説明

後面波長ロッカーの同調および組立方法

経年変化によるレーザの1つのビームの波長ドリフトをモニタする複数の波長ロッカーが、その様々な複数の光学構成要素間の複数の製造位置合わせ不良を調整するために同調可能である。同調は、1つのフレクシャを使用して1つのコリメーティング・レンズの位置を調整することによって達成される。レンズ位置の調整は、固定された1つのフィルタと1つの検出器に対して、1つのモニタされたビームの入射角を変更し、同一の結果を実現するためにフィルタと検出器を回転させる困難な製造作業を回避する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の複数の実施形態は複数の波長ロッカーに関し、さらに詳細には、複数の波長ロッカーを同調させるための複数の装置および方法に関する。
【背景技術】
【0002】
波長分割多重方式(WDM)は、データの多重チャネルを同一の光ファイバ上で同時に伝送するために使用する1つの技術である。1つのトランスミッタ端では、異なる複数のデータ・チャネルが、それぞれのチャネルごとに、異なる複数の波長、もしくは色、を有する光を使用して変調される。ファイバは、このような様態で多重チャネルを同時に搬送し得る。1つの受信端では、これらの多重チャネルは、復調前に、複数の適切な波長フィルタリング技術を使用して容易に分離される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
1本のファイバ上でさらに大量のデータを伝送する必要性は、いわゆる高密度波長多重方式(DWDM)をもたらした。DWDMは、追加的な複数のチャネルを1つの所与の帯域幅間隔に詰め込むものである。複数のDWDMシステムにおける複数の隣接チャネル間の得られるより狭い間隔設定は、複数の伝送レーザ・ダイオードからの精密な波長精度を必要とする。
【0004】
残念ながら、複数のレーザ・ダイオードが経年変化するにつれて、これらのレーザ・ダイオードは、約15年の期間が経過すると、それらの設定周波数から0.15nmに達する1つの波長ドリフトを呈することが知られている。1つのDWDMシステムでは、この波長ドリフトは、1つの所与のチャネルがドリフトして複数の隣接チャネルと干渉し、クロストークを引き起こすので受容できない。したがって、ほとんどの複数のレーザ・トランスミッタは、設定周波数に対するドリフト周波数を測定するために、当業では一般に1つの波長ロッカーと呼ばれるものを使用する。この情報は、レーザ・ダイオードの温度または駆動電流などの様々な複数のパラメータを調整して、経年変化の複数の影響を補正しかつレーザ・ダイオードがその設定周波数での動作を維持し得るように、1つのコントローラにフィードバック可能である。1つの一体型波長ロッカーを備えるほとんどの複数のレーザ・トランスミッタは、1つのエタロンまたは薄膜フィルタを使用してレーザの波長変動を測定する。正確に機能するために、このロッカーは、モニタされている平行ビームとの精密な位置合わせによって同調されることが重要である。1つの典型的な波長ロッカーは、+/−0.5度以内よりも適正な、エタロンと平行ビームの1つの配置精度を必要とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【0005】
全図を通じて複数の同様の参照符号は複数の同様の要素を示す。
【0006】
ここで、これらの図面、さらに具体的には図1を参照すると、本発明の一実施形態が、1つの位置決めフロア4を有する1つの準平面基板2を備える1つの波長ロッカー・パッケージを示す。第1および第2検出器10および12が、それぞれにフロア4に装着されている。1つのレーザ14が、1つの設定周波数または波長を中心にして位置決めされた1つのレーザ・ビームを生成する。レーザ14は、1つの前面16と1つの後面18の両方から1つの光ビームを発する。データ・チャネルを搬送する実際の変調光は、1本の光ファイバ20に結合されている前面16から抜け出る。後面18から抜け出るビーム22は、複数のモニタリング用途に使用される。1つのレンズ28(1つの屈折率分布型(GRIN)レンズなど)を使用してビーム22を平行にする。
