検査装置
【課題】環状部材に保持されたテープに貼り付けられた検査対象物を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】観察光学系（１１）と、反射照明機構１２と、透過照明機構１４と、検査対象物（４４）が貼付されるテープ４２を保持する環状部材４３の内側で透過照明機構１４側からテープ４２を保持可能な筒状の保持ステージ３４と、を備える検査装置１０である。透過照明機構１４は、光源（５１）から導光された透過光を保持ステージ３４の外方から観察面Ｆｐへ向けて出射する出射部５３を有し、保持ステージ３４には、観察光学系側に観察面Ｆｐに沿う平面を規定する平坦面（３５ａ）が設けられた板状を呈しかつ出射部５３から出射された透過光の透過を許す透過部材３５と、保持ステージ３４に対して観察光軸Ｏａ方向に関する位置調整可能に透過部材３５を保持する位置調整機構（３７、３８）と、を有する。
【解決手段】観察光学系（１１）と、反射照明機構１２と、透過照明機構１４と、検査対象物（４４）が貼付されるテープ４２を保持する環状部材４３の内側で透過照明機構１４側からテープ４２を保持可能な筒状の保持ステージ３４と、を備える検査装置１０である。透過照明機構１４は、光源（５１）から導光された透過光を保持ステージ３４の外方から観察面Ｆｐへ向けて出射する出射部５３を有し、保持ステージ３４には、観察光学系側に観察面Ｆｐに沿う平面を規定する平坦面（３５ａ）が設けられた板状を呈しかつ出射部５３から出射された透過光の透過を許す透過部材３５と、保持ステージ３４に対して観察光軸Ｏａ方向に関する位置調整可能に透過部材３５を保持する位置調整機構（３７、３８）と、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子を検査対象物として検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＥＤチップ等の半導体素子に、種々の照明光を照射しつつその半導体素子を観察光学系で観察することにより、当該半導体素子を検査対象物として検査する検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この検査装置では、種々の照明光の１つとして、検査対象物から見て観察光学系とは反対側から当該検査対象物を照明する透過照明機構からの透過照明を用いている。
【０００３】
ここで、半導体素子は、テープ（フィルム）に貼り付けられままウェハから切り出され、そのテープが環状部材に保持されている状態で取り扱われることが多く見られる。このため、検査装置では、当該状態を維持したまま検査を行うために、観察光学系とは反対側から、環状部材の内側でテープを保持する筒状の保持ステージを設けることが考えられている。
【０００４】
また、テープが保持ステージで保持された状態では、テープの材質や検査対象物の重量等に応じて、テープに撓みが生じてしまうことがあり、観察光学系による適切な観察が困難となってしまうことがある。このため、従来の検査装置では、透過照明機構に長尺な棒状を呈し平坦な先端面を出射面とした出射部を設け、その出射部の出射面で保持ステージにより保持されたテープを押し上げることにより、検査対象物を観察光学系による適切な観察位置（観察面）に位置させて検査を行うことが考えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１０７２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、透過照明機構としての出射部では、透過光を出射させるための光学素子と、その光学素子を保護しつつ保持する外枠部と、を有する構成とする必要があることから、その外枠部と保持ステージの内壁との干渉により、保持ステージで保持されたテープを透過光で適切に照射できる照射領域すなわち透過照明を用いた有効な検査領域が、保持ステージの内方の領域よりも小さなものとなってしまう。換言すると、保持ステージの内方を有効検査領域として最大限に利用することができず、テープを保持する保持ステージにより、検査の作業効率の低下を招いてしまう。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、環状部材に保持されたテープに貼り付けられた検査対象物を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することのできる検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、検査対象物が貼付されるテープを保持する環状部材の内側で前記透過照明機構側から前記テープを保持可能な筒状の保持ステージと、を備える検査装置であって、前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を前記保持ステージの外方から前記観察面へ向けて出射する出射部を有し、前記保持ステージは、前記観察光学系側に前記観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた板状を呈しかつ前記出射部から出射された透過光の透過を許す透過部材と、前記保持ステージに対して観察光軸方向に関する位置調整可能に前記透過部材を保持する位置調整機構と、を