基板検査装置
【課題】撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度に優れた基板検査装置を提供すること。
【解決手段】検査対象の基板Ｂgにライン照明光を照射するライン照明４と、ライン照明光の基板からの反射光を撮像するラインセンサカメラ８とを備え、反射光を撮像した画像をもとに基板表面の状態を検査する基板検査装置１は、互いに異なる位置に配置され、基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光をラインセンサカメラへそれぞれ反射する複数の反射鏡５，６と、基板から複数の反射鏡を経由してラインセンサカメラに至るまでの光路長を等しく保持しながら、ラインセンサカメラを移動させる移動機構７とを備えている。
【解決手段】検査対象の基板Ｂgにライン照明光を照射するライン照明４と、ライン照明光の基板からの反射光を撮像するラインセンサカメラ８とを備え、反射光を撮像した画像をもとに基板表面の状態を検査する基板検査装置１は、互いに異なる位置に配置され、基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光をラインセンサカメラへそれぞれ反射する複数の反射鏡５，６と、基板から複数の反射鏡を経由してラインセンサカメラに至るまでの光路長を等しく保持しながら、ラインセンサカメラを移動させる移動機構７とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の基板に照射する光の反射光をもとに基板表面に形成されたパターンの状態を検査する基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薄型テレビ等の液晶ディスプレイは、ガラス基板の表面に微細な電気回路を形成した基板が使用されている。ガラス基板上の微細な電気回路は、写真技術を用いて形成されるが、形成過程においてパターン形成装置の不具合や微細粒子が付着することによって、一部に不要な導通部分や破断部分等の欠陥が発生する。このため、ガラス基板等の基板の製造においては、基板表面に形成されたパターンの欠陥を検査している。
【０００３】
このような検査対象となる基板には、液晶ディスプレイで使用するガラス基板の他に、プラズマディスプレイパネル(ＰＤＰ:Plasma Display Panel)，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ，表面伝導型電子放出素子ディスプレイ（ＳＥＤ:Surface-conduction Electron-emitter Display）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ:Flat Panel Display）用の基板、半導体ウエハ及びプリント基板等がある。
【０００４】
そして、基板の検査においては、平面上を移動する基板にライン状の検査光を斜め方向から照射し、基板からの反射光を連続して撮像することによって基板全体の欠陥を検出している。この場合、欠陥の種類によって反射光を検出する位置（角度）が異なり、欠陥を検出できない位置（角度）がある。このため、基板検査装置では、カメラを複数の異なる位置（角度）にそれぞれ設け、検査を行なうが、高価なカメラや撮像した画像を処理する処理装置を複数用意しなければならず、検査費用が嵩むという問題があった。
【０００５】
このような問題を解決するため、１つのカメラを使用し、第１の位置（角度）で反射光を検出した後、カメラを第２の位置（角度）に移動して検査を行なう基板検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
図６は、特許文献１に開示された従来の基板検査装置の処理動作の概要を示す概略構成図である。図６に示すように、基板検査装置は、複数の搬送ローラＣr上を搬送されるガラス基板Ｂgをライン照明ＩLから出射される照明光によって照明し、ガラス基板Ｂgから反射してくる正反射光ＲRを第１の位置（角度）に配置したカメラＣmで撮像する。このようにして、搬送されるガラス基板Ｂg全体に沿って撮像したラインごとの画像の処理を繰り返すことにより、ガラス基板Ｂg上に形成されたパターンの状態を検査する。
【０００７】
一方、反射光Ｒによる検査を行なう場合には、図６に示すように、ガラス基板Ｂgの表面における照明光の照射位置ＰLを回転中心として鉛直面内で回転させることによってカメラＣmを第２の位置（角度）へ移動し、ガラス基板Ｂgからの反射光Ｒを異なる位置（角度）で撮像し、撮像した画像を画像処理する。そして、正反射光ＲRの場合と同様にして、ガラス基板Ｂg上に形成されたパターンの状態を検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−３０９７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、特許文献１の基板検査装置は、円弧Ａcに沿ったカメラＣmの移動長さが長いことから、カメラＣmを第１の位置（角度）と第２の位置（角度）との間で円弧Ａcに沿って精度よく移動させ、かつ、精度よく停止させることが難しいという問題があった。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度に優れた基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の基板検査装置は、検査対象の基板にライン照明光を照射するライン照明手段と、前記ライン照明光の前記基板からの反射光を撮像する撮像手段と、を備え、前記反射光を撮像した画像をもとに前記基板表面の状態を検査する基板検査装置において、互いに異なる位置に配置され、前記基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光を前記撮像手段へそれぞれ反射する複数の反射鏡と、前記基板から前記複数の反射鏡を経由して前記撮像手段に至るまでの光路長を等しく保持しながら、前記撮像手段を移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、互いに異なる位置に配置され、基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光を撮像手段へそれぞれ反射する複数の反射鏡と、基板から複数の反射鏡を経由して撮像手段に至るまでの光路長を等しく保持しながら、撮像手段を移動させる移動手段とを備えるので、反射鏡を使用しない従来の基板検査装置に比べて撮像手段を基板の近くに配置することができる。このため、本発明によれば、撮像手段の移動長さを従来の基板検査装置に比べて短縮することができ、移動手段による撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度に優れた基板検査装置を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明に係る基板検査装置の実施の形態を示す概略構成図である。
