検査装置及び検査方法
【課題】固体浸レンズが対向する被検査対象面から給電可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】検査装置は、被検査対象２１に対向する対向面１１ａを有する固体浸レンズ１１と、少なくとも固体浸レンズ１１の対向面１１ａにおいて少なくとも被検査対象と対向する領域に形成され、被検査対象２１に給電するための導電膜１２と、固体浸レンズ１１を保持するための給電経路１７を形成したレンズホルダ１４と、を備える。
【解決手段】検査装置は、被検査対象２１に対向する対向面１１ａを有する固体浸レンズ１１と、少なくとも固体浸レンズ１１の対向面１１ａにおいて少なくとも被検査対象と対向する領域に形成され、被検査対象２１に給電するための導電膜１２と、固体浸レンズ１１を保持するための給電経路１７を形成したレンズホルダ１４と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子装置の故障又は欠陥を検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの故障又は欠陥箇所を特定するために、半導体デバイスの検査装置として例えばエミッション顕微鏡が使用されている。エミッション顕微鏡は、半導体デバイスの異常動作にともない発生する微弱な発光を検出することによって、故障箇所を特定するものである。半導体デバイスでは、動作時にホットエレクトロンやキャリアの再結合により発光が生じるが、故障箇所においては発光の仕方が良品とは異なる。そこで、エミッション顕微鏡を用いて、半導体デバイスの回路パターンを光学的に拡大観察し、その回路パターン上のどこに発光箇所が位置しているかを発光画像とパターン像とを比較して、故障箇所を特定する。
【０００３】
例えば、半導体デバイスのトランジスタにおける故障箇所を検査する場合、半導体デバイスの表面がアルミニウム配線で覆われている半導体デバイスにおいては、表面からでは発光が観察できない。そこで、半導体デバイスの裏面から近赤外光を用いて検査することが行われている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００４】
像分解能は、以下の式１で求められる。例えば、一次光として波長１．３μｍの近赤外線及び開口数約０．７４の市販の高性能レンズを用いた場合、分解能は約０．９μｍとなる。
【０００５】
［式１］
ｄ＝λ／２ＮＡ （ｄ：空間分解能、λ：一次光波長、ＮＡ：開口数）
【０００６】
近年、半導体デバイスの微細化の進行に伴い、その検査においても高い分解能が要求されている。そこで、例えば特許文献１には、固体浸レンズを観察対象物に密着させることによって分解能を高める対物レンズソケットが開示されている。特許文献１に記載の対物レンズソケットは、対物レンズの鏡筒の先端部に取り付けられるベース部と、固体浸レンズホルダが取り付けられると共に、ベース部に対物レンズの光軸方向に摺動可能に取り付けられる可動部材と、を備え、固体浸レンズホルダを対物レンズの前方に配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２２７５６５号公報
【非特許文献１】竹田忠雄監修、「ＬＳＩの総合的な故障解析技術とその実際」、株式会社日本テクノセンター、１９９９年、８６頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以下の分析は、本発明の観点から与えられる。
【０００９】
パワーＭＯＳＦＥＴ（Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor）、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）等のディスクリートデバイスの場合、デバイス表面と裏面の両方から電圧を印加する必要がある。また、デバイスのサイズ自体も数ｍｍと非常に小さいものが多い。このようなデバイスに対して、半球又は超半球状の固体浸レンズ又は固浸レンズ（Solid Immersion Lens）（以下「固体浸レンズ」という）を使用する場合、分解能を高めるためには、固体浸レンズをデバイス裏面に密着させる必要がある。また、広い観察視野を得るためには固体浸レンズの直径を少なくとも数ｍｍ程度にする必要がある。このため、デバイス面は固体浸レンズによって完全に覆われてしまうことになる。すなわち、固体浸レンズを用いて検査する場合、マニピュレータを用いたデバイス裏面への針立てという方法ではデバイス裏面に対して外部から電圧を印加することはできない。したがって、固体浸レンズ面よりもサイズと同等以下のディスクリートデバイスに対しては、固体浸レンズを用いたエミッション顕微鏡による発光解析は不可能となる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１視点によれば、被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、少なくとも固体浸レンズの対向面において少なくとも被検査対象と対向する領域に形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、を備える検査装置が提供される。
【００１１】
本発明の第２視点によれば、被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、固体浸レンズに形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、を備える検査装置が提供される。導電膜は、固体浸レンズにおいて少なくとも被検査対象と対向する領域以外の領域に形成されると共に、対向面と被検査対象との間に導電性液体を保持した際に導電性液体と電気的に接続されるように形成されている。
【００１２】
本発明の第３視点によれば、被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、固体浸レンズを保持するレンズホルダと、被検査対象に給電するためのプローブと、を備える検査装置が提供される。プローブは、レンズホルダに設けられている。
【００１３】
本発明の第４視点によれば、被検査対象に対向する固体浸レンズの対向面に形成された導電膜を介して被検査対象に給電する検査方法が提供される。
【００１４】
本発明の第５視点によれば、被検査対象と固体浸レンズとの間に導電性液体を介在させ、導電性液体を介して被検査対象に給電する検査方法が提供される。
【００１５】
本発明の第６視点によれば、固体浸レンズを保持するレンズホルダに設けられたプローブを介して被検査対象に給電する検査方法が提供される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、以下の効果のうち少なくとも１つを有する。
【００１７】
本発明においては、固体浸レンズが対向する被検査対象面から給電が可能である。これにより、被検査対象が固体浸レンズの対向面よりも小さいサイズであっても固体浸レンズを用いて検査をすることができる。また、固体浸レンズを被検査対象に密着させることもできるので、分解能を高めることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電子装置検査装置の概略断面図。
【図２】図１に示す検査装置の固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図４】本発明の第３実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図５】本発明の第４実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図６】本発明の第５実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図７】本発明の第６実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
