基板検査装置
【課題】基板検査装置において、装置の大型化及び基板の破損を防ぐと共に、透過照明による検査を有効に行う。
【解決手段】基板（Ｇ）にエアを吐出する浮上ステージ２と、１軸方向（Ｘ軸方向）に移動する門型のガントリ３と、このガントリ３に沿って、このガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に移動する検査部（４）と、を備える基板検査装置１において、浮上ステージ２内に配置された複数の透過照明部５と、基板（Ｇ）の被検査部分が複数の透過照明部５のいずれかの上方に位置するように基板（Ｇ）を搬送する基板搬送部６と、を備える構成とする。
【解決手段】基板（Ｇ）にエアを吐出する浮上ステージ２と、１軸方向（Ｘ軸方向）に移動する門型のガントリ３と、このガントリ３に沿って、このガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に移動する検査部（４）と、を備える基板検査装置１において、浮上ステージ２内に配置された複数の透過照明部５と、基板（Ｇ）の被検査部分が複数の透過照明部５のいずれかの上方に位置するように基板（Ｇ）を搬送する基板搬送部６と、を備える構成とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の光を透過する基板を、透過照明を用いて検査する基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造工程においては、各製造工程で製造されたマザーガラス基板の欠陥を、顕微鏡等を用いて検査している。
【０００３】
このような検査を行う場合、顕微鏡等の検査部は、固定式又は可動式のガントリに配置され、このガントリに沿って移動する。
ところで、ガントリが固定式の場合、ガラス基板をガントリの下方を通過するように移動させる必要があるため、基板検査装置の基板搬送方向におけるサイズは最低でもガラス基板約２枚分程度となる。なお、ガントリが固定式の場合に透過照明を行うには、ガントリの下方に透過照明部を配置することになる。
【０００４】
一方、ガントリが可動式の場合、ガラス基板を移動させる必要がないため、基板検査装置の大型化を抑えることができるが、透過照明部を用いた検査を行うには、ガラス基板の平行度を確保し且つ透過照明の移動領域を確保するために、ガラス基板の下部にガラス基板を支持する透明支持板を配置する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００８−８２７０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１記載の透明支持板を用いると、ガラス基板を透明支持板から剥離させる際に剥離帯電によってガラス基板上のパターン回路が破損するという問題が生じる。
【０００６】
また、透明支持板を用いると、分光測光などの検査を行うことができないという問題も生じる。更には、透明支持板を支える桟などが透過照明を妨げるという問題も生じる。
なお、以上の問題は、浮上ステージをガラス等の透明の素材のものにしても、エア浮上の構造や技術を使用するのが困難となるため、解消することができなかった。また、複数の支持ピンでガラス基板を支持すると、ガラス基板に撓みが発生してしまい、例えば、焦点深度の浅い高倍率の対物レンズを用いた検査において特に不向きである。
【０００７】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、装置の大型化及び基板の破損を防ぐことができると共に、透過照明による検査を有効に行うことができる基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の基板検査装置は、基板にエアを吐出する浮上ステージと、１軸方向に移動する門型のガントリと、このガントリに沿って、このガントリの移動方向と交差する方向に移動する検査部と、を備える基板検査装置において、上記浮上ステージ内に配置された複数の透過照明部と、上記基板の被検査部分が上記複数の透過照明部のいずれかの上方に位置するように上記基板を搬送する基板搬送部と、を備える構成とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、ガントリが移動可能であり、基板搬送部は、基板の被検査部分が複数の透過照明部のいずれかの上方に位置するように基板を搬送する。そのため、基板の搬送距離を抑え、ひいては基板検査装置の大型化を抑えることができる。
【００１０】
また、透過照明部を基板の下方全体に亘って移動させる必要がないため、透過照明部の移動領域を確保するために基板支持用の透明支持板を用いる必要もない。したがって、透明支持板を用いる際に生じる剥離帯電に起因する基板の破損を回避することができると共に、透明支持板により分光測光などの検査が妨げられるのを回避することができる。
【００１１】
よって、本発明によれば、装置の大型化及び基板の破損を防ぐことができると共に、透過照明部を用いた検査を有効に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態に係る基板検査装置及び基板検査方法について、図面を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板検査装置１を示す平面図である。
【００１３】
基板検査装置１は、光を透過する基板としてのガラス基板Ｇにエアを吐出する浮上ステージ２と、１軸方向（Ｘ軸方向）に移動する門型のガントリ３と、このガントリ３に沿ってガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に移動する検査部としての顕微鏡４と、浮上ステージ２内に配置された３つの透過照明部５と、ガラス基板Ｇを搬送する基板搬送部６とを備える。
【００１４】
浮上ステージ２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に互いに間隙をもってベース部７上にマトリクス状に配置された複数の浮上プレート２ａを有する。浮上プレート２ａは、長手方向がＸ軸方向である矩形タイル状を呈し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にＭ×Ｎの行列（本実施形態では４×５の行列）に配置されている。また、浮上プレート２は、図示しない浮上用エア配管から供給されるエアを上面に形成された図示しない吐出孔から吐出することで、ガラス基板Ｇを浮上させる。
【００１５】
ベース部７上のＹ軸方向両端にはガイド台７ａ，７ａが設けられ、これらガイド台７ａ，７ａ上にはガイド７ｂ，７ｂが設けられている。ガントリ３は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、ガイド７ｂ，７ｂに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。
【００１６】
ガントリ３の側面には顕微鏡用ガイド３ａが設けられ、顕微鏡４は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、顕微鏡用ガイド３ａに沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。顕微鏡４は、顕微鏡用ガイド３ａに沿ったＹ軸方向への移動と、ガントリ３のガイド７ｂ，７ｂに沿ったＸ軸方向への移動とにより、直交２軸の水平方向へ自在に移動可能となっている。なお、顕微鏡４にレーザ照射部等を配置し、顕微鏡４によりレビューした欠陥をレーザにより修正するようにしてもよい。
【００１７】
透過照明部５は、Ｘ軸方向に４行配置された浮上プレート２ａの行間に計３つ互いに同一ピッチで配置されている。なお、本実施形態では、３つの透過照明部５は、ガラス基板ＧのＸ軸方向における長さの３分の１のピッチで配置されている。
【００１８】
各透過照明部５は、ガラス基板Ｇに下方から照明光を照射する平面視円形の光源５ａと
、ベース部７上においてＹ軸方向に延びる光源用ガイド５ｂとを有する。光源５ａは、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって光源用ガイド５ｂに沿ってＹ軸方向に移動する。
【００１９】
