有機ガス処理装置
【課題】小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】紫外線を発生し、前記紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源と、内壁が前記光触媒の皮膜で覆われ且つ前記紫外線を透す筒状体であって、前記紫外線光源を囲うように前記紫外線光源の長手方向に沿って配置され、且つ前記長手方向に延在する軸を中心に自転する複数の有機ガス光分解部と、複数の前記有機ガス光分解部を直列に連結して、前記有機ガス光分解部の連結構造体を形成する複数の連結管と、前記連結構造体の一端に設けられ、前記有機ガスを含むガスが流入する第１の開口部と、前記連結構造体の他端に設けられ、前記ガスが流出する第２の開口部とを有すること。
【解決手段】紫外線を発生し、前記紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源と、内壁が前記光触媒の皮膜で覆われ且つ前記紫外線を透す筒状体であって、前記紫外線光源を囲うように前記紫外線光源の長手方向に沿って配置され、且つ前記長手方向に延在する軸を中心に自転する複数の有機ガス光分解部と、複数の前記有機ガス光分解部を直列に連結して、前記有機ガス光分解部の連結構造体を形成する複数の連結管と、前記連結構造体の一端に設けられ、前記有機ガスを含むガスが流入する第１の開口部と、前記連結構造体の他端に設けられ、前記ガスが流出する第２の開口部とを有すること。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ガス処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程では、種々の有機ガス（気化した有機物）が発生する。例えば、半導体基板の洗浄工程では、イソプロピルアルコールや酢酸ブチル等の洗浄液が気化して、有機ガスになる。また、フォトリソグラフィ工程では、半導体基板に塗布したフォトレジスト液から有機溶剤が気化して有機ガスになる。
【０００３】
これらの有機ガスは、清浄空気等の雰囲気ガスと共に、工場内に張り巡らされた排気ダクトに排気される。排気ダクトに排気された有機ガスは、雰囲気ガスと共に一箇所に集められて、有機溶剤無害化装置（半導体製造装置用の有機ガス処理装置）により無害化される。この有機溶剤無害化装置は、有機ガスを活性炭に吸着させて回収する装置である。
【０００４】
活性炭を用いる有機溶剤無害化装置は、吸着塔、脱着塔、及びコンデンサーを有する大型設備である。このため、有機溶剤無害化装置の設置面積は、１００ｍ２に迫る広い面積である。更に、この有機溶剤無害化装置の運転には、多大な労力が費やされている。
【０００５】
尚、悪臭の原因となる有機ガスを、光触媒の光分解作用を利用して分解する空気清浄装置が提案されている。しかし、このような空気清浄装置も広い設置面積を必要とし、且つその有機ガスの分解能力は必ずしも高くない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２３８１１５号公報
【特許文献２】特開２００７−３０７２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明の目的は、小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本装置の一観点によれば、紫外線を発生し、上記紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源と、内壁が上記光触媒の皮膜で覆われ且つ上記紫外線を透す筒状体であって、上記紫外線光源を囲うように上記紫外線光源の長手方向に沿って配置され、且つ上記長手方向に延在する軸を中心に自転する複数の有機ガス光分解部と、複数の上記有機ガス光分解部を直列に連結して、上記有機ガス光分解部の連結構造体を形成する複数の連結管と、上記連結構造体の一端に設けられ、上記有機ガスを含むガスが流入する第１の開口部と、上記連結構造体の他端に設けられ、上記ガスが流出する第２の開口部とを有する有機ガス処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本装置によれば、小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１の有機ガス処理装置の側面図である。
【図２】図１のII-II線における断面を矢印の方向から見た図である。
【図３】実施の形態１の有機ガス処理装置の連結構造体の斜視図である
【図４】第１の隔壁及びガス導入部を取り外して、有機ガス光分解ユニットの内部を、図１の矢印IVの方向から見た図である。
【図５】第２の隔壁及びガス排出部を取り外して、有機ガス光分解ユニットの内部を、図１の矢印Vの方向から見た図である。
【図６】実施の形態１の有機ガス処理装置の使用状態を説明する図である。
【図７】有機ガス光分解部の内壁を覆う光触媒皮膜の構造を説明する図である。
【図８】光触媒粒子をバインダーで基材に固定して形成した光触媒皮膜の構造を説明する図である。
【図９】実施の形態２の有機ガス光分解部の斜視図である。
【図１０】実施の形態３の有機ガス光分解部を形成する棒状部材の斜視図である。
【図１１】棒状部材を束ねて形成した有機ガス光分解部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。尚、図面が異なっても対応する部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００１２】
（実施の形態１）
本実施の形態は、光触媒による光分解作用を利用した、小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置に関する。
【００１３】
（１）構 成
図１は、本実施の形態の有機ガス処理装置２の側面図である。図２は、図１のII-II線における断面を矢印の方向から見た図である。
【００１４】
本有機ガス処理装置２は、図１に示すように、有機ガス光分解ユニット４と、回転ユニット９を有している。
【００１５】
（i）有機ガス光分解ユニット