【0007】
これらの複数の構成要素は、精密な位置合わせを必要とし、したがって様々な複数のデバイスを位置決めフロア4に実際に装着する製造時に多くの難問を提起する。このような複数の高性能光電子パッケージでは、複数の臨界的な光学要素は、フロア高さ制御と2次元ピック・アンド・プレースの組合せによって実現可能なものよりも厳密な取付けを必要とする。
【0008】
したがって図示のように、ファイバ20は、僅かな量の垂直調整を可能にする1つの小型フレクシャ30を使用して取り付けられる。一実施形態では、このフレクシャ30は、エッチングまたはスタンピングされ、次いで1つのプレス機で曲げられた薄いばね鋼から作製される。フレクシャ30は、基板表面または位置決めフロア4上に位置する2本以上の脚32を備え得る。一実施形態では、これらの脚はファイバ20を支持するかまたは固締する1つのブリッジ34によって接合される。ブリッジ34がy方向に平行移動されるとき、複数の対向する脚32は複数の対向するx方向に弾性的に撓む。
【0009】
フレクシャ30は、その自然の状態すなわち非撓み状態では、ブリッジに装着された光学構成要素の光軸がパッケージの光学平面の僅かに上方に位置するように設計可能である。高さの最終調整は、フレクシャ30に圧力を印加し、それによってブリッジ34の高さを下げることによって実現される。基板平面に対して平行な平面内でフレクシャ30を引きずることによって、その水平方向の位置を修正することができる。適切な位置合わせが達成されると、これらの脚32はフロア4または基板2に恒久的に装着される。この装着は、例えば、レーザ溶接、はんだ付け、または接着剤による接合でよい。
【0010】
フレクシャ設計の別の1改良では、フレクシャ30が2本よりも多い脚を有する。第1対の複数の脚は、大まかな光学的位置合わせの後でフレームに装着される。次いで、このフレクシャは、2本の第1脚の装着後に残存する可撓性を使用して、再び精密に位置合わせされる。最適な位置が達成されると、残りの複数の脚が装着される。様々な複数のフレクシャ設計が、米国特許第6207950号および第6227724号に説明されている。
【0011】
さらに図1を参照すると、動作に際して、1つの平行ビーム22は、レンズ28から抜け出て、その後に、ビーム22を2本の追加的なビームに分割する1つのスプリッタ24に逢着する。第1ビームが、元のビーム22に対して垂直な1つの角度で反射されるのが示されている。この反射ビームは、1つのエタロン(フィルタ)26を通過し、次いで第1検出器10に当たる。第2ビームは、スプリッタ24を通過して直進し、第2検出器12に当たる。
【0012】
エタロン26を横切るビーム部分は、ビーム電力とビーム波長の両方の1つの関数である。スプリッタ24から第2検出器12へ直接通過するビーム部分は、ビーム電力の1つの関数である。したがって、これらの2つの成分を減算することによって、現時点で出力されているビームの波長を測定しかつ設定周波数と比較して、レーザの出力のドリフトをいずれも測定することができる。
【0013】
図2は、本発明の一実施形態に係る波長ロッカーの1つの単純化されたブロック図を示す。当業者には理解されるように、この種の波長ロッカーは、平行ビーム22との位置合わせに敏感であり、したがって数多くの問題を提起する。
1つのエタロン26の応答対エタロンに対するビーム入射角は次式となる。
【0014】
【数1】

【0015】
上式で、νはピーク伝送周波数偏移であり、νは直角入射におけるピーク周波数であり、θは空気中の入射角であり、さらにnはエタロンの屈折率である(例えば、融解石英では、1550nm付近でn=1.44である)。
【0016】
図2に示すように、角θが図示のように0度のとき、θが0の場合に上式の余弦除数が1であるので、ν=νである。点線31によって示すように、0度の1つの入射角からの偏位が少しでも生じると、エタロンの応答がずれ、したがって出力波形が偏移して位相がずれることになる。