【図２】図２は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した正反射光の反射経路を示す概略構成図である。
【図３】図３は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した反射光の反射経路を示す概略構成図である。
【図４】図４は、変形例１に係る基板検査装置の概略構成をラインセンサカメラの移動手段と共に示す概略構成図である。
【図５】図５は、変形例２に係る基板検査装置の概略構成をラインセンサカメラの移動手段と共に示す概略構成図である。
【図６】図６は、従来の基板検査装置を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明に係る基板検査装置の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１５】
（実施の形態）
図１は、本発明に係る基板検査装置の実施の形態を示す概略構成図である。基板検査装置１は、図１に示すように、複数のフリーローラ２、ガラス基板Ｂgの搬送駆動部３からなる基板搬送ステージと、ライン照明４、第１ミラー５、第２ミラー６、干渉フィルタ９を有するラインセンサカメラ８、ラインセンサカメラ８が設置される回転機構７からなる基板検査部及び機能部１００を備えている。
【００１６】
フリーローラ２は、図１に示すように、検査対象となるガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸方向）に対して直交する方向（図中Ｙ軸方向）に沿って複数配置されている。
【００１７】
搬送駆動部３は、ガラス基板Ｂgの搬送方向（図１のＸ軸方向）に直交する方向に沿った一方の側縁でガラス基板Ｂgを吸着して保持しながら、搬送方向に沿って同じ高さで並べられた複数のフリーローラ２の上を搬送（ローラ搬送）する。ここで、フリーローラ２は、ガラス基板Ｂgの搬送方向と直交する方向（図１のＺ軸方向）に平行な軸を中心として回転自在である。そして、搬送駆動部３は、ラインセンサカメラ８によるライン照明光のガラス基板Ｂgからの正反射光又は反射光の撮像タイミングを一定とするため、ガラス基板Ｂgを一定の速度で搬送する。なお、搬送駆動部３は、ガラス基板Ｂgの搬送方向と直交する方向に沿った両側縁でガラス基板Ｂgを吸着して保持してもよいし、ガラス基板Ｂgの搬送方向と直交する方向の中央部でガラス基板Ｂgを吸着して保持してもよい。また、搬送駆動部３は、ガラス基板Ｂgの所定位置を把持しながらガラス基板Ｂgを搬送してもよい。また、ガラス基板Ｂgを下方から吹き付けられる加圧空気によって浮上させた状態で、駆動搬送部３がガラス基板Ｂgを保持または把持しながら搬送（浮上搬送）するようにしてもよい。
【００１８】
ライン照明４は、図１に示すように、ガラス基板Ｂgの上方にガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸方向）と直交する方向（図中Ｙ軸方向）に沿って板面と平行に配置され、ガラス基板Ｂg上の照射位置ＰLへ鉛直上方の斜め方向に傾斜した位置からライン照明光を照射する。
【００１９】
第１ミラー５は、図１に示すように、ガラス基板Ｂgの表面において入射角（θ）と等しい反射角（θ1）を有する正反射光（干渉光）をラインセンサカメラ８へ向けて反射する。第２ミラー６は、ガラス基板Ｂgの表面において入射角（θ）と異なる反射角（θ2）を有する反射光（回折光）を、図中点線で示す位置のラインセンサカメラ８へ向けて反射する。以下、正反射光のうち、ガラス基板Ｂgにおける正反射光を基板反射光ＲRBと呼び、第１ミラー５における正反射光を鏡反射光ＲRMと呼ぶ。また、反射光のうち、ガラス基板Ｂgにおける反射光を基板反射光ＲBと呼び、第１ミラー５における反射光を鏡反射光ＲMと呼ぶ。
【００２０】
ラインセンサカメラ８は、ライン照明４が出射したライン照明光のガラス基板Ｂgからの鏡反射光ＲRM（正反射光）又は鏡反射光ＲM（反射光）を撮像する撮像手段であり、図１に示すように、本体８ａと、本体８ａに取り付けた所定焦点距離の結像レンズ８ｂとを有している。ラインセンサカメラ８は、撮像したラインごとの鏡反射光ＲRM又は鏡反射光ＲMを取り込み、画像データ信号に変換する。ラインセンサカメラ８の本体８ａは、鏡反射光ＲRM及び鏡反射光ＲMの交点を回転中心７ａとする移動手段としての回転機構７に設置されている。このとき、ラインセンサカメラ８は、ガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置に設置する。また、回転機構７の回転中心７ａは、鏡反射光ＲRMと鏡反射光ＲMとの交点に設置する。
【００２１】
なお、ガラス基板Ｂgからの正反射光を撮像する場合は、鏡反射光ＲRMの光路ＬRMに干渉フィルタ９を挿入する。一方、反射光を撮像する場合には、挿入した干渉フィルタ９を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMから引き抜く。
【００２２】
機能部１００は、図１に示すように、基板検査装置１全体の動作を制御する制御部１０１と、ユーザが各種設定や指示を入力する入力部１０２と、各種プログラムやパラメータ、ならびに、取得された画像データ等を適宜記憶する記憶部１０３と、取得又は記憶された画像や各種情報を表示する表示部１０４と、搬送駆動部３によって搬送されるガラス基板Ｂgの搬送位置をリアルタイムに検出する基板位置検出部１０５と、を備えている。
【００２３】
また、基板検査装置１は、図１に示すように、回転機構７を回転駆動させる回転駆動部１０６と、鏡反射光ＲRMの光路ＬRM上への干渉フィルタ９の抜き差しを行なうフィルタ挿脱部１０７と、ラインセンサカメラ８から転送される画像データ信号を処理することによってガラス基板Ｂg上に形成されたパターンの状態を検出する画像処理部１０８と、を備えている。
【００２４】
以上のように構成される基板検査装置１によって基板を検査する際は、先ず、搬送駆動部３の搬入位置にガラス基板Ｂgを載置する。この場合、ガラス基板Ｂgは、例えば、搬送用ロボットで搬入位置まで搬送する。
【００２５】
