枚葉基板の移載装置並びにそれに用いる収納装置及びハンド
【課題】大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚葉基板の移載装置を提供すること。
【解決手段】収納装置１の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置１に挿入した移載機のハンド４を前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板５の移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材３ａ、３ｂで構成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部材３ａ、３ｂの間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成する。
【解決手段】収納装置１の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置１に挿入した移載機のハンド４を前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板５の移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材３ａ、３ｂで構成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部材３ａ、３ｂの間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枚葉基板の移載装置に関し、特に、大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶等のガラス基板は、互いに接触しないように分離して収容するために、専用のガラス基板収納用カセット等の収納装置に収納される。
このガラス基板収納用カセットは、例えば、大形の液晶ガラス基板の製造ラインにおいて、製造装置間で液晶ガラス基板を搬送したり、一時貯留する場合に使用される。
【０００３】
ガラス基板収納用カセットは、図９に示すように、箱形のカセット本体１の両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ’、３ｂ’を延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハンド４’を支持部３ａ’、３ｂ’の間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うようにしている。
カセット本体１は、二股フォーク状のハンド４’の昇降を許容するために、カセット本体１の幅方向中央部に広い空間を必要とし、これにより、支持部３ａ’、３ｂ’は左右の側壁２ａ、２ｂから比較的短く突出するように形成されている。
【０００４】
この場合、カセット本体１の中に収納されたガラス基板５は、カセット本体１の左右の側壁２ａ、２ｂからそれぞれ延設された支持部３ａ’、３ｂ’に支持され、収納されたガラス基板５の自重による撓みを小さくするように配慮されている。
【０００５】
また、カセット本体１へのガラス基板５の出し入れに使用される移載機のハンド４’は、このハンド４’によりガラス基板５を持ち上げた状態でガラス基板２の撓みが大きくならないように、ハンド４’の幅方向寸法Ｌが決められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、近年、ガラス基板の大形化、薄形化が進むことにより、剛性の大きいガラス基板であってもその撓みが過大になるため、上記従来の支持部の長さが短く制約されるようなガラス基板収納用カセットや二股フォーク状のハンドでは、ガラス基板の自重による撓みが大きくなり、この撓みによりガラス基板自身が大きな曲げ応力を受ける結果、ガラス基板が変形したり、破損しやすくなるという問題があった。
すなわち、図１０に示すように、ガラス基板５のサイズが図９の場合よりさらに大きくなると、カセット本体１に収納されたガラス基板５は、自重により大きな曲げを受けるが、この曲げを解消するために、支持部３ａ’、３ｂ’をガラス基板５の幅方向中央部まで延ばそうとすると、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくしなければならない。
しかし、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくすると、ハンド４’に載せられているガラス基板５の撓みは、図１０（ｃ）に点線にて示す状態となり、ガラス基板５が大きな曲げを受け、変形したり、破損しやすくなる。
【０００７】
本発明は、上記従来の枚葉基板の移載装置が有する問題点に鑑み、大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本第１発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする。
【０００９】
この場合において、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成することができる。
【００１０】
また、同じ目的を達成するため、本第２発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする。
【００１１】
また、同じ目的を達成するため、本第３発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴とする。
【００１２】
さらに、上記本第１発明の枚葉基板の移載装置に用いられる収納装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設けて形成したことを特徴とする。
【００１３】
この場合において、前記支持部を同形状に形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成することができる。
【００１４】
そして、１対の幅広の縦ハンド支持部の間に補助縦ハンド支持部を並設するようにしたり、収納装置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補助支持部を並設することができる。
【００１５】
また、支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置によれば、収納装置の支持部又は移載機のハンド支持部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広い範囲に拡大することができ、大形の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができ、これにより、高品質の枚葉基板加工製品を得ることができる。
【００１７】
そして、特に、移載機のハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部により構成したことから、ハンドの厚さを薄く形成してもハンドの剛性を高めることが可能となり、ハンドの挿入スペースを低減して収納装置単位容量当たりの枚葉基板の収納枚数を増大することができる。
【００１８】
また、前記支持部を同形状に形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に配設することにより、多数のガラス基板をカセットに収納することができる。
【００１９】
また、補助縦ハンド支持部や補助支持部を並設することにより、より大形の枚葉基板の取り扱いが可能となる。
【００２０】
さらに、支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けることにより、枚葉基板の受け渡しを円滑に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の実施の形態を、図面に基づいて、ガラス基板を移載対象物とする例について説明する。
【００２２】
図１〜図２に、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の第１実施例を示す。
この枚葉基板の移載装置は、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機４０のハンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うように構成されている。