有機ガス光分解ユニット４は、筒状の本体部７と、ガス導入部８と、ガス排出部１０とを有している。
【００１６】
―ガス導入部及びガス排出部―
ガス導入部８とガス排出部１０は、図１及び２に示すように、漏斗状の部材である。ガス導入部８の広口部には、本体部７の一端が、メカニカルシール２０ａにより回転自在に取り付けられている。同じく、ガス排出部１０の広口部には、本体部７の他端が、メカニカルシール２０ｂにより回転自在に取り付けられている。
【００１７】
―本体部―
本体部７は、図２に示すように、紫外線を発生しこの紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源１４と、複数の有機ガス光分解部２４が連結された連結構造体１６と、紫外線光源１４と連結構造体１６を格納する格納容器１２を有している。更に、本体部７は、格納容器１２とガス導入部８を隔てる第１の隔壁３６と、格納容器１２とガス排出部１０を隔てる第２の隔壁３８を有している。
【００１８】
ここで、紫外線光源１４としては、発光ダイオードアレイまたはブラックライト蛍光灯が好ましい。発光ダイオードアレイによれば、光触媒として広く用いられている酸化チタン（TiO2）の活性化に適した、波長が３７５ｎｍの紫外線を、容易に発生することができる。
【００１９】
紫外線光源１４は、図２に示すように、光源保護容器１５に格納された状態で、格納容器１２の中心に配置されている。尚、光源保護容器１５は、紫外線を透す材料（例えば、石英やパイレックス（登録商標））で形成されている。
【００２０】
紫外線光源１４の周囲には、上述した連結構造体１６が配置されている。図３は、この連結構造体１６の斜視図である。連結構造体１６は、図２及び３に示すように、紫外線光源１４を囲うように紫外線光源１４の長手方向に沿って配置された複数の有機ガス光分解部２４を有している。更に、連結構造体１６は、複数の有機ガス光分解部２４を直列に連結する複数の連結管２６ａ,２６ｂを有している。そして、連結構造体１６の一端には、有機ガスを含むガス２８が流入する第１の開口部３０が設けられている。また、連結構造体１６の他端には、処理済のガス３２が流出する第２の開口部３４が設けられている。尚、図２では、第２の開口部３４は、第１の開口部３０の反対側に描かれている。しかし、実際は、第１の開口部３０と第２の開口部３４は、隣接した有機ガス光分解部２４に設けられている。
【００２１】
ここで、有機ガス光分解部２４は、紫外線を透す材料（例えば、石英やパイレックス（登録商標））で形成された筒状体であって、その内壁は光触媒２２の皮膜（以下、光触媒皮膜と呼ぶ）２３により覆われている。そして、有機ガス光分解部２４の両端は、図２及び３に示すように、キャップ２５ａ,２５ｂにより塞がれている。但し、連結構造体１６の両端に位置する、有機ガス光分解部２４の一端は塞がれず、第１の開口部３０及び第２の開口部３４となっている。
【００２２】
光触媒２２としては、アナターゼ型の酸化チタン（TiO2）が好ましい。また、光触媒皮膜２３は、例えば、実施の形態２で説明する溶射法により形成することができる。或いは、光触媒皮膜２３は、光触媒粒子をバインダー（接着材）で基材に固定するバインダー固定法やゾルゲル法により、形成することもできる。
【００２３】
上述した連結管の一部２６ａは、図２に示すように、第１の隔壁３６及びキャップ２５ａを貫通している。この一部の連結管２６ａは、第１の隔壁３６に固定されている。同様に、残りの連結管２６ｂは、第２の隔壁３８及びキャップ２５ｂを貫通している。また、残りの連結管２６ｂは、第２の隔壁３８に固定されている。そして、これら連結管２６ａ,２６ｂに、有機ガス光分解部２４が、回転自在に取り付けられている。
【００２４】
図４は、ガス導入部８及び第１の隔壁３６を取り外して、本体部７の内部を図１の矢印IVの方向から見た図である。図５は、同様に、ガス排出部１０及び第２の隔壁３８を取り外して、本体部７の内部を図１の矢印Vの方向から見た図である。
【００２５】
図４及び５に示すように、有機ガス光分解部のキャップ２５ａ,２５ｂの側面には、歯車が形成されている。また、格納容器１２の内側の側面及び光源保護容器１５の側面には、夫々、有機ガス光分解部２４の歯車に噛み合う歯車が設けられている。従って、有機ガス光分解部２４は、格納容器１２が回転すると、有機ガス光分解部２４の長手方向に延在する軸４０（図２参照）を中心に自転する。
【００２６】
尚、有機ガス光分解部２４及び光源保護容器１５の本体は、上述したように紫外線を透す石英やパイレックス（登録商標）で形成されている。しかし、有機ガス光分解部２４及び光源保護容器１５の歯車は、歯車に加工しやすく且つ壊れ難い金属で形成されている。
【００２７】
（ii）回転体ユニット
回転体ユニット９は、図１に示すように、側面に歯車が形成された回転体６と、回転体６を支持する支持台５を有している。
【００２８】
図１に示すように、本体部７の格納容器１２の外側の側面には、歯車１８が形成されている。回転体６の歯車は、この格納容器１２の歯車１８と噛み合っている。従って、回転体９が回転すると、格納容器１２が回転する。
【００２９】
（２）動 作
図６は、本実施の形態の有機ガス処理装置２の使用状態を説明する図である。有機ガス処理装置２のガス導入部８は、図６（ａ）に示すように、配管５２ａにより半導体製造装置５０の排気口に接続されている。従って、ガス導入部８は、連結構造体１６の第１の開口部３０を、配管５２ａを介して、有機ガスを発生する半導体製造装置５０に連結している（図２参照）。
【００３０】
また、有機ガス処理装置２のガス排出部１０は、配管５２ｂにより、集中排気装置（図示せず）に接続された排気ダクト（図示せず）に連結されている。従って、ガス排出部１０は、連結構造体１６の第２の開口部３４を、配管５２ｂ及び排気ダクトを介して、集中排気装置に連結している（図２参照）。
【００３１】
この集中排気装置が稼働すると排気ダクト内が陰圧になり、その結果、有機ガス処理装置２が排気される。すると、排気され陰圧になった有機ガス処理装置２に、半導体製造装置５０で発生した有機ガスが、清浄空気等のガスと共に流入する。この有機ガスを含むガス２８は、図２に示すように、まず有機ガス処理装置２のガス導入部８に流入し、その後第１の開口部３０から連結構造体１６に流入する。次に、有機ガスを含むガス２８は、複数の有機ガス光分解部２４と複数の連結管２６ａ,２６bを交互に通過して、第２の開口部３４に到達する。この間に、有機ガスは光触媒被膜により分解され、処理済みのガス３２が形成される。この処理済みのガス３２は、ガス排出部１０を通過し、配管５２ｂに排出される。