続けて、作業員が入力部１０２から正反射光による検査か反射光による検査かに関する検査条件を設定する。例えば、検査条件を正反射光による検査に設定すると、制御部１０１が搬送駆動部３にガラス基板Ｂgの搬送方向（図１のＸ軸正の方向）への搬送を指示する制御信号を出力し、フィルタ挿脱部１０７が鏡反射光ＲRMの光路ＬRM上へ干渉フィルタ９を挿入する。また、回転駆動部１０６が回転中心７ａを中心として回転機構７を駆動し、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMへ移動させる。このようにして正反射光による検査条件の設定が終了すると、基板検査装置１では、搬送駆動部３によるガラス基板Ｂgの搬送方向（図１のＸ軸正の方向）に沿った搬送と、ラインセンサカメラ８によるガラス基板Ｂgからの正反射光の撮像が開始される。
【００２６】
図２は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した正反射光の反射経路を示す概略構成図である。基板検査装置１では、図２に示すように、ライン照明４が出射し、照射位置ＰLでガラス基板Ｂgから反射した正反射光である基板反射光ＲRBが第１ミラー５で反射される。その後、干渉フィルタ９を透過した透過光は、鏡反射光ＲRMとしてラインセンサカメラ８によって撮像され、画像データ信号に変換される。そして、搬送駆動部３によるガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸正の方向）への移動によってライン照明光によるガラス基板Ｂg全体の走査が終了すると、画像データ信号に基づくガラス基板Ｂgの画像が表示部１０４に表示されると共に、画像データ信号が画像処理部１０８へ転送され、干渉光によるガラス基板Ｂgの膜厚ムラ等の欠陥が検出される。
【００２７】
このようにして、正反射光による検査が終了した後、反射光による検査に検査条件の設定を変更する。すると、基板検査装置１では、先ず、搬送駆動部１０５が搬送駆動部３に正反射光の場合とは逆方向（図１のＸ軸負の方向）へのガラス基板Ｂgの搬送を指示する制御信号を出力し、フィルタ挿脱部１０７が鏡反射光ＲRMの光路ＬRMから干渉フィルタ９を引き抜く。また、回転駆動部１０６が回転中心７ａを中心として回転機構７を回転駆動し、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMから鏡反射光ＲMの光路ＬMへ移動させる。
【００２８】
反射光による検査条件の設定が終了すると、基板検査装置１では、搬送駆動部３が、正反射光による検査の場合とは逆方向（図１のＸ軸負の方向）にガラス基板Ｂgを搬送し、ラインセンサカメラ８によるガラス基板Ｂgからの反射光の撮像が開始される。
【００２９】
図３は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した反射光の反射経路を示す概略構成図である。基板検査装置１では、図３に示すように、ライン照明４が出射し、照射位置ＰLでガラス基板Ｂg上のパターンによる回折に起因する反射光である基板反射光ＲBが第２ミラー６で反射され、鏡反射光ＲMとしてラインセンサカメラ８によって撮像された後、画像データ信号に変換される。そして、搬送駆動部３によるガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸負の方向）への移動によってライン照明光によるガラス基板Ｂg全体の走査が終了すると、画像データ信号に基づくガラス基板Ｂgの画像が表示部１０４に表示されると共に、画像データ信号が画像処理部１０８へ転送され、回折光によるガラス基板Ｂgの異物や傷等の欠陥が検出される。
【００３０】
このとき、ガラス基板Ｂgは、基板位置検出部１０５によって搬送位置がリアルタイムに検出され、制御部１０１の制御のもとで搬送駆動部３によって一定の速度で搬送される。このため、基板検査装置１は、ラインセンサカメラ８による撮像タイミングが一定に保持される。
【００３１】
基板検査装置１は、回転中心７ａを中心として回転機構７が回転することによって、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMと鏡反射光ＲMの光路ＬMとの間を移動させ、第１ミラー５がガラス基板Ｂgで反射した基板反射光ＲRBをラインセンサカメラ８へ反射すると共に、第１ミラー５と異なる位置に配置される第２ミラー６が基板反射光ＲBをラインセンサカメラ８へ反射する。このため、基板検査装置１は、第１ミラー５や第２ミラー６を使用しない従来の基板検査装置に比べてラインセンサカメラ８をガラス基板Ｂgの近くに配置することができる。
【００３２】
この結果、基板検査装置１は、回転機構７の回転中心７ａを中心とするラインセンサカメラ８の回転移動における円弧の半径及び円弧に沿った移動長さを従来の基板検査装置に比べて短縮することができるので、回転機構７によるラインセンサカメラ８の回転移動及び停止の際の位置決め精度に優れている。また、ラインセンサカメラ８は、従来の基板検査装置に比べて回転中心７ａを中心とする短い半径の円弧上を回転機構７によって回転移動されるので、基回転機構７の構造が簡単になり、基板検査装置１を小型化することができる。また、ラインセンサカメラ８の回転移動に要する時間が低減されるので、検査時間を短縮することができる。
【００３３】
なお、ガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置であれば、ラインセンサカメラ８は、回転機構７の回転中心７ａの直上に設けてもよく、或いは鏡反射光ＲRM及び鏡反射光ＲMの進行方向に対して回転中心７ａの前方に設けてもよい。
【００３４】
（変形例１）
上記実施の形態は、回転中心７ａを中心としてラインセンサカメラ８を回転機構７によって回転移動させた。これに対し、ラインセンサカメラ８は、回転せずに移動しても良い。図４は、変形例１に係る基板検査装置１の概略構成をラインセンサカメラ８の移動手段と共に示す概略構成図である。尚、以下の説明においては、実施の形態の基板検査装置１と同一の構成要素には同一の符号を使用している。
【００３５】
第１ミラー５及び第２ミラー６は、図４に示すように、鏡反射光ＲRMと鏡反射光ＲMとが互いに平行となるように、上下方向に近接した位置に配置されている。また、ラインセンサカメラ８は、干渉フィルタ９と共に移動手段としての直線駆動機構１０に設け、直線駆動機構１０上のガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置に設置する。直線駆動機構１０は、図中に矢印Ａ1で示すように、鏡反射光ＲRM及び鏡反射光ＲMに対して傾斜した方向へラインセンサカメラ８を平行移動させる。
【００３６】