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査装置であって、観察光軸方向に関する位置調整とは、観察光軸方向での位置および観察光軸方向に対する傾斜であることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の検査装置であって、前記位置調整機構は、観察光軸方向で見て、前記平坦面を前記保持ステージにおける前記テープの保持位置よりも前記観察光学系側とするように前記透過部材を位置させることが可能とされていることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の検査装置であって、さらに、前記透過部材の外方位置において前記テープを観察光軸方向の前記出射部側に押圧する押圧機構を備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の検査装置であって、前記押圧機構は、前記保持ステージの外方位置で前記環状部材を押圧することを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載の検査装置であって、前記押圧機構は、前記保持ステージにおいて、前記透過部材を取り巻くように該透過部材と前記テープを保持する箇所との間を吸引することを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の検査装置であって、前記出射部は、前記透過部材へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、導光した透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の検査装置であって、前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の検査装置によれば、透過照明機構の出射部が、保持ステージの外方から観察面を照射する構成であることから、出射部と保持ステージとが干渉することを確実に防止することができる。このため、保持ステージの内方の全領域に透過光を照射することができることから、保持ステージの内方を全域に渡って有効な検査領域とすることができ、有効検査領域を最大限に確保することができる。
【００１７】
また、検査装置では、保持ステージに設けられた透過部材の平坦面により、保持ステージに保持されたテープを平坦な状態として、そこに貼付された検査対象物を観察面上に位置させることができるので、透過照明機構の出射部が、保持ステージの外方から観察面を照射する構成としても、観察光学系により適切な観察を行うことができる。
【００１８】
さらに、検査装置では、透過部材が、位置調整機構により保持ステージに対して観察光軸に関する位置調整が可能とされていることから、テープの撓み変形の量および状態に応じて、テープに貼り付けられた検査対象物をより適切に観察面上に位置させることができる。
【００１９】
上記した構成に加えて、観察光軸方向に関する位置調整とは、観察光軸方向での位置および観察光軸方向に対する傾斜であることとすると、テープの撓み変形の量および状態に、適切に対応して、テープに貼り付けられた検査対象物を観察面上に位置させることができる。
【００２０】
上記した構成に加えて、前記位置調整機構は、観察光軸方向で見て、前記平坦面を前記保持ステージにおける前記テープの保持位置よりも前記観察光学系側とするように前記透過部材を位置させることが可能とされていることとすると、テープに貼り付けられた検査対象物をより適切に観察面上に位置させることができる。
【００２１】
上記した構成に加えて、さらに、前記透過部材の外方位置において前記テープを観察光軸方向の前記出射部側に押圧する押圧機構を備えることとすると、押圧機構での押圧により、透過部材の平坦面に倣ってテープを平坦化させつつ固定することができる。このため、テープに貼付された検査対象物を適切に検査することができる。
【００２２】
上記した構成に加えて、前記押圧機構は、前記保持ステージの外方位置で前記環状部材を押圧することとすると、押圧機構での押圧により、確実に透過部材の平坦面に倣ってテープを平坦化させつつ固定することができる。
【００２３】
上記した構成に加えて、前記押圧機構は、前記保持ステージにおいて、前記透過部材を取り巻くように該透過部材と前記テープを保持する箇所との間を吸引することとすると、テープにおける撓み変形による余剰分を引き込むことができるので、テープに貼付された検査対象物を適切に観察面上に位置させることができる。
【００２４】
上記した構成に加えて、前記出射部は、前記透過部材へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、導光した透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することとすると、観察面上における観察光学系に対する適切な領域を照射することができるので、より効率的に観察光学系による適切な観察を可能とすることができる。
【００２５】