【００３２】
ところで、一般的に、集中排気装置の排気速度はかなり大きい。しかし、集中排気装置には多数の半導体製造装置が接続されるので、個々半導体製造装置における排気速度は小さくなっている。従って、有機ガスを含むガス２８は、有機ガス光分解部２４の内部を穏やかに流れる。
【００３３】
このように、有機ガス光分解部内を有機ガスを含むガス２８が流れている間、紫外線光源１４が点灯され、発生した紫外線が有機ガス光分解部２４に照射される。この紫外線は、有機ガス光分解部２４の管壁を透過し、光触媒皮膜２３に裏面から入射する。紫外線が入射した光触媒皮膜２３は、スーパーオキサイド（Ｏ２-）とヒドロキシラジカルを生成する。これら活性種が、その強い酸化還元作用により有機ガスを分解する。
【００３４】
ここで、光触媒皮膜２３に入射する紫外線の強度は、光触媒皮膜２３が形成された管内位置により異なる。紫外線光源１４に近接した位置では紫外線強度は強く、紫外線光源１４から離れた位置では紫外線強度は弱くなる。このように紫外線強度が弱い位置では、有機ガスの分解効率が低い。
【００３５】
そこで、本実施の形態では、有機ガス光分解部２４を自転させることにより、光触媒皮膜２３に紫外線を一様に照射する。ここで、有機ガス光分解部２４の自転速度は、好ましくは、毎分１０〜２０回転である。
【００３６】
有機ガス光分解部２４の自転は、以下のように実現される。まず、回転体６に接続されたモータ（図示せず）を駆動して、回転体６を回転する。上述したように、回転体６の側面には歯車が形成されている。この歯車は、格納容器１２の外側の側面に形成された歯車と噛み合っている。このため、回転体６が回転すると、格納容器１２が回転する。格納容器１２には、外側の側面だけなく内側の側面にも歯車が形成されている。この歯車は、有機ガス光分解部２４のキャップ２５ａ,２５ｂの側面に形成された歯車と噛み合っている。従って、格納容器１２が回転すると、複数の有機ガス光分解部２４が同時に回転（自転）する。これにより、光触媒皮膜２３に紫外線が一様に照射され、有機ガス光分解部２４の内壁に形成された光触媒皮膜は全面で活性化され、その光分解効率は高くなる。
【００３７】
上述したように、有機ガス光分解部２４の長さは０．５〜２.０ｍである。このような有機ガス光分解部２４が７本直列に連結されて、有機ガス分解ユニット４が形成されている。従って、有機ガスを含むガスは、３.５〜１４ｍに及ぶ長い距離を、全面が活性化した光触媒皮膜２３に接しながら穏やかに流れる。このため、有機ガスは十分に分解され、有機ガスの分解効率は高くなる。
【００３８】
このように、本有機ガス処理装置２には、有機ガス光分解部２４が多数連結された長い光分解領域（連結構造体１６）が形成されている。しかし、本有機ガス処理装置２では、図２及び３に示すように、この光分解領域は繰り返し折り返されている。このため、本有機ガス処理装置２の長さは、高々０．５〜２.０ｍである。また、本有機ガス処理装置２の高さ及び幅は、高々０.１５〜０.６ｍである。このように、本有機ガス処理装置２は小型である。
【００３９】
更に、本有機ガス光分解部２４を動作させるには、紫外線光源１４を点灯するだけでよい。故に、本有機ガス処理装置２の運転は極めて容易である。また、本有機ガス処理装置２は、個々の半導体製造装置ごとに設置される分散処理型の排ガス処理装置なので、特別に設置エリアを設ける必要はない。
【００４０】
（３）変形例
以上の例では、有機ガス処理装置２は、長手方向が水平になるように設置されている。しかし、有機ガス処理装置２は、図６（ｂ）に示すように、有機ガス光分解部２４の長手方向が鉛直になるように設置してもよい。
【００４１】
また、以上の例では、有機ガス光分解部２４は７本である。しかし、有機ガス光分解部２４の本数は、要求される有機ガスの分解能力に応じて、適宜変更することが好ましい。
【００４２】
また、有機ガス光分解部２４の長さ及び太さも、要求される有機ガスの分解能力に応じて、適宜変更することが好ましい。
【００４３】
これらの変更は、有機ガス光分解部２４の数、長さ、及び太さが異なる複数の本体部分７を用意しておき、要求される有機ガスの分解能力に応じ、適宜本体部を交換することにより実現できる。
【００４４】
（実施の形態２）
本実施の形態は、実施の形態１の有機ガス処理装置において、光触媒皮膜の光分解能力を向上させた有機ガス処理装置に関する。尚、実施の形態１と共通する部分にいては、説明を省略する。
【００４５】
（１）光触媒皮膜
図７は、本実施の形態の光触媒皮膜４２の構造を説明する図である。図８は、広く用いられている光触媒皮膜である、光触媒粒子をバインダー４６で基材４８に固定した光触媒皮膜４２ａの構造を説明する図である。
【００４６】
本実施の形態の光触媒皮膜４２は、図７に示すように、複数の光触媒の粒子（例えば、酸化チタン粒子（TiO２））４４が直接結合した皮膜である。従って、光触媒皮膜４２の表面は、密集した光触媒の粒子により覆われている。このため、光触媒皮膜４２の表面に沿って流れる、有機ガスを含むガス２８ａは、常に光触媒粒子４４に接触する。
【００４７】
一方、光触媒皮膜内の光触媒粒子間には、多数の空隙５４が形成されている（図７参照）。有機ガスを含むガスの一部２８ｂは、光触媒皮膜内部に侵入し、この空隙を伝わって光触媒皮膜内を伝搬する。この間、有機ガスを含むガス２８ｂは、光触媒粒子４４と緊密に接触する。
【００４８】
このように、本実施の形態では、有機ガスを含むガス２８ａ,２８ｂと光触媒粒子４４が緊密に接触する。従って、光触媒皮膜４２による有機ガスの光分解能力は高くなる。故に、本実施の形態によれば、有機ガス分解部を短くしても有機ガスの処理能力を高く保つことができるので、有機ガス処理装置を一層小型化することができる。
【００４９】
図７のように複数の光触媒粒子が直接結合して形成される光触媒皮膜は、例えば、燃焼ガスやプラズマにより材料粒子を溶融し、ガスと共に基材表面に吹き付ける溶射法により形成することができる（例えば、特許文献１参照）。