基板搬送部６，６は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、ガントリ３と共通の２つのガイド７ｂ，７ｂに１つずつ配置され、ガイド７ｂ，７ｂに沿ってＸ軸方向にガントリ３とは独立して移動可能となっている。また、各基板搬送部６は、５つの吸着パッドが配置された基板保持部６ａを有する。この基板保持部６ａは、図示しない吸引機構による負圧によってガラス基板Ｇの底面端部を保持している。
【００２０】
以下、基板検査装置１によるガラス基板Ｇの検査について、上述の図１及び下記図２〜図４を参照しながら説明する。
図２は、基板検査装置１及び搬送ロボット８を示す平面図である。
【００２１】
図３は、基板検査装置１のガントリ３の動きを説明するための平面図である。
図４は、ガラス基板Ｇの仮想領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を示す平面図である。
まず、図２に示す搬送ロボット８により、ガラス基板Ｇが基板検査装置１に搬入される。具体的には、ガラス基板Ｇは、搬送ロボット８の櫛歯状の４本の支持部８ａに支持された状態で、浮上ステージ２上に搬送される。そして、搬送ロボット８の支持部８ａが下降して浮上プレート２ａ間のＹ軸方向における間隙に挿入される。このとき、ガントリ３と、顕微鏡４と、透過照明部５の光源５ａとは、支持部８ｂと干渉しないように退避させておく。
【００２２】
なお、本実施形態では、浮上プレート２ａ間のＹ軸方向における間隙に搬送ロボット８の支持部８ａが挿入されるため、ガラス基板Ｇを搬送ロボット８から受取って浮上ステージ２上に載置するリフタ等の機構を省略し、搬送ロボット８により直接的にガラス基板Ｇを浮上ステージ２上に搬送することが可能となっている。
【００２３】
但し、リフタ等の機構によって搬送ロボット８からガラス基板Ｇを受取るようにしても、或いは、搬入用コロ（搬送ローラ）によってガラス基板Ｇを基板検査装置１に搬入するようにしてもよい。これらの場合には、ガラス基板Ｇの搬入時にガントリ３を退避させる退避スペースを確保する必要がなく、基板検査装置１の大型化を防ぐことができる。
【００２４】
ガラス基板Ｇが浮上プレート２ａ上に載置されると、搬送ロボット８が退避し、図示しない位置決め機構によりガラス基板Ｇが位置決めされる。位置決めされたガラス基板Ｇは、基板搬送部６の基板保持部６ａにより吸着保持される。
【００２５】
ここで、ガラス基板Ｇを、図４に示すように、透過照明部５の数と同数である３つの領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３に分けた場合、これら領域のＸ座標は、ガラス基板ＧのＸ軸方向の長さをＬとし、図４の左下部分を座標（０，０）とすると、
Ｇ１： ０＜ｘ≦Ｌ／３ ・・・式（１）
Ｇ２： Ｌ／３＜ｘ≦２Ｌ／３ ・・・式（２）
Ｇ２：２Ｌ／３＜ｘ≦Ｌ ・・・式（３）
となる。
【００２６】
ガラス基板Ｇの被検査部分が領域Ｇ１に含まれる場合（Ｘ座標が上記式（１）の範囲内にある場合）、顕微鏡４の視野のＸ座標が透過照明部５−１のＸ座標と同一となるようにガントリ３をＸ軸方向に移動させる（図３に点線で示す３−１）。また、Ｙ座標が被検査部分のＹ座標と同一となるように顕微鏡４及び光源５ａをＹ軸方向に同期移動させる。更には、ガラス基板Ｇの被検査部分のＸ座標が透過照明部５−１のＸ座標と同一となるよう
に基板搬送部６によりＸ軸方向に移動させる。
【００２７】
同様に、ガラス基板Ｇの被検査部分が領域Ｇ２に含まれる場合（Ｘ座標が上記式（２）の範囲内にある場合）、ガントリ３、顕微鏡４、光源５ａ及びガラス基板Ｇを、透過照明部５−２上で検査を行えるように適宜移動させる。
【００２８】
また同様に、ガラス基板Ｇの被検査部分が領域Ｇ３に含まれる場合（Ｘ座標が上記式（３）の範囲内にある場合）、ガントリ３、顕微鏡４、光源５ａ及びガラス基板Ｇを、透過照明部５−３上で検査を行えるように適宜移動させる。
【００２９】
被検査部分が複数ある場合には順次検査を行い、検査が終了したガラス基板Ｇは搬送ロボット８等により基板検査装置１から搬出させる。
以上説明した本実施形態では、ガントリ３が移動可能であり、基板搬送部６は、ガラス基板Ｇの被検査部分が複数の透過照明部５のいずれかの上方に位置するようにガラス基板Ｇを搬送する。そのため、ガラス基板Ｇの搬送距離を抑え、ひいては基板検査装置１の大型化を抑えることができる。
【００３０】
また、透過照明部５をガラス基板Ｇの下方全体に亘って移動させる必要がないため、透過照明部５の移動領域を確保するためにガラス基板Ｇ支持用の透明支持板を用いる必要もない。したがって、透明支持板を用いる際に生じる剥離帯電に起因するガラス基板Ｇの破損を回避することができると共に、透明支持板により分光測光などの検査が妨げられるのを回避することができる。
【００３１】
よって、本実施形態によれば、基板検査装置１の大型化及びガラス基板Ｇの破損を防ぐことができると共に、透過照明部５を用いた検査を有効に行うことができる。
また、本実施形態では、複数の透過照明部５は、浮上プレート２ａ間の間隙に配置される。ここで、本実施形態では、ガントリ３及びガラス基板ＧがＸ軸方向に移動可能であるため、透過照明部５のＸ軸方向における長さは小さいもので足りる。したがって、浮上プレート２ａを互いに近接させても、これらの間のわずかな間隙に配置した複数の透過照明部５によって有効に検査を行うことができる。
【００３２】
また、本実施形態では、透過照明部５の光源５ａは、光源用ガイド５ｂに沿ってＹ軸方向に移動する。ここで、本実施形態では、ガントリ３及びガラス基板ＧがＸ軸方向に移動可能であるため、透過照明部５（光源５ｂ）のＸ軸方向における長さは小さいもので足り、
更に、光源５ａがＹ軸方向に移動可能であるため、Ｙ軸方向における長さも小さいもので足りる。したがって、基板検査装置１の構成を簡素にすることができる。
【００３３】
また、本実施形態では、基板搬送部６とガントリ３とは、互い共通するガイド７ｂ，７ｂに沿って移動する。したがって、基板検査装置１を簡素な構成とすることができる。
また、本実施形態では、基板搬送部６は、ガラス基板Ｇの被検査部分を、その位置（領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３）に応じて決定される透過照明部５−１，５−２，５−３の上方に移動させるようにガラス基板Ｇを搬送する。そのため、簡単な制御で、ガラス基板Ｇの搬送距離を抑え、ひいては基板検査装置１の大型化を抑えることができる。
【００３４】
なお、本実施形態では、透過照明部５を３つとして説明したが、透過照明部５は２つとしても４つ以上としてもよい。透過照明部５の数を増やせばガラス基板Ｇの搬送距離を減らすことができるため、透過照明部５の数は、装置構成の簡略化との兼ね合いを考慮して適宜決定すればよい。
【００３５】
また、本実施形態では、ガラス基板Ｇの搬送方向をＸ軸方向として説明したが、透過照明部５（光源用ガイド５ｂ）をＸ軸方向に延びるものとし、ガラス基板ＧをＹ軸方向に移動させるようにしてもよい。その場合には、ガラス基板ＧをＹ軸方向に搬送するために、基板搬送部６はＹ軸方向に延びるガイドに沿ってガラス基板Ｇを搬送する必要や、ガントリ３専用のガイドとなるベース部７のガイド７ｂ，７ｂ間の距離（ガントリ３の長さでもある）を長くしてガラス基板Ｇの搬送領域を確保する必要がある。
【００３６】
また、本実施形態では、ガラス基板Ｇの被検査部分が図４に示す領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３のいずれに位置するかによって、被検査部分をどの透過照明部５−１，５−２，５−３上に移動させるかを決定したが、判断時にガラス基板Ｇの被検査部分と最も近くに位置する光源５ａを有する透過照明部５−１，５−２，５−３上に被検査部分を移動させるようにしてもよい。
【００３７】
＜第２実施形態＞
本実施形態の基板検査装置１１は、透過照明部１５の構成を除いて上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図５に図１と同一の符号を付して説明を省略する。
【００３８】
図５は、本発明の第２実施形態に係る基板検査装置１１を示す斜視図である。なお、図５においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ、ガイド７ｂ，７ｂ及び基板搬送部６，６の一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００３９】