上記各視点の好ましい形態を以下に記載する。
【００２０】
上記第２視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズは、被検査対象との間に導電性液体を保持するための切欠部を有する。導電膜は、切欠部が導電性液体を保持した際に導電性液体と電気的に接続される。
【００２１】
上記第２視点の好ましい形態によれば、切欠部は、対向面の外縁に沿って形成されている。
【００２２】
上記第３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、プローブを移動させる移動機構と、プローブが被検査対象に接触したことを検知する検知機構と、をさらに備える。
【００２３】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、固体浸レンズを保持するレンズホルダと、レンズホルダに形成され、導電膜又はプローブに給電するための給電経路と、をさらに備える。
【００２４】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具をさらに備える。レンズ押具は導電体である。導電膜と給電経路とは、レンズ押具を介して電気的に接続されている。
【００２５】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、レンズホルダは、固体浸レンズを収容する凹部と、凹部に形成された導電層と、を有する。複数のレンズ押具は、導電層を介して電気的に接続される。
【００２６】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、レンズホルダに形成され、固体浸レンズを直接的に保持するレンズ留具をさらに備える。レンズ留具は導電体である。導電膜又はプローブと給電経路とは、レンズ留具を介して電気的に接続されている。
【００２７】
上記第５視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズに形成された切欠部において導電性液体を保持する。
【００２８】
上記第５視点の好ましい形態によれば、切欠部に形成された導電膜を介して導電性液体に給電する。
【００２９】
上記第４〜６視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズを保持するレンズホルダに形成された給電経路を介して被検査対象に給電する。
【００３０】
上記第４〜６視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具又は固体浸レンズをレンズホルダに保持するレンズ留具を介して導電膜又はプローブに給電する。
【００３１】
本発明の第１実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図１に、本発明の第１実施形態に係る電子装置の検査装置の概略断面図を示す。図２に、図１に示す検査装置の固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００３２】
電子装置の検査装置１０は、被検査対象（例えば半導体デバイス）２１を観察するための固体浸レンズ１１と、被検査対象２１に給電するための導電膜１２と、固体浸レンズ１１を検査時に被検査対象２１に押圧するためのレンズ押具１３と、固体浸レンズ１１を保持するためのレンズホルダ１４と、レンズホルダ１４から固体浸レンズが落下することを防止するレンズ留具１５と、外部電源２０と、外部電源２０から被検査対象２１へ給電するための第１給電経路１７と、対物レンズ１６と、外部電源２０から対物レンズ１６までの配線である第２給電経路１９と、第１給電経路１７と第２給電経路１９とを結線するコネクタ１８と、を備える。なお、図１及び図２において、外部電源２０と被検査対象２１を電気的に接続する他方の電流経路の図示は省略してある（図３〜図６においても同様）。
【００３３】
固体浸レンズ１１は、半球状又は超半球状を有するレンズである。図２に示す形態においては、固体浸レンズ１１は、被検査対象である電子装置２１に接する対向面１１ａを有する。固体浸レンズ１１は、被検査対象に接して観察するものであれば、その形状は問わない。
【００３４】
固体浸レンズ１１は、レンズホルダ１４に保持されている。レンズホルダ１４は、被検査対象２１と対物レンズ１６との間に設けられる。図２に示す形態においては、固体浸レンズ１１は、レンズホルダ１４の端部に形成された凹部１４ａに収容され、レンズホルダ１４の先端に設けたレンズ留具１５によって落下を防止するように保持される。第１実施形態においては、固体浸レンズ１１は、レンズ留具１５によって直接的に固定はされていない。
【００３５】
導電膜１２は、固体浸レンズ１１の少なくとも対向面１１ａにおいて、少なくとも被検査対象と対向する領域に形成する。好ましくは、図２に示すように、導電膜１２は、少なくとも固体浸レンズ１１の対向面１１ａ全面に形成する。また、導電膜１２は、少なくとも、固体浸レンズ１１の対向面から、固体浸レンズ１１の側面１１ｂに沿って、少なくとも１つのレンズ押具１３と接触する位置まで形成する。
【００３６】
導電膜１２は、赤外波長域の透過率が高いものが好ましい。例えば、導電膜１２は、波長１３００ｎｍの光を８０％以上透過させるものが好ましい。導電膜１２の屈折率は、空気の屈折率（ｎ＝１）よりも高いと好ましく、例えば２以上であるとより好ましい。導電膜１２の厚さは、透過率、屈折率及び導電率に応じて適宜設定されるが、分解能を高めるためには１００ｎｍ以下であると好ましい。導電膜１２の比抵抗は１×１０−４Ω・ｃｍ以下であると好ましい。導電膜１２としては、例えば、酸化インジウム錫（ＩＺＯ；Indium Zinc Oxide）、酸化亜鉛インジウム（ＩＴＯ;Indium Tin Oxide）を使用することができる。
【００３７】
少なくとも１つのレンズ押具１３は、導電体で形成する。導電体で形成されたレンズ押具１３は、導電膜１２と電気的に接続する。レンズ押具１３は、固体浸レンズ１１を被検査対象２１に対して押圧するように形成してもよい。図２に示す形態においては、レンズ押具１３は、レンズホルダ１４の凹部１４ａに形成されている。レンズ押具１３の数は限定されない。
【００３８】
第１給電経路１７は、例えば配線として形成することができ、外部電源２０からレンズホルダ１４に沿ってレンズ留具１３と電気的に接続されている。第１給電経路１７は、レンズホルダ１４の外部を通ってもよいし、内部を通ってもよい。すなわち、外部電源２０からの電流をレンズ押具１３を通じて導電膜１２に流すようにする。
【００３９】
また、レンズホルダ１４の少なくとも一部を導電体で形成し、レンズホルダ１４自体を第１給電経路１７としてもよい。
【００４０】
次に、本発明の第１実施形態に係る電子装置の検査方法について説明する。例えば、被検査対象２１が半導体デバイスである場合、封止樹脂２２を除去して半導体デバイス（例えばシリコン基板）２１を露出させる。次に、固体浸レンズ１１の対向面１１ａをレンズ押具１３によって被検査対象２１の露出面に当接させる。すなわち、対向面１１ａ面に形成された導電膜１２が被検査対象２１と接触することになる。そして、被検査対象２１に対しては、外部電源２０から第１給電経路１７、レンズ押具１３及び導電膜１２を介して給電することができる。
【００４１】
本発明によれば、固体浸レンズ１１を被検査対象２１に当接させたとしても、被検査対象２１に直接的に給電することができる。これにより、被検査対象２１に給電する位置を考慮することなく、固体浸レンズ１１の対向面１１ａ（すなわち観察領域）を広く確保することができる。したがって、被検査対象２１が固体浸レンズ１１の対向面１１ａの面積よりも小さい場合（例えば被検査対象２１がディスクリートデバイスである場合）であっても、検査を実施することができる。
