストをもたらす。
【００１５】
このため、上記ピン１１はマグネットピンになっており、基板の機種毎に柔軟に、各機種毎のピン配列治具ＭＰを用いて配置替えを行うことができるようになっている。この場合、一つの機種の基板に適合させたピン配置のパレット５は、１つのロットの生産中、一切変更してはならない。
【００１６】
ところが実際には、何らかの原因で、基板に適合しないパレットがシステム１内に混入し、上述した負のコストをもたらすピン干渉障害が発生している。なおその原因の一例については、後述する。
【００１７】
したがって本明細書においては、上述したピン干渉障害の発生を未然に防止可能な基板加工処理システム、特に該システムに付帯するパレット管理装置を提案する。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本明細書において開示するパレット管理方法は、第１に、基板４の加工処理のために使用する所定枚数のパレット５のうち、任意の１枚のみを基準パレット（残りは通常パレット）とする。第２に、システム１内を繰り返し循環するパレット５が所定位置（例えば「入口」）を通過する回数を計数するカウンタを設ける。そして上記の基準パレットは、あるロットの一群の基板４の加工処理が開始するときは、必ずその先頭に位置するようにセットする。
【００１９】
ここでその加工処理の開始ボタンが押されたとすると、最初のパレットが基準パレットであることが検出されれば、第１のチェックはパスする。もし何らかの要因で、最初のパレットが通常パレットであることが検出されると、その時点で、システム１は稼動を即座に停止し、基準パレットにセットし直す。
【００２０】
上記第１のチェックの後は、第２のチェックが行われる。この第２のチェックは、上記基準パレットがシステム１内を丁度一巡した時点で、全パレットを計数（減算）する上記のカウンタが、零を表示しているか否かのチェックである。零であれば本チェックはパスする。零でなければ、システム１内を循環する全パレットの総数が上記所定枚数より多いかまたは少ない。このとき、システム１は稼動を即座に停止する。その総数が多い場合は、重大である。他の機種用のパレットが混入している可能性が高く、放置すれば上記のピン干渉障害が発生する。一方、少ない場合は同一機種用のパレットを補充する。あるいはそのままでも良い。ただし生産効率が若干低下する。
【００２１】
ちなみに、パレットの所定枚数は、例えば、リフロー炉２内の加工処理に１パレット当たり仮に１０分を要するとし、新基板４が仮に２分毎に供給されるとすれば、５（＝１０／２）枚のパレットが必要である。この５枚よりパレットが多いと、無駄時間を生じ、一方その５枚より少ないと、基板の待ち時間が生じてしまう。
【００２２】
本明細書で開示するパレット管理装置は、上述したパレット管理方法を実施可能な装置であり、また、
本明細書で開示する基板加工処理システムは、上記のパレット管理装置によって運行管理されるシステムである。
【発明の効果】
【００２３】
上述した基板加工処理システムによれば、
（ｉ）例えばＡ機種の一連の基板４ＡをそれぞれＡ機種用のパレット５Ａに載せて加工処理を終了したあと、次に段取り替えにより、例えばＢ機種の一連の基板４Ｂについて、Ｂ機種用のパレット５Ｂを用意して作業を開始したとする。しかし、このとき直前工程のパレット５Ａがシステム１内に残留していたとすると、前述した第２のチェック（カウンタの過計数）によってこれを発見でき、ピン干渉障害を未然に防ぐことができる。
【００２４】
（ii）上記Ｂ機種用のパレット５Ｂの所定枚数の過不足が分かり、常に所定枚数での正しい運用が保証される。
【００２５】
（iii）一巡パレットの何枚目がリフロー炉に入ったか（あるいはリフロー炉から出たか）が、基準パレットを起点とすることで容易に把握できる。一般にリフロー炉２の中は外部からは覗くことができない構造になっているから、どのパレットがどの辺を移動中かを外部から知ることが可能なことは、例えば、ある生産ラインのオペレータが途中で、他の生産ラインの方に交替で異動したような場合に、現況把握が即座にできるという点で、有益である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
まず本明細書で開示する基板加工処理システムを理解する上で、前述したピン干渉障害の発生例を認識しておくことが必要である。そこで、図を参照する。
【００２７】
図９は直前のロットの加工処理中の様子を模式的に示す平面図であり、
図１０は次の新たなロットの加工処理が開始した後の様子を模式的に示す平面図である。なお前述した〔発明の効果〕の（ｉ）の場合を例にとる。
【００２８】
まず図９を参照すると、ここではリフロー炉２内の「入口」から「出口」に向けて、Ａ機種用のピン１１Ａを配置したパレット５Ａが基板４Ａ（図示省略）を載せてコンベア７により搬送中である。出口側で作業をするオペレータＯＰo（ｏｕｔ）は、加工済みの基板４′Ａを取り外してパレット５ＡをＰＣＡ３経由でリフロー炉２の入口側に戻す。その後、次のロットのための段取り替えが行われる。
【００２９】
次に図１０を参照すると、リフロー炉２の入口側で作業をするオペレータＯＰi（ｉｎ）は、Ｂ機種の一連の基板４Ｂ（図示省略）を順次、Ｂ機種用のピン１１Ｂを配置したパレット５Ｂに載せてコンベア７に投入する。しかし上記の段取り替えにおいて、最後のパレット５Ａの抜き忘れがあり、やがてこのパレット５Ａが入口に戻り、このパレット５Ａに基板４Ｂが載せられることになる。この結果、ピン干渉障害が発生する。
【００３０】
図１１は図１０をさらに拡張して模式的に示す図である。図１０の構成要素にさらに加えて、入口側および出口側のパレット搬入装置（ＰＣＳ）３とその中間のコンベア８に載ったパレットの流れ（←）が示されている。本図の５Ａが段取り替えでの抜き忘れにより残ったパレットである。
【００３１】
既述のとおり、リフロー炉２の内部が覗けないことに起因して、直前工程のパレット５Ａを全て排出したかどうか分からず、また本システム１内に何枚パレットが投入されているのかも分からない。これがピン干渉障害を招いていた。