【００５０】
図８は、光触媒粒子４４をバインダー４６で基材４８に固定した光触媒皮膜４２ａの構造を説明する図である。光触媒皮膜４２ａとしては、このような構造の皮膜が一般的である。この光触媒皮膜４２ａの表面には、図８に示すように、光触媒粒子４４が疎らにしか分布していない。従って、この光触媒皮膜４２ａの表面を流れる、有機ガスを含むガス２８ａは、間欠的にしか光触媒粒子４４に接触しない。また、光触媒皮膜４２ａの内部の光触媒粒子４４の間は、隙間無くバインダー４６で充填されている。従って、有機ガスを含むガス２８ａが、光触媒皮膜４２ａの内部に侵入することはない。
【００５１】
故に、図８に示すように、バインダーにより光触媒粒子を基材４８に固定した光触媒皮膜４２ａでは、有機ガスを含むガスが、光触媒粒子４４に緊密に接触することなない。従って、このような光触媒皮膜４２ａによる有機ガスの分解能力は余り高くない。
【００５２】
（２）有機ガス光分解部
本実施の形態の光触媒皮膜は、上述したように、溶射法により形成することができる。上述したように、溶射法は、溶融した材料粒子を含むガスを基材に吹き付けて皮膜を形成する成膜方法である。
【００５３】
ところで、有機ガス光分解部の本体部分は、図２等を参照して説明したように、筒状の部材である。このような筒状部材の内壁に、溶融した材料粒子を含むガスを吹き付けて皮膜を形成することは困難である。
【００５４】
図９は、本実施の形態の有機ガス光分解部２４ａの斜視図である。但し、図９では、キャップ２５ａ,２５ｂは省略されている。図９に示すように、本実施の形態の有機ガス光分解部２４ａは、紫外線光源の長手方向に延在する軸４０に沿って延在する複数の棒状の部材５６を有している。この棒状部材５６は、石英やパイレックス（登録商標）等の紫外線を透す材料で形成されている。この棒状部材５６の側面には、光触媒皮膜２３ａが溶射法により半周形成されている。このような棒状部材の側面に、光触媒皮膜を溶射法により形成することは容易である。そして、溶射法により光触媒皮膜２３ａが形成された棒状部材５６が、光触媒皮膜２３ａが形成された領域を内側として束ねられ、有機ガス光分解部２４ａとなっている。
【００５５】
尚、棒状部材の代わりに、短辺方向に沿って円弧状に湾曲した板状部材や細長い板状部材の一面に、光触媒皮膜２３ａを溶射法により形成してもよい。
【００５６】
以上のように、本実施の形態によれば、有機ガス光分解部の内壁を、溶射法による光触媒皮膜で覆うことができる。
【００５７】
尚、以上の例では、棒状部材の表面に直接光触媒皮膜を形成しているが、アクリル樹脂層等のアンダーコート層を上記棒状部材の表面に形成してから、光触媒皮膜４２を溶射法により形成してもよい。
【００５８】
（実施の形態３）
本実施の形態は、実施の形態２の有機ガス処理装置において、光触媒皮膜と有機ガスの接触面積を広くした有機ガス処理装置に関する。尚、実施の形態２と共通する部分にいては、説明を省略する。
【００５９】
図１０は、本実施の形態の有機ガス光分解部を形成する棒状部材５６ａの斜視図である。図１０に示すように、本実施の形態の棒状部材５６ａには、光触媒の皮膜で覆われた複数の突起部５８が設けられている。図１１は、この棒状の部材５６ａを束ねて形成した有機ガス光分解部の断面図である。図１１には、この有機ガス光分解部の内部を流れる、有機ガスを含むガス２８の流れも記載されている。
【００６０】
図１１に示すように、有機ガスを含むガス２８は、光触媒皮膜で覆われた突起部５８に接触しながら有機ガス光分解部内を流れる。従って、本実施の形態によれば、有機ガスを含むガス２８と光触媒皮膜の接触面積が広くなるので、有機ガスの分解効率が高くなる。
【００６１】
尚、以上の本実施の形態では、有機ガス光分解部を形成する複数の部材の側面に突起部５８を設けている。しかし、一体形成された管状部材の内壁に、光触媒皮膜で覆われた複数の突起部を設けてもよい。すなわち、本実施の形態の有機ガス処理装置は、光触媒皮膜で覆われ、有機ガス光分解部の内壁に設けられた、複数の突起部を有している。
【００６２】
以上の実施の形態１乃至３では、光触媒皮膜の原料として酸化チタンを用いているが、酸化亜鉛等の他の光触媒を用いてもよい。
【００６３】
また、実施の形態１では、有機ガス処理装置を、半導体製造装置が発生する有機ガスの処理に用いている。しかし、本有機ガス処理装置は、半導体製造装置以外の装置（例えば、有機溶媒を用いて機械部品を洗浄する装置）が発生する有機ガスの処理や悪臭の原因物質（ホルムアルデヒト、メルカプタン類等）の処理に用いてもよい。
【符号の説明】
【００６４】
２・・・有機ガス処理装置
１４・・・紫外線光源
２２・・・光触媒
２４・・・有機ガス光分解部
２６・・・連結管
３０・・・第１の開口部
３４・・・第２の開口部
５８・・・突起部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ガス処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程では、種々の有機ガス（気化した有機物）が発生する。例えば、半導体基板の洗浄工程では、イソプロピルアルコールや酢酸ブチル等の洗浄液が気化して、有機ガスになる。また、フォトリソグラフィ工程では、半導体基板に塗布したフォトレジスト液から有機溶剤が気化して有機ガスになる。
【０００３】
これらの有機ガスは、清浄空気等の雰囲気ガスと共に、工場内に張り巡らされた排気ダクトに排気される。排気ダクトに排気された有機ガスは、雰囲気ガスと共に一箇所に集められて、有機溶剤無害化装置（半導体製造装置用の有機ガス処理装置）により無害化される。この有機溶剤無害化装置は、有機ガスを活性炭に吸着させて回収する装置である。
【０００４】
活性炭を用いる有機溶剤無害化装置は、吸着塔、脱着塔、及びコンデンサーを有する大型設備である。このため、有機溶剤無害化装置の設置面積は、１００ｍ２に迫る広い面積である。更に、この有機溶剤無害化装置の運転には、多大な労力が費やされている。
【０００５】
尚、悪臭の原因となる有機ガスを、光触媒の光分解作用を利用して分解する空気清浄装置が提案されている。しかし、このような空気清浄装置も広い設置面積を必要とし、且つその有機ガスの分解能力は必ずしも高くない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２３８１１５号公報