上記した構成に加えて、前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることとすると、観察光学系によるより適切な観察を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本願発明に係る実施例１の検査装置１０の構成を模式的に示す説明図である。
【図２】検査装置１０の機能構成を示すブロック図である。
【図３】検査装置１０の保持ステージ３４を模式的に示す斜視図である。
【図４】検査対象ワーク４０の種類を説明するための説明図であり、（ａ）は各半導体素子４４がテープ４２に貼り付けられたまま各境界面で切断された状態を示し、（ｂ）はテープ４２が引き伸ばされて各半導体素子４４が各個に分断された状態を示している。
【図５】検査装置１０の保持機構１３および透過照明機構１４を模式的に示す斜視図である。
【図６】図５に示すＩ−Ｉ線に沿う箇所を部分的な断面で示す説明図である。
【図７】技術の課題を説明するための比較例としての検査装置１０´の保持機構１３´および透過照明機構１４´の構成を模式的に示す説明図である。
【図８】検査装置１０´において検査対象物を観察面Ｆｐ上に位置させる様子を説明するための説明図である。
【図９】検査装置１０´において、有効検査領域Ｓａ´が狭まることを説明するための説明図であり、上方に観察光学系側から保持ステージ３４´を見た様子を示し、下方に上方のII−II線に沿って得られた断面を示している。
【図１０】検査装置１０において、有効検査領域Ｓａが拡げられたことを説明するための説明図であり、上方に観察光学系側から保持ステージ３４を見た様子を示し、下方に上方のIII−III線に沿って得られた断面を示している。
【図１１】実施例２の検査装置１０Ａの構成を模式的に示す説明図である。
【図１２】実施例３の検査装置１０Ｂの保持機構１３Ｂの構成を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に、本願発明に係る検査装置の各実施例について図面を参照しつつ説明する。
【実施例１】
【００２８】
先ず、本願発明に係る実施例１の検査装置１０の概略的な構成について説明する。図１は、本願発明に係る検査装置の一例としての検査装置１０の構成を模式的に示す説明図である。図２は、検査装置１０の機能構成を示すブロック図である。なお、図５では、理解容易のために、検査対象ワーク４０におけるウェハ４１およびテープ４２を省略して示している。
【００２９】
検査装置１０は、図１および図２に示すように、観察機構１１と、反射照明機構１２と、保持機構１３と、透過照明機構１４と、制御機構１５と、から大略構成されている。この検査装置１０は、図１に示すように、本体部２１を有する。この本体部２１には、図示は略すが、リレーレンズやレボルバー式のターレット部が設けられており、そのターレット部には複数個の対物レンズ鏡筒２２が設けられている。この各対物レンズ鏡筒２２には、対物レンズ２３が設けられている。この本体部２１の上部に、撮像カメラ２４が取り付けられている。この撮像カメラ２４は、設定された対物レンズ２３により定まる倍率にしたがって、当該対物レンズ２３および本体部２１（リレーレンズ）を経て、その光軸（観察光軸Ｏａ）上の所定の位置の画像データを取得することができる。このため、撮像カメラ２４、本体部２１、各対物レンズ鏡筒２２およびその対物レンズ２３は、観察機構１１における観察光学系として機能し、その光軸が観察光軸Ｏａとなる。また、観察光軸Ｏａ上における撮像カメラ２４が適切な画像を取得可能な位置すなわち観察光学系における焦点位置を含み当該観察光軸Ｏａに直交する平面（物体側の結像面）が観察面Ｆｐとなる。以下では、観察光軸Ｏａの方向をＺ軸方向とし、そこに直交する面をＸ−Ｙ平面とする。この撮像カメラ２４により取得された画像データは、後述する画像制御部６１により、適宜解析されるとともにモニタ３９に表示可能とされている（図２参照）。
【００３０】
その本体部２１の内部には、観察光軸Ｏａ上にハーフミラーまたはプリズムで構成された反射部材２５が設けられている。本体部２１では、反射部材２５による観察光軸Ｏａからの反射方向に、コネクタ部２６を介して導光ファイバ２７が取り付けられている。この導光ファイバ２７は、同軸用光源２８から出射された照射光を反射部材２５へと導光することが可能とされている。その同軸用光源２８は、図２に示すように、ハロゲンランプ２８ａとストロボ２８ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ２７へと出射させることが可能とされている。この同軸用光源２８から出射された照射光は、図１に示すように、導光ファイバ２７および反射部材２５を経て観察光軸Ｏａ上を進行し、各対物レンズ鏡筒２２の対物レンズ２３を経て観察光軸Ｏａ上で観察面Ｆｐを照明することができる。このため、同軸用光源２８、導光ファイバ２７および反射部材２５は、各対物レンズ鏡筒２２の対物レンズ２３との協働により、観察光学系に対して、後述する検査対象物（４４）からの同軸方向での反射光を生成するための反射照明機構１２、すなわち同軸落射照明機構２９として機能する。
【００３１】
この本体部２１は、後述するＺ軸駆動機構６６（図２参照）により、観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。このため、観察機構１１における観察光学系と、同軸落射照明機構２９とは、一体的に観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。