そして、本実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成している。
さらに、この枚葉基板の移載装置では、前記支持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００２３】
支持部材３ａ、３ｂは、図１（ａ）に示すように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５本ずつの支持部材３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂにそれぞれ並列に配設されている。
そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
また、図１（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部には、ガラス基板５を直接支持する、例えば、合成ゴム等の弾性体等で形成した突起状（又は突条状）の緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支持部材３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにしているが、６点以上で支持することも可能である。
かくして、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長された支持部材３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２４】
また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するために、同一平面上に一体に形成されており、また、これらの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハンド４の昇降位置で支持部材３ａ、３ｂと干渉しない位置に形成されている。
横ハンド支持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のものからなる。
縦ハンド支持部４２は、カセット本体１の幅方向中央部で上記複数の横ハンド支持部４１を連結する長尺の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２５】
そして、本実施例の枚葉基板の移載装置では、図１に示すように、ガラス基板５を支持する支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成したことから、前記支持部材３ａ、３ｂをガラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これにより、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２６】
さらに、移載機のハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２７】
ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００２８】
次に、図３を参照して、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の第２実施例を説明する。
この第２実施例の移載装置と組み合わされる枚葉基板の移載装置は、第１実施例と同様に、箱形のカセット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うように構成されている。
そして、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成している。
さらに、前記支持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００２９】
支持部材３ａ、３ｂは、図３（ａ）に示すように、ガラス基板５を水平に支持するために、同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５本ずつの支持部材３ａ又は支持部材３ｂが並列に配設されている。
そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を有するように形成されるが、この間隙７の位置がカセット本体１の開口部１ａから奥行き方向に交互に左右にずれている。
すなわち、開口部１ａから１番目、３番目及び５番目の支持部材３ａ、３ｂでは、左の側壁２ａの支持部材３ａが右の側壁２ｂの支持部材３ｂより長く形成されるとともに、２番目及び４番目の支持部材３ａ、３ｂでは、右の側壁２ｂの支持部材３ｂが左の側壁２ａの支持部材３ａより長く形成されている。
なお、図３（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部には、第１実施例と同様に、ガラス基板５を直接支持する緩衝部材が設けられている。
この交互に延長された支持部材３ａ、３ｂは、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位置を分散させることにより、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００３０】
一方、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するために、同一平面上に一体に形成されている。
横ハンド支持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のものからなる。
縦ハンド支持部４２は、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位置で、上記複数の横ハンド支持部４１をジグザグ状に連結する長さ方向の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と、位置を交互にずらせた縦ハンド支持部４２を備えることにより、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、移載時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００３１】
次に、図４〜図５に、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の第３実施例を示す。
この枚葉基板の移載装置は、ガラス基板を対象とし、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機（図示省略）のハンド４を支持部３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うように構成されている。
【００３２】
そして、本実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、ガラス基板５の支持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に間隙をあけて並設され、左右の横ハンド支持部４１を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部４２とにより構成している。
また、この枚葉基板の移載装置では、前記支持部３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００３３】
支持部３ａ、３ｂは、図４（ａ）に示すように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５本ずつの支持部３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂにそれぞれ並列に配設されている。
そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
【００３４】
また、図４（ｂ）に示すように、支持部３ａ、３ｂの上面には、ガラス基板５を直接支持する緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支持部３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにしているが、６点以上で支持することも可能である。
【００３５】