【００４２】
また、本発明によれば、波長１．３μｍの光を検出する場合、理論分解能を約０．２μｍとすることができる。
【００４３】
次に、本発明の第２実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図３に、本発明の第２実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００４４】
第２実施形態に係る検査装置は、レンズホルダ３４の凹部３４ａに沿って形成された導電層３８をさらに備える。導体層３８は、複数のレンズ押具３３同士を電気的に接続している。これにより、複数のレンズ押具３３から導電膜３２へ給電することができる。
【００４５】
図３に示す上記以外の形態（例えば要素３１，３２，３３，３４，３５）は、第１実施形態と同様である。
【００４６】
次に、本発明の第３実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図４に、本発明の第３実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００４７】
第３実施形態に係る検査装置は、レンズ押具を備えていない。固体浸レンズ４１は、レンズ留具４５によって直接的に保持されている。第３実施形態におけるレンズ留具４５は、導電材料で形成されると共に、第１給電経路４７と電気的に接続されている。また、レンズ留具４５は、導電膜４２と電気的に接続されている。すなわち、レンズ留具４５は、導電膜４２の形成領域において固体浸レンズ４１を保持している。これにより、被検査対象２１への給電は、レンズ留具４５から、固体浸レンズ４１の側面４１ｂ及び対向面４１ａに沿って形成された導電膜４２を通じて行われる。
【００４８】
レンズ留具４５は、弾性を有すると好ましい。レンズ留具４５としては、例えば、バネ、導電性ラバー等を使用することができる。
【００４９】
図４に示す上記以外の形態（例えば要素４１，４２，４５）は、第１実施形態と同様である。
【００５０】
次に、本発明の第４実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図５に、本発明の第４実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００５１】
第４実施形態においては、被検査対象２１への給電は導電性液体５９を介して行う。
【００５２】
第４実施形態における固体浸レンズ５１においては、対向面５１ａにおいて少なくとも被検査対象２１と対向する領域には導電膜は形成されていない。図５に示す形態においては、対向面５１ａ全面に導電膜が形成されていない。導電膜５２は、対向面５１ａと被検査対象２１との間に導電性液体５９を保持した際に、被検査対象２１上の導電性液体５９と電気的に接触するように形成されている。すなわち、導電膜５２は、レンズ留具５５と導電性液体５９とを電気的に接続できるように形成する。例えば、図５に示すように第３実施形態と同様にしてレンズ留具５５から被検査対象２１へ給電する場合、導電膜５２は、レンズ留具５５と接触する部分から、固体浸レンズ５１の側面５１ｂの下端（対向面５１ａとの境界）まで形成することができる。
【００５３】
被検査対象２１を検査する際、固体浸レンズ５１の対向面５１ａを被検査対象２１の露出面に当接させる。このとき、被検査対象２１と対向面５１ａとの間に導電性液体５９を介在させる。導電性液体５９は、被検査対象２１と固体浸レンズ５１の対向面５１ａとの間の空間容積よりも過剰に供給する。被検査対象２１と対向面５１ａとの間から溢れた導電性液体５９は、固体浸レンズ５１の側面５１ｂと被検査対象２１（又は封止樹脂２２）との間にも介在することになる。導電膜５２は、少なくとも、導電性液体５９と接触する固体浸レンズ５１の側面５１ｂ部分から、固体浸レンズ５１の側面５１ｂに沿って、レンズ留具５５まで延在するように形成する。
【００５４】
導電性液体５９の屈折率は、空気の屈折率（ｎ＝１）以上であると好ましい。より好ましくは、導電性基体５９の屈折率は、固体浸レンズ５１の屈折率以上（例えば固体浸レンズ５１の材料がＳｉの場合、３．４以上）である。導電性液体５９は、赤外波長域の透過率が高いものが好ましく、例えば、波長１３００ｎｍの光を８０％以上透過させるものが好ましい。導電性液体５９としては、例えば、イオン液体を使用することができる。
【００５５】
本実施形態によれば、被検査対象２１の露出面が平坦でなくとも良好な電気的接触を維持することができる。例えば、被検査対象２１の基板と封止樹脂２２との間に段差が形成されると、固体浸レンズ５１の対向面５１ａの平坦度が高いので、対向面５１ａを被検査対象２１に当接させたとしても対向面５１ａと被検査対象２１との間に隙間が生じてしまうことがある。その場合であっても、導電性液体５８を介在させることにより被検査対象２１に給電することができる。
【００５６】
また、対向面５１ａには導電膜が設けられていないので、空間分解能を高めることができる。さらに、導電膜による赤外光の吸収を避けることができ、発光感度を高めることができる。
【００５７】
図５に示す上記以外の形態（例えば要素５４，５５）は、第３実施形態と同様である。図５に示す形態においては、第３実施形態を基にしたが、第１実施形態のようにレンズ押具から給電する形態であってもかまわない。
【００５８】
次に、本発明の第５実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図６に、本発明の第５実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００５９】
第５実施形態においては、第４実施形態と同様に、導電膜６２及び導電性液体６９を介して被検査対象２１に給電する。第５実施形態における固体浸レンズ６１は、対向面６１ａと側面６１ｂがなす角部の少なくとも一部に（対向面６１ａの外縁もしくは外周の少なくとも一部に）沿って切欠部又は溝部（以下「切欠部」という）６１ｃを有している。好ましくは、固体浸レンズ６１は、対向面６１ａの全周にわたって切欠部６１ｃを有する。切欠部６１ｃは、対向面６１ａを被検査対象２１に当接させた際に、被検査対象２１に給電するための導電性液体６９を対向面６１ａと被検査対象２１との間に保持できるような形状及び大きさであればよい。
【００６０】
導電膜６２は、切欠部６１ｃの少なくとも一部に形成されている。導電膜６２は、切欠部６１ｃに導電性液体６９を保持させて、固体浸レンズ６１の対向面６１ａを被検査対象２１に当接させた際に、導電膜６２と導電性液体６８とが接触するような領域に形成される。一方、導電膜は、対向面には形成されていない。
【００６１】
レンズ留具６５は導電材料で形成されると共に、第１給電経路６７と電気的に接続されている。また、レンズ留具６５は、導電膜６２と電気的に接続されている。これにより、固体浸レンズ６１と被検査対象２１との間に存在する導電性液体６９を介して被検査対象２１に給電することができる。
【００６２】
導電性液体６９の好適な形態は、第４実施形態と同様である。
【００６３】
本実施形態によれば、第４実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態によれば、固体浸レンズ６１と被検査対象２１との間に導電性液体６８を保持しやすくすることができる。
【００６４】
図６に示す上記以外の形態（例えば要素６４，６５）は、第３実施形態と同様である。
【００６５】
次に、本発明の第６実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図７に、本発明の第６実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００６６】