【0017】
図3を参照すると、レーザ・ビームの周波数(すなわち、1/波長)に対する、検出器10および12からの電流(l1およびl2)出力をそれぞれプロットする1つのグラフが示してある。例示するように、検出器10からの出力(l1)は1つの周波数成分および1つの電力成分を含む。検出器12からの出力(l2)は、レーザの出力ビーム電力成分を含み、したがって1本の水平な線として例示されている。検出器10からの出力l1は、1つの電力成分と1つの波長成分の両方を含み、したがってy軸に沿って正の方向に偏移された波形として例示されている。
【0018】
動作に際して、この波長ロッカーは波長または周波数の変化をモニタする。しかし、図3に例示するように、これは、モニタされたチャネルが周波数波形の1つのピークまたは1つのトラフに達するとき、しばしば困難である。したがって、例えば、ITU(国際電気通信連合)チャネルAをモニタするとき、出力波形l1が1つのピークにある1つの点に入射角θがあるとき、傾きdl/dv=0であるのでモニタすることが困難である。よって、周波数をより正確にモニタするために、入射角θを同調させることが、波形の位相をl1からl1’に変更するのに望ましい。これによって、波長ロッカーは、dl/dvの僅かな複数の変化がより容易に検出可能でありかつ1つのより正確な読取りを提供する、波形の1つのより適切な部分33をモニタすることができる。
【0019】
しかし、図4に例示するように、入射角のきわめて僅かな変化しか保証されない。図4は、ビーム入射角に対する周波数偏移をプロットする1つのグラフを示す。入射角θが0度のとき、周波数偏移は0である。この実施例でさらに例示されているように、レーザ14によって現時点で出力されている測定波長は、入射角に対してきわめて敏感である。図示のように、1度未満の入射角の1つの偏移が、10GHzの1つの測定周波数偏移をもたらす。このようなずれは、平行ビームに対するエタロン26と検出器10の僅か2度ほどの1つの回転が50GHzを上回る大きさの1つの測定周波数偏移を引き起こすので、本質的に指数的である。当業者には明らかであるが、図3に示したように波形をl1からl1’へ偏移させるためには、入射角のほんの僅かな複数の変化で足りる。
【0020】
入射角θを変化させる1つの方法は、ビームに対してエタロン26と第1検出器10の回転を制御することによるものである。すなわち、製造工程時にこれらの要素を取り付けるとき、角度が0から望ましい角度まで正確に回転されるように(すなわち、スプリッタ24から反射されたビーム部分がエタロン26および検出器10に対して直角から僅かに回転されるように)、それらを確実に位置決めするように注意を払わねばならない。しかし、実際には、これはしばしば実現するのが難しく、様々な複数の構成要素が基板に対して定位置に固定された後で、複数の波長ロッカー構成要素の精密な同調が一部必要である。
【0021】
本発明の一実施形態によれば、波長ロッカーの精密な同調は、検出器10およびエタロン26の回転ではなく、単にフレクシャ36の位置、したがってレンズ28の位置を調整することだけによって(すなわち、xおよび/またはy方向に)実現可能であることが判明した。すなわち、基板2に対してレンズ28を上下にまたは横方向に平行移動させることは、スプリッタ24から反射されたビームに対して検出器10およびエタロン26を回転するのと同じ効果を有し、したがって入射角を変化させる。しかし、追加的な複数の機械加工構成要素が必要になる検出器とエタロンの回転とは異なり、入射角の精密同調は、フレクシャを結合するために既に開発されている複数の機械を使用することによって実現可能である。
【0022】
図1、4、または5のいずれかを再び参照すると、本発明の一実施形態では、xまたはy方向におけるレンズの容易な調整を可能にする1つのレンズ取付け台36が使用されている。一実施形態では、レンズ取付け台が1つのフレクシャ36を備える。ちょうどファイバ20を取り付けるために使用される第1フレクシャ30と同様に、1つのレンズ・フレクシャ36を使用してレンズ28を基板2に対して取り付ける。