かくして、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長された支持部３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができるものとなる。
【００３６】
また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するために、同一平面上に一体に形成されており、また、これらの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハンド４の昇降位置で支持部３ａ、３ｂと干渉しない位置に形成されている。
【００３７】
横ハンド支持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のものからなる。
【００３８】
縦ハンド支持部４２は、幅方向に所定寸法の間隙を設けて並設された１対の長尺板からなり、各々の縦ハンド支持部４２が、左右の横ハンド支持部４１をそれぞれ連結している。
【００３９】
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができる。
【００４０】
このように、本実施例の枚葉基板の移載装置では、図４に示すように、ガラス基板５を支持する支持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成したことから、前記支持部３ａ、３ｂをガラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これにより、大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができる。
【００４１】
そして、移載機のハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができる。
【００４２】
ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００４３】
また、ハンド４の縦ハンド支持部４２を左右に分割するように形成したことにより、各縦ハンド支持部４２の負荷を軽減して、ハンド４の剛性を高めるとともに、例えば、図５及び図６に示すような、収納装置として中央に縦に補助支持部８１を備えるような台座８にも対応してガラス基板５の移載を行うことができる。
この台座８は、ガラス基板５を左右の支持部８２と中央の補助支持部８１とで支持するもので、図６は、幅方向に間隙を設けて並設した１対の幅広（ガラス基板５の幅寸法Ｌ０のそれぞれ２０％以上の幅方向寸法Ｌ１を有する）の縦ハンド支持部４３によるガラス基板５の台座８への移載状態を示しており、この実施例に示すように、縦ハンド支持部４３を幅広に形成した場合には、横ハンド支持部４１を省略することができる。
【００４４】
このほか、図７及び図８に示すように、１対の幅広の縦ハンド支持部４２の間に、１本又はそれ以上の補助縦ハンド支持部４２ａを並設するようにしたり、収納装置としてのカセット本体１や台座８の両側から対向方向に延設した支持部２ａ、２ｂ、８２の中間位置に、１本又はそれ以上の補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設することができる。
このように、補助縦ハンド支持部４２ａや補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設することにより、より大形のガラス基板５の取り扱いが可能となる。
【００４５】
以上、本発明の枚葉基板の移載装置について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実施例に記載した構成を適宜組み合わせる（収納装置としてのカセット本体の構成を台座に適用したり、逆に、台座の構成をカセット本体に適用する等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができ、また、移載機との間で枚葉基板を受け渡しを行う装置もカセットや台座に限定されるものでない。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置は、大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができることから、枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に広く適用することができ、さらに、移載対象もガラス基板以外の枚葉基板に広く適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の枚葉基板の移載装置の第１実施例を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図である。
【図２】同実施例の枚葉基板の移載装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の枚葉基板の移載装置の第２実施例を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図である。
【図４】本発明の枚葉基板の移載装置の第３実施例の移載装置によるカセット本体への移載状態を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンドの縦ハンド支持部の側面図である。
【図５】同移載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
【図６】本発明の枚葉基板の移載装置の第４実施例の移載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
【図７】本発明の枚葉基板の移載装置の第５実施例の移載装置によるカセット本体への移載状態を示す天板を省略した平面図である。
【図８】同移載装置による台座への移載状態を示す平面図である。
【図９】従来の枚葉基板の移載装置を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図である。
【図１０】従来の大型枚葉基板の移載装置を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１ カセット本体（収納装置）
１ａ 開口部
２ａ 左の側壁
２ｂ 右の側壁
２ｃ 補助支持部
３ａ 左の支持部
３ｂ 右の支持部
４ ハンド
４０ 移載機
４１ 横ハンド支持部
４２ 縦ハンド支持部
４２ａ 補助縦ハンド支持部
４３ 縦ハンド支持部
５ ガラス基板（枚葉基板）
６ 緩衝部材
７ 間隙
８ 台座（収納装置）
８１ 中央の補助支持部
８２ 左右の支持部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枚葉基板の移載装置に関し、特に、大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶等のガラス基板は、互いに接触しないように分離して収容するために、専用のガラス基板収納用カセット等の収納装置に収納される。
このガラス基板収納用カセットは、例えば、大形の液晶ガラス基板の製造ラインにおいて、製造装置間で液晶ガラス基板を搬送したり、一時貯留する場合に使用される。
【０００３】
ガラス基板収納用カセットは、図９に示すように、箱形のカセット本体１の両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ’、３ｂ’を延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハンド４’を支持部３ａ’、３ｂ’の間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うようにしている。
カセット本体１は、二股フォーク状のハンド４’の昇降を許容するために、カセット本体１の幅方向中央部に広い空間を必要とし、これにより、支持部３ａ’、３ｂ’は左右の側壁２ａ、２ｂから比較的短く突出するように形成されている。
【０００４】
この場合、カセット本体１の中に収納されたガラス基板５は、カセット本体１の左右の側壁２ａ、２ｂからそれぞれ延設された支持部３ａ’、３ｂ’に支持され、収納されたガラス基板５の自重による撓みを小さくするように配慮されている。
【０００５】