これにより、直線駆動機構１０は、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路と鏡反射光ＲMの光路との間で平行移動させることができるので、正反射光による検査か反射光による検査かの検査条件に応じてラインセンサカメラ８の位置を切り替え移動し、ガラス基板Ｂgを検査条件に応じて検査することができる。
【００３７】
従って、変形例１に係る基板検査装置１においても、第１ミラー５や第２ミラー６を使用しない場合に比べてラインセンサカメラ８をガラス基板Ｂgの近くに配置することができ、従来の基板検査装置に比べて、短い距離を直線駆動機構１０によってラインセンサカメラ８を平行移動させるだけであるので、ラインセンサカメラ８の移動及び停止の際の位置決め精度に優れている。また、ラインセンサカメラ８は、直線駆動機構１０によって平行移動するので、直線駆動機構１０の構造が簡単になり、基板検査装置１を小型化することができる。
【００３８】
（変形例２）
また、ラインセンサカメラ８は、回転と移動とを組み合わせて移動させても良い。図５は、変形例２に係る基板検査装置１の概略構成をラインセンサカメラ８の移動手段と共に示す概略構成図である。
【００３９】
変形例２に係る基板検査装置１では、ラインセンサカメラ８は、ガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置に設置する。このとき、ラインセンサカメラ８は、移動手段としての移動機構１１に干渉フィルタ９と共に設ける。
【００４０】
移動機構１１は、図５に示すように、支持台１１ａと、支持台１１ａの回転中心１１ｂと、鏡反射光ＲRMの光路ＬRM及び鏡反射光ＲMの光路ＬM上を第１ミラー５及び第２ミラー６に向かって支持台１１ａを前進又は後退させる直線駆動機構（図示せず）と、支持台１１ａを回転中心１１ｂを中心として鏡反射光ＲRMの光路ＬRMと鏡反射光ＲMの光路ＬMとの間で回転移動させる回転機構（図示せず）とを備えている。
【００４１】
従って、変形例２に係る基板検査装置１では、正反射光による検査か反射光による検査かの検査条件に応じてラインセンサカメラ８の位置を切り替え移動し、ガラス基板Ｂgを検査条件に応じて検査することができる。
【００４２】
例えば、正反射光によるガラス基板Ｂgの検査から、反射光によるガラス基板Ｂgの検査に切り替える場合、移動機構１１は、図５に矢印Ａ2で示すように、前記直線駆動機構によって干渉フィルタ９と共にラインセンサカメラ８を前進させた後、矢印Ａ3で示すように、回転中心１１ｂの中心を回転中心として支持台１１ａを鏡反射光ＲMの光路ＬM上へ回転移動させる。これにより、ラインセンサカメラ８が鏡反射光ＲMの光路ＬMに配置され、ガラス基板Ｂgを反射光によって検査することができる。また、移動機構１１によってラインセンサカメラ８を以上の説明と逆方向に移動させると、ラインセンサカメラ８が鏡反射光ＲRMの光路ＬRMに配置され、ガラス基板Ｂgを正反射光によって検査することができる。このように、ラインセンサカメラ８は、移動機構１１による平行移動と回転移動とを組み合わせることで、ガラス基板Ｂgの正反射光による検査と反射光による検査とに任意に切り替えて使用することができる。
【００４３】
従って、変形例２に係る基板検査装置１においても、第１ミラー５や第２ミラー６を使用しない場合に比べてラインセンサカメラ８をガラス基板Ｂgの近くに配置することができ、移動機構１１によるラインセンサカメラ８を設置した支持台１１ａの回転中心１１ｂを中心とする回転移動における円弧の半径及び円弧に沿った長さを従来の基板検査装置に比べて短縮することができる。このため、変形例２に係る基板検査装置１は、移動機構１１によるラインセンサカメラ８の回転移動及び停止の際の位置決め精度に優れている。また、ラインセンサカメラ８は、回転中心１１ｂの中心を回転中心とする従来の基板検査装置に比べて短い半径上を移動機構１１によって回転移動されるので、移動機構１１の構造が簡単になり、基板検査装置１を小型化することができる。
【００４４】
尚、上記全ての実施例及び変形例において、基板検査部は、基板搬送ステージを跨ぐように設けられる図示しない支持フレームによって支持される。この支持フレームは、例えば門型のフレーム（以下、ガントリーフレーム）であり、フレームの水平部にラインセンサカメラ８と回転機構７を設置すればよい。また、第１ミラー５、第２ミラー６も、ガントリーフレームから水平に延設されたフレーム部に固定されるように構成すればよい。或いは、ラインセンサカメラ８と回転機構７を支持するガントリーフレームとは別に、ガントリーフレームや一対の支柱を設け、第１ミラー５、第２ミラー６を一体的に支持するように構成してもよい。或いは、ラインセンサカメラ８と回転機構７を支持するガントリーフレームと、このガントリフレームから水平に延設されたフレーム部に第１ミラー５を設置し、このガントリーフレームとは別に設けられた支持手段によって第２ミラー６を支持するように構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
以上のように、本発明の基板検査装置は、撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度を高めるのに有用である。
【符号の説明】
【００４６】
１ 基板検査装置
２ フリーローラ
３ 搬送駆動部
４ ライン照明
５ 第１ミラー
６ 第２ミラー
７ 回転機構
７ａ 回転中心
８ ラインセンサカメラ
８ａ 本体
８ｂ 結像レンズ
９ 干渉フィルタ
１０ 直線駆動機構
１１ 移動機構
１１ａ 支持台
１１ｂ 回転中心
１０１ 制御部
１０２ 入力部
１０３ 記憶部
１０４ 表示部
１０５ 基板位置検出部
１０６ 回転駆動部
１０７ フィルタ挿脱部
１０８ 画像処理部
Ｂg ガラス基板
ＰL 照射位置
ＲRB，ＲB 基板反射光
ＲRM，ＲM 鏡反射光
θ 入射角
θ1，θ2 出射角
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の基板に照射する光の反射光をもとに基板表面に形成されたパターンの状態を検査する基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薄型テレビ等の液晶ディスプレイは、ガラス基板の表面に微細な電気回路を形成した基板が使用されている。ガラス基板上の微細な電気回路は、写真技術を用いて形成されるが、形成過程においてパターン形成装置の不具合や微細粒子が付着することによって、一部に不要な導通部分や破断部分等の欠陥が発生する。このため、ガラス基板等の基板の製造においては、基板表面に形成されたパターンの欠陥を検査している。
【０００３】