【0023】
図5は、レンズ28の中を眺める1つの前面図を示す。上述のように、レンズ・フレクシャ36は、それに取り付けたレンズ28の光軸が、パッケージの光学平面の僅かに上方に位置するように設計可能である。高さの最終的な調整は、フレクシャ36に圧力を印加し、したがってレンズ28の高さを下げることによって実現される。レンズ28の水平方向の位置決めは、フレクシャの複数の脚38を複数のx方向に平行移動させることによって実現される。適切な位置合わせが達成されるとき、これらの脚38はフロアまたは基板2(図5では図示せず)に恒久的に装着される。この場合では、スプリッタ24から反射されたビームとエタロン26および検出器10との間の入射角θが、図3に例示したように1つの望ましい位置まで偏移されるとき、位置合わせが達成される。この装着は、例えば、レーザ溶接、はんだ付け、接着剤による接合、または他の任意適切な方法によるものでよい。
【0024】
本発明の複数の実施形態が、本明細書に具体的に例示されかつ/または説明されている。しかし、本発明の複数の修正および複数の変形は、本発明の趣旨および意図された範囲から逸脱することなく、以上の複数の教示によってかつ添付の特許請求の範囲内において網羅されるものであることが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【0025】
【図1】本発明の一実施形態に係る1つの波長ロッカーの1平面図である。
【図2】図1の波長ロッカーの1つの単純化した図を示す1ブロック図である。
【図3】周波数に対する複数の波長ロッカー検出器からの出力電流をプロットする1つのグラフである。
【図4】ピーク伝送周波数対エタロンに対するビーム入射角を示す1つのグラフである。
【図5】1つのコリメーティング・レンズの高さを調整するために使用される1つのフレクシャを示す1ブロック図である。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
1つの波長ロッカーであって、
1つのモニタされたビームを検出するための1つの第1検出器と、
前記第1検出器からオフセットした、前記モニタされたビームを検出する1つの第2検出器と、
1つのレンズと、
前記モニタされたビームと前記第1検出器の間の1つの入射角を変更するために、前記モニタされたビームの1本の光軸に対して、xおよびy方向の少なくとも一方に前記レンズを平行移動させるための1つのレンズ取付け台と、
を備える、波長ロッカー。
【請求項2】
前記レンズ取付け台が1つのフレクシャである、請求項1に記載の波長ロッカー。
【請求項3】
前記フレクシャが1つのブリッジによって連結された少なくとも1対の複数の脚を備える、請求項2に記載の波長ロッカー。
【請求項4】
前記脚が弾性的である、請求項3に記載の波長ロッカー。
【請求項5】
前記光学装置が、
前記レンズからの1つの平行ビームを1つの第1ビームと1つの第2ビームとに分割するための1つのスプリッタと、
前記第1ビームをフィルタリングするための1つのフィルタと、
前記フィルタリングされた第1ビームを受けるための前記第1検出器と、
前記第2ビームを受けるための前記第2検出器と、
をさらに備え、
前記第1ビームと前記フィルタおよび前記第1検出器との間の前記入射角が、xおよびy方向の少なくとも一方における前記レンズの1つの位置の1つの関数である、
請求項1に記載の光学装置。
【請求項6】
1つの波長ロッカー装置であって、
1つのビームを平行にするための1つのレンズと、
前記平行ビームを1つの第1ビームと1つの第2ビームとに分割するための1つのスプリッタと、
前記第1ビームをフィルタリングするための1つのフィルタと、
前記フィルタリングされた第1ビームを受けるための1つの第1検出器と、
前記第2ビームを受けるための1つの第2検出器と、
前記第1ビームと前記第1検出器の間の1つの入射角を変更するように前記レンズの1つの位置を調整するための1つの調整可能なレンズ取付け台と、
を備える、波長ロッカー装置。