【特許文献２】特開２００７−３０７２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明の目的は、小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本装置の一観点によれば、紫外線を発生し、上記紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源と、内壁が上記光触媒の皮膜で覆われ且つ上記紫外線を透す筒状体であって、上記紫外線光源を囲うように上記紫外線光源の長手方向に沿って配置され、且つ上記長手方向に延在する軸を中心に自転する複数の有機ガス光分解部と、複数の上記有機ガス光分解部を直列に連結して、上記有機ガス光分解部の連結構造体を形成する複数の連結管と、上記連結構造体の一端に設けられ、上記有機ガスを含むガスが流入する第１の開口部と、上記連結構造体の他端に設けられ、上記ガスが流出する第２の開口部とを有する有機ガス処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本装置によれば、小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態１の有機ガス処理装置の側面図である。
【図２】図１のII-II線における断面を矢印の方向から見た図である。
【図３】実施の形態１の有機ガス処理装置の連結構造体の斜視図である
【図４】第１の隔壁及びガス導入部を取り外して、有機ガス光分解ユニットの内部を、図１の矢印IVの方向から見た図である。
【図５】第２の隔壁及びガス排出部を取り外して、有機ガス光分解ユニットの内部を、図１の矢印Vの方向から見た図である。
【図６】実施の形態１の有機ガス処理装置の使用状態を説明する図である。
【図７】有機ガス光分解部の内壁を覆う光触媒皮膜の構造を説明する図である。
【図８】光触媒粒子をバインダーで基材に固定して形成した光触媒皮膜の構造を説明する図である。
【図９】実施の形態２の有機ガス光分解部の斜視図である。
【図１０】実施の形態３の有機ガス光分解部を形成する棒状部材の斜視図である。
【図１１】棒状部材を束ねて形成した有機ガス光分解部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。尚、図面が異なっても対応する部分には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００１２】
（実施の形態１）
本実施の形態は、光触媒による光分解作用を利用した、小型で且つ運転が容易な有機ガス処理装置に関する。
【００１３】
（１）構 成
図１は、本実施の形態の有機ガス処理装置２の側面図である。図２は、図１のII-II線における断面を矢印の方向から見た図である。
【００１４】
本有機ガス処理装置２は、図１に示すように、有機ガス光分解ユニット４と、回転ユニット９を有している。
【００１５】
（i）有機ガス光分解ユニット
有機ガス光分解ユニット４は、筒状の本体部７と、ガス導入部８と、ガス排出部１０とを有している。
【００１６】
―ガス導入部及びガス排出部―
ガス導入部８とガス排出部１０は、図１及び２に示すように、漏斗状の部材である。ガス導入部８の広口部には、本体部７の一端が、メカニカルシール２０ａにより回転自在に取り付けられている。同じく、ガス排出部１０の広口部には、本体部７の他端が、メカニカルシール２０ｂにより回転自在に取り付けられている。
【００１７】
―本体部―
本体部７は、図２に示すように、紫外線を発生しこの紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源１４と、複数の有機ガス光分解部２４が連結された連結構造体１６と、紫外線光源１４と連結構造体１６を格納する格納容器１２を有している。更に、本体部７は、格納容器１２とガス導入部８を隔てる第１の隔壁３６と、格納容器１２とガス排出部１０を隔てる第２の隔壁３８を有している。
【００１８】
ここで、紫外線光源１４としては、発光ダイオードアレイまたはブラックライト蛍光灯が好ましい。発光ダイオードアレイによれば、光触媒として広く用いられている酸化チタン（TiO2）の活性化に適した、波長が３７５ｎｍの紫外線を、容易に発生することができる。
【００１９】
紫外線光源１４は、図２に示すように、光源保護容器１５に格納された状態で、格納容器１２の中心に配置されている。尚、光源保護容器１５は、紫外線を透す材料（例えば、石英やパイレックス（登録商標））で形成されている。
【００２０】
紫外線光源１４の周囲には、上述した連結構造体１６が配置されている。図３は、この連結構造体１６の斜視図である。連結構造体１６は、図２及び３に示すように、紫外線光源１４を囲うように紫外線光源１４の長手方向に沿って配置された複数の有機ガス光分解部２４を有している。更に、連結構造体１６は、複数の有機ガス光分解部２４を直列に連結する複数の連結管２６ａ,２６ｂを有している。そして、連結構造体１６の一端には、有機ガスを含むガス２８が流入する第１の開口部３０が設けられている。また、連結構造体１６の他端には、処理済のガス３２が流出する第２の開口部３４が設けられている。尚、図２では、第２の開口部３４は、第１の開口部３０の反対側に描かれている。しかし、実際は、第１の開口部３０と第２の開口部３４は、隣接した有機ガス光分解部２４に設けられている。
【００２１】
ここで、有機ガス光分解部２４は、紫外線を透す材料（例えば、石英やパイレックス（登録商標））で形成された筒状体であって、その内壁は光触媒２２の皮膜（以下、光触媒皮膜と呼ぶ）２３により覆われている。そして、有機ガス光分解部２４の両端は、図２及び３に示すように、キャップ２５ａ,２５ｂにより塞がれている。但し、連結構造体１６の両端に位置する、有機ガス光分解部２４の一端は塞がれず、第１の開口部３０及び第２の開口部３４となっている。
【００２２】