【００３２】
また、本体部２１には、図１に示すように、対物レンズ鏡筒２２の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤３０が設けられている。この照明光導出用リング盤３０は、図示は略すが観察光軸Ｏａと所定の間隔を置いて当該観察光軸Ｏａを取り囲むように複数の発光部が設けられており、各発光部は観察光軸Ｏａに対して傾斜する方向から観察面Ｆｐへ向けて照射可能とされている。照明光導出用リング盤３０には、導光ファイバ３１が取り付けられている。この導光ファイバ３１は、リング用光源３２から出射された照射光を照明光導出用リング盤３０の各発光部（図示せず）へと導光することが可能とされている。そのリング用光源３２は、図２に示すように、ハロゲンランプ３２ａとストロボ３２ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ３１へと出射させることが可能とされている。このリング用光源３２から出射された照射光は、図１に示すように、導光ファイバ３１を経て、照明光導出用リング盤３０の各発光部（図示せず）から観察光軸Ｏａに対して傾斜する方向で観察面Ｆｐを照明することができる。このため、リング用光源３２、導光ファイバ３１および照明光導出用リング盤３０（その各発光部）は、観察光学系に対して、後述する検査対象物（４４）からの観察光軸Ｏａに傾斜する方向での反射光を生成するための反射照明機構１２、すなわち斜光照明機構３３として機能する。この照明光導出用リング盤３０は、後述するＺ軸駆動機構６６（図２参照）により、観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。この観察光軸Ｏａ方向への移動は、本体部２１と一体的なものであってもよく、互いに独立するものであってもよい。
【００３３】
この本体部２１および照明光導出用リング盤３０の下方に、保持機構１３が設けられている。この保持機構１３は、保持ステージ３４を有する。この保持ステージ３４は、図３に示すように、段付きの円筒形状を呈し、その環状の先端部３４ａで後述する検査対象物（４４）の保持部を構成している。この先端部３４ａでは、円環状の環状溝３４ｂが設けられるとともに、その溝内に真空引きのための吸引孔３４ｃが設けられている。このため、保持ステージ３４では、後述するように載置されたテープ４２（図４等参照）を、先端部３４ａで吸着保持することが可能とされている。この保持ステージ３４では、その内方に透過ステージ３５が設けられている。
【００３４】
透過ステージ３５は、図１、図３、図５および図６に示すように、円板形状を呈し、上側（観察光学系側）の上端面３５ａが平坦面とされており、下側（透過照明機構１４の後述する照射機構部１６側）の下端面３５ｂが散乱面とされている。この上端面３５ａは、実施例１では、研磨された平坦面とされており、下端面３５ｂは、後述するような散乱効果を得る観点から拡散率等を適宜考慮して設定される。この透過ステージ３５は、少なくとも透過照明機構１４の後述する照射機構部１６（その出射部５３）から出射された透過光の透過を許す透明な部材（透過部材）で形成されており、実施例１では、ガラスで形成されている。透過ステージ３５は、その周縁部の下端が、支持枠３６（図６参照）を介して下方から支持されている。この支持枠３６は、図６に示すように、円環状を呈し、複数のＺ軸螺合部材３７（図６では１つのみ図示している）により下方から支持されているとともに、複数の直交軸螺合部材３８（図６では１つのみ図示している）によりＺ軸方向上側（観察光学系側）への移動が制限されている。各Ｚ軸螺合部材３７は、保持ステージ３４をＺ軸方向に貫通して設けられており、ナット３７ａによりＺ軸方向での位置決めが可能とされている。このＺ軸螺合部材３７は、Ｚ軸を中心とする回転方向で見て所定の間隔をおくように、少なくとも３点以上設けられている。各直交軸螺合部材３８は、先端が円錐形状とされており、支持枠３６の上端位置の傾斜面との係合が可能とされている。このため、保持ステージ３４では、各Ｚ軸螺合部材３７による支持位置を適宜変更することにより、Ｚ軸方向すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た透過ステージ３５の位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節可能に、当該透過ステージ３５が設けられている。このことから、各Ｚ軸螺合部材３７と各直交軸螺合部材３８とは、保持ステージ３４に対して、透過ステージ３５を観察光軸Ｏａに関する位置調整を可能に保持する位置調整機構として機能する。
【００３５】
この透過ステージ３５は、厚さ寸法すなわち上端面３５ａと下端面３５ｂとの間隔が、透過ステージ３５における光学的な特性および硬度特性を勘案しつつ、以下の３点を考慮して設定されている。実施例１では、透過ステージ３５の厚さ寸法は、５ｃｍ〜１５ｃｍの範囲であって、全体に均等なものとされている。
【００３６】
１点目は、透過照明機構１４の後述する照射機構部１６から出射されて下端面３５ｂへと入射し上端面３５ａから出射した透過光において、所定の光量を確保することができることである。これは、透過ステージ３５では、観察光学系を経て撮像カメラ２４で取得した画像で見て、後述する検査対象物（４４）が適切に照明されている必要があることによる。この点は、主に透過ステージ３５の厚さ寸法の上限値に影響する。