【請求項7】
前記調整可能なレンズ取付け台が1つのフレクシャを備える、請求項6に記載の波長ロッカー装置。
【請求項8】
前記フレクシャが、1つのブリッジによって連結された少なくとも1対の複数の脚を備える、請求項7に記載の波長ロッカー。
【請求項9】
前記脚が弾性的である、請求項8に記載の波長ロッカー。
【請求項10】
前記脚をx方向で固定することによって、前記レンズがy方向で固定される、請求項9に記載の波長ロッカー。
【請求項11】
1つの波長ロッカーを同調させる1つの方法であって、
複数の光学構成要素を1つの表面上に取り付ける段階と、
1つのビームと前記複数の光学構成要素の少なくとも1つとの間の1つの入射角を変更するために、1つのレンズの1つの位置を前記表面に対して調整する段階と、
を備える、1つの波長ロッカーを同調させる方法。
【請求項12】
前記方法が、1つの望ましい入射角が実現されるとき、前記レンズを定位置にロックする段階を更に備える、請求項11に記載の1つの波長ロッカーを同調させる方法。
【請求項13】
1つの光学装置を同調させる1つの方法であって、
1つのレンズによって1つのビームを平行にする段階と、
前記平行ビームを1つの第1ビームと1つの第2ビームとに分割する段階と、
前記第1ビームをフィルタリングする段階と、
1つの第1検出器によって前記フィルタリングされた第1ビームを受ける段階と、
1つの第2検出器によって前記第2ビームを受ける段階と、
前記第1ビームと前記第1検出器の間の前記入射角を変更するために、前記レンズの1つの垂直位置および1つの水平位置の少なくとも一方を調整する段階と、
を備える、1つの光学装置を同調させる方法。
【請求項14】
前記レンズを1つのフレクシャの上に配置する段階を更に備える、請求項13に記載の1つの光学装置を同調させる方法。
【請求項15】
1つ望ましい入射角が実現されるとき、前記フレクシャを定位置にロックする段階を更に備える、請求項14に記載の1つの光学装置を同調させる方法。
【請求項16】
前記ロックする段階が、前記フレクシャを定位置に溶接する段階、はんだ付けする段階、および接着剤で接合する段階の1つを含む、請求項15に記載の1つの光学装置を同調させる方法。
【請求項17】
1つの波長ロッカーであって、
1つの第1軸と位置合わせされた1つの表面に固定された1つの第1検出器と、
前記第1軸と1つの実質的に垂直な軸の間で1つのビームを分割するための1つのスプリッタと、
前記垂直な軸と実質的に位置合わせされた前記表面に固定した1つの第2検出器と同一直線上の1つのフィルタと、
前記ビームと前記フィルタおよび前記第2検出器との間の1つの入射角を調整するために、前記第1軸に沿って調整可能な1つのレンズと、
を備える波長ロッカー。
【請求項18】
前記波長ロッカーが、前記レンズを前記表面に取り付けるための1つのフレクシャをさらに備え、前記フレクシャが前記表面に対してxおよびy方向に移動可能である、請求項17に記載の波長ロッカー。
【請求項19】
前記フレクシャが、1つの望ましい入射角が実現されるときに定位置にロックされる、請求項18に記載の波長ロッカー。
【請求項20】
前記フレクシャが、1つの溶接、1つのはんだ付け、および1つの接着剤のうちの1つによって定位置にロックされる、請求項19に記載の波長ロッカー。
【請求項21】
1つの波長ロッカーであって、
1つのモニタされたビームの1つの第1部分を受けるように位置決めされた1つの第1検出器と、
前記モニタされたビームの1つの第2部分を受けるように位置決めされた1つの第2検出器と、
1つのレンズと、
前記モニタされたビームの前記第1位置と前記検出器の間の1つの入射角を変更するために、xおよびy方向の少なくとも一方に前記レンズを平行移動させるための1つのレンズ取付け台と、
を備える、波長ロッカー。
【請求項22】
前記レンズ取付け台が1つのフレクシャである、請求項21に記載の波長ロッカー。
【請求項23】
前記フレクシャが、1つのブリッジによって連結された少なくとも1対の複数の脚を備える、請求項22に記載の波長ロッカー。