【００３２】
通常は、厳重なパレット管理が行われている限り、このようなピン干渉障害は起こり得ない、と考えられる。ところが、実際には、多品種混在型の生産が行われており、各ロットの個数も大幅に変化し（例えば１０００個〜１００個）、またロット変えのための段取り替え作業も１日に例えば数１０回にも及び、さらには、多数の生産ラインの並列運転によりパレットの相互やりくり、あるいは、加工処理中のトラブル発生によるパレットの抜き取り／再投入、オペレータの生産ライン間での相互融通等、現状では、厳重なパレット管理がきわめて難しく、前述したピン干渉障害などによる負のコストを生じさせていた。
【００３３】
しかしここに開示するシステム、装置、方法によれば、基準パレットとカウンタの導入というきわめて低コストの対策で、ピン干渉障害はほぼ完璧に防止することができる。以下、具体的に説明する。
【００３４】
図１は一実施形態による基板加工処理システム１を模式的に示す正面図である。本図のシステム１は、前述した図７のシステム１に、パレット管理装置２０が付加されたものとなっている。
【００３５】
このパレット管理装置２０は、ＣＰＵ（コンピュータ）からなり、ＭＭＩ（man-machine interface）として、第１操作盤２１と第２操作盤２２とを有する。またこのパレット管理装置２０は、第１検知信号（Ｄ１）を出力する基準検知センサＳ１および、第２検知信号（Ｄ２）を出力するパレット検知センサＳ２とも協働する。
【００３６】
図２は第１および第２操作盤（２１，２２）の具体例を示す図であり、第１操作盤２１は、前述の所定枚数をセットする設定ボタン２３と、その設定された所定枚数（例えば「１０」）を表示する第１表示部２４と、パレットが次々と搬送されて減算されていく途中経過の値を表示する第２表示部２５などを有する。
【００３７】
一方第２操作盤２２は、一群のロットの基板４を入口に投入開始するときの開始ボタン２６を有する。オペレータＯＰiの便宜を考慮して、この開始ボタン２６は、第１ランプ２６ａと第２ランプ２６ｂを内蔵し、異常発生時にはそれぞれ第１アラームＡＬＭ１と第２アラームＡＬＭ２（後述）を発出（点灯点滅）する。
【００３８】
図３はパレット管理装置２０の中核をなすパケット管理ＣＰＵ３０とその周辺を表す図である。このパケット管理ＣＰＵ３０は、第１操作盤２１からのパレット５の所定枚数Ｎを入力とし、また、現在までの投入枚数（または残り枚数）ｎを該第１操作盤２１に送り返す。さらに、第２操作盤２２からパレット投入の開始指令Ｅを受け、一方、アラームＡＬＭ１やＡＬＭ２が発生したときは、これを該第２操作盤２２に出力する。この場合、基準検知センサＳ１からの信号Ｄ１と、パレット検知センサＳ２からの信号Ｄ２を入力として、投入枚数の計数と、上記アラームの生成を行う。このようなパレット管理ＣＰＵ３０の機能を以下に説明する。
【００３９】
図４はパケット管理ＣＰＵ３０の具体的な機能構成を示す図である。主として、基準検出部３１と、カウンタ部３２と、第１監視部３３と、第２監視部３４とを含んで構成される。
【００４０】
まずカウンタ部３２は、基板４に加工処理を施す基板加工処理装置（リフロー炉）２内に投入されコンベア（７）搬送される所定枚数のパレット５の枚数を、これらのパレット５の流れに合わせて減算しながら、リフロー炉２の「入口」にて計数する。一方、基準検出部３１は、予め所定枚数のパレット５のうち１枚を基準パレット５Ｒ（reference）として定めておいて、その基準パレット５Ｒの流れをリフロー炉２の入口にて監視する。
【００４１】
第１監視部３３は、加工処理の対象となる一群のロットの基板４をその入口に投入開始する際、その最初のパレットが基準パレット５Ｒでないことを基準検出部３１により検出したとき第１アラームＡＬＭ１を発生する。一方の第２監視部３４は、所定枚数のパレット４が一巡しカウンタ部３２が上記の所定枚数を計数し終えた時点で、基準パレット５Ｒが基準検出部３１により検出されなかったとき第２アラームＡＬＭ２を発生する。
【００４２】
上記第１監視部３３は、基準パレット５Ｒが到来したことを検知する第１検知信号Ｄ１を基準検出部３１に出力する基準検知センサＳ１と連携する。一方上記第２監視部３４は、基準パレット５Ｒおよびそれ以外の通常パレット５の通過を共に検知する第２検知信号Ｄ２をカウンタ部３２に出力するパレット検知センサＳ２と連携する。前記の所定枚数をセットする第１操作盤２１から出力されるセット信号Ｎを受信したカウンタ部３２は、この第２検知信号Ｄ２を受信する毎に、そのセット値を１ずつ減算（ｎ）する。
【００４３】
一方、第２操作盤２２からは、開始ボタン２６が押下されたとき起動信号Ｅが出力される。一群のロットの基板４をリフロー炉２の「入口」に投入開始する際に第２操作盤２２から出力されるその起動信号Ｅを第１監視部３３が受信すると、基準パレット５Ｒの到来の監視を開始する。
【００４４】
上記の監視のために、基準検知センサＳ１が設けられる。その設置場所はリフロー炉２の入口側にあるのが好ましい。一実施形態では、図１に示すように入口側昇降機１０の昇降台１３の一部に取り付けた。またパレット検知センサＳ２も、その昇降台１３の他の一部に取り付けた。
【００４５】
これらのセンサＳ１およびＳ２としては例えばホトセンサを用いることができる。すなわち、パレットの４の裏側で反射される光を、パレット検知センサＳ２は検知する。一方、基準検知センサＳ１は、基準パレット５Ｒの一部に予め形成された基準マーク（Ｍ）を光学的に検知する。一実施形態では、この基準マーク（Ｍ）を単なる貫通孔とした。この例を図で示す。
【００４６】
図５は基準パレット５Ｒに付与する基準マークＭの一例を示す平面図である。本図において、前述した昇降台１３の一部に基準検知センサ（ホトセンサ）Ｓ１が固定的に取り付けられている。コンベア８によって出口側から搬入されてきた基準パレット５Ｒは、入口側の昇降台１３に乗せ換えられる。このとき基準マークＭがあればセンサＳ１は、このパレットが基準パレット５Ｒであると判定する。この基準マークＭは上述の貫通孔として形成しており、センサＳ１は基準パレットから反射した光を受光しない。受光しないことが、すなわち基準パレットを検知（Ｄ１）したことになる。