基板検査装置１１は、Ｘ軸方向に４行配置された浮上プレート２ａの行間に計３つ同一ピッチで配置された３つの透過照明部１５を備える。
各透過照明部１５は、ガラス基板Ｇに照明光を照射する例えば高輝度ＬＥＤからなるライン状光源１５ａと、このライン状光源１５ａを上下動させる昇降機構１５ｂとを有する。
【００４０】
ライン状光源１５ａは、ガラス基板ＧのＹ軸方向における長さと同程度又はそれ以下の長さでＹ軸方向に延び、ガラス基板ＧのＹ軸方向全域を照射可能な発光長を有している。
昇降機構１５ｂは、例えばエアシリンダであり、ライン状光源１５ａを、ガラス基板Ｇに照明光を照射する上方の位置（図５の状態）と、そこから下方に退避した位置とに移動させる。
【００４１】
具体的には、昇降機構１５ｂは、図２に示す搬送ロボット８によりガラス基板Ｇが基板検査装置１に搬入される際に、搬送ロボット８の支持部８ａと干渉しないようにライン状光源１５ａを下方に退避させる。一方、搬送ロボット８の退避後には、昇降機構１５ｂは、ライン状光源１５ａを、ガラス基板Ｇに照明光を照射する上方の位置に移動させる。
【００４２】
なお、本実施形態においても、ガラス基板Ｇの被検査部分が図４に示す領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３のどの領域に含まれるかによって、ガントリ３、顕微鏡４及びガラス基板Ｇを、透過照明部１５−１，１５−２又は１５−３のライン状光源１５ａ上で検査を行えるように適宜移動させるものとする。
【００４３】
以上説明した本実施形態では、各透過照明部１５は、ガラス基板Ｇに照明光を照射するライン状光源１５ａを有する。そのため、ライン状光源１５ａを移動させるためのガイドが不要となり、上記第１実施形態の効果に加え、基板検査装置１１の構成を簡素にすることができるという効果を奏する。
【００４４】
また、本実施形態では、昇降機構１５ｂは、ライン状光源１５ａを、ガラス基板Ｇに照
明光を照射する位置と、そこから退避した位置とに上下動させる。そのため、搬送ロボット８の支持部８ａとの干渉を防ぎながら、透過照明部１５を用いた検査を有効に行うことができる。
【００４５】
なお、本実施形態においても、透過照明部１５を３つとして説明したが、透過照明部１５は２つとしても４つ以上としてもよい。また、本実施形態のライン状光源１５ａは、ガラス基板ＧのＹ軸方向全域を照射可能な長さとしているが、それよりも短くしてＹ軸方向に移動可能としてもよい。その場合、ライン状光源１５ａ用のガイドを上記第１実施形態の光源用ガイド５ｂよりも短くすることができる。
【００４６】
＜第３実施形態＞
本実施形態の基板検査装置２１は、基板搬送部２６の構成を除いて上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図６に図１と同一の符号を付して説明を省略する。
【００４７】
図６は、本発明の第３実施形態に係る基板検査装置２１を示す斜視図である。なお、図６においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ及びガイド７ｂ，７ｂの一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００４８】
基板検査装置２１の基板搬送部２６は、それぞれガラス基板Ｇの一端・多端を保持する２つの基板保持部２６ａと、ガラス基板Ｇの下方においてベース部７上に配置された２つの保持部用ガイド２６ｂとを有する。
【００４９】
各基板保持部２６ａは、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、保持部用ガイド２６ｂに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。また、各基板保持部２６ａは、その３つの吸着パッドにおいて、図示しない吸引機構による負圧によってガラス基板Ｇの底面端部を保持している。
【００５０】
本実施形態では、基板搬送部２６の保持部用ガイド２６ｂ，２６ｂがガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂとは別個に配置されている。そのため、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂは、ガントリ３の移動範囲の長さ、即ち、３つの透過照明部５−１，５−２，５−３への移動と、ガラス基板Ｇ搬入時の退避位置への移動とを行う範囲の長さで足り、したがって、上記第１実施形態よりも短いものとなっている。
【００５１】
また、保持部用ガイド２６ｂ，２６ｂは、ガラス基板Ｇの搬送範囲の長さ、即ち、ガラス基板Ｇの被検査部分が透過照明部５−１，５−２，５−３へ移動するようにガラス基板Ｇを搬送する範囲の長さで足りる。
【００５２】
以上説明した本実施形態では、基板搬送部２６の基板保持部２６ａは、ガラス基板Ｇの下方に配置された保持部用ガイド２６ｂに沿って移動する。そのため、上記第１実施形態の効果に加え、基板検査装置１の大型化を抑えながら、ガラス基板Ｇの位置決め精度を向上させることができるという効果を奏する。また、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂ及び基板保持部２６ａ（ガラス基板Ｇ）用の保持部用ガイド２６ｂを、それぞれ最低限の長さにすることができ、この点からも基板検査装置１の大型化を抑えることができるという効果を奏する。
【００５３】
＜第４実施形態＞
本実施形態の基板検査装置３１は、基板搬送部３６の構成を除いて上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図７及び図８に図１と同一の符号を付して説明を省略する。
【００５４】
図７は、本発明の第４実施形態に係る基板検査装置３１を示す斜視図である。なお、図７においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ及びガイド７ｂ，７ｂの一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００５５】
図８は、基板検査装置３１の基板搬送部３６を図７の後方から見た側面図である。
基板検査装置３１の基板搬送部３６は、それぞれガラス基板Ｇの一端・他端を保持する２つの基板保持部３６ａ，３６ａと、図８に示すようにガラス基板Ｇの下方においてベース部７上に配置された単一の保持部用ガイド３６ｂとを有する。
【００５６】
２つの基板保持部３６ａ，３６ａは、Ｙ軸方向に延びるアーム部３６ｃの一端・他端にそれぞれ接続されている。また、各基板保持部３６ａは、その３つの吸着パッドにおいて、図示しない吸引機構による負圧によってガラス基板Ｇの底面端部を保持している。
【００５７】
アーム部３６ｃは、プレート２ａの脚部の間、即ち浮上プレート２ａの下方に配置されている。また、アーム部３６ｃは、図８に示すように、アーム部３６ｃの中央に設けられ、Ｘ軸方向に延びる単一の保持部用ガイド３６ｂに沿って移動する。これにより、基板保持部３６ａ，３６ａは、アーム部３６ｃを介して間接的に、互いに共通の保持部用ガイド３６ｃに沿って移動する。
【００５８】
なお、本実施形態では、アーム部３６ｃを水平に維持するために、保持部用ガイド３６ｂを挟んで保持部用ガイド３６ｂと平行に配置された図８に示す２つの補助ガイド３６ｄ，３６ｄが配置されている。
【００５９】
ここで、アーム部３６ｃの移動範囲が基板保持部３６ａひいてはガラス基板Ｇの搬送範囲となる。そのため、透過照明部５−１，５−２，５−３のいずれかの上方にガラス基板Ｇの被検査部分を移動させるだけのガラス基板Ｇの搬送範囲を確保するには、下方にアーム部３６ｃが配置される浮上プレート２ａ´をＸ軸方向に長くし、この浮上プレート２ａ´の脚部がアーム部３６ｃと干渉しないようにするか、或いは、浮上プレート２ａ´をＸ軸方向に隣接する他の浮上プレート２ａと連結して浮上プレート２ａ´の一部の脚部を省略するとよい。
【００６０】
本実施形態においても、上記第３実施形態と同様に、基板搬送部３６の保持部用ガイド３６ｂがガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂとは別個に配置されている。そのため、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂは、ガントリ３の移動範囲の長さ、即ち、３つの透過照明部５−１，５−２，５−３へのガントリ３の移動範囲の長さで足り、したがって、上記第１実施形態よりも短いものとなっている。