このような検査対象となる基板には、液晶ディスプレイで使用するガラス基板の他に、プラズマディスプレイパネル(ＰＤＰ:Plasma Display Panel)，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ，表面伝導型電子放出素子ディスプレイ（ＳＥＤ:Surface-conduction Electron-emitter Display）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ:Flat Panel Display）用の基板、半導体ウエハ及びプリント基板等がある。
【０００４】
そして、基板の検査においては、平面上を移動する基板にライン状の検査光を斜め方向から照射し、基板からの反射光を連続して撮像することによって基板全体の欠陥を検出している。この場合、欠陥の種類によって反射光を検出する位置（角度）が異なり、欠陥を検出できない位置（角度）がある。このため、基板検査装置では、カメラを複数の異なる位置（角度）にそれぞれ設け、検査を行なうが、高価なカメラや撮像した画像を処理する処理装置を複数用意しなければならず、検査費用が嵩むという問題があった。
【０００５】
このような問題を解決するため、１つのカメラを使用し、第１の位置（角度）で反射光を検出した後、カメラを第２の位置（角度）に移動して検査を行なう基板検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
図６は、特許文献１に開示された従来の基板検査装置の処理動作の概要を示す概略構成図である。図６に示すように、基板検査装置は、複数の搬送ローラＣr上を搬送されるガラス基板Ｂgをライン照明ＩLから出射される照明光によって照明し、ガラス基板Ｂgから反射してくる正反射光ＲRを第１の位置（角度）に配置したカメラＣmで撮像する。このようにして、搬送されるガラス基板Ｂg全体に沿って撮像したラインごとの画像の処理を繰り返すことにより、ガラス基板Ｂg上に形成されたパターンの状態を検査する。
【０００７】
一方、反射光Ｒによる検査を行なう場合には、図６に示すように、ガラス基板Ｂgの表面における照明光の照射位置ＰLを回転中心として鉛直面内で回転させることによってカメラＣmを第２の位置（角度）へ移動し、ガラス基板Ｂgからの反射光Ｒを異なる位置（角度）で撮像し、撮像した画像を画像処理する。そして、正反射光ＲRの場合と同様にして、ガラス基板Ｂg上に形成されたパターンの状態を検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−３０９７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、特許文献１の基板検査装置は、円弧Ａcに沿ったカメラＣmの移動長さが長いことから、カメラＣmを第１の位置（角度）と第２の位置（角度）との間で円弧Ａcに沿って精度よく移動させ、かつ、精度よく停止させることが難しいという問題があった。
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度に優れた基板検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の基板検査装置は、検査対象の基板にライン照明光を照射するライン照明手段と、前記ライン照明光の前記基板からの反射光を撮像する撮像手段と、を備え、前記反射光を撮像した画像をもとに前記基板表面の状態を検査する基板検査装置において、互いに異なる位置に配置され、前記基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光を前記撮像手段へそれぞれ反射する複数の反射鏡と、前記基板から前記複数の反射鏡を経由して前記撮像手段に至るまでの光路長を等しく保持しながら、前記撮像手段を移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、互いに異なる位置に配置され、基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光を撮像手段へそれぞれ反射する複数の反射鏡と、基板から複数の反射鏡を経由して撮像手段に至るまでの光路長を等しく保持しながら、撮像手段を移動させる移動手段とを備えるので、反射鏡を使用しない従来の基板検査装置に比べて撮像手段を基板の近くに配置することができる。このため、本発明によれば、撮像手段の移動長さを従来の基板検査装置に比べて短縮することができ、移動手段による撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度に優れた基板検査装置を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明に係る基板検査装置の実施の形態を示す概略構成図である。
【図２】図２は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した正反射光の反射経路を示す概略構成図である。
【図３】図３は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した反射光の反射経路を示す概略構成図である。
【図４】図４は、変形例１に係る基板検査装置の概略構成をラインセンサカメラの移動手段と共に示す概略構成図である。
【図５】図５は、変形例２に係る基板検査装置の概略構成をラインセンサカメラの移動手段と共に示す概略構成図である。
【図６】図６は、従来の基板検査装置を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明に係る基板検査装置の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１５】
（実施の形態）
図１は、本発明に係る基板検査装置の実施の形態を示す概略構成図である。基板検査装置１は、図１に示すように、複数のフリーローラ２、ガラス基板Ｂgの搬送駆動部３からなる基板搬送ステージと、ライン照明４、第１ミラー５、第２ミラー６、干渉フィルタ９を有するラインセンサカメラ８、ラインセンサカメラ８が設置される回転機構７からなる基板検査部及び機能部１００を備えている。
【００１６】
フリーローラ２は、図１に示すように、検査対象となるガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸方向）に対して直交する方向（図中Ｙ軸方向）に沿って複数配置されている。
【００１７】