【００４７】
したがって貫通孔（Ｍ）を用いることにより、センサＳ１とＳ２をそれぞれ同じセンサで構成することができる。また、任意のパレット５の一部に孔開けするだけで簡単に基準パレット５Ｒができ上がる。
【００４８】
かくして本明細書で開示する基板加工処理システム１（図１）は、次のように構成される。
この基板加工処理システム１は、各々がパレット５，５Ｒに搭載された複数の基板４を、順次、「入口」から「出口」に向けてコンベア（７）搬送しながら加工処理する基板加工処理装置（リフロー炉）２と、その出口にて基板４を取り外した後のパレット５，５Ｒを、順次、別のコンベア（８）搬送によりその入口に戻すパレット搬送装置（ＰＣＳ）３と、パレット５の運用を管理するパレット管理装置２０と、を備えるシステムである。
【００４９】
ここにパレット管理装置２０は、パケット管理ＣＰＵ３０を含み、このＣＰＵ３０内には、
・基板加工処理装置（リフロー炉）２内に投入された所定枚数のパレット５の枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながらその入口にて計数するカウンタ部３２と、
・予め上記の所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレット５Ｒとして定め、その基準パレット５Ｒの流れを上記の入口にて監視する基準検出部３１とを有する。
【００５０】
・そしてさらに、一群のロットの各基板４を順次各パレット５，５Ｒに搭載して上記入口に投入開始する際、その最初のパレットが基準パレット５Ｒでないことを基準検出部３１により検出したとき、第１アラームＡＬＭ１を発出する第１監視部３３と、
・上記所定枚数のパレット５，５Ｒがコンベア（７，８）搬送を一巡し、カウンタ部３２が上記の所定枚数を計数し終えた時点で、基準パレット５Ｒが基準検出部３１により検出されなかったとき、第２アラームＡＬＭ２を発出する第２監視部とを有する。
【００５１】
したがってパケット管理ＣＰＵ３０は、基板加工処理システム１におけるパレット管理プログラムを内蔵する。このプログラムは、コンピュータに、
一群のロットの基板を順次入口に投入開始する際に、基板加工処理装置（リフロー炉）内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出させる手順と、一群のロットの基板を順次入口に投入開始する際に、パレットの所定枚数に相当する値をカウンタ部３２にセットさせる手順と、一群のロットの基板を順次入口に投入開始させる手順と、投入開始される最初のパレットが基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続させる手順と、継続するコンベア搬送中、入口にパレットが投入される都度、そのパレットの枚数分カウンタ部の値を減算させる手順と、カウンタ部が上記の値を減算し終えた時点で丁度、基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければアラームを発出してコンベア搬送を停止させ、一方、戻っていればコンベア搬送を続行させる手順と、を実行させるパレット管理プログラムである。
【００５２】
図６は本明細書で開示するパレット管理方法の一実施形態を表すフローチャートである。
【００５３】
ステップＳ１１：一群のロットの基板４をコンベア（７）搬送するためにリフロー炉２の入口に向けて待機する所定枚数のパレット５のうち、任意の１枚に基準マークＭを付与し、これを基準パレット５Ｒとする。
ステップＳ１２：一群の新規ロットの基板４を順次入口に投入開始する際に、リフロー炉２内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出する（注：ただし完全に全パレットを排出できているか否かは、炉２の外側からは確認できていない。）
【００５４】
ステップＳ１３：一群の新規ロットの基板４を順次リフロー炉２の入口に投入開始する際に、パレット５の所定枚数に相当する値をカウンタ部３２にセットする。
ステップＳ１４：一群の新規ロットの基板４と共にパレット５を順次入口に向けて搬入開始する。
【００５５】
ステップＳ１５：投入開始される最初のパレットが基準パレット５Ｒか否かを判定し、基準パレット５Ｒでなければ第１アラームＡＬＭ１を発出してコンベア（７）搬送を停止し（ステップＳ１６）、一方、基準パレット５Ｒであればコンベア（７）搬送を継続する（ステップＳ１７）。
ステップＳ１８：継続する上記のコンベア搬送中、リフロー炉２の入口にパレット５が投入される都度、そのパレットの枚数分カウンタ部３２の値を減算する。
ステップＳ１９：カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で丁度、基準パレット５Ｒが入口に戻ったか否か判定し、戻っていなければ第２アラームＡＬＭ２を発出してコンベア搬送を停止し（ステップＳ１６）、一方、戻っていればコンベア搬送を続行する（ステップＳ２０）。
ステップＳ２１：現ロットの全基板が処理済みとなるまで繰り返す。
【００５６】
上記ステップＳ１９においてさらに付言すると、カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で、基準パレット５Ｒが戻っていない場合、直前のロットで用いたパレット５がリフロー炉２内にまだ残留していたか、または、コンベア（７，８）搬送中にリフロー炉２の出口又は入口より別のパレット５が投入されたものと判定し、アラームを発出してコンベア搬送を停止するようにする。
【００５７】
さらにまた、カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で、基準パレット５Ｒが既に戻っていた場合、コンベア（７，８）搬送中に、リフロー炉２の出口又は入口よりいずれかのパレットが抜き出されたものと判定し、アラームを発出してコンベア搬送を停止するようにする。
【００５８】