また、カセット本体１へのガラス基板５の出し入れに使用される移載機のハンド４’は、このハンド４’によりガラス基板５を持ち上げた状態でガラス基板２の撓みが大きくならないように、ハンド４’の幅方向寸法Ｌが決められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、近年、ガラス基板の大形化、薄形化が進むことにより、剛性の大きいガラス基板であってもその撓みが過大になるため、上記従来の支持部の長さが短く制約されるようなガラス基板収納用カセットや二股フォーク状のハンドでは、ガラス基板の自重による撓みが大きくなり、この撓みによりガラス基板自身が大きな曲げ応力を受ける結果、ガラス基板が変形したり、破損しやすくなるという問題があった。
すなわち、図１０に示すように、ガラス基板５のサイズが図９の場合よりさらに大きくなると、カセット本体１に収納されたガラス基板５は、自重により大きな曲げを受けるが、この曲げを解消するために、支持部３ａ’、３ｂ’をガラス基板５の幅方向中央部まで延ばそうとすると、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくしなければならない。
しかし、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくすると、ハンド４’に載せられているガラス基板５の撓みは、図１０（ｃ）に点線にて示す状態となり、ガラス基板５が大きな曲げを受け、変形したり、破損しやすくなる。
【０００７】
本発明は、上記従来の枚葉基板の移載装置が有する問題点に鑑み、大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本第１発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする。
【０００９】
この場合において、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成することができる。
【００１０】
また、同じ目的を達成するため、本第２発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする。
【００１１】
また、同じ目的を達成するため、本第３発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴とする。
【００１２】
さらに、上記本第１発明の枚葉基板の移載装置に用いられる収納装置は、収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設けて形成したことを特徴とする。
【００１３】
この場合において、前記支持部を同形状に形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成することができる。
【００１４】
そして、１対の幅広の縦ハンド支持部の間に補助縦ハンド支持部を並設するようにしたり、収納装置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補助支持部を並設することができる。
【００１５】
また、支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置によれば、収納装置の支持部又は移載機のハンド支持部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広い範囲に拡大することができ、大形の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができ、これにより、高品質の枚葉基板加工製品を得ることができる。
【００１７】
そして、特に、移載機のハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部により構成したことから、ハンドの厚さを薄く形成してもハンドの剛性を高めることが可能となり、ハンドの挿入スペースを低減して収納装置単位容量当たりの枚葉基板の収納枚数を増大することができる。
【００１８】
また、前記支持部を同形状に形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に配設することにより、多数のガラス基板をカセットに収納することができる。
【００１９】
また、補助縦ハンド支持部や補助支持部を並設することにより、より大形の枚葉基板の取り扱いが可能となる。
【００２０】
さらに、支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けることにより、枚葉基板の受け渡しを円滑に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の実施の形態を、図面に基づいて、ガラス基板を移載対象物とする例について説明する。
【００２２】
図１〜図２に、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の第１実施例を示す。
この枚葉基板の移載装置は、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機４０のハンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うように構成されている。
そして、本実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成している。
さらに、この枚葉基板の移載装置では、前記支持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００２３】
支持部材３ａ、３ｂは、図１（ａ）に示すように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５本ずつの支持部材３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂにそれぞれ並列に配設されている。
そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
また、図１（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部には、ガラス基板５を直接支持する、例えば、合成ゴム等の弾性体等で形成した突起状（又は突条状）の緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支持部材３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにしているが、６点以上で支持することも可能である。
かくして、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長された支持部材３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２４】
また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するために、同一平面上に一体に形成されており、また、これらの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハンド４の昇降位置で支持部材３ａ、３ｂと干渉しない位置に形成されている。
横ハンド支持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のものからなる。
縦ハンド支持部４２は、カセット本体１の幅方向中央部で上記複数の横ハンド支持部４１を連結する長尺の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２５】
そして、本実施例の枚葉基板の移載装置では、図１に示すように、ガラス基板５を支持する支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成したことから、前記支持部材３ａ、３ｂをガラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これにより、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２６】
さらに、移載機のハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２７】
ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００２８】