【００６１】
また、保持部用ガイド３６ｂは、ガラス基板Ｇの搬送範囲の長さ、即ち、ガラス基板Ｇの被検査部分が透過照明部５−１，５−２，５−３へ位置するようにガラス基板Ｇを搬送する範囲の長さで足りる。
【００６２】
以上説明した本実施形態では、基板搬送部３６の２つの基板保持部３６ａ，３６ａは、互いに共通の保持部用ガイド３６ｃに沿って移動する。そのため、単一の保持部用ガイド３６ｃによって、ガラス基板Ｇの両端を保持する２つの基板保持部３６ａ，３６ａを移動させることができる。したがって、上記第１実施形態の効果に加え、基板検査装置３１の構成を簡素にすることができると共に、保持部用ガイド３６ｃの平行度の調整等が不要になり組立て性を向上させることができるという効果を奏する。また、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂ及び基板保持部３６ａ，３６ａ（ガラス基板Ｇ）用の保持部用ガイド３６ｂを、それぞれ最低限の長さにすることができ、この点からも基板検査装置３１の大型化を
抑えることができるという効果を奏する。
【００６３】
なお、本実施形態では、複数の基板保持部として、２つの基板保持部３６ａ，３６ａを配置する例について説明したが、互いに共通の保持部用ガイド３６ｂに沿って移動する３つ以上の基板保持部３６ａを配置してもよい。
【００６４】
＜第５実施形態＞
本実施形態の基板検査装置４１は、顕微鏡４４の構成を除いて図５に示す上記第２実施形態の基板検査装置１１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図９に図５と同一の符号を付して説明を省略する。なお、本実施形態の基板検査装置４１は、顕微鏡４４及び透過照明部１５の構成を除いては、上記第１実施形態の基板検査装置１とも概ね同様である。
【００６５】
図９は、本発明の第５実施形態に係る基板検査装置４１を示す斜視図である。なお、図９においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ及びガイド７ｂ，７ｂの一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００６６】
本実施形態の基板検査装置４１は、単一のガントリ３の顕微鏡用ガイド３ａに沿って、ガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に互いに独立して移動する２つの顕微鏡４４，４４を備える。
【００６７】
各顕微鏡４４は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、顕微鏡用ガイド３ａに沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。また、各顕微鏡４４は、顕微鏡用ガイド３ａに沿ったＹ軸方向への移動と、ガントリ３のガイド７ｂ，７ｂに沿ったＸ軸方向への移動とにより、直交２軸方向へ自在に移動可能となっている。
【００６８】
なお、本実施形態では、上記第２実施形態と同様にライン状光源１５ａを有する透過照明部１５−１，１５−２，１５−３を配置しているが、上記第１実施形態と同様に移動式の光源５ａを配置する場合には、顕微鏡４４，４４とそれぞれＹ軸方向へ同期して移動する２つの光源５ａ，５ａを配置するとよい。
【００６９】
以上説明した本実施形態では、２つの顕微鏡４４，４４は、単一のガントリ３（顕微鏡用ガイド３ａ）に沿って、ガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に互いに独立して移動する。そのため、Ｙ軸方向への顕微鏡４４，４４の移動距離を減らすことができ、したがって、上記第１及び第２実施形態の効果に加え、透過照明部１５を用いた検査をより短時間で行うことができるという効果を奏する。
【００７０】
なお、本実施形態では、複数の検査部として、２つの顕微鏡４４，４４を配置する例について説明したが、単一のガントリ３に沿って互いに独立して移動する３つ以上の顕微鏡４４を配置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置を示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置及び搬送ロボットを示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置のガントリの動きを説明するための平面図である。
【図４】ガラス基板の仮想領域を示す平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る基板検査装置の基板搬送部を示す側面図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７２】
１ 基板検査装置
２ 浮上ステージ
２ａ 浮上プレート
３ ガントリ
３ａ 顕微鏡用ガイド
４ 顕微鏡
５ 透過照明部
５ａ 光源
５ｂ 光源用ガイド
６ 基板搬送部
６ａ 基板保持部
７ ベース部
７ａ ガイド台
７ｂ ガイド
８ 搬送ロボット
８ａ 支持部
１１ 基板検査装置
１５ 透過照明部
１５ａ ライン状光源
１５ｂ 昇降機構
２１ 基板検査装置
２６ 基板搬送部
２６ａ 基板保持部
２６ｂ 保持部用ガイド
３１ 基板検査装置
３６ 基板搬送部
３６ａ 基板保持部
３６ｂ 保持部用ガイド
３６ｃ アーム部
３６ｄ 補助ガイド
４１ 基板検査装置
４４ 顕微鏡
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の光を透過する基板を、透過照明を用いて検査する基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造工程においては、各製造工程で製造されたマザーガラス基板の欠陥を、顕微鏡等を用いて検査している。
【０００３】
このような検査を行う場合、顕微鏡等の検査部は、固定式又は可動式のガントリに配置され、このガントリに沿って移動する。
ところで、ガントリが固定式の場合、ガラス基板をガントリの下方を通過するように移動させる必要があるため、基板検査装置の基板搬送方向におけるサイズは最低でもガラス基板約２枚分程度となる。なお、ガントリが固定式の場合に透過照明を行うには、ガントリの下方に透過照明部を配置することになる。
【０００４】
一方、ガントリが可動式の場合、ガラス基板を移動させる必要がないため、基板検査装置の大型化を抑えることができるが、透過照明部を用いた検査を行うには、ガラス基板の平行度を確保し且つ透過照明の移動領域を確保するために、ガラス基板の下部にガラス基板を支持する透明支持板を配置する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００８−８２７０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１記載の透明支持板を用いると、ガラス基板を透明支持板から剥離させる際に剥離帯電によってガラス基板上のパターン回路が破損するという問題が生じる。
【０００６】
また、透明支持板を用いると、分光測光などの検査を行うことができないという問題も生じる。更には、透明支持板を支える桟などが透過照明を妨げるという問題も生じる。
なお、以上の問題は、浮上ステージをガラス等の透明の素材のものにしても、エア浮上の構造や技術を使用するのが困難となるため、解消することができなかった。また、複数の支持ピンでガラス基板を支持すると、ガラス基板に撓みが発生してしまい、例えば、焦点深度の浅い高倍率の対物レンズを用いた検査において特に不向きである。
【０００７】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、装置の大型化及び基板の破損を防ぐことができると共に、透過照明による検査を有効に行うことができる基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の基板検査装置は、基板にエアを吐出する浮上ステージと、１軸方向に移動する門型のガントリと、このガントリに沿って、このガントリの移動方向と交差する方向に移動する検査部と、を備える基板検査装置において、上記浮上ステージ内に配置された複数の透過照明部と、上記基板の被検査部分が上記複数の透過照明部のいずれかの上方に位置するように上記基板を搬送する基板搬送部と、を備える構成とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、ガントリが移動可能であり、基板搬送部は、基板の被検査部分が複数の透過照明部のいずれかの上方に位置するように基板を搬送する。そのため、基板の搬送距離を抑え、ひいては基板検査装置の大型化を抑えることができる。