光触媒２２としては、アナターゼ型の酸化チタン（TiO2）が好ましい。また、光触媒皮膜２３は、例えば、実施の形態２で説明する溶射法により形成することができる。或いは、光触媒皮膜２３は、光触媒粒子をバインダー（接着材）で基材に固定するバインダー固定法やゾルゲル法により、形成することもできる。
【００２３】
上述した連結管の一部２６ａは、図２に示すように、第１の隔壁３６及びキャップ２５ａを貫通している。この一部の連結管２６ａは、第１の隔壁３６に固定されている。同様に、残りの連結管２６ｂは、第２の隔壁３８及びキャップ２５ｂを貫通している。また、残りの連結管２６ｂは、第２の隔壁３８に固定されている。そして、これら連結管２６ａ,２６ｂに、有機ガス光分解部２４が、回転自在に取り付けられている。
【００２４】
図４は、ガス導入部８及び第１の隔壁３６を取り外して、本体部７の内部を図１の矢印IVの方向から見た図である。図５は、同様に、ガス排出部１０及び第２の隔壁３８を取り外して、本体部７の内部を図１の矢印Vの方向から見た図である。
【００２５】
図４及び５に示すように、有機ガス光分解部のキャップ２５ａ,２５ｂの側面には、歯車が形成されている。また、格納容器１２の内側の側面及び光源保護容器１５の側面には、夫々、有機ガス光分解部２４の歯車に噛み合う歯車が設けられている。従って、有機ガス光分解部２４は、格納容器１２が回転すると、有機ガス光分解部２４の長手方向に延在する軸４０（図２参照）を中心に自転する。
【００２６】
尚、有機ガス光分解部２４及び光源保護容器１５の本体は、上述したように紫外線を透す石英やパイレックス（登録商標）で形成されている。しかし、有機ガス光分解部２４及び光源保護容器１５の歯車は、歯車に加工しやすく且つ壊れ難い金属で形成されている。
【００２７】
（ii）回転体ユニット
回転体ユニット９は、図１に示すように、側面に歯車が形成された回転体６と、回転体６を支持する支持台５を有している。
【００２８】
図１に示すように、本体部７の格納容器１２の外側の側面には、歯車１８が形成されている。回転体６の歯車は、この格納容器１２の歯車１８と噛み合っている。従って、回転体９が回転すると、格納容器１２が回転する。
【００２９】
（２）動 作
図６は、本実施の形態の有機ガス処理装置２の使用状態を説明する図である。有機ガス処理装置２のガス導入部８は、図６（ａ）に示すように、配管５２ａにより半導体製造装置５０の排気口に接続されている。従って、ガス導入部８は、連結構造体１６の第１の開口部３０を、配管５２ａを介して、有機ガスを発生する半導体製造装置５０に連結している（図２参照）。
【００３０】
また、有機ガス処理装置２のガス排出部１０は、配管５２ｂにより、集中排気装置（図示せず）に接続された排気ダクト（図示せず）に連結されている。従って、ガス排出部１０は、連結構造体１６の第２の開口部３４を、配管５２ｂ及び排気ダクトを介して、集中排気装置に連結している（図２参照）。
【００３１】
この集中排気装置が稼働すると排気ダクト内が陰圧になり、その結果、有機ガス処理装置２が排気される。すると、排気され陰圧になった有機ガス処理装置２に、半導体製造装置５０で発生した有機ガスが、清浄空気等のガスと共に流入する。この有機ガスを含むガス２８は、図２に示すように、まず有機ガス処理装置２のガス導入部８に流入し、その後第１の開口部３０から連結構造体１６に流入する。次に、有機ガスを含むガス２８は、複数の有機ガス光分解部２４と複数の連結管２６ａ,２６bを交互に通過して、第２の開口部３４に到達する。この間に、有機ガスは光触媒被膜により分解され、処理済みのガス３２が形成される。この処理済みのガス３２は、ガス排出部１０を通過し、配管５２ｂに排出される。
【００３２】
ところで、一般的に、集中排気装置の排気速度はかなり大きい。しかし、集中排気装置には多数の半導体製造装置が接続されるので、個々半導体製造装置における排気速度は小さくなっている。従って、有機ガスを含むガス２８は、有機ガス光分解部２４の内部を穏やかに流れる。
【００３３】
このように、有機ガス光分解部内を有機ガスを含むガス２８が流れている間、紫外線光源１４が点灯され、発生した紫外線が有機ガス光分解部２４に照射される。この紫外線は、有機ガス光分解部２４の管壁を透過し、光触媒皮膜２３に裏面から入射する。紫外線が入射した光触媒皮膜２３は、スーパーオキサイド（Ｏ２-）とヒドロキシラジカルを生成する。これら活性種が、その強い酸化還元作用により有機ガスを分解する。
【００３４】
ここで、光触媒皮膜２３に入射する紫外線の強度は、光触媒皮膜２３が形成された管内位置により異なる。紫外線光源１４に近接した位置では紫外線強度は強く、紫外線光源１４から離れた位置では紫外線強度は弱くなる。このように紫外線強度が弱い位置では、有機ガスの分解効率が低い。
【００３５】
そこで、本実施の形態では、有機ガス光分解部２４を自転させることにより、光触媒皮膜２３に紫外線を一様に照射する。ここで、有機ガス光分解部２４の自転速度は、好ましくは、毎分１０〜２０回転である。
【００３６】
有機ガス光分解部２４の自転は、以下のように実現される。まず、回転体６に接続されたモータ（図示せず）を駆動して、回転体６を回転する。上述したように、回転体６の側面には歯車が形成されている。この歯車は、格納容器１２の外側の側面に形成された歯車と噛み合っている。このため、回転体６が回転すると、格納容器１２が回転する。格納容器１２には、外側の側面だけなく内側の側面にも歯車が形成されている。この歯車は、有機ガス光分解部２４のキャップ２５ａ,２５ｂの側面に形成された歯車と噛み合っている。従って、格納容器１２が回転すると、複数の有機ガス光分解部２４が同時に回転（自転）する。これにより、光触媒皮膜２３に紫外線が一様に照射され、有機ガス光分解部２４の内壁に形成された光触媒皮膜は全面で活性化され、その光分解効率は高くなる。
【００３７】
上述したように、有機ガス光分解部２４の長さは０．５〜２.０ｍである。このような有機ガス光分解部２４が７本直列に連結されて、有機ガス分解ユニット４が形成されている。従って、有機ガスを含むガスは、３.５〜１４ｍに及ぶ長い距離を、全面が活性化した光触媒皮膜２３に接しながら穏やかに流れる。このため、有機ガスは十分に分解され、有機ガスの分解効率は高くなる。
【００３８】