搬送駆動部３は、ガラス基板Ｂgの搬送方向（図１のＸ軸方向）に直交する方向に沿った一方の側縁でガラス基板Ｂgを吸着して保持しながら、搬送方向に沿って同じ高さで並べられた複数のフリーローラ２の上を搬送（ローラ搬送）する。ここで、フリーローラ２は、ガラス基板Ｂgの搬送方向と直交する方向（図１のＺ軸方向）に平行な軸を中心として回転自在である。そして、搬送駆動部３は、ラインセンサカメラ８によるライン照明光のガラス基板Ｂgからの正反射光又は反射光の撮像タイミングを一定とするため、ガラス基板Ｂgを一定の速度で搬送する。なお、搬送駆動部３は、ガラス基板Ｂgの搬送方向と直交する方向に沿った両側縁でガラス基板Ｂgを吸着して保持してもよいし、ガラス基板Ｂgの搬送方向と直交する方向の中央部でガラス基板Ｂgを吸着して保持してもよい。また、搬送駆動部３は、ガラス基板Ｂgの所定位置を把持しながらガラス基板Ｂgを搬送してもよい。また、ガラス基板Ｂgを下方から吹き付けられる加圧空気によって浮上させた状態で、駆動搬送部３がガラス基板Ｂgを保持または把持しながら搬送（浮上搬送）するようにしてもよい。
【００１８】
ライン照明４は、図１に示すように、ガラス基板Ｂgの上方にガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸方向）と直交する方向（図中Ｙ軸方向）に沿って板面と平行に配置され、ガラス基板Ｂg上の照射位置ＰLへ鉛直上方の斜め方向に傾斜した位置からライン照明光を照射する。
【００１９】
第１ミラー５は、図１に示すように、ガラス基板Ｂgの表面において入射角（θ）と等しい反射角（θ1）を有する正反射光（干渉光）をラインセンサカメラ８へ向けて反射する。第２ミラー６は、ガラス基板Ｂgの表面において入射角（θ）と異なる反射角（θ2）を有する反射光（回折光）を、図中点線で示す位置のラインセンサカメラ８へ向けて反射する。以下、正反射光のうち、ガラス基板Ｂgにおける正反射光を基板反射光ＲRBと呼び、第１ミラー５における正反射光を鏡反射光ＲRMと呼ぶ。また、反射光のうち、ガラス基板Ｂgにおける反射光を基板反射光ＲBと呼び、第１ミラー５における反射光を鏡反射光ＲMと呼ぶ。
【００２０】
ラインセンサカメラ８は、ライン照明４が出射したライン照明光のガラス基板Ｂgからの鏡反射光ＲRM（正反射光）又は鏡反射光ＲM（反射光）を撮像する撮像手段であり、図１に示すように、本体８ａと、本体８ａに取り付けた所定焦点距離の結像レンズ８ｂとを有している。ラインセンサカメラ８は、撮像したラインごとの鏡反射光ＲRM又は鏡反射光ＲMを取り込み、画像データ信号に変換する。ラインセンサカメラ８の本体８ａは、鏡反射光ＲRM及び鏡反射光ＲMの交点を回転中心７ａとする移動手段としての回転機構７に設置されている。このとき、ラインセンサカメラ８は、ガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置に設置する。また、回転機構７の回転中心７ａは、鏡反射光ＲRMと鏡反射光ＲMとの交点に設置する。
【００２１】
なお、ガラス基板Ｂgからの正反射光を撮像する場合は、鏡反射光ＲRMの光路ＬRMに干渉フィルタ９を挿入する。一方、反射光を撮像する場合には、挿入した干渉フィルタ９を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMから引き抜く。
【００２２】
機能部１００は、図１に示すように、基板検査装置１全体の動作を制御する制御部１０１と、ユーザが各種設定や指示を入力する入力部１０２と、各種プログラムやパラメータ、ならびに、取得された画像データ等を適宜記憶する記憶部１０３と、取得又は記憶された画像や各種情報を表示する表示部１０４と、搬送駆動部３によって搬送されるガラス基板Ｂgの搬送位置をリアルタイムに検出する基板位置検出部１０５と、を備えている。
【００２３】
また、基板検査装置１は、図１に示すように、回転機構７を回転駆動させる回転駆動部１０６と、鏡反射光ＲRMの光路ＬRM上への干渉フィルタ９の抜き差しを行なうフィルタ挿脱部１０７と、ラインセンサカメラ８から転送される画像データ信号を処理することによってガラス基板Ｂg上に形成されたパターンの状態を検出する画像処理部１０８と、を備えている。
【００２４】
以上のように構成される基板検査装置１によって基板を検査する際は、先ず、搬送駆動部３の搬入位置にガラス基板Ｂgを載置する。この場合、ガラス基板Ｂgは、例えば、搬送用ロボットで搬入位置まで搬送する。
【００２５】
続けて、作業員が入力部１０２から正反射光による検査か反射光による検査かに関する検査条件を設定する。例えば、検査条件を正反射光による検査に設定すると、制御部１０１が搬送駆動部３にガラス基板Ｂgの搬送方向（図１のＸ軸正の方向）への搬送を指示する制御信号を出力し、フィルタ挿脱部１０７が鏡反射光ＲRMの光路ＬRM上へ干渉フィルタ９を挿入する。また、回転駆動部１０６が回転中心７ａを中心として回転機構７を駆動し、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMへ移動させる。このようにして正反射光による検査条件の設定が終了すると、基板検査装置１では、搬送駆動部３によるガラス基板Ｂgの搬送方向（図１のＸ軸正の方向）に沿った搬送と、ラインセンサカメラ８によるガラス基板Ｂgからの正反射光の撮像が開始される。
【００２６】
図２は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した正反射光の反射経路を示す概略構成図である。基板検査装置１では、図２に示すように、ライン照明４が出射し、照射位置ＰLでガラス基板Ｂgから反射した正反射光である基板反射光ＲRBが第１ミラー５で反射される。その後、干渉フィルタ９を透過した透過光は、鏡反射光ＲRMとしてラインセンサカメラ８によって撮像され、画像データ信号に変換される。そして、搬送駆動部３によるガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸正の方向）への移動によってライン照明光によるガラス基板Ｂg全体の走査が終了すると、画像データ信号に基づくガラス基板Ｂgの画像が表示部１０４に表示されると共に、画像データ信号が画像処理部１０８へ転送され、干渉光によるガラス基板Ｂgの膜厚ムラ等の欠陥が検出される。
【００２７】
このようにして、正反射光による検査が終了した後、反射光による検査に検査条件の設定を変更する。すると、基板検査装置１では、先ず、搬送駆動部１０５が搬送駆動部３に正反射光の場合とは逆方向（図１のＸ軸負の方向）へのガラス基板Ｂgの搬送を指示する制御信号を出力し、フィルタ挿脱部１０７が鏡反射光ＲRMの光路ＬRMから干渉フィルタ９を引き抜く。また、回転駆動部１０６が回転中心７ａを中心として回転機構７を回転駆動し、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMから鏡反射光ＲMの光路ＬMへ移動させる。