【００１０】
また、透過照明部を基板の下方全体に亘って移動させる必要がないため、透過照明部の移動領域を確保するために基板支持用の透明支持板を用いる必要もない。したがって、透明支持板を用いる際に生じる剥離帯電に起因する基板の破損を回避することができると共に、透明支持板により分光測光などの検査が妨げられるのを回避することができる。
【００１１】
よって、本発明によれば、装置の大型化及び基板の破損を防ぐことができると共に、透過照明部を用いた検査を有効に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態に係る基板検査装置及び基板検査方法について、図面を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板検査装置１を示す平面図である。
【００１３】
基板検査装置１は、光を透過する基板としてのガラス基板Ｇにエアを吐出する浮上ステージ２と、１軸方向（Ｘ軸方向）に移動する門型のガントリ３と、このガントリ３に沿ってガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に移動する検査部としての顕微鏡４と、浮上ステージ２内に配置された３つの透過照明部５と、ガラス基板Ｇを搬送する基板搬送部６とを備える。
【００１４】
浮上ステージ２は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に互いに間隙をもってベース部７上にマトリクス状に配置された複数の浮上プレート２ａを有する。浮上プレート２ａは、長手方向がＸ軸方向である矩形タイル状を呈し、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にＭ×Ｎの行列（本実施形態では４×５の行列）に配置されている。また、浮上プレート２は、図示しない浮上用エア配管から供給されるエアを上面に形成された図示しない吐出孔から吐出することで、ガラス基板Ｇを浮上させる。
【００１５】
ベース部７上のＹ軸方向両端にはガイド台７ａ，７ａが設けられ、これらガイド台７ａ，７ａ上にはガイド７ｂ，７ｂが設けられている。ガントリ３は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、ガイド７ｂ，７ｂに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。
【００１６】
ガントリ３の側面には顕微鏡用ガイド３ａが設けられ、顕微鏡４は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、顕微鏡用ガイド３ａに沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。顕微鏡４は、顕微鏡用ガイド３ａに沿ったＹ軸方向への移動と、ガントリ３のガイド７ｂ，７ｂに沿ったＸ軸方向への移動とにより、直交２軸の水平方向へ自在に移動可能となっている。なお、顕微鏡４にレーザ照射部等を配置し、顕微鏡４によりレビューした欠陥をレーザにより修正するようにしてもよい。
【００１７】
透過照明部５は、Ｘ軸方向に４行配置された浮上プレート２ａの行間に計３つ互いに同一ピッチで配置されている。なお、本実施形態では、３つの透過照明部５は、ガラス基板ＧのＸ軸方向における長さの３分の１のピッチで配置されている。
【００１８】
各透過照明部５は、ガラス基板Ｇに下方から照明光を照射する平面視円形の光源５ａと
、ベース部７上においてＹ軸方向に延びる光源用ガイド５ｂとを有する。光源５ａは、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって光源用ガイド５ｂに沿ってＹ軸方向に移動する。
【００１９】
基板搬送部６，６は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、ガントリ３と共通の２つのガイド７ｂ，７ｂに１つずつ配置され、ガイド７ｂ，７ｂに沿ってＸ軸方向にガントリ３とは独立して移動可能となっている。また、各基板搬送部６は、５つの吸着パッドが配置された基板保持部６ａを有する。この基板保持部６ａは、図示しない吸引機構による負圧によってガラス基板Ｇの底面端部を保持している。
【００２０】
以下、基板検査装置１によるガラス基板Ｇの検査について、上述の図１及び下記図２〜図４を参照しながら説明する。
図２は、基板検査装置１及び搬送ロボット８を示す平面図である。
【００２１】
図３は、基板検査装置１のガントリ３の動きを説明するための平面図である。
図４は、ガラス基板Ｇの仮想領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３を示す平面図である。
まず、図２に示す搬送ロボット８により、ガラス基板Ｇが基板検査装置１に搬入される。具体的には、ガラス基板Ｇは、搬送ロボット８の櫛歯状の４本の支持部８ａに支持された状態で、浮上ステージ２上に搬送される。そして、搬送ロボット８の支持部８ａが下降して浮上プレート２ａ間のＹ軸方向における間隙に挿入される。このとき、ガントリ３と、顕微鏡４と、透過照明部５の光源５ａとは、支持部８ｂと干渉しないように退避させておく。
【００２２】
なお、本実施形態では、浮上プレート２ａ間のＹ軸方向における間隙に搬送ロボット８の支持部８ａが挿入されるため、ガラス基板Ｇを搬送ロボット８から受取って浮上ステージ２上に載置するリフタ等の機構を省略し、搬送ロボット８により直接的にガラス基板Ｇを浮上ステージ２上に搬送することが可能となっている。
【００２３】
但し、リフタ等の機構によって搬送ロボット８からガラス基板Ｇを受取るようにしても、或いは、搬入用コロ（搬送ローラ）によってガラス基板Ｇを基板検査装置１に搬入するようにしてもよい。これらの場合には、ガラス基板Ｇの搬入時にガントリ３を退避させる退避スペースを確保する必要がなく、基板検査装置１の大型化を防ぐことができる。
【００２４】
ガラス基板Ｇが浮上プレート２ａ上に載置されると、搬送ロボット８が退避し、図示しない位置決め機構によりガラス基板Ｇが位置決めされる。位置決めされたガラス基板Ｇは、基板搬送部６の基板保持部６ａにより吸着保持される。
【００２５】
ここで、ガラス基板Ｇを、図４に示すように、透過照明部５の数と同数である３つの領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３に分けた場合、これら領域のＸ座標は、ガラス基板ＧのＸ軸方向の長さをＬとし、図４の左下部分を座標（０，０）とすると、
Ｇ１： ０＜ｘ≦Ｌ／３ ・・・式（１）
Ｇ２： Ｌ／３＜ｘ≦２Ｌ／３ ・・・式（２）
Ｇ２：２Ｌ／３＜ｘ≦Ｌ ・・・式（３）
となる。
【００２６】
ガラス基板Ｇの被検査部分が領域Ｇ１に含まれる場合（Ｘ座標が上記式（１）の範囲内にある場合）、顕微鏡４の視野のＸ座標が透過照明部５−１のＸ座標と同一となるようにガントリ３をＸ軸方向に移動させる（図３に点線で示す３−１）。また、Ｙ座標が被検査部分のＹ座標と同一となるように顕微鏡４及び光源５ａをＹ軸方向に同期移動させる。更には、ガラス基板Ｇの被検査部分のＸ座標が透過照明部５−１のＸ座標と同一となるよう
に基板搬送部６によりＸ軸方向に移動させる。
【００２７】
同様に、ガラス基板Ｇの被検査部分が領域Ｇ２に含まれる場合（Ｘ座標が上記式（２）の範囲内にある場合）、ガントリ３、顕微鏡４、光源５ａ及びガラス基板Ｇを、透過照明部５−２上で検査を行えるように適宜移動させる。
【００２８】
また同様に、ガラス基板Ｇの被検査部分が領域Ｇ３に含まれる場合（Ｘ座標が上記式（３）の範囲内にある場合）、ガントリ３、顕微鏡４、光源５ａ及びガラス基板Ｇを、透過照明部５−３上で検査を行えるように適宜移動させる。
【００２９】
被検査部分が複数ある場合には順次検査を行い、検査が終了したガラス基板Ｇは搬送ロボット８等により基板検査装置１から搬出させる。