さらに、カウンタ部３２が前記の値を減算し終えた時点で丁度、基準パレット５Ｒが戻ったとき、前記の値を再びカウンタ部３２に自動的にセットする工程を含むようにする。
【００５９】
さらにまたカウンタ部３２の現在値から、リフロー炉２内において現在コンベア（７）搬送中のパレットの枚数を検出し、第２表示部２５（図２）に表示する工程を含むようにする。
【００６０】
以上詳述したとおり、直前使用パレットのリフロー炉からの抜き忘れ等に起因するピン干渉障害を、簡単かつ安価な手段で、確実に防止することができる。その実施の態様は以下のとおりである。
【００６１】
（付記１）
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、別のコンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、ここに該パレット管理装置は、
前記基板加工処理装置内に投入された所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら前記入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
一群のロットの各前記基板を順次各前記パレットに搭載して前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したとき、第１アラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが前記コンベア搬送を一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったとき、第２アラームを発出する第２監視部と、を有する基板加工処理システム。
【００６２】
（付記２）
基板に加工処理を施す基板加工処理装置内に投入されコンベア搬送される所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら、前記基板加工処理装置の入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
加工処理の対象となる一群のロットの基板を前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したときアラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったときアラームを発出する第２監視部と、を有するパレット管理装置。
【００６３】
（付記３）
前記基準パレットが到来したことを検知する第１検知信号を、前記基準検出部に出力する基準検知センサを有する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６４】
（付記４）
前記基準検知センサは、前記基準パレットの一部に予め形成された基準マークを光学的に検知する付記３に記載のパレット管理装置。
【００６５】
（付記５）
前記基準パレットおよびそれ以外の通常パレットの通過を共に検知する第２検知信号を、前記カウンタ部に出力するパレット検知センサを有する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６６】
（付記６）
前記カウンタ部は、前記所定枚数をセットする操作盤からのセット信号を受信し、前記第２検知信号を受信する毎に、そのセット値を１ずつ減算する付記５に記載のパレット管理装置。
【００６７】
（付記７）
前記第１監視部は、前記一群のロットの基板を前記入口に投入開始する際に操作盤の開始ボタンを押下したとき出力される起動信号を受信したとき、前記基準パレットの到来の監視を開始する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６８】
（付記８）
前記開始ボタンはランプを内蔵し、該ランプの点灯または点滅により、前記第１および第２アラームの発出を表示する付記２に記載のパレット管理装置。
【００６９】
（付記９）
前記基板加工処理装置はリフロー炉であり、前記基板はＳＭＴ基板である付記２に記載のパレット管理装置。
【００７０】
（付記１０）
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備える基板加工処理システムにおけるパレット管理方法であって、
一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与し、これを基準パレットとする工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出する工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットする工程と、
前記一群のロットの基板と共にパレットを順次前記入口に向けて搬入開始する工程と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止し、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続する工程と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算する工程と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければ前記コンベア搬送を停止し、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行する工程と、
を有する、基板加工処理システムにおけるパレット管理方法。
【００７１】
（付記１１）
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが戻っていない場合、直前のロットで用いたパレットが前記基板加工処理装置内にまだ残留していたか、または、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口より別のパレットが投入されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７２】