次に、図３を参照して、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の第２実施例を説明する。
この第２実施例の移載装置と組み合わされる枚葉基板の移載装置は、第１実施例と同様に、箱形のカセット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うように構成されている。
そして、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成している。
さらに、前記支持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００２９】
支持部材３ａ、３ｂは、図３（ａ）に示すように、ガラス基板５を水平に支持するために、同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５本ずつの支持部材３ａ又は支持部材３ｂが並列に配設されている。
そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を有するように形成されるが、この間隙７の位置がカセット本体１の開口部１ａから奥行き方向に交互に左右にずれている。
すなわち、開口部１ａから１番目、３番目及び５番目の支持部材３ａ、３ｂでは、左の側壁２ａの支持部材３ａが右の側壁２ｂの支持部材３ｂより長く形成されるとともに、２番目及び４番目の支持部材３ａ、３ｂでは、右の側壁２ｂの支持部材３ｂが左の側壁２ａの支持部材３ａより長く形成されている。
なお、図３（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部には、第１実施例と同様に、ガラス基板５を直接支持する緩衝部材が設けられている。
この交互に延長された支持部材３ａ、３ｂは、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位置を分散させることにより、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００３０】
一方、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するために、同一平面上に一体に形成されている。
横ハンド支持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のものからなる。
縦ハンド支持部４２は、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位置で、上記複数の横ハンド支持部４１をジグザグ状に連結する長さ方向の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と、位置を交互にずらせた縦ハンド支持部４２を備えることにより、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、移載時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止することができる。
【００３１】
次に、図４〜図５に、本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置の第３実施例を示す。
この枚葉基板の移載装置は、ガラス基板を対象とし、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機（図示省略）のハンド４を支持部３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを行うように構成されている。
【００３２】
そして、本実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、ガラス基板５の支持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に間隙をあけて並設され、左右の横ハンド支持部４１を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部４２とにより構成している。
また、この枚葉基板の移載装置では、前記支持部３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００３３】
支持部３ａ、３ｂは、図４（ａ）に示すように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５本ずつの支持部３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂにそれぞれ並列に配設されている。
そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
【００３４】
また、図４（ｂ）に示すように、支持部３ａ、３ｂの上面には、ガラス基板５を直接支持する緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支持部３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにしているが、６点以上で支持することも可能である。
【００３５】
かくして、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長された支持部３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができるものとなる。
【００３６】
また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するために、同一平面上に一体に形成されており、また、これらの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハンド４の昇降位置で支持部３ａ、３ｂと干渉しない位置に形成されている。
【００３７】
横ハンド支持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のものからなる。
【００３８】
縦ハンド支持部４２は、幅方向に所定寸法の間隙を設けて並設された１対の長尺板からなり、各々の縦ハンド支持部４２が、左右の横ハンド支持部４１をそれぞれ連結している。
【００３９】
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができる。
【００４０】
このように、本実施例の枚葉基板の移載装置では、図４に示すように、ガラス基板５を支持する支持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成したことから、前記支持部３ａ、３ｂをガラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これにより、大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができる。
【００４１】
そして、移載機のハンド４を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形や破損を防止することができる。
【００４２】
ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００４３】
また、ハンド４の縦ハンド支持部４２を左右に分割するように形成したことにより、各縦ハンド支持部４２の負荷を軽減して、ハンド４の剛性を高めるとともに、例えば、図５及び図６に示すような、収納装置として中央に縦に補助支持部８１を備えるような台座８にも対応してガラス基板５の移載を行うことができる。
この台座８は、ガラス基板５を左右の支持部８２と中央の補助支持部８１とで支持するもので、図６は、幅方向に間隙を設けて並設した１対の幅広（ガラス基板５の幅寸法Ｌ０のそれぞれ２０％以上の幅方向寸法Ｌ１を有する）の縦ハンド支持部４３によるガラス基板５の台座８への移載状態を示しており、この実施例に示すように、縦ハンド支持部４３を幅広に形成した場合には、横ハンド支持部４１を省略することができる。
【００４４】
このほか、図７及び図８に示すように、１対の幅広の縦ハンド支持部４２の間に、１本又はそれ以上の補助縦ハンド支持部４２ａを並設するようにしたり、収納装置としてのカセット本体１や台座８の両側から対向方向に延設した支持部２ａ、２ｂ、８２の中間位置に、１本又はそれ以上の補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設することができる。