第６実施形態における固体浸レンズ７１は導電膜を有していない。その代わりとして、検査装置は、被検査対象２１に給電するためのプローブ７８を有している。プローブ７８は、例えば、第１給電経路７７に電気的に接続されたレンズ留具７５に取り付けることができる。これにより、プローブ７８を介して被検査対象２１に給電することができる。
【００６７】
プローブ７８は、被検査対象２１の検査面に対して水平方向に移動可能な移動機構又は位置制御機構（例えばマイクロメータ）と、被検査対象２１に接触したことを検知する検知機構（例えばタッチセンサ）と、を有すると好ましい。これにより、被検査対象２１の破壊を防止することができる。また、プローブ７８は、固体浸レンズ７１の外縁近くにおいて被検査対象２１に接触できるようにすると好ましい。これにより、被検査対象２１の検査範囲を広くとることができる。
【００６８】
本実施形態によれば、固体浸レンズ７１に導電膜を形成する必要がない。これにより、固体浸レンズ７１と被検査対象２１の密着性を高めることができる。また、導電膜による赤外光の吸収がないので、発光感度を高めることができる。さらに、屈折率を適切に維持することができるので、空間分解能を向上させることができる。
【００６９】
図７に示す上記以外の形態（例えば要素７１，７３，７４，７５）は、第１実施形態と同様である。
【００７０】
上記第１〜第６実施形態は、少なくとも２つの実施形態を組み合わせることもできる。
【００７１】
本発明の電子装置の検査装置及び検査方法は、上記実施形態に基づいて説明されているが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において、かつ本発明の基本的技術思想に基づいて、上記実施形態に対し種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。また、本発明の請求の範囲の枠内において、種々の開示要素の多様な組み合わせ・置換ないし選択が可能である。
【００７２】
本発明のさらなる課題、目的及び展開形態は、請求の範囲を含む本発明の全開示事項からも明らかにされる。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の検査装置及び検査方法は、エミッション顕微鏡のみならず、ＯＢＩＲＣＨ（Optical Beam Induced Resistance Change）法や発熱解析法を用いた検査にも適用可能である。ＯＢＩＲＣＨ法は、デバイスに対して定常的に電流を流しつつレーザーを被検査対象に対して照射し、レーザーの照射によって生じた電流変化をアンプによって増幅することで、故障箇所を特定する。発熱解析法は、被検査対象に対して電圧を供給しつつ発熱箇所を検出器で検出することで故障箇所を特定する。ＯＢＩＲＣＨ装置も発熱解析装置も、エミッション顕微鏡と類似した光学系を持つ装置であり、本発明を有用に適用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１０ 検査装置
１１，３１，４１，５１，６１，７１ 固体浸レンズ
１１ａ，３１ａ，４１ａ，５１ａ，６１ａ，７１ａ 対向面
１１ｂ，３１ｂ，４１ｂ，５１ｂ，６１ｂ 側面
６１ｃ 切欠部
１２，３２，４２，５２，６２ 導電膜
１３，３３ レンズ押具
１４，３４，４４，５４，６４，７４ レンズホルダ
１４ａ，３４ａ，４４ａ，５４ａ，６４ａ，７４ａ 凹部
１５，３５，４５，５５，６５，７５ レンズ留具
１６ 対物レンズ
１７，３７，４７，５７，６７，７７ 第１給電経路
１８ コネクタ
１９ 第２給電経路
２０ 外部電源
２１ 被検査対象
２２ 封止樹脂
５９，６９ 導電性液体
７８ プローブ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子装置の故障又は欠陥を検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの故障又は欠陥箇所を特定するために、半導体デバイスの検査装置として例えばエミッション顕微鏡が使用されている。エミッション顕微鏡は、半導体デバイスの異常動作にともない発生する微弱な発光を検出することによって、故障箇所を特定するものである。半導体デバイスでは、動作時にホットエレクトロンやキャリアの再結合により発光が生じるが、故障箇所においては発光の仕方が良品とは異なる。そこで、エミッション顕微鏡を用いて、半導体デバイスの回路パターンを光学的に拡大観察し、その回路パターン上のどこに発光箇所が位置しているかを発光画像とパターン像とを比較して、故障箇所を特定する。
【０００３】
例えば、半導体デバイスのトランジスタにおける故障箇所を検査する場合、半導体デバイスの表面がアルミニウム配線で覆われている半導体デバイスにおいては、表面からでは発光が観察できない。そこで、半導体デバイスの裏面から近赤外光を用いて検査することが行われている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００４】
像分解能は、以下の式１で求められる。例えば、一次光として波長１．３μｍの近赤外線及び開口数約０．７４の市販の高性能レンズを用いた場合、分解能は約０．９μｍとなる。
【０００５】
［式１］
ｄ＝λ／２ＮＡ （ｄ：空間分解能、λ：一次光波長、ＮＡ：開口数）
【０００６】
近年、半導体デバイスの微細化の進行に伴い、その検査においても高い分解能が要求されている。そこで、例えば特許文献１には、固体浸レンズを観察対象物に密着させることによって分解能を高める対物レンズソケットが開示されている。特許文献１に記載の対物レンズソケットは、対物レンズの鏡筒の先端部に取り付けられるベース部と、固体浸レンズホルダが取り付けられると共に、ベース部に対物レンズの光軸方向に摺動可能に取り付けられる可動部材と、を備え、固体浸レンズホルダを対物レンズの前方に配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２２７５６５号公報
【非特許文献１】竹田忠雄監修、「ＬＳＩの総合的な故障解析技術とその実際」、株式会社日本テクノセンター、１９９９年、８６頁
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
以下の分析は、本発明の観点から与えられる。
【０００９】
パワーＭＯＳＦＥＴ（Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor）、ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）等のディスクリートデバイスの場合、デバイス表面と裏面の両方から電圧を印加する必要がある。また、デバイスのサイズ自体も数ｍｍと非常に小さいものが多い。このようなデバイスに対して、半球又は超半球状の固体浸レンズ又は固浸レンズ（Solid Immersion Lens）（以下「固体浸レンズ」という）を使用する場合、分解能を高めるためには、固体浸レンズをデバイス裏面に密着させる必要がある。また、広い観察視野を得るためには固体浸レンズの直径を少なくとも数ｍｍ程度にする必要がある。このため、デバイス面は固体浸レンズによって完全に覆われてしまうことになる。すなわち、固体浸レンズを用いて検査する場合、マニピュレータを用いたデバイス裏面への針立てという方法ではデバイス裏面に対して外部から電圧を印加することはできない。したがって、固体浸レンズ面よりもサイズと同等以下のディスクリートデバイスに対しては、固体浸レンズを用いたエミッション顕微鏡による発光解析は不可能となる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１視点によれば、被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、少なくとも固体浸レンズの対向面において少なくとも被検査対象と対向する領域に形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、を備える検査装置が提供される。