（付記１２）
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが既に戻っていた場合、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口よりパレットが抜き出されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７３】
（付記１３）
前記カウンタ部の現在値から、前記基板加工処理装置内において現在コンベア搬送中のパレットの枚数を検出する工程を含む付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７４】
（付記１４）
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったとき、前記値を再び該カウンタ部に自動セットする工程を含む付記１０に記載のパレット管理方法。
【００７５】
（付記１５）
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、かつ、一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与してこれを基準パレットとして用いる、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラムであって、コンピュータに、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出させる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットさせる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始させる手順と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければ警告を発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続させる手順と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算させる手順と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければ前記コンベア搬送を停止させ、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行させる手順と、を実行させるための、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラム。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】一実施形態による基板加工処理システム１を模式的に示す平面図である。
【図２】第１及び第２操作盤（２１，２２）の具体例を示す図である。
【図３】パレット管理装置２０の中核をなすパケット管理ＣＰＵ３０とその周辺を表す図である。
【図４】パケット管理ＣＰＵ３０の具体的な機能構成を示す図である。
【図５】基準パレット５Ｒに付与する基準マークＭの一例を示す平面図である。
【図６】本明細書で開示するパレット管理方法の一実施形態を表すフローチャートである。
【図７】基板加工処理システムの一例としてのリフロー炉およびパケット搬送装置を模式的に示す図である。
【図８】パレット５の概観の一例を表す斜視図である。
【図９】直前のロットの加工処理中の様子を模式的に示す平面図である。
【図１０】次の新たなロットの加工処理が開始した後の様子を模式的に示す平面図である。
【図１１】図１０をさらに拡張して模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００７７】
１ 基板加工処理システム
２ 基板加工処理装置（リフロー炉）
３ パレット搬送装置（ＰＣＳ）
４ 基板
４′ 加工済み基板
５ パレット
５Ｒ 基準パレット
６ パレット付基板
７ コンベア
８ コンベア
９ 出口側昇降機
１０ 入口側昇降機
１１ マグネットピン
１３ 昇降台
２０ パレット管理装置
２１ 第１操作盤
２２ 第２操作盤
Ｓ１ 基準検知センサ
Ｓ２ パレット検知センサ
２３ 設定ボタン
２４ 第１表示部
２５ 第２表示部
２６ 開始ボタン
２６ａ 第１ランプ
２６ｂ 第２ランプ
３０ パケット管理ＣＰＵ
３１ 基準検出部
３２ カウンタ部
３３ 第１監視部
３４ 第２監視部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、別のコンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、ここに該パレット管理装置は、
前記基板加工処理装置内に投入された所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら前記入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
一群のロットの各前記基板を順次各前記パレットに搭載して前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したとき、第１アラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが前記コンベア搬送を一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったとき、第２アラームを発出する第２監視部と、を有する基板加工処理システム。
【請求項２】
基板に加工処理を施す基板加工処理装置内に投入されコンベア搬送される所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら、前記基板加工処理装置の入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