このように、本有機ガス処理装置２には、有機ガス光分解部２４が多数連結された長い光分解領域（連結構造体１６）が形成されている。しかし、本有機ガス処理装置２では、図２及び３に示すように、この光分解領域は繰り返し折り返されている。このため、本有機ガス処理装置２の長さは、高々０．５〜２.０ｍである。また、本有機ガス処理装置２の高さ及び幅は、高々０.１５〜０.６ｍである。このように、本有機ガス処理装置２は小型である。
【００３９】
更に、本有機ガス光分解部２４を動作させるには、紫外線光源１４を点灯するだけでよい。故に、本有機ガス処理装置２の運転は極めて容易である。また、本有機ガス処理装置２は、個々の半導体製造装置ごとに設置される分散処理型の排ガス処理装置なので、特別に設置エリアを設ける必要はない。
【００４０】
（３）変形例
以上の例では、有機ガス処理装置２は、長手方向が水平になるように設置されている。しかし、有機ガス処理装置２は、図６（ｂ）に示すように、有機ガス光分解部２４の長手方向が鉛直になるように設置してもよい。
【００４１】
また、以上の例では、有機ガス光分解部２４は７本である。しかし、有機ガス光分解部２４の本数は、要求される有機ガスの分解能力に応じて、適宜変更することが好ましい。
【００４２】
また、有機ガス光分解部２４の長さ及び太さも、要求される有機ガスの分解能力に応じて、適宜変更することが好ましい。
【００４３】
これらの変更は、有機ガス光分解部２４の数、長さ、及び太さが異なる複数の本体部分７を用意しておき、要求される有機ガスの分解能力に応じ、適宜本体部を交換することにより実現できる。
【００４４】
（実施の形態２）
本実施の形態は、実施の形態１の有機ガス処理装置において、光触媒皮膜の光分解能力を向上させた有機ガス処理装置に関する。尚、実施の形態１と共通する部分にいては、説明を省略する。
【００４５】
（１）光触媒皮膜
図７は、本実施の形態の光触媒皮膜４２の構造を説明する図である。図８は、広く用いられている光触媒皮膜である、光触媒粒子をバインダー４６で基材４８に固定した光触媒皮膜４２ａの構造を説明する図である。
【００４６】
本実施の形態の光触媒皮膜４２は、図７に示すように、複数の光触媒の粒子（例えば、酸化チタン粒子（TiO２））４４が直接結合した皮膜である。従って、光触媒皮膜４２の表面は、密集した光触媒の粒子により覆われている。このため、光触媒皮膜４２の表面に沿って流れる、有機ガスを含むガス２８ａは、常に光触媒粒子４４に接触する。
【００４７】
一方、光触媒皮膜内の光触媒粒子間には、多数の空隙５４が形成されている（図７参照）。有機ガスを含むガスの一部２８ｂは、光触媒皮膜内部に侵入し、この空隙を伝わって光触媒皮膜内を伝搬する。この間、有機ガスを含むガス２８ｂは、光触媒粒子４４と緊密に接触する。
【００４８】
このように、本実施の形態では、有機ガスを含むガス２８ａ,２８ｂと光触媒粒子４４が緊密に接触する。従って、光触媒皮膜４２による有機ガスの光分解能力は高くなる。故に、本実施の形態によれば、有機ガス分解部を短くしても有機ガスの処理能力を高く保つことができるので、有機ガス処理装置を一層小型化することができる。
【００４９】
図７のように複数の光触媒粒子が直接結合して形成される光触媒皮膜は、例えば、燃焼ガスやプラズマにより材料粒子を溶融し、ガスと共に基材表面に吹き付ける溶射法により形成することができる（例えば、特許文献１参照）。
【００５０】
図８は、光触媒粒子４４をバインダー４６で基材４８に固定した光触媒皮膜４２ａの構造を説明する図である。光触媒皮膜４２ａとしては、このような構造の皮膜が一般的である。この光触媒皮膜４２ａの表面には、図８に示すように、光触媒粒子４４が疎らにしか分布していない。従って、この光触媒皮膜４２ａの表面を流れる、有機ガスを含むガス２８ａは、間欠的にしか光触媒粒子４４に接触しない。また、光触媒皮膜４２ａの内部の光触媒粒子４４の間は、隙間無くバインダー４６で充填されている。従って、有機ガスを含むガス２８ａが、光触媒皮膜４２ａの内部に侵入することはない。
【００５１】
故に、図８に示すように、バインダーにより光触媒粒子を基材４８に固定した光触媒皮膜４２ａでは、有機ガスを含むガスが、光触媒粒子４４に緊密に接触することなない。従って、このような光触媒皮膜４２ａによる有機ガスの分解能力は余り高くない。
【００５２】
（２）有機ガス光分解部
本実施の形態の光触媒皮膜は、上述したように、溶射法により形成することができる。上述したように、溶射法は、溶融した材料粒子を含むガスを基材に吹き付けて皮膜を形成する成膜方法である。
【００５３】
ところで、有機ガス光分解部の本体部分は、図２等を参照して説明したように、筒状の部材である。このような筒状部材の内壁に、溶融した材料粒子を含むガスを吹き付けて皮膜を形成することは困難である。
【００５４】
図９は、本実施の形態の有機ガス光分解部２４ａの斜視図である。但し、図９では、キャップ２５ａ,２５ｂは省略されている。図９に示すように、本実施の形態の有機ガス光分解部２４ａは、紫外線光源の長手方向に延在する軸４０に沿って延在する複数の棒状の部材５６を有している。この棒状部材５６は、石英やパイレックス（登録商標）等の紫外線を透す材料で形成されている。この棒状部材５６の側面には、光触媒皮膜２３ａが溶射法により半周形成されている。このような棒状部材の側面に、光触媒皮膜を溶射法により形成することは容易である。そして、溶射法により光触媒皮膜２３ａが形成された棒状部材５６が、光触媒皮膜２３ａが形成された領域を内側として束ねられ、有機ガス光分解部２４ａとなっている。
【００５５】
尚、棒状部材の代わりに、短辺方向に沿って円弧状に湾曲した板状部材や細長い板状部材の一面に、光触媒皮膜２３ａを溶射法により形成してもよい。
【００５６】
以上のように、本実施の形態によれば、有機ガス光分解部の内壁を、溶射法による光触媒皮膜で覆うことができる。
【００５７】
尚、以上の例では、棒状部材の表面に直接光触媒皮膜を形成しているが、アクリル樹脂層等のアンダーコート層を上記棒状部材の表面に形成してから、光触媒皮膜４２を溶射法により形成してもよい。
【００５８】
（実施の形態３）
本実施の形態は、実施の形態２の有機ガス処理装置において、光触媒皮膜と有機ガスの接触面積を広くした有機ガス処理装置に関する。尚、実施の形態２と共通する部分にいては、説明を省略する。
【００５９】