以上説明した本実施形態では、ガントリ３が移動可能であり、基板搬送部６は、ガラス基板Ｇの被検査部分が複数の透過照明部５のいずれかの上方に位置するようにガラス基板Ｇを搬送する。そのため、ガラス基板Ｇの搬送距離を抑え、ひいては基板検査装置１の大型化を抑えることができる。
【００３０】
また、透過照明部５をガラス基板Ｇの下方全体に亘って移動させる必要がないため、透過照明部５の移動領域を確保するためにガラス基板Ｇ支持用の透明支持板を用いる必要もない。したがって、透明支持板を用いる際に生じる剥離帯電に起因するガラス基板Ｇの破損を回避することができると共に、透明支持板により分光測光などの検査が妨げられるのを回避することができる。
【００３１】
よって、本実施形態によれば、基板検査装置１の大型化及びガラス基板Ｇの破損を防ぐことができると共に、透過照明部５を用いた検査を有効に行うことができる。
また、本実施形態では、複数の透過照明部５は、浮上プレート２ａ間の間隙に配置される。ここで、本実施形態では、ガントリ３及びガラス基板ＧがＸ軸方向に移動可能であるため、透過照明部５のＸ軸方向における長さは小さいもので足りる。したがって、浮上プレート２ａを互いに近接させても、これらの間のわずかな間隙に配置した複数の透過照明部５によって有効に検査を行うことができる。
【００３２】
また、本実施形態では、透過照明部５の光源５ａは、光源用ガイド５ｂに沿ってＹ軸方向に移動する。ここで、本実施形態では、ガントリ３及びガラス基板ＧがＸ軸方向に移動可能であるため、透過照明部５（光源５ｂ）のＸ軸方向における長さは小さいもので足り、
更に、光源５ａがＹ軸方向に移動可能であるため、Ｙ軸方向における長さも小さいもので足りる。したがって、基板検査装置１の構成を簡素にすることができる。
【００３３】
また、本実施形態では、基板搬送部６とガントリ３とは、互い共通するガイド７ｂ，７ｂに沿って移動する。したがって、基板検査装置１を簡素な構成とすることができる。
また、本実施形態では、基板搬送部６は、ガラス基板Ｇの被検査部分を、その位置（領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３）に応じて決定される透過照明部５−１，５−２，５−３の上方に移動させるようにガラス基板Ｇを搬送する。そのため、簡単な制御で、ガラス基板Ｇの搬送距離を抑え、ひいては基板検査装置１の大型化を抑えることができる。
【００３４】
なお、本実施形態では、透過照明部５を３つとして説明したが、透過照明部５は２つとしても４つ以上としてもよい。透過照明部５の数を増やせばガラス基板Ｇの搬送距離を減らすことができるため、透過照明部５の数は、装置構成の簡略化との兼ね合いを考慮して適宜決定すればよい。
【００３５】
また、本実施形態では、ガラス基板Ｇの搬送方向をＸ軸方向として説明したが、透過照明部５（光源用ガイド５ｂ）をＸ軸方向に延びるものとし、ガラス基板ＧをＹ軸方向に移動させるようにしてもよい。その場合には、ガラス基板ＧをＹ軸方向に搬送するために、基板搬送部６はＹ軸方向に延びるガイドに沿ってガラス基板Ｇを搬送する必要や、ガントリ３専用のガイドとなるベース部７のガイド７ｂ，７ｂ間の距離（ガントリ３の長さでもある）を長くしてガラス基板Ｇの搬送領域を確保する必要がある。
【００３６】
また、本実施形態では、ガラス基板Ｇの被検査部分が図４に示す領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３のいずれに位置するかによって、被検査部分をどの透過照明部５−１，５−２，５−３上に移動させるかを決定したが、判断時にガラス基板Ｇの被検査部分と最も近くに位置する光源５ａを有する透過照明部５−１，５−２，５−３上に被検査部分を移動させるようにしてもよい。
【００３７】
＜第２実施形態＞
本実施形態の基板検査装置１１は、透過照明部１５の構成を除いて上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図５に図１と同一の符号を付して説明を省略する。
【００３８】
図５は、本発明の第２実施形態に係る基板検査装置１１を示す斜視図である。なお、図５においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ、ガイド７ｂ，７ｂ及び基板搬送部６，６の一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００３９】
基板検査装置１１は、Ｘ軸方向に４行配置された浮上プレート２ａの行間に計３つ同一ピッチで配置された３つの透過照明部１５を備える。
各透過照明部１５は、ガラス基板Ｇに照明光を照射する例えば高輝度ＬＥＤからなるライン状光源１５ａと、このライン状光源１５ａを上下動させる昇降機構１５ｂとを有する。
【００４０】
ライン状光源１５ａは、ガラス基板ＧのＹ軸方向における長さと同程度又はそれ以下の長さでＹ軸方向に延び、ガラス基板ＧのＹ軸方向全域を照射可能な発光長を有している。
昇降機構１５ｂは、例えばエアシリンダであり、ライン状光源１５ａを、ガラス基板Ｇに照明光を照射する上方の位置（図５の状態）と、そこから下方に退避した位置とに移動させる。
【００４１】
具体的には、昇降機構１５ｂは、図２に示す搬送ロボット８によりガラス基板Ｇが基板検査装置１に搬入される際に、搬送ロボット８の支持部８ａと干渉しないようにライン状光源１５ａを下方に退避させる。一方、搬送ロボット８の退避後には、昇降機構１５ｂは、ライン状光源１５ａを、ガラス基板Ｇに照明光を照射する上方の位置に移動させる。
【００４２】
なお、本実施形態においても、ガラス基板Ｇの被検査部分が図４に示す領域Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３のどの領域に含まれるかによって、ガントリ３、顕微鏡４及びガラス基板Ｇを、透過照明部１５−１，１５−２又は１５−３のライン状光源１５ａ上で検査を行えるように適宜移動させるものとする。
【００４３】
以上説明した本実施形態では、各透過照明部１５は、ガラス基板Ｇに照明光を照射するライン状光源１５ａを有する。そのため、ライン状光源１５ａを移動させるためのガイドが不要となり、上記第１実施形態の効果に加え、基板検査装置１１の構成を簡素にすることができるという効果を奏する。
【００４４】
また、本実施形態では、昇降機構１５ｂは、ライン状光源１５ａを、ガラス基板Ｇに照
明光を照射する位置と、そこから退避した位置とに上下動させる。そのため、搬送ロボット８の支持部８ａとの干渉を防ぎながら、透過照明部１５を用いた検査を有効に行うことができる。
【００４５】
なお、本実施形態においても、透過照明部１５を３つとして説明したが、透過照明部１５は２つとしても４つ以上としてもよい。また、本実施形態のライン状光源１５ａは、ガラス基板ＧのＹ軸方向全域を照射可能な長さとしているが、それよりも短くしてＹ軸方向に移動可能としてもよい。その場合、ライン状光源１５ａ用のガイドを上記第１実施形態の光源用ガイド５ｂよりも短くすることができる。
【００４６】
＜第３実施形態＞
本実施形態の基板検査装置２１は、基板搬送部２６の構成を除いて上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図６に図１と同一の符号を付して説明を省略する。
【００４７】
図６は、本発明の第３実施形態に係る基板検査装置２１を示す斜視図である。なお、図６においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ及びガイド７ｂ，７ｂの一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００４８】
基板検査装置２１の基板搬送部２６は、それぞれガラス基板Ｇの一端・多端を保持する２つの基板保持部２６ａと、ガラス基板Ｇの下方においてベース部７上に配置された２つの保持部用ガイド２６ｂとを有する。
【００４９】
各基板保持部２６ａは、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、保持部用ガイド２６ｂに沿ってＸ軸方向に移動可能となっている。また、各基板保持部２６ａは、その３つの吸着パッドにおいて、図示しない吸引機構による負圧によってガラス基板Ｇの底面端部を保持している。
【００５０】