【００２８】
反射光による検査条件の設定が終了すると、基板検査装置１では、搬送駆動部３が、正反射光による検査の場合とは逆方向（図１のＸ軸負の方向）にガラス基板Ｂgを搬送し、ラインセンサカメラ８によるガラス基板Ｂgからの反射光の撮像が開始される。
【００２９】
図３は、ライン照明が出射し、照射位置でガラス基板から反射した反射光の反射経路を示す概略構成図である。基板検査装置１では、図３に示すように、ライン照明４が出射し、照射位置ＰLでガラス基板Ｂg上のパターンによる回折に起因する反射光である基板反射光ＲBが第２ミラー６で反射され、鏡反射光ＲMとしてラインセンサカメラ８によって撮像された後、画像データ信号に変換される。そして、搬送駆動部３によるガラス基板Ｂgの搬送方向（図中Ｘ軸負の方向）への移動によってライン照明光によるガラス基板Ｂg全体の走査が終了すると、画像データ信号に基づくガラス基板Ｂgの画像が表示部１０４に表示されると共に、画像データ信号が画像処理部１０８へ転送され、回折光によるガラス基板Ｂgの異物や傷等の欠陥が検出される。
【００３０】
このとき、ガラス基板Ｂgは、基板位置検出部１０５によって搬送位置がリアルタイムに検出され、制御部１０１の制御のもとで搬送駆動部３によって一定の速度で搬送される。このため、基板検査装置１は、ラインセンサカメラ８による撮像タイミングが一定に保持される。
【００３１】
基板検査装置１は、回転中心７ａを中心として回転機構７が回転することによって、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路ＬRMと鏡反射光ＲMの光路ＬMとの間を移動させ、第１ミラー５がガラス基板Ｂgで反射した基板反射光ＲRBをラインセンサカメラ８へ反射すると共に、第１ミラー５と異なる位置に配置される第２ミラー６が基板反射光ＲBをラインセンサカメラ８へ反射する。このため、基板検査装置１は、第１ミラー５や第２ミラー６を使用しない従来の基板検査装置に比べてラインセンサカメラ８をガラス基板Ｂgの近くに配置することができる。
【００３２】
この結果、基板検査装置１は、回転機構７の回転中心７ａを中心とするラインセンサカメラ８の回転移動における円弧の半径及び円弧に沿った移動長さを従来の基板検査装置に比べて短縮することができるので、回転機構７によるラインセンサカメラ８の回転移動及び停止の際の位置決め精度に優れている。また、ラインセンサカメラ８は、従来の基板検査装置に比べて回転中心７ａを中心とする短い半径の円弧上を回転機構７によって回転移動されるので、基回転機構７の構造が簡単になり、基板検査装置１を小型化することができる。また、ラインセンサカメラ８の回転移動に要する時間が低減されるので、検査時間を短縮することができる。
【００３３】
なお、ガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置であれば、ラインセンサカメラ８は、回転機構７の回転中心７ａの直上に設けてもよく、或いは鏡反射光ＲRM及び鏡反射光ＲMの進行方向に対して回転中心７ａの前方に設けてもよい。
【００３４】
（変形例１）
上記実施の形態は、回転中心７ａを中心としてラインセンサカメラ８を回転機構７によって回転移動させた。これに対し、ラインセンサカメラ８は、回転せずに移動しても良い。図４は、変形例１に係る基板検査装置１の概略構成をラインセンサカメラ８の移動手段と共に示す概略構成図である。尚、以下の説明においては、実施の形態の基板検査装置１と同一の構成要素には同一の符号を使用している。
【００３５】
第１ミラー５及び第２ミラー６は、図４に示すように、鏡反射光ＲRMと鏡反射光ＲMとが互いに平行となるように、上下方向に近接した位置に配置されている。また、ラインセンサカメラ８は、干渉フィルタ９と共に移動手段としての直線駆動機構１０に設け、直線駆動機構１０上のガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置に設置する。直線駆動機構１０は、図中に矢印Ａ1で示すように、鏡反射光ＲRM及び鏡反射光ＲMに対して傾斜した方向へラインセンサカメラ８を平行移動させる。
【００３６】
これにより、直線駆動機構１０は、ラインセンサカメラ８を鏡反射光ＲRMの光路と鏡反射光ＲMの光路との間で平行移動させることができるので、正反射光による検査か反射光による検査かの検査条件に応じてラインセンサカメラ８の位置を切り替え移動し、ガラス基板Ｂgを検査条件に応じて検査することができる。
【００３７】
従って、変形例１に係る基板検査装置１においても、第１ミラー５や第２ミラー６を使用しない場合に比べてラインセンサカメラ８をガラス基板Ｂgの近くに配置することができ、従来の基板検査装置に比べて、短い距離を直線駆動機構１０によってラインセンサカメラ８を平行移動させるだけであるので、ラインセンサカメラ８の移動及び停止の際の位置決め精度に優れている。また、ラインセンサカメラ８は、直線駆動機構１０によって平行移動するので、直線駆動機構１０の構造が簡単になり、基板検査装置１を小型化することができる。
【００３８】
（変形例２）
また、ラインセンサカメラ８は、回転と移動とを組み合わせて移動させても良い。図５は、変形例２に係る基板検査装置１の概略構成をラインセンサカメラ８の移動手段と共に示す概略構成図である。
【００３９】
変形例２に係る基板検査装置１では、ラインセンサカメラ８は、ガラス基板Ｂg上のライン照明光の照射位置ＰLからそれぞれ第１ミラー５及び第２ミラー６を通ってラインセンサカメラ８へ至る反射光の光路長が等しくなる位置に設置する。このとき、ラインセンサカメラ８は、移動手段としての移動機構１１に干渉フィルタ９と共に設ける。
【００４０】
移動機構１１は、図５に示すように、支持台１１ａと、支持台１１ａの回転中心１１ｂと、鏡反射光ＲRMの光路ＬRM及び鏡反射光ＲMの光路ＬM上を第１ミラー５及び第２ミラー６に向かって支持台１１ａを前進又は後退させる直線駆動機構（図示せず）と、支持台１１ａを回転中心１１ｂを中心として鏡反射光ＲRMの光路ＬRMと鏡反射光ＲMの光路ＬMとの間で回転移動させる回転機構（図示せず）とを備えている。
【００４１】
従って、変形例２に係る基板検査装置１では、正反射光による検査か反射光による検査かの検査条件に応じてラインセンサカメラ８の位置を切り替え移動し、ガラス基板Ｂgを検査条件に応じて検査することができる。
【００４２】