【００１１】
本発明の第２視点によれば、被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、固体浸レンズに形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、を備える検査装置が提供される。導電膜は、固体浸レンズにおいて少なくとも被検査対象と対向する領域以外の領域に形成されると共に、対向面と被検査対象との間に導電性液体を保持した際に導電性液体と電気的に接続されるように形成されている。
【００１２】
本発明の第３視点によれば、被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、固体浸レンズを保持するレンズホルダと、被検査対象に給電するためのプローブと、を備える検査装置が提供される。プローブは、レンズホルダに設けられている。
【００１３】
本発明の第４視点によれば、被検査対象に対向する固体浸レンズの対向面に形成された導電膜を介して被検査対象に給電する検査方法が提供される。
【００１４】
本発明の第５視点によれば、被検査対象と固体浸レンズとの間に導電性液体を介在させ、導電性液体を介して被検査対象に給電する検査方法が提供される。
【００１５】
本発明の第６視点によれば、固体浸レンズを保持するレンズホルダに設けられたプローブを介して被検査対象に給電する検査方法が提供される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、以下の効果のうち少なくとも１つを有する。
【００１７】
本発明においては、固体浸レンズが対向する被検査対象面から給電が可能である。これにより、被検査対象が固体浸レンズの対向面よりも小さいサイズであっても固体浸レンズを用いて検査をすることができる。また、固体浸レンズを被検査対象に密着させることもできるので、分解能を高めることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係る電子装置検査装置の概略断面図。
【図２】図１に示す検査装置の固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図３】本発明の第２実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図４】本発明の第３実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図５】本発明の第４実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図６】本発明の第５実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【図７】本発明の第６実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
上記各視点の好ましい形態を以下に記載する。
【００２０】
上記第２視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズは、被検査対象との間に導電性液体を保持するための切欠部を有する。導電膜は、切欠部が導電性液体を保持した際に導電性液体と電気的に接続される。
【００２１】
上記第２視点の好ましい形態によれば、切欠部は、対向面の外縁に沿って形成されている。
【００２２】
上記第３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、プローブを移動させる移動機構と、プローブが被検査対象に接触したことを検知する検知機構と、をさらに備える。
【００２３】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、固体浸レンズを保持するレンズホルダと、レンズホルダに形成され、導電膜又はプローブに給電するための給電経路と、をさらに備える。
【００２４】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具をさらに備える。レンズ押具は導電体である。導電膜と給電経路とは、レンズ押具を介して電気的に接続されている。
【００２５】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、レンズホルダは、固体浸レンズを収容する凹部と、凹部に形成された導電層と、を有する。複数のレンズ押具は、導電層を介して電気的に接続される。
【００２６】
上記第１〜３視点の好ましい形態によれば、検査装置は、レンズホルダに形成され、固体浸レンズを直接的に保持するレンズ留具をさらに備える。レンズ留具は導電体である。導電膜又はプローブと給電経路とは、レンズ留具を介して電気的に接続されている。
【００２７】
上記第５視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズに形成された切欠部において導電性液体を保持する。
【００２８】
上記第５視点の好ましい形態によれば、切欠部に形成された導電膜を介して導電性液体に給電する。
【００２９】
上記第４〜６視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズを保持するレンズホルダに形成された給電経路を介して被検査対象に給電する。
【００３０】
上記第４〜６視点の好ましい形態によれば、固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具又は固体浸レンズをレンズホルダに保持するレンズ留具を介して導電膜又はプローブに給電する。
【００３１】
本発明の第１実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図１に、本発明の第１実施形態に係る電子装置の検査装置の概略断面図を示す。図２に、図１に示す検査装置の固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００３２】
電子装置の検査装置１０は、被検査対象（例えば半導体デバイス）２１を観察するための固体浸レンズ１１と、被検査対象２１に給電するための導電膜１２と、固体浸レンズ１１を検査時に被検査対象２１に押圧するためのレンズ押具１３と、固体浸レンズ１１を保持するためのレンズホルダ１４と、レンズホルダ１４から固体浸レンズが落下することを防止するレンズ留具１５と、外部電源２０と、外部電源２０から被検査対象２１へ給電するための第１給電経路１７と、対物レンズ１６と、外部電源２０から対物レンズ１６までの配線である第２給電経路１９と、第１給電経路１７と第２給電経路１９とを結線するコネクタ１８と、を備える。なお、図１及び図２において、外部電源２０と被検査対象２１を電気的に接続する他方の電流経路の図示は省略してある（図３〜図６においても同様）。
【００３３】
固体浸レンズ１１は、半球状又は超半球状を有するレンズである。図２に示す形態においては、固体浸レンズ１１は、被検査対象である電子装置２１に接する対向面１１ａを有する。固体浸レンズ１１は、被検査対象に接して観察するものであれば、その形状は問わない。
【００３４】
固体浸レンズ１１は、レンズホルダ１４に保持されている。レンズホルダ１４は、被検査対象２１と対物レンズ１６との間に設けられる。図２に示す形態においては、固体浸レンズ１１は、レンズホルダ１４の端部に形成された凹部１４ａに収容され、レンズホルダ１４の先端に設けたレンズ留具１５によって落下を防止するように保持される。第１実施形態においては、固体浸レンズ１１は、レンズ留具１５によって直接的に固定はされていない。
【００３５】