加工処理の対象となる一群のロットの基板を前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したときアラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったときアラームを発出する第２監視部と、を有するパレット管理装置。
【請求項３】
前記基準パレットが到来したことを検知する第１検知信号を、前記基準検出部に出力する基準検知センサを有する請求項２に記載のパレット管理装置。
【請求項４】
前記基準パレットおよびそれ以外の通常パレットの通過を共に検知する第２検知信号を、前記カウンタ部に出力するパレット検知センサを有する請求項２に記載のパレット管理装置。
【請求項５】
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備える基板加工処理システムにおけるパレット管理方法であって、
一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与し、これを基準パレットとする工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出する工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットする工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する工程と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止し、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続する工程と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算する工程と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければ前記コンベア搬送を停止し、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行する工程と、
を有する、基板加工処理システムにおけるパレット管理方法。
【請求項６】
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが戻っていない場合、直前のロットで用いたパレットが前記基板加工処理装置内にまだ残留していたか、または、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口より別のパレットが投入されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する請求項５に記載のパレット管理方法。
【請求項７】
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが既に戻っていた場合、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口よりパレットが抜き出されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する請求項５に記載のパレット管理方法。
【請求項８】
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、かつ、一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与してこれを基準パレットとして用いる、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラムであって、コンピュータに、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出させる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットさせる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始させる手順と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続させる手順と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算させる手順と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行させる手順と、を実行させるための、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラム。
【請求項１】
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、別のコンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、ここに該パレット管理装置は、
前記基板加工処理装置内に投入された所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら前記入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
一群のロットの各前記基板を順次各前記パレットに搭載して前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したとき、第１アラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが前記コンベア搬送を一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったとき、第２アラームを発出する第２監視部と、を有する基板加工処理システム。
【請求項２】
基板に加工処理を施す基板加工処理装置内に投入されコンベア搬送される所定枚数のパレットの枚数を、これらのパレットの流れに合わせて減算しながら、前記基板加工処理装置の入口にて計数するカウンタ部と、