例えば、正反射光によるガラス基板Ｂgの検査から、反射光によるガラス基板Ｂgの検査に切り替える場合、移動機構１１は、図５に矢印Ａ2で示すように、前記直線駆動機構によって干渉フィルタ９と共にラインセンサカメラ８を前進させた後、矢印Ａ3で示すように、回転中心１１ｂの中心を回転中心として支持台１１ａを鏡反射光ＲMの光路ＬM上へ回転移動させる。これにより、ラインセンサカメラ８が鏡反射光ＲMの光路ＬMに配置され、ガラス基板Ｂgを反射光によって検査することができる。また、移動機構１１によってラインセンサカメラ８を以上の説明と逆方向に移動させると、ラインセンサカメラ８が鏡反射光ＲRMの光路ＬRMに配置され、ガラス基板Ｂgを正反射光によって検査することができる。このように、ラインセンサカメラ８は、移動機構１１による平行移動と回転移動とを組み合わせることで、ガラス基板Ｂgの正反射光による検査と反射光による検査とに任意に切り替えて使用することができる。
【００４３】
従って、変形例２に係る基板検査装置１においても、第１ミラー５や第２ミラー６を使用しない場合に比べてラインセンサカメラ８をガラス基板Ｂgの近くに配置することができ、移動機構１１によるラインセンサカメラ８を設置した支持台１１ａの回転中心１１ｂを中心とする回転移動における円弧の半径及び円弧に沿った長さを従来の基板検査装置に比べて短縮することができる。このため、変形例２に係る基板検査装置１は、移動機構１１によるラインセンサカメラ８の回転移動及び停止の際の位置決め精度に優れている。また、ラインセンサカメラ８は、回転中心１１ｂの中心を回転中心とする従来の基板検査装置に比べて短い半径上を移動機構１１によって回転移動されるので、移動機構１１の構造が簡単になり、基板検査装置１を小型化することができる。
【００４４】
尚、上記全ての実施例及び変形例において、基板検査部は、基板搬送ステージを跨ぐように設けられる図示しない支持フレームによって支持される。この支持フレームは、例えば門型のフレーム（以下、ガントリーフレーム）であり、フレームの水平部にラインセンサカメラ８と回転機構７を設置すればよい。また、第１ミラー５、第２ミラー６も、ガントリーフレームから水平に延設されたフレーム部に固定されるように構成すればよい。或いは、ラインセンサカメラ８と回転機構７を支持するガントリーフレームとは別に、ガントリーフレームや一対の支柱を設け、第１ミラー５、第２ミラー６を一体的に支持するように構成してもよい。或いは、ラインセンサカメラ８と回転機構７を支持するガントリーフレームと、このガントリフレームから水平に延設されたフレーム部に第１ミラー５を設置し、このガントリーフレームとは別に設けられた支持手段によって第２ミラー６を支持するように構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
以上のように、本発明の基板検査装置は、撮像手段の移動及び停止の際の位置決め精度を高めるのに有用である。
【符号の説明】
【００４６】
１ 基板検査装置
２ フリーローラ
３ 搬送駆動部
４ ライン照明
５ 第１ミラー
６ 第２ミラー
７ 回転機構
７ａ 回転中心
８ ラインセンサカメラ
８ａ 本体
８ｂ 結像レンズ
９ 干渉フィルタ
１０ 直線駆動機構
１１ 移動機構
１１ａ 支持台
１１ｂ 回転中心
１０１ 制御部
１０２ 入力部
１０３ 記憶部
１０４ 表示部
１０５ 基板位置検出部
１０６ 回転駆動部
１０７ フィルタ挿脱部
１０８ 画像処理部
Ｂg ガラス基板
ＰL 照射位置
ＲRB，ＲB 基板反射光
ＲRM，ＲM 鏡反射光
θ 入射角
θ1，θ2 出射角
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の基板にライン照明光を照射するライン照明手段と、
前記ライン照明光の前記基板からの反射光を撮像する撮像手段と、
を備え、前記反射光を撮像した画像をもとに前記基板表面の状態を検査する基板検査装置において、
互いに異なる位置に配置され、前記基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光を前記撮像手段へそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
前記基板から前記複数の反射鏡を経由して前記撮像手段に至るまでの光路長を等しく保持しながら、前記撮像手段を移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記複数の反射鏡でそれぞれ反射する光の複数の光路は、１つの交点を有し、
前記移動手段は、前記交点を通過し、前記複数の光路と直交する軸を回転中心として前記撮像手段を回転移動させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記複数の反射鏡でそれぞれ反射する光の複数の光路は、互いに平行であり、
前記移動手段は、前記複数の光路の間で前記撮像手段を平行移動させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項１】
検査対象の基板にライン照明光を照射するライン照明手段と、
前記ライン照明光の前記基板からの反射光を撮像する撮像手段と、
を備え、前記反射光を撮像した画像をもとに前記基板表面の状態を検査する基板検査装置において、
互いに異なる位置に配置され、前記基板で互いに異なる方向へ反射した複数の反射光を前記撮像手段へそれぞれ反射する複数の反射鏡と、
前記基板から前記複数の反射鏡を経由して前記撮像手段に至るまでの光路長を等しく保持しながら、前記撮像手段を移動させる移動手段と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記複数の反射鏡でそれぞれ反射する光の複数の光路は、１つの交点を有し、
前記移動手段は、前記交点を通過し、前記複数の光路と直交する軸を回転中心として前記撮像手段を回転移動させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記複数の反射鏡でそれぞれ反射する光の複数の光路は、互いに平行であり、
前記移動手段は、前記複数の光路の間で前記撮像手段を平行移動させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１２−１１２６７８（Ｐ２０１２−１１２６７８Ａ）
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５９４２８（Ｐ２０１０−２５９４２８）
【出願日】平成２２年１１月１９日（２０１０．１１．１９）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月１９日（２０１０．１１．１９）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]