このように、補助縦ハンド支持部４２ａや補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設することにより、より大形のガラス基板５の取り扱いが可能となる。
【００４５】
以上、本発明の枚葉基板の移載装置について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実施例に記載した構成を適宜組み合わせる（収納装置としてのカセット本体の構成を台座に適用したり、逆に、台座の構成をカセット本体に適用する等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができ、また、移載機との間で枚葉基板を受け渡しを行う装置もカセットや台座に限定されるものでない。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置は、大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することができることから、枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に広く適用することができ、さらに、移載対象もガラス基板以外の枚葉基板に広く適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の枚葉基板の移載装置の第１実施例を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図である。
【図２】同実施例の枚葉基板の移載装置を示す斜視図である。
【図３】本発明の枚葉基板の移載装置の第２実施例を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図である。
【図４】本発明の枚葉基板の移載装置の第３実施例の移載装置によるカセット本体への移載状態を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンドの縦ハンド支持部の側面図である。
【図５】同移載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
【図６】本発明の枚葉基板の移載装置の第４実施例の移載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
【図７】本発明の枚葉基板の移載装置の第５実施例の移載装置によるカセット本体への移載状態を示す天板を省略した平面図である。
【図８】同移載装置による台座への移載状態を示す平面図である。
【図９】従来の枚葉基板の移載装置を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図である。
【図１０】従来の大型枚葉基板の移載装置を示し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１ カセット本体（収納装置）
１ａ 開口部
２ａ 左の側壁
２ｂ 右の側壁
２ｃ 補助支持部
３ａ 左の支持部
３ｂ 右の支持部
４ ハンド
４０ 移載機
４１ 横ハンド支持部
４２ 縦ハンド支持部
４２ａ 補助縦ハンド支持部
４３ 縦ハンド支持部
５ ガラス基板（枚葉基板）
６ 緩衝部材
７ 間隙
８ 台座（収納装置）
８１ 中央の補助支持部
８２ 左右の支持部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする枚葉基板の移載装置。
【請求項２】
前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする請求項１記載の枚葉基板の移載装置。
【請求項３】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする枚葉基板の移載装置。
【請求項４】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴とする枚葉基板の移載装置。
【請求項５】
１対の幅広の縦ハンド支持部の間に補助縦ハンド支持部を並設したことを特徴とする請求項２、３又は４記載の枚葉基板の移載装置。
【請求項６】
支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載の枚葉基板の移載装置。
【請求項７】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設けて形成したことを特徴とする収納装置。
【請求項８】
前記支持部を同形状に形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成したことを特徴とする請求項７記載の収納装置。
【請求項９】
収納装置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補助支持部を並設したことを特徴とする請求項７又は８記載の収納装置。
【請求項１０】
支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項７、８又は９記載の収納装置。
【請求項１】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする枚葉基板の移載装置。
【請求項２】
前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする請求項１記載の枚葉基板の移載装置。
【請求項３】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とする枚葉基板の移載装置。
【請求項４】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴とする枚葉基板の移載装置。
【請求項５】
１対の幅広の縦ハンド支持部の間に補助縦ハンド支持部を並設したことを特徴とする請求項２、３又は４記載の枚葉基板の移載装置。
【請求項６】
支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載の枚葉基板の移載装置。
【請求項７】
収納装置の両側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設けて形成したことを特徴とする収納装置。
【請求項８】
前記支持部を同形状に形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成したことを特徴とする請求項７記載の収納装置。
【請求項９】
収納装置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補助支持部を並設したことを特徴とする請求項７又は８記載の収納装置。
【請求項１０】
支持部の上面に、枚葉基板を直接支持する緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項７、８又は９記載の収納装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−２４４５００（Ｐ２００８−２４４５００Ａ）
【公開日】平成２０年１０月９日（２００８．１０．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１６１４５５（Ｐ２００８−１６１４５５）
【出願日】平成２０年６月２０日（２００８．６．２０）
【分割の表示】特願２００２−１５７１２２（Ｐ２００２−１５７１２２）の分割
【原出願日】平成１４年５月３０日（２００２．５．３０）
【出願人】（０００００５４５２）株式会社日立プラントテクノロジー (1,767)
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月９日（２００８．１０．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月２０日（２００８．６．２０）
【分割の表示】特願２００２−１５７１２２（Ｐ２００２−１５７１２２）の分割
【原出願日】平成１４年５月３０日（２００２．５．３０）
【出願人】（０００００５４５２）株式会社日立プラントテクノロジー (1,767)
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
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