導電膜１２は、固体浸レンズ１１の少なくとも対向面１１ａにおいて、少なくとも被検査対象と対向する領域に形成する。好ましくは、図２に示すように、導電膜１２は、少なくとも固体浸レンズ１１の対向面１１ａ全面に形成する。また、導電膜１２は、少なくとも、固体浸レンズ１１の対向面から、固体浸レンズ１１の側面１１ｂに沿って、少なくとも１つのレンズ押具１３と接触する位置まで形成する。
【００３６】
導電膜１２は、赤外波長域の透過率が高いものが好ましい。例えば、導電膜１２は、波長１３００ｎｍの光を８０％以上透過させるものが好ましい。導電膜１２の屈折率は、空気の屈折率（ｎ＝１）よりも高いと好ましく、例えば２以上であるとより好ましい。導電膜１２の厚さは、透過率、屈折率及び導電率に応じて適宜設定されるが、分解能を高めるためには１００ｎｍ以下であると好ましい。導電膜１２の比抵抗は１×１０−４Ω・ｃｍ以下であると好ましい。導電膜１２としては、例えば、酸化インジウム錫（ＩＺＯ；Indium Zinc Oxide）、酸化亜鉛インジウム（ＩＴＯ;Indium Tin Oxide）を使用することができる。
【００３７】
少なくとも１つのレンズ押具１３は、導電体で形成する。導電体で形成されたレンズ押具１３は、導電膜１２と電気的に接続する。レンズ押具１３は、固体浸レンズ１１を被検査対象２１に対して押圧するように形成してもよい。図２に示す形態においては、レンズ押具１３は、レンズホルダ１４の凹部１４ａに形成されている。レンズ押具１３の数は限定されない。
【００３８】
第１給電経路１７は、例えば配線として形成することができ、外部電源２０からレンズホルダ１４に沿ってレンズ留具１３と電気的に接続されている。第１給電経路１７は、レンズホルダ１４の外部を通ってもよいし、内部を通ってもよい。すなわち、外部電源２０からの電流をレンズ押具１３を通じて導電膜１２に流すようにする。
【００３９】
また、レンズホルダ１４の少なくとも一部を導電体で形成し、レンズホルダ１４自体を第１給電経路１７としてもよい。
【００４０】
次に、本発明の第１実施形態に係る電子装置の検査方法について説明する。例えば、被検査対象２１が半導体デバイスである場合、封止樹脂２２を除去して半導体デバイス（例えばシリコン基板）２１を露出させる。次に、固体浸レンズ１１の対向面１１ａをレンズ押具１３によって被検査対象２１の露出面に当接させる。すなわち、対向面１１ａ面に形成された導電膜１２が被検査対象２１と接触することになる。そして、被検査対象２１に対しては、外部電源２０から第１給電経路１７、レンズ押具１３及び導電膜１２を介して給電することができる。
【００４１】
本発明によれば、固体浸レンズ１１を被検査対象２１に当接させたとしても、被検査対象２１に直接的に給電することができる。これにより、被検査対象２１に給電する位置を考慮することなく、固体浸レンズ１１の対向面１１ａ（すなわち観察領域）を広く確保することができる。したがって、被検査対象２１が固体浸レンズ１１の対向面１１ａの面積よりも小さい場合（例えば被検査対象２１がディスクリートデバイスである場合）であっても、検査を実施することができる。
【００４２】
また、本発明によれば、波長１．３μｍの光を検出する場合、理論分解能を約０．２μｍとすることができる。
【００４３】
次に、本発明の第２実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図３に、本発明の第２実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００４４】
第２実施形態に係る検査装置は、レンズホルダ３４の凹部３４ａに沿って形成された導電層３８をさらに備える。導体層３８は、複数のレンズ押具３３同士を電気的に接続している。これにより、複数のレンズ押具３３から導電膜３２へ給電することができる。
【００４５】
図３に示す上記以外の形態（例えば要素３１，３２，３３，３４，３５）は、第１実施形態と同様である。
【００４６】
次に、本発明の第３実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図４に、本発明の第３実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００４７】
第３実施形態に係る検査装置は、レンズ押具を備えていない。固体浸レンズ４１は、レンズ留具４５によって直接的に保持されている。第３実施形態におけるレンズ留具４５は、導電材料で形成されると共に、第１給電経路４７と電気的に接続されている。また、レンズ留具４５は、導電膜４２と電気的に接続されている。すなわち、レンズ留具４５は、導電膜４２の形成領域において固体浸レンズ４１を保持している。これにより、被検査対象２１への給電は、レンズ留具４５から、固体浸レンズ４１の側面４１ｂ及び対向面４１ａに沿って形成された導電膜４２を通じて行われる。
【００４８】
レンズ留具４５は、弾性を有すると好ましい。レンズ留具４５としては、例えば、バネ、導電性ラバー等を使用することができる。
【００４９】
図４に示す上記以外の形態（例えば要素４１，４２，４５）は、第１実施形態と同様である。
【００５０】
次に、本発明の第４実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図５に、本発明の第４実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００５１】
第４実施形態においては、被検査対象２１への給電は導電性液体５９を介して行う。
【００５２】
第４実施形態における固体浸レンズ５１においては、対向面５１ａにおいて少なくとも被検査対象２１と対向する領域には導電膜は形成されていない。図５に示す形態においては、対向面５１ａ全面に導電膜が形成されていない。導電膜５２は、対向面５１ａと被検査対象２１との間に導電性液体５９を保持した際に、被検査対象２１上の導電性液体５９と電気的に接触するように形成されている。すなわち、導電膜５２は、レンズ留具５５と導電性液体５９とを電気的に接続できるように形成する。例えば、図５に示すように第３実施形態と同様にしてレンズ留具５５から被検査対象２１へ給電する場合、導電膜５２は、レンズ留具５５と接触する部分から、固体浸レンズ５１の側面５１ｂの下端（対向面５１ａとの境界）まで形成することができる。
【００５３】
被検査対象２１を検査する際、固体浸レンズ５１の対向面５１ａを被検査対象２１の露出面に当接させる。このとき、被検査対象２１と対向面５１ａとの間に導電性液体５９を介在させる。導電性液体５９は、被検査対象２１と固体浸レンズ５１の対向面５１ａとの間の空間容積よりも過剰に供給する。被検査対象２１と対向面５１ａとの間から溢れた導電性液体５９は、固体浸レンズ５１の側面５１ｂと被検査対象２１（又は封止樹脂２２）との間にも介在することになる。導電膜５２は、少なくとも、導電性液体５９と接触する固体浸レンズ５１の側面５１ｂ部分から、固体浸レンズ５１の側面５１ｂに沿って、レンズ留具５５まで延在するように形成する。
【００５４】
導電性液体５９の屈折率は、空気の屈折率（ｎ＝１）以上であると好ましい。より好ましくは、導電性基体５９の屈折率は、固体浸レンズ５１の屈折率以上（例えば固体浸レンズ５１の材料がＳｉの場合、３．４以上）である。導電性液体５９は、赤外波長域の透過率が高いものが好ましく、例えば、波長１３００ｎｍの光を８０％以上透過させるものが好ましい。導電性液体５９としては、例えば、イオン液体を使用することができる。
【００５５】
本実施形態によれば、被検査対象２１の露出面が平坦でなくとも良好な電気的接触を維持することができる。例えば、被検査対象２１の基板と封止樹脂２２との間に段差が形成されると、固体浸レンズ５１の対向面５１ａの平坦度が高いので、対向面５１ａを被検査対象２１に当接させたとしても対向面５１ａと被検査対象２１との間に隙間が生じてしまうことがある。その場合であっても、導電性液体５８を介在させることにより被検査対象２１に給電することができる。
【００５６】
また、対向面５１ａには導電膜が設けられていないので、空間分解能を高めることができる。さらに、導電膜による赤外光の吸収を避けることができ、発光感度を高めることができる。