【００３７】
２点目は、周縁部の下端が下方から支持されていることに起因して、中央位置において、落ち込むような撓み変形の変形量が所定の範囲以内であることである。これは、透過ステージ３５では、後述するように、上端面３５ａが、後述する検査対象物（４４）を観察光学系における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させる機能を有していることから、上端面３５ａを全面に渡って観察面Ｆｐに沿うものとする必要があることによる。このため、上述した変形量における所定の範囲とは、最大で観察光学系における被写界深度となる。この点は、主に透過ステージ３５の厚さ寸法の下限値に影響する。
【００３８】
３点目は、散乱面とされた下端面３５ｂによる散乱効果が、上端面３５ａから出射される透過光において十分に得られていることである。詳細には、観察面Ｆｐ上のテープ４２を照射する透過光、すなわち上端面３５ａから出射される透過光を、所定の散乱状態とすることを可能とするように、下端面３５ｂにおける散乱面の度合い（粗面度）を勘案して設定されている。ここで、所定の散乱状態とは、撮像カメラ２４からの画像データにおいてテープ４２における複数の影の部分が生じることを防止すること、すなわち透過照明機構１４からの透過光が照射された観察面Ｆｐ上のテープ４２を、観察光学系を経て撮像カメラ２４で取得した際、その画像データにおいてテープ４２が一様に明るい状態となること、を言う。
【００３９】
この透過ステージ３５を保持する保持ステージ３４は、図１に示すように、後述するＸＹ駆動機構６４（図２参照）により、観察光軸Ｏａ（観察光学系）に対して、そこに直交するＸ−Ｙ平面上で移動可能とされている。また、保持ステージ３４は、後述する回転駆動機構６５（図２参照）により、Ｚ軸回りに回転可能とされている。この保持ステージ３４には、検査対象ワーク４０が吸着保持される。
【００４０】
検査対象ワーク４０は、図４に示すように、ウェハ４１（ガラス基板等も含むものとする）が貼り付けられたテープ（フィルム）４２を、環状部材４３の内方で保持して構成されている。この検査対象ワーク４０では、（ａ）に示すように、ウェハ４１から形成される複数の半導体素子４４が、テープ４２に貼り付けられたまま各境界面で切断（ダイシング）された状態であるものと、（ｂ）に示すように、テープ４２に貼り付けられて切断された後にテープ４２が引き伸ばされて各個に分断（エキスパンド）された状態であるものとがある。ここで、環状部材４３は、状態の差異（検査対象ワーク４０の種類）に拘らず、保持ステージ３４の先端部３４ａ（図１参照）よりも大きな径寸法とされている。検査装置１０では、それらのいずれの状態であっても、各半導体素子４４が適切に形成されているか否かを検査するために用いられる。このため、各半導体素子４４を検査対象物として、検査対象ワーク４０の状態を維持したまま当該検査対象物の検査を行うことができる。この検査対象ワーク４０では、図１、図５および図６に示すように、環状部材４３の内方に保持ステージ３４が位置され、その先端部３４ａにテープ４２が載置された状態において、環状溝３４ｂおよび吸引孔３４ｃの作用により、テープ４２が先端部３４ａに吸着保持される。このとき、保持ステージ３４において、透過ステージ３５の上端面３５ａが先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するものとされると、テープ４２における吸着保持された箇所よりも内方に位置する領域が、透過ステージ３５の上端面３５ａにより引っ張られるので、当該上端面３５ａに貼り付くように平坦化される（図１参照）。このため、透過ステージ３５を観察光軸Ｏａに関して位置調整することにより、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を適切な状態で観察面Ｆｐ上に位置させることができる。この保持ステージ３４の下方に透過照明機構１４としての照射機構部１６が設けられている（図１参照）。
【００４１】
透過照明機構１４は、図１に示すように、保持ステージ３４により吸着保持された検査対象物（各半導体素子４４）に対して、観察光学系（観察機構１１）とは反対側から透過光を照射するものである。この透過照明機構１４は、照射機構部１６を有する。その照射機構部１６は、後述する導光部５２を経て透過用光源５１から出射された透過光を後述する出射部５３へと導光することが可能とされている。その透過用光源５１は、図２に示すように、ハロゲンランプ５１ａとストロボ５１ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光部５２へと出射させることが可能とされている。
【００４２】
この照射機構部１６は、上述した透過用光源５１（図２参照）に加えて、図５および図６に示すように、導光部５２と出射部５３と支持部５４とを有する。導光部５２は、図示は略すが一端側に設けられた入射面が透過用光源５１（図２参照）のハロゲンランプ５１ａおよびストロボ５１ｂから発光された光（透過光）を入射可能とすべくそれぞれに対向されて設けられており、当該入射面から入射された透過用光源５１（図２参照）からの透過光を他端側に設けられた出射面５２ａ（図６参照）へと導く。この導光部５２は、実施例１では、光ファイバで形成されている。導光部５２の出射面５２ａに出射部５３が接続されている（図６参照）。