【請求項24】
前記脚が弾性的である、請求項23に記載の波長ロッカー。
【請求項25】
前記光学装置が、
前記レンズからの前記モニタされたビームを前記モニタされたビームの前記第1部分と前記モニタされたビームの前記第2部分とに分割するように位置決めされた1つのスプリッタと、
前記モニタされたビームの前記第1部分をフィルタリングするための1つのフィルタと、
をさらに備える、請求項21に記載の光学装置。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
波長ロッカーであって、
モニタされビームを検出するための第1検出器と、
前記第1検出器からオフセットした、前記モニタされビームを検出する第2検出器と、
レンズと、
前記モニタされビームと前記第1検出器の間の入射角を変更するために、前記モニタされビームの光軸に対して、xおよびy方向の少なくとも一方に前記レンズを平行移動させるためのレンズ取付け台と、
を備える、波長ロッカー。
【請求項2】
前記レンズ取付け台がフレクシャである、請求項1に記載の波長ロッカー。
【請求項3】
前記フレクシャがブリッジによって連結された少なくとも1対の複数の脚を備える、請求項2に記載の波長ロッカー。
【請求項4】
前記脚が弾性的である、請求項3に記載の波長ロッカー。
【請求項5】
前記複数の脚が、x方向およびy方向の少なくとも一方に平行移動することにより、前記レンズの水平方向の位置を調整し、
前記フレクシャは、圧力を印加することにより前記レンズの垂直調整を可能にする
請求項3に記載の波長ロッカー。
【請求項6】
前記レンズからの平行ビームを第1ビームと第2ビームとに分割するためのスプリッタと、
前記第1ビームをフィルタリングするためのフィルタとを更に備え、
前記第1検出器は、前記フィルタリングされた第1ビームを受け、
前記第2検出器は、前記第2ビームを受け、
前記第1ビームと前記フィルタおよび前記第1検出器との間の前記入射角が、xおよびy方向の少なくとも一方における前記レンズの位置の関数である、
請求項1に記載の波長ロッカー。
【請求項7】
前記第1検出器は、前記スプリッタで反射されて前記フィルタを通過した前記第1ビームを検出し、
前記第2検出器は、前記スプリッタを通過した前記第2ビームを検出する
請求項6に記載の波長ロッカー。
【請求項8】
波長ロッカー装置であって、
ビームを平行にするためのレンズと、
平行ビームを第1ビームと第2ビームとに分割するためのスプリッタと、
前記第1ビームをフィルタリングするためのフィルタと、
前記フィルタリングされた第1ビームを受けるための第1検出器と、
前記第2ビームを受けるための第2検出器と、
前記第1ビームと前記第1検出器の間の入射角を変更するように前記レンズの位置を調整するための調整可能なレンズ取付け台と、
を備える、波長ロッカー装置。
【請求項9】
前記調整可能なレンズ取付け台がフレクシャを備える、請求項8に記載の波長ロッカー装置。
【請求項10】
前記フレクシャが、ブリッジによって連結された少なくとも1対の複数の脚を備える、請求項9に記載の波長ロッカー装置
【請求項11】
前記脚が弾性的である、請求項10に記載の波長ロッカー装置
【請求項12】
前記脚をx方向で固定することによって、前記レンズがy方向で固定される、請求項11に記載の波長ロッカー装置
【請求項13】
波長ロッカーを同調させる方法であって、
複数の光学構成要素を表面上に取り付ける段階と、
ビームと前記複数の光学構成要素の少なくとも1つとの間の入射角を変更するために、レンズの位置を前記表面に対して調整する段階と、
を備える、波長ロッカーを同調させる方法。
【請求項14】
前記方法が、望ましい入射角が実現されるとき、前記レンズを定位置にロックする段階を更に備える、請求項13に記載の波長ロッカーを同調させる方法。
【請求項15】
光学装置を同調させる方法であって、
レンズによってビームを平行にする段階と、
平行ビームを第1ビームと第2ビームとに分割する段階と、
前記第1ビームをフィルタリングする段階と、