【００５７】
図５に示す上記以外の形態（例えば要素５４，５５）は、第３実施形態と同様である。図５に示す形態においては、第３実施形態を基にしたが、第１実施形態のようにレンズ押具から給電する形態であってもかまわない。
【００５８】
次に、本発明の第５実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図６に、本発明の第５実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００５９】
第５実施形態においては、第４実施形態と同様に、導電膜６２及び導電性液体６９を介して被検査対象２１に給電する。第５実施形態における固体浸レンズ６１は、対向面６１ａと側面６１ｂがなす角部の少なくとも一部に（対向面６１ａの外縁もしくは外周の少なくとも一部に）沿って切欠部又は溝部（以下「切欠部」という）６１ｃを有している。好ましくは、固体浸レンズ６１は、対向面６１ａの全周にわたって切欠部６１ｃを有する。切欠部６１ｃは、対向面６１ａを被検査対象２１に当接させた際に、被検査対象２１に給電するための導電性液体６９を対向面６１ａと被検査対象２１との間に保持できるような形状及び大きさであればよい。
【００６０】
導電膜６２は、切欠部６１ｃの少なくとも一部に形成されている。導電膜６２は、切欠部６１ｃに導電性液体６９を保持させて、固体浸レンズ６１の対向面６１ａを被検査対象２１に当接させた際に、導電膜６２と導電性液体６８とが接触するような領域に形成される。一方、導電膜は、対向面には形成されていない。
【００６１】
レンズ留具６５は導電材料で形成されると共に、第１給電経路６７と電気的に接続されている。また、レンズ留具６５は、導電膜６２と電気的に接続されている。これにより、固体浸レンズ６１と被検査対象２１との間に存在する導電性液体６９を介して被検査対象２１に給電することができる。
【００６２】
導電性液体６９の好適な形態は、第４実施形態と同様である。
【００６３】
本実施形態によれば、第４実施形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施形態によれば、固体浸レンズ６１と被検査対象２１との間に導電性液体６８を保持しやすくすることができる。
【００６４】
図６に示す上記以外の形態（例えば要素６４，６５）は、第３実施形態と同様である。
【００６５】
次に、本発明の第６実施形態に係る電子装置の検査装置について説明する。図７に、本発明の第６実施形態に係る電子装置の検査装置における固体浸レンズ部分の概略部分断面図を示す。
【００６６】
第６実施形態における固体浸レンズ７１は導電膜を有していない。その代わりとして、検査装置は、被検査対象２１に給電するためのプローブ７８を有している。プローブ７８は、例えば、第１給電経路７７に電気的に接続されたレンズ留具７５に取り付けることができる。これにより、プローブ７８を介して被検査対象２１に給電することができる。
【００６７】
プローブ７８は、被検査対象２１の検査面に対して水平方向に移動可能な移動機構又は位置制御機構（例えばマイクロメータ）と、被検査対象２１に接触したことを検知する検知機構（例えばタッチセンサ）と、を有すると好ましい。これにより、被検査対象２１の破壊を防止することができる。また、プローブ７８は、固体浸レンズ７１の外縁近くにおいて被検査対象２１に接触できるようにすると好ましい。これにより、被検査対象２１の検査範囲を広くとることができる。
【００６８】
本実施形態によれば、固体浸レンズ７１に導電膜を形成する必要がない。これにより、固体浸レンズ７１と被検査対象２１の密着性を高めることができる。また、導電膜による赤外光の吸収がないので、発光感度を高めることができる。さらに、屈折率を適切に維持することができるので、空間分解能を向上させることができる。
【００６９】
図７に示す上記以外の形態（例えば要素７１，７３，７４，７５）は、第１実施形態と同様である。
【００７０】
上記第１〜第６実施形態は、少なくとも２つの実施形態を組み合わせることもできる。
【００７１】
本発明の電子装置の検査装置及び検査方法は、上記実施形態に基づいて説明されているが、上記実施形態に限定されることなく、本発明の範囲内において、かつ本発明の基本的技術思想に基づいて、上記実施形態に対し種々の変形、変更及び改良を含むことができることはいうまでもない。また、本発明の請求の範囲の枠内において、種々の開示要素の多様な組み合わせ・置換ないし選択が可能である。
【００７２】
本発明のさらなる課題、目的及び展開形態は、請求の範囲を含む本発明の全開示事項からも明らかにされる。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の検査装置及び検査方法は、エミッション顕微鏡のみならず、ＯＢＩＲＣＨ（Optical Beam Induced Resistance Change）法や発熱解析法を用いた検査にも適用可能である。ＯＢＩＲＣＨ法は、デバイスに対して定常的に電流を流しつつレーザーを被検査対象に対して照射し、レーザーの照射によって生じた電流変化をアンプによって増幅することで、故障箇所を特定する。発熱解析法は、被検査対象に対して電圧を供給しつつ発熱箇所を検出器で検出することで故障箇所を特定する。ＯＢＩＲＣＨ装置も発熱解析装置も、エミッション顕微鏡と類似した光学系を持つ装置であり、本発明を有用に適用することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１０ 検査装置
１１，３１，４１，５１，６１，７１ 固体浸レンズ
１１ａ，３１ａ，４１ａ，５１ａ，６１ａ，７１ａ 対向面
１１ｂ，３１ｂ，４１ｂ，５１ｂ，６１ｂ 側面
６１ｃ 切欠部
１２，３２，４２，５２，６２ 導電膜
１３，３３ レンズ押具
１４，３４，４４，５４，６４，７４ レンズホルダ
１４ａ，３４ａ，４４ａ，５４ａ，６４ａ，７４ａ 凹部
１５，３５，４５，５５，６５，７５ レンズ留具
１６ 対物レンズ
１７，３７，４７，５７，６７，７７ 第１給電経路
１８ コネクタ
１９ 第２給電経路
２０ 外部電源
２１ 被検査対象
２２ 封止樹脂
５９，６９ 導電性液体
７８ プローブ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、
少なくとも前記固体浸レンズの前記対向面において少なくとも被検査対象と対向する領域に形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、
前記固体浸レンズに形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、を備え、
前記導電膜は、前記固体浸レンズにおいて少なくとも被検査対象と対向する領域以外の領域に形成されると共に、前記対向面と被検査対象との間に導電性液体を保持した際に前記導電性液体と電気的に接続されるように形成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
前記固体浸レンズは、被検査対象との間に導電性液体を保持するための切欠部を有し、
前記導電膜は、前記切欠部が導電性液体を保持した際に前記導電性液体と電気的に接続されることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記切欠部は、前記対向面の外縁に沿って形成されていることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、
前記固体浸レンズを保持するレンズホルダと、
被検査対象に給電するためのプローブと、を備え、
前記プローブは、前記レンズホルダに設けられていることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
前記プローブを移動させる移動機構と、