【００４３】
その出射部５３は、筒状の筐体５３ａに少なくとも１つ以上の光学素子５３ｂが収容されて構成されている。この光学素子５３ｂは、導光部５２の出射面５２ａに対向する入射面５３ｃと、そこから入射された透過光を出射する出射面５３ｄと、を構成している。光学素子５３ｂは、入射面５３ｃから入射された透過光を所望の状態として出射面５３ｄから出射すべく、所定の光学的特性を有するものとされている。この光学素子５３ｂの中心軸位置となる回転対称軸を、照射機構部１６（透過照明機構１４（透過照明系））の透過光軸Ｐａ（図１参照）とする。この照射機構部１６では、導光部５２から出射部５３へと透過光が入射されると、出射部５３から透過光軸Ｐａに沿う透過光を出射する。光学素子５３ｂにおける所定の光学的特性とは、進行方向となる透過光軸Ｐａに直交する断面で見た光量分布が均一化されていることと、照射領域の拡がり（拡散）が抑制されていることと、を言う。この光学素子５３ｂは、上述した所定の光学的特性（インテグレータ機能および拡散防止（集光）機能）を有する光学素子で構成されており、実施例１では、光学素子５３ｂは、ロッドインテグレータ光学部材で構成されている。
【００４４】
また、実施例１では、筐体５３ａにおいて光学素子５３ｂの入射面５３ｃよりも下方に位置する下端部５３ｅが筒状とされており、導光部５２の他端部（出射面５２ａが設けられている側の端部）を内方に嵌入可能とされている。このため、出射部５３と導光部５２とは、導光部５２の他端部を出射部５３の下端部５３ｅに嵌入することにより、導光部５２の出射面５２ａと出射部５３の入射面５３ｃとが突き合わされて連結（接続）される。この状態において、導光部５２と出射部５３とが、支持部５４により固定的に支持されている。
【００４５】
このため、照射機構部１６では、透過用光源５１から出射した透過光を、導光部５２を経て出射部５３へと進行させ、均一な光量分布の略平行光として出射部５３から透過光軸Ｐａ（図１参照）方向へ向けて出射させて、透過ステージ３５の下端面３５ｂを照射することができる。この透過光は、散乱面とされた下端面３５ｂにより、散乱光とされて観察面Ｆｐを裏面側から照射する。この透過光は、少なくとも保持ステージ３４に吸着保持された検査対象ワーク４０のテープ４２を透過して、観察光学系（撮像カメラ２４）により観察可能とされている（図１参照）。このため、照射機構部１６（透過用光源５１、導光部５２および出射部５３）は、散乱面とされた透過ステージ３５の下端面３５ｂと協働として、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐ（検査対象物（半導体素子４４））を照射する透過光を生成する透過照明機構１４として機能する。実施例１では、透過光軸ＰａがＺ軸方向に平行に設定されており、透過光軸Ｐａと観察光軸Ｏａとが一致するように、観察光学系に対する照射機構部１６の位置が設定されている。また、透過照明機構１４は、ロッドインテグレータ光学部材で構成された照射機構部１６の光学素子５３ｂにより、観察面Ｆｐ上で見た透過光の照射領域で、観察光学系（撮像カメラ２４）により観察可能な観察領域を充足することを可能とするように設定されている。
【００４６】
この検査装置１０では、上述したように構成された観察機構１１、反射照明機構１２、保持機構１３および透過照明機構１４が、制御機構１５（図２参照）の制御下で統括的に制御される。この制御機構１５は、図２に示すように、画像制御部６１と、照明制御部６２と、駆動制御部６３とを有している。
【００４７】
画像制御部６１は、撮像カメラ２４により取得された画像データを適宜解析する。この解析とは、テープ４２に貼り付けられた複数の検査対象物（半導体素子４４）の輪郭線を認識することや、観察点におけるフォーカス状態を判断することや、各検査対象物における欠陥を認識することや、各検査対象物に設けられた電極や配線等の不備を認識することや、ウェハ４１からの各検査対象物（半導体素子４４）の切り出し不良を認識すること等があげられる。また、画像制御部６１は、撮像カメラ２４により取得された画像データに基づく映像をモニタ３９に表示させる。
【００４８】
照明制御部６２は、同軸用光源２８とリング用光源３２と透過用光源５１とを適宜点消灯制御を行う。すなわち、照明制御部６２は、同軸用光源２８、リング用光源３２および透過用光源５１において、ハロゲンランプ（２８ａ、３２ａ、５１ａ）もしくはストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）を選択的に適宜点消灯させるとともに、同軸用光源２８、リング用光源３２および透過用光源５１を、同時にまたは個別に点灯および消灯させる。このハロゲンランプ（２８ａ、３２ａ、５１ａ）は、観察用照明として用いるものであり、ストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）は検査用照明として用いるものである。また、照明制御部６２は、各光源（２８、３２、５１）において、検査用照明としてのストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）の明るさ調整が可能とされている。この明るさ調整は、例えば、複数のＮＤフィルタのいずれかを適宜選択することで、実現することができる。