第1検出器によって前記フィルタリングされた第1ビームを受ける段階と、
第2検出器によって前記第2ビームを受ける段階と、
前記第1ビームと前記第1検出器の間の入射角を変更するために、前記レンズの垂直位置および水平位置の少なくとも一方を調整する段階と、
を備える、光学装置を同調させる方法。
【請求項16】
前記レンズをフレクシャの上に配置する段階を更に備える、請求項15に記載の光学装置を同調させる方法。
【請求項17】
望ましい入射角が実現されるとき、前記フレクシャを定位置にロックする段階を更に備える、請求項16に記載の光学装置を同調させる方法。
【請求項18】
前記フレクシャを定位置にロックする前記段階が、
前記フレクシャに圧力を印加し、前記フレクシャの高さを下げることによって前記ビームの光軸の高さを調整する段階と、
前記フレクシャを引きずることによって水平方向の位置を修正する段階とを有する
請求項17に記載の光学装置を同調させる方法。
【請求項19】
前記ロックする段階が、前記フレクシャを定位置に溶接する段階、はんだ付けする段階、および接着剤で接合する段階の1つを含む、請求項17に記載の光学装置を同調させる方法。
【請求項20】
波長ロッカーであって、
第1軸と位置合わせされた表面に固定された第1検出器と、
前記第1軸と実質的に垂直な軸の間でビームを分割するためのスプリッタと、
前記垂直な軸と実質的に位置合わせされた前記表面に固定した第2検出器と同一直線上のフィルタと、
前記ビームと前記フィルタおよび前記第2検出器との間の入射角を調整するために、前記第1軸に沿って調整可能なレンズと、
を備える波長ロッカー。
【請求項21】
前記波長ロッカーが、前記レンズを前記表面に取り付けるためのフレクシャをさらに備え、前記フレクシャが前記表面に対してxおよびy方向に移動可能である、請求項20に記載の波長ロッカー。
【請求項22】
前記フレクシャが、前記ビームの周波数をより正確にモニタするための望ましい入射角が実現されるときに定位置にロックされる、請求項21に記載の波長ロッカー。
【請求項23】
前記フレクシャが、溶接、はんだ付け、および接着剤のうちの1つによって定位置にロックされる、請求項22に記載の波長ロッカー。
【請求項24】
波長ロッカーであって、
モニタされビームの第1部分を受けるように位置決めされた第1検出器と、
前記モニタされビームの第2部分を受けるように位置決めされた第2検出器と、
レンズと、
前記モニタされビームの第1位置と前記検出器の間の入射角を変更するために、xおよびy方向の少なくとも一方に前記レンズを平行移動させるためのレンズ取付け台と、
を備える、波長ロッカー。
【請求項25】
前記レンズ取付け台がフレクシャである、請求項24に記載の波長ロッカー。
【請求項26】
前記フレクシャが、ブリッジによって連結された少なくとも1対の複数の脚を備える、請求項25に記載の波長ロッカー。
【請求項27】
前記脚が弾性的である、請求項26に記載の波長ロッカー。
【請求項28】
前記レンズからの前記モニタされビームを前記モニタされビームの前記第1部分と前記モニタされビームの前記第2部分とに分割するように位置決めされたスプリッタと、
前記モニタされビームの前記第1部分をフィルタリングするためのフィルタと、
をさらに備える、請求項24に記載の波長ロッカー

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【公表番号】特表2006−502571(P2006−502571A)
【公表日】平成18年1月19日(2006.1.19)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2004−541662(P2004−541662)
【出願日】平成15年10月2日(2003.10.2)
【国際出願番号】PCT/US2003/031388
【国際公開番号】WO2004/032295
【国際公開日】平成16年4月15日(2004.4.15)
【出願人】(591003943)インテル・コーポレーション (1,101)
【Fターム(参考)】