前記プローブが被検査対象に接触したことを検知する検知機構と、をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記固体浸レンズを保持するレンズホルダと、
前記レンズホルダに形成され、前記導電膜又は前記プローブに給電するための給電経路と、をさらに備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具をさらに備え、
前記レンズ押具は導電体であり、
前記導電膜と前記給電経路とは、前記レンズ押具を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項９】
前記レンズホルダは、前記固体浸レンズを収容する凹部と、前記凹部に形成された導電層と、を有し、
複数の前記レンズ押具は、前記導電層を介して電気的に接続されることを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記レンズホルダに形成され、前記固体浸レンズを直接的に保持するレンズ留具をさらに備え、
前記レンズ留具は導電体であり、
前記導電膜又は前記プローブと前記給電経路とは、前記レンズ留具を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項１１】
被検査対象に対向する固体浸レンズの対向面に形成された導電膜を介して被検査対象に給電することを特徴とする検査方法。
【請求項１２】
被検査対象と固体浸レンズとの間に導電性液体を介在させ、
前記導電性液体を介して被検査対象に給電することを特徴とする検査方法。
【請求項１３】
前記固体浸レンズに形成された切欠部において前記導電性液体を保持することを特徴とする請求項１２に記載の検査方法。
【請求項１４】
前記切欠部に形成された導電膜を介して前記導電性液体に給電することを特徴とする請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
固体浸レンズを保持するレンズホルダに設けられたプローブを介して被検査対象に給電することを特徴とする検査方法。
【請求項１６】
前記固体浸レンズを保持するレンズホルダに形成された給電経路を介して被検査対象に給電することを特徴とする請求項１１〜１５のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１７】
前記固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具又は前記固体浸レンズを前記レンズホルダに保持するレンズ留具を介して前記導電膜又は前記プローブに給電することを特徴とする請求項１６に記載の検査方法。
【請求項１】
被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、
少なくとも前記固体浸レンズの前記対向面において少なくとも被検査対象と対向する領域に形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、
前記固体浸レンズに形成され、被検査対象に給電するための導電膜と、を備え、
前記導電膜は、前記固体浸レンズにおいて少なくとも被検査対象と対向する領域以外の領域に形成されると共に、前記対向面と被検査対象との間に導電性液体を保持した際に前記導電性液体と電気的に接続されるように形成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
前記固体浸レンズは、被検査対象との間に導電性液体を保持するための切欠部を有し、
前記導電膜は、前記切欠部が導電性液体を保持した際に前記導電性液体と電気的に接続されることを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記切欠部は、前記対向面の外縁に沿って形成されていることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
被検査対象に対向する対向面を有する固体浸レンズと、
前記固体浸レンズを保持するレンズホルダと、
被検査対象に給電するためのプローブと、を備え、
前記プローブは、前記レンズホルダに設けられていることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
前記プローブを移動させる移動機構と、
前記プローブが被検査対象に接触したことを検知する検知機構と、をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記固体浸レンズを保持するレンズホルダと、
前記レンズホルダに形成され、前記導電膜又は前記プローブに給電するための給電経路と、をさらに備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具をさらに備え、
前記レンズ押具は導電体であり、
前記導電膜と前記給電経路とは、前記レンズ押具を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項９】
前記レンズホルダは、前記固体浸レンズを収容する凹部と、前記凹部に形成された導電層と、を有し、
複数の前記レンズ押具は、前記導電層を介して電気的に接続されることを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記レンズホルダに形成され、前記固体浸レンズを直接的に保持するレンズ留具をさらに備え、
前記レンズ留具は導電体であり、
前記導電膜又は前記プローブと前記給電経路とは、前記レンズ留具を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
【請求項１１】
被検査対象に対向する固体浸レンズの対向面に形成された導電膜を介して被検査対象に給電することを特徴とする検査方法。
【請求項１２】
被検査対象と固体浸レンズとの間に導電性液体を介在させ、
前記導電性液体を介して被検査対象に給電することを特徴とする検査方法。
【請求項１３】
前記固体浸レンズに形成された切欠部において前記導電性液体を保持することを特徴とする請求項１２に記載の検査方法。
【請求項１４】
前記切欠部に形成された導電膜を介して前記導電性液体に給電することを特徴とする請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
固体浸レンズを保持するレンズホルダに設けられたプローブを介して被検査対象に給電することを特徴とする検査方法。
【請求項１６】
前記固体浸レンズを保持するレンズホルダに形成された給電経路を介して被検査対象に給電することを特徴とする請求項１１〜１５のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１７】
前記固体浸レンズを被検査対象に対して押圧するレンズ押具又は前記固体浸レンズを前記レンズホルダに保持するレンズ留具を介して前記導電膜又は前記プローブに給電することを特徴とする請求項１６に記載の検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−１６４００７（Ｐ２０１１−１６４００７Ａ）
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２８６７８（Ｐ２０１０−２８６７８）
【出願日】平成２２年２月１２日（２０１０．２．１２）
【出願人】（３０２０６２９３１）ルネサスエレクトロニクス株式会社 (8,021)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年２月１２日（２０１０．２．１２）
【出願人】（３０２０６２９３１）ルネサスエレクトロニクス株式会社 (8,021)
【Ｆターム（参考）】
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