本実施形態では、基板搬送部２６の保持部用ガイド２６ｂ，２６ｂがガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂとは別個に配置されている。そのため、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂは、ガントリ３の移動範囲の長さ、即ち、３つの透過照明部５−１，５−２，５−３への移動と、ガラス基板Ｇ搬入時の退避位置への移動とを行う範囲の長さで足り、したがって、上記第１実施形態よりも短いものとなっている。
【００５１】
また、保持部用ガイド２６ｂ，２６ｂは、ガラス基板Ｇの搬送範囲の長さ、即ち、ガラス基板Ｇの被検査部分が透過照明部５−１，５−２，５−３へ移動するようにガラス基板Ｇを搬送する範囲の長さで足りる。
【００５２】
以上説明した本実施形態では、基板搬送部２６の基板保持部２６ａは、ガラス基板Ｇの下方に配置された保持部用ガイド２６ｂに沿って移動する。そのため、上記第１実施形態の効果に加え、基板検査装置１の大型化を抑えながら、ガラス基板Ｇの位置決め精度を向上させることができるという効果を奏する。また、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂ及び基板保持部２６ａ（ガラス基板Ｇ）用の保持部用ガイド２６ｂを、それぞれ最低限の長さにすることができ、この点からも基板検査装置１の大型化を抑えることができるという効果を奏する。
【００５３】
＜第４実施形態＞
本実施形態の基板検査装置３１は、基板搬送部３６の構成を除いて上記第１実施形態の基板検査装置１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図７及び図８に図１と同一の符号を付して説明を省略する。
【００５４】
図７は、本発明の第４実施形態に係る基板検査装置３１を示す斜視図である。なお、図７においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ及びガイド７ｂ，７ｂの一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００５５】
図８は、基板検査装置３１の基板搬送部３６を図７の後方から見た側面図である。
基板検査装置３１の基板搬送部３６は、それぞれガラス基板Ｇの一端・他端を保持する２つの基板保持部３６ａ，３６ａと、図８に示すようにガラス基板Ｇの下方においてベース部７上に配置された単一の保持部用ガイド３６ｂとを有する。
【００５６】
２つの基板保持部３６ａ，３６ａは、Ｙ軸方向に延びるアーム部３６ｃの一端・他端にそれぞれ接続されている。また、各基板保持部３６ａは、その３つの吸着パッドにおいて、図示しない吸引機構による負圧によってガラス基板Ｇの底面端部を保持している。
【００５７】
アーム部３６ｃは、プレート２ａの脚部の間、即ち浮上プレート２ａの下方に配置されている。また、アーム部３６ｃは、図８に示すように、アーム部３６ｃの中央に設けられ、Ｘ軸方向に延びる単一の保持部用ガイド３６ｂに沿って移動する。これにより、基板保持部３６ａ，３６ａは、アーム部３６ｃを介して間接的に、互いに共通の保持部用ガイド３６ｃに沿って移動する。
【００５８】
なお、本実施形態では、アーム部３６ｃを水平に維持するために、保持部用ガイド３６ｂを挟んで保持部用ガイド３６ｂと平行に配置された図８に示す２つの補助ガイド３６ｄ，３６ｄが配置されている。
【００５９】
ここで、アーム部３６ｃの移動範囲が基板保持部３６ａひいてはガラス基板Ｇの搬送範囲となる。そのため、透過照明部５−１，５−２，５−３のいずれかの上方にガラス基板Ｇの被検査部分を移動させるだけのガラス基板Ｇの搬送範囲を確保するには、下方にアーム部３６ｃが配置される浮上プレート２ａ´をＸ軸方向に長くし、この浮上プレート２ａ´の脚部がアーム部３６ｃと干渉しないようにするか、或いは、浮上プレート２ａ´をＸ軸方向に隣接する他の浮上プレート２ａと連結して浮上プレート２ａ´の一部の脚部を省略するとよい。
【００６０】
本実施形態においても、上記第３実施形態と同様に、基板搬送部３６の保持部用ガイド３６ｂがガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂとは別個に配置されている。そのため、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂは、ガントリ３の移動範囲の長さ、即ち、３つの透過照明部５−１，５−２，５−３へのガントリ３の移動範囲の長さで足り、したがって、上記第１実施形態よりも短いものとなっている。
【００６１】
また、保持部用ガイド３６ｂは、ガラス基板Ｇの搬送範囲の長さ、即ち、ガラス基板Ｇの被検査部分が透過照明部５−１，５−２，５−３へ位置するようにガラス基板Ｇを搬送する範囲の長さで足りる。
【００６２】
以上説明した本実施形態では、基板搬送部３６の２つの基板保持部３６ａ，３６ａは、互いに共通の保持部用ガイド３６ｃに沿って移動する。そのため、単一の保持部用ガイド３６ｃによって、ガラス基板Ｇの両端を保持する２つの基板保持部３６ａ，３６ａを移動させることができる。したがって、上記第１実施形態の効果に加え、基板検査装置３１の構成を簡素にすることができると共に、保持部用ガイド３６ｃの平行度の調整等が不要になり組立て性を向上させることができるという効果を奏する。また、ガントリ３用のガイド７ｂ，７ｂ及び基板保持部３６ａ，３６ａ（ガラス基板Ｇ）用の保持部用ガイド３６ｂを、それぞれ最低限の長さにすることができ、この点からも基板検査装置３１の大型化を
抑えることができるという効果を奏する。
【００６３】
なお、本実施形態では、複数の基板保持部として、２つの基板保持部３６ａ，３６ａを配置する例について説明したが、互いに共通の保持部用ガイド３６ｂに沿って移動する３つ以上の基板保持部３６ａを配置してもよい。
【００６４】
＜第５実施形態＞
本実施形態の基板検査装置４１は、顕微鏡４４の構成を除いて図５に示す上記第２実施形態の基板検査装置１１と概ね同様であるため、同様の部材・部分については図９に図５と同一の符号を付して説明を省略する。なお、本実施形態の基板検査装置４１は、顕微鏡４４及び透過照明部１５の構成を除いては、上記第１実施形態の基板検査装置１とも概ね同様である。
【００６５】
図９は、本発明の第５実施形態に係る基板検査装置４１を示す斜視図である。なお、図９においては、それぞれ２つずつ配置されるガイド台７ａ，７ａ及びガイド７ｂ，７ｂの一方、並びに、一部の浮上プレート２ａの図示を省略している。
【００６６】
本実施形態の基板検査装置４１は、単一のガントリ３の顕微鏡用ガイド３ａに沿って、ガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に互いに独立して移動する２つの顕微鏡４４，４４を備える。
【００６７】
各顕微鏡４４は、例えば図示しないリニアモータ等の駆動手段によって、顕微鏡用ガイド３ａに沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。また、各顕微鏡４４は、顕微鏡用ガイド３ａに沿ったＹ軸方向への移動と、ガントリ３のガイド７ｂ，７ｂに沿ったＸ軸方向への移動とにより、直交２軸方向へ自在に移動可能となっている。
【００６８】
なお、本実施形態では、上記第２実施形態と同様にライン状光源１５ａを有する透過照明部１５−１，１５−２，１５−３を配置しているが、上記第１実施形態と同様に移動式の光源５ａを配置する場合には、顕微鏡４４，４４とそれぞれＹ軸方向へ同期して移動する２つの光源５ａ，５ａを配置するとよい。
【００６９】
以上説明した本実施形態では、２つの顕微鏡４４，４４は、単一のガントリ３（顕微鏡用ガイド３ａ）に沿って、ガントリ３の移動方向（Ｘ軸方向）と交差する方向（Ｙ軸方向）に互いに独立して移動する。そのため、Ｙ軸方向への顕微鏡４４，４４の移動距離を減らすことができ、したがって、上記第１及び第２実施形態の効果に加え、透過照明部１５を用いた検査をより短時間で行うことができるという効果を奏する。
【００７０】
なお、本実施形態では、複数の検査部として、２つの顕微鏡４４，４４を配置する例について説明したが、単一のガントリ３に沿って互いに独立して移動する３つ以上の顕微鏡４４を配置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置を示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置及び搬送ロボットを示す平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置のガントリの動きを説明するための平面図である。