予め前記所定枚数のパレットのうち１枚を基準パレットとして定め、その基準パレットの流れを前記入口にて監視する基準検出部と、
加工処理の対象となる一群のロットの基板を前記入口に投入開始する際、その最初のパレットが前記基準パレットでないことを前記基準検出部により検出したときアラームを発出する第１監視部と、
前記所定枚数のパレットが一巡し前記カウンタ部が前記所定枚数を計数し終えた時点で、前記基準パレットが前記基準検出部により検出されなかったときアラームを発出する第２監視部と、を有するパレット管理装置。
【請求項３】
前記基準パレットが到来したことを検知する第１検知信号を、前記基準検出部に出力する基準検知センサを有する請求項２に記載のパレット管理装置。
【請求項４】
前記基準パレットおよびそれ以外の通常パレットの通過を共に検知する第２検知信号を、前記カウンタ部に出力するパレット検知センサを有する請求項２に記載のパレット管理装置。
【請求項５】
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備える基板加工処理システムにおけるパレット管理方法であって、
一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与し、これを基準パレットとする工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出する工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットする工程と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する工程と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止し、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続する工程と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算する工程と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければ前記コンベア搬送を停止し、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行する工程と、
を有する、基板加工処理システムにおけるパレット管理方法。
【請求項６】
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが戻っていない場合、直前のロットで用いたパレットが前記基板加工処理装置内にまだ残留していたか、または、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口より別のパレットが投入されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する請求項５に記載のパレット管理方法。
【請求項７】
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で、前記基準パレットが既に戻っていた場合、前記コンベア搬送中に前記出口又は入口よりパレットが抜き出されたものと判定し、前記コンベア搬送を停止する請求項５に記載のパレット管理方法。
【請求項８】
各々がパレットに搭載された複数の基板を、順次、入口から出口に向けてコンベア搬送しながら加工処理する基板加工処理装置と、前記出口にて前記基板を取り外した後の前記パレットを、順次、コンベア搬送により前記入口に戻すパレット搬送装置と、前記パレットの運用を管理するパレット管理装置と、を備え、かつ、一群のロットの前記基板をコンベア搬送するために前記入口に向けて待機する所定枚数の前記パレットのうち任意の１枚に基準マークを付与してこれを基準パレットとして用いる、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラムであって、コンピュータに、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記基板加工処理装置内に既に投入されている直前ロットのパレットを排出させる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始する際に、前記パレットの前記所定枚数に相当する値をカウンタ部にセットさせる手順と、
前記一群のロットの基板を順次前記入口に投入開始させる手順と、
投入開始される最初のパレットが前記基準パレットか否かを判定し、基準パレットでなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、基準パレットであれば前記コンベア搬送を継続させる手順と、
継続する前記コンベア搬送中、前記入口に前記パレットが投入される都度、そのパレットの枚数分前記カウンタ部の値を減算させる手順と、
前記カウンタ部が前記値を減算し終えた時点で丁度、前記基準パレットが戻ったか否か判定し、戻っていなければアラームを発出して前記コンベア搬送を停止させ、一方、戻っていれば前記コンベア搬送を続行させる手順と、を実行させるための、基板加工処理システムにおけるパレット管理プログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１０−８７２２６（Ｐ２０１０−８７２２６Ａ）
【公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２５４３６３（Ｐ２００８−２５４３６３）
【出願日】平成２０年９月３０日（２００８．９．３０）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月３０日（２００８．９．３０）
【出願人】（０００００５２２３）富士通株式会社 (25,993)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]