【００４９】
駆動制御部６３は、ＸＹ駆動機構６４、回転駆動機構６５およびＺ軸駆動機構６６を適宜駆動制御する。すなわち、駆動制御部６３は、Ｚ軸駆動機構６６を駆動制御することにより、観察機構１１における観察光学系および同軸落射照明機構２９を観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に適宜移動させることができるとともに、斜光照明機構３３を観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に適宜移動させることができる。これにより、保持ステージ３４に吸着保持された検査対象ワーク４０の検査対象物（各半導体素子４４）を、適切な照明の下で、適切に観察することを可能とする。また、駆動制御部６３は、ＸＹ駆動機構６４および回転駆動機構６５を駆動制御することにより、保持ステージ３４すなわちそこに吸着保持された検査対象ワーク４０を、観察光軸Ｏａ（観察光学系）および透過光軸Ｐａ（照射機構部１６）に対して、そこに直交するＸ−Ｙ平面上で適宜移動させることができるとともに、観察光軸Ｏａ（透過光軸Ｐａ（Ｚ軸方向））回りに適宜回転させることができる。これにより、保持ステージ３４に吸着保持された検査対象ワーク４０における任意の位置の検査対象物（半導体素子４４）を検査することが可能となる。
【００５０】
制御機構１５では、この他にも、上述した保持ステージ３４における吸着動作の制御等が可能とされているとともに、検査のための画像データの比較等が可能とされている。
【００５１】
この検査装置１０では、先ず、検査対象とする検査対象物が貼付された検査対象ワーク４０に応じて、透過ステージ３５の観察光軸Ｏａに関する位置調整を行う。これは、以下のことによる。検査装置１０では、保持ステージ３４の先端部３４ａで環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持するものであることから、テープ４２の周縁部が下方から支持されていることに起因して、中央位置が落ち込むように撓み変形することがある。すると、この撓み変形によりテープ４２上の各半導体素子４４が観察面Ｆｐからずれてしまい、観察光学系（撮像カメラ２４）による適切な観察が出来なくなる虞がある。このテープ４２の撓み変形の量および状態は、テープ４２の材質や貼付された各半導体素子４４の位置および個数等に応じて異なるものであることから、検査対象ワーク４０の種類に応じて異なるものとなる。このため、対象とする検査対象ワーク４０を保持ステージ３４で吸着保持した状態において、テープ４２上の各半導体素子４４を観察面Ｆｐ上に位置させるように、テープ４２の撓み変形の量および状態に応じて、透過ステージ３５のＺ軸すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節する。
【００５２】
このとき、テープ４２の撓み変形が大きいほど、透過ステージ３５の上端面３５ａを保持ステージ３４の先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置させる。これは、以下のことによる。透過ステージ３５の上端面３５ａを保持ステージ３４の先端部３４ａよりも上方に位置させると、テープ４２における吸着保持された箇所よりも内方に位置する領域が、透過ステージ３５の上端面３５ａにより上方に引っ張られるので、当該上端面３５ａにテープ４２が貼り付くように平坦化される。このため、テープ４２の撓み変形に応じて、透過ステージ３５の上端面３５ａを上方に位置させることにより、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）をより適切な状態で観察面Ｆｐ上に位置させることができる。このとき、透過ステージ３５の上端面３５ａに高さ位置に応じて、観察機構１１、反射照明機構１２および透過照明機構１４の照射機構部１６をＺ軸方向に適宜移動させることは言うまでもない。このテープ４２の撓み変形の量および状態は、例えば、撮像カメラ２４からの画像データを画像制御部６１で解析することにより、取得することができる。
【００５３】
検査装置１０では、次に、保持ステージ３４で検査対象ワーク４０を吸着保持して、チップスキャンを行う。このチップスキャンでは、保持ステージ３４の先端部３４ａの内方位置すなわち検査対象ワーク４０（テープ４２）において吸着保持された箇所よりも内方位置を全面に渡って走査するように、駆動制御部６３により、観察光軸Ｏａに対して保持ステージ３４を移動させる。この走査では、透過照明機構１４からの透過光を照射しつつ撮像カメラ２４による画像の取得を行う。
【００５４】
次に、チップマップの作成を行う。このチップマップとは、検査対象ワーク４０（テープ４２）における各検査対象物（半導体素子４４）の位置、および姿勢を示すものである。制御機構１５では、チップスキャンによる撮像カメラ２４からの画像データを画像制御部６１で解析することにより、輪郭線を認識することでテープ４２に貼り付けられた複数の検査対象物（半導体素子４４）を判別するとともに、駆動制御部６３による移動位置情報を加味することで、各検査対象物（半導体素子４４）の位置および姿勢を取得する。