【図４】ガラス基板の仮想領域を示す平面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る基板検査装置の基板搬送部を示す側面図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る基板検査装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７２】
１ 基板検査装置
２ 浮上ステージ
２ａ 浮上プレート
３ ガントリ
３ａ 顕微鏡用ガイド
４ 顕微鏡
５ 透過照明部
５ａ 光源
５ｂ 光源用ガイド
６ 基板搬送部
６ａ 基板保持部
７ ベース部
７ａ ガイド台
７ｂ ガイド
８ 搬送ロボット
８ａ 支持部
１１ 基板検査装置
１５ 透過照明部
１５ａ ライン状光源
１５ｂ 昇降機構
２１ 基板検査装置
２６ 基板搬送部
２６ａ 基板保持部
２６ｂ 保持部用ガイド
３１ 基板検査装置
３６ 基板搬送部
３６ａ 基板保持部
３６ｂ 保持部用ガイド
３６ｃ アーム部
３６ｄ 補助ガイド
４１ 基板検査装置
４４ 顕微鏡
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にエアを吐出する浮上ステージと、
１軸方向に移動する門型のガントリと、
該ガントリに沿って、該ガントリの移動方向と交差する方向に移動する検査部と、
を備える基板検査装置において、
前記浮上ステージ内に配置された複数の透過照明部と、
前記基板の被検査部分が前記複数の透過照明部のいずれかの上方に位置するように前記基板を搬送する基板搬送部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記基板搬送部は、前記基板の被検査部分を、その位置に応じて決定される前記透過照明部の上方に移動させるように前記基板を搬送することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記浮上ステージは、互いに間隙をもって配置された複数の浮上プレートを有し、
前記複数の透過照明部は、前記浮上プレート間の間隙に配置される、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記透過照明部は、前記基板に照明光を照射する光源と、光源用ガイドとを有し、
前記光源は、前記光源用ガイドに沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記透過照明部は、前記基板に照明光を照射するライン状光源を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記透過照明部は、前記ライン状光源を、前記基板に照明光を照射する位置と、そこから退避した位置とに上下動させる昇降機構を更に有することを特徴とする請求項５記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記基板搬送部と前記ガントリとは、互いに共通するガイドに沿って移動することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記基板搬送部は、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板の下方に配置された保持部用ガイドとを有し、
前記基板保持部は、前記保持部用ガイドに沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記基板搬送部は、前記基板を保持する複数の基板保持部と、保持部用ガイドとを有し、
前記複数の基板保持部は、互いに共通の前記保持部用ガイドに沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項１０】
単一の前記ガントリに沿って、該ガントリの移動方向と交差する方向に互いに独立して移動する複数の検査部を備えることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項１】
基板にエアを吐出する浮上ステージと、
１軸方向に移動する門型のガントリと、
該ガントリに沿って、該ガントリの移動方向と交差する方向に移動する検査部と、
を備える基板検査装置において、
前記浮上ステージ内に配置された複数の透過照明部と、
前記基板の被検査部分が前記複数の透過照明部のいずれかの上方に位置するように前記基板を搬送する基板搬送部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記基板搬送部は、前記基板の被検査部分を、その位置に応じて決定される前記透過照明部の上方に移動させるように前記基板を搬送することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記浮上ステージは、互いに間隙をもって配置された複数の浮上プレートを有し、
前記複数の透過照明部は、前記浮上プレート間の間隙に配置される、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記透過照明部は、前記基板に照明光を照射する光源と、光源用ガイドとを有し、
前記光源は、前記光源用ガイドに沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記透過照明部は、前記基板に照明光を照射するライン状光源を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記透過照明部は、前記ライン状光源を、前記基板に照明光を照射する位置と、そこから退避した位置とに上下動させる昇降機構を更に有することを特徴とする請求項５記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記基板搬送部と前記ガントリとは、互いに共通するガイドに沿って移動することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記基板搬送部は、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板の下方に配置された保持部用ガイドとを有し、
前記基板保持部は、前記保持部用ガイドに沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記基板搬送部は、前記基板を保持する複数の基板保持部と、保持部用ガイドとを有し、
前記複数の基板保持部は、互いに共通の前記保持部用ガイドに沿って移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の基板検査装置。
【請求項１０】
単一の前記ガントリに沿って、該ガントリの移動方向と交差する方向に互いに独立して移動する複数の検査部を備えることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項記載の基板検査装置。
【図４】
【図１】
【図２】
【図３】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１】
【図２】
【図３】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−９１４３５（Ｐ２０１０−９１４３５Ａ）
【公開日】平成２２年４月２２日（２０１０．４．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２６２２４１（Ｐ２００８−２６２２４１）
【出願日】平成２０年１０月８日（２００８．１０．８）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月２２日（２０１０．４．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１０月８日（２００８．１０．８）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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