図１０は、本実施の形態の有機ガス光分解部を形成する棒状部材５６ａの斜視図である。図１０に示すように、本実施の形態の棒状部材５６ａには、光触媒の皮膜で覆われた複数の突起部５８が設けられている。図１１は、この棒状の部材５６ａを束ねて形成した有機ガス光分解部の断面図である。図１１には、この有機ガス光分解部の内部を流れる、有機ガスを含むガス２８の流れも記載されている。
【００６０】
図１１に示すように、有機ガスを含むガス２８は、光触媒皮膜で覆われた突起部５８に接触しながら有機ガス光分解部内を流れる。従って、本実施の形態によれば、有機ガスを含むガス２８と光触媒皮膜の接触面積が広くなるので、有機ガスの分解効率が高くなる。
【００６１】
尚、以上の本実施の形態では、有機ガス光分解部を形成する複数の部材の側面に突起部５８を設けている。しかし、一体形成された管状部材の内壁に、光触媒皮膜で覆われた複数の突起部を設けてもよい。すなわち、本実施の形態の有機ガス処理装置は、光触媒皮膜で覆われ、有機ガス光分解部の内壁に設けられた、複数の突起部を有している。
【００６２】
以上の実施の形態１乃至３では、光触媒皮膜の原料として酸化チタンを用いているが、酸化亜鉛等の他の光触媒を用いてもよい。
【００６３】
また、実施の形態１では、有機ガス処理装置を、半導体製造装置が発生する有機ガスの処理に用いている。しかし、本有機ガス処理装置は、半導体製造装置以外の装置（例えば、有機溶媒を用いて機械部品を洗浄する装置）が発生する有機ガスの処理や悪臭の原因物質（ホルムアルデヒト、メルカプタン類等）の処理に用いてもよい。
【符号の説明】
【００６４】
２・・・有機ガス処理装置
１４・・・紫外線光源
２２・・・光触媒
２４・・・有機ガス光分解部
２６・・・連結管
３０・・・第１の開口部
３４・・・第２の開口部
５８・・・突起部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を発生し、前記紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源と、
内壁が前記光触媒の皮膜で覆われ且つ前記紫外線を透す筒状体であって、前記紫外線光源を囲うように前記紫外線光源の長手方向に沿って配置され、且つ前記長手方向に延在する軸を中心に自転する複数の有機ガス光分解部と、
複数の前記有機ガス光分解部を直列に連結して、前記有機ガス光分解部の連結構造体を形成する複数の連結管と、
前記連結構造体の一端に設けられ、前記有機ガスを含むガスが流入する第１の開口部と、
前記連結構造体の他端に設けられ、前記ガスが流出する第２の開口部とを有する、
有機ガス処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の有機ガス処理装置において、
前記皮膜は、複数の前記光触媒の粒子が直接結合して形成され、
前記筒状体は、前記軸に沿って延在する複数の部材が連結されて形成されている、
ことを特徴とする有機ガス処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の有機ガス処理装置において、
更に、前記皮膜で覆われ、前記内壁に設けられた複数の突起部を有することを、
特徴とする有機ガス処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の有機ガス処理装置において、
前記第１の開口部を、前記有機ガスを発生する半導体製造装置に連結する第１の連結部と、
前記第２の開口部を、排気装置に連結する第２の連結部とを有する、
ことを特徴とする有機ガス処理装置。
【請求項１】
紫外線を発生し、前記紫外線により光触媒に有機ガスを分解させる紫外線光源と、
内壁が前記光触媒の皮膜で覆われ且つ前記紫外線を透す筒状体であって、前記紫外線光源を囲うように前記紫外線光源の長手方向に沿って配置され、且つ前記長手方向に延在する軸を中心に自転する複数の有機ガス光分解部と、
複数の前記有機ガス光分解部を直列に連結して、前記有機ガス光分解部の連結構造体を形成する複数の連結管と、
前記連結構造体の一端に設けられ、前記有機ガスを含むガスが流入する第１の開口部と、
前記連結構造体の他端に設けられ、前記ガスが流出する第２の開口部とを有する、
有機ガス処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の有機ガス処理装置において、
前記皮膜は、複数の前記光触媒の粒子が直接結合して形成され、
前記筒状体は、前記軸に沿って延在する複数の部材が連結されて形成されている、
ことを特徴とする有機ガス処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の有機ガス処理装置において、
更に、前記皮膜で覆われ、前記内壁に設けられた複数の突起部を有することを、
特徴とする有機ガス処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の有機ガス処理装置において、
前記第１の開口部を、前記有機ガスを発生する半導体製造装置に連結する第１の連結部と、
前記第２の開口部を、排気装置に連結する第２の連結部とを有する、
ことを特徴とする有機ガス処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１１−６２６４０（Ｐ２０１１−６２６４０Ａ）
【公開日】平成２３年３月３１日（２０１１．３．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２１５２９８（Ｐ２００９−２１５２９８）
【出願日】平成２１年９月１７日（２００９．９．１７）
【出願人】（３０８０１４３４１）富士通セミコンダクター株式会社 (2,507)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年３月３１日（２０１１．３．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月１７日（２００９．９．１７）
【出願人】（３０８０１４３４１）富士通セミコンダクター株式会社 (2,507)
【Ｆターム（参考）】
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