【００５５】
次に、検査対象物（半導体素子４４）の判定を行う。この判定では、作成したチップマップに基づいて、観察光学系による観察位置を決定し、その決定に応じて駆動制御部６３により保持ステージ３４を移動させる。その後、その観察位置にある検査対象物（半導体素子４４）を、その検査対象物の良品のデータと比較し、当該検査対象物（半導体素子４４）の良否の判断を行う。この良否の判断は、撮像カメラ２４からの画像データを画像制御部６１で解析することにより行う。
【００５６】
この検査対象物（半導体素子４４）の判定を、作成したチップマップに基づいて、検査対象ワーク４０（テープ４２）上のすべての検査対象物（半導体素子４４）に対して順次行うことにより、当該検査対象ワーク４０に対する検査が終了する。なお、この検査は、画像制御部６１の制御下でモニタ３９に表示された、撮像カメラ２４により取得された画像データに基づく映像を目視することにより、行うこともできる。
（技術の課題）
次に、技術の課題について、図７ないし図９を用いて説明する。図７は、技術の課題を説明するための検査装置１０´の保持機構１３´および透過照明機構１４´の構成を示す説明図である。この検査装置１０´は、実施例１の検査装置１０に対して、保持ステージ３４´に透過ステージ３５が設けられておらず、かつ透過照明機構１４´（その照射機構部１６´）の用い方およびその機能が異なるものとされた例である。検査装置１０´は、基本的な構成は上記した検査装置１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５７】
先ず、一般的に、検査対象物となる半導体素子では、ウェハ４１が貼り付けられたテープ（フィルム）４２を環状部材４３の内方で保持している状態である検査対象ワーク４０（図４参照）のままで取り扱われることが多く見られることから、複数の半導体素子４４の検査も検査対象ワーク４０（図４参照）のままで取り扱うことが望ましい。このため、検査装置１０´では、上述したように、保持ステージ３４´の先端部３４ａで、環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持して、観察機構１１、反射照明機構１２（図１参照）および透過照明機構１４´を用いて、そのテープ４２に貼付された各半導体素子４４の検査を行うものとしている。
【００５８】
このとき、検査対象物である各半導体素子４４を観察機構１１（観察光学系（撮像カメラ２４（図１参照）））における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させるために、その各半導体素子４４が貼付されたテープ４２を平坦な状態としつつ保持する必要がある。これは、保持ステージ３４´の先端部３４ａで環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持するものであることから、テープ４２の周縁部が下方から支持されていることに起因して、中央位置が落ち込むように撓み変形することがあり、この撓み変形によりテープ４２上の各半導体素子４４が観察面Ｆｐからずれてしまうことがあることによる。ところが、検査装置１０´では、保持ステージ３４´に透過ステージ３５が設けられていない。そのため、透過照明機構１４´（その照射機構部１６´）の用い方およびその機能が、検査装置１０とは異なるものとされている。
【００５９】
詳細には、検査装置１０´では、図７に示すように、透過照明機構１４´の照射機構部１６´の出射部５３´の光学素子５３ｂ´の上側（観察光学系側）の出射面５３ｄ´が平坦面とされている。この検査装置１０´では、保持ステージ３４´の先端部３４ａで環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持した際、図７および図８に示すように、照射機構部１６´の出射部５３´の出射面５３ｄ´を、テープ４２の裏面（照射機構部１６´側の面）に押し当ててその当接箇所を持ち上げることで、検査対象物を観察光学系（撮像カメラ２４（図１参照））における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させる。このように、検査装置１０´では、透過照明機構１４´としての照射機構部１６´の出射部５３´の出射面５３ｄ´が、検査対象物を観察光学系（撮像カメラ２４）における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させる機能を有している。
【００６０】
ところが、照射機構部１６´の出射部５３´では、筒状の筐体５３ａ´に光学素子５３ｂ´が収容されて構成されていることから、照射可能な領域が光学素子５３ｂ´の出射面５３ｄ´（その面積）に略等しいものとなる。これに対して、透過光軸Ｐａ（Ｚ軸方向）に直交する方向で見て、保持ステージ３４´の内方における照射機構部１６´の相対的に移動可能な領域は、その筐体５３ａ´と保持ステージ３４´の内周壁面との干渉により制限されてしまう（図９参照）。このため、照射機構部１６´（透過照明機構１４´）では、図９に示すように、保持ステージ３４´の内方において、その内周壁面に筐体５３ａ´を当接させた状態（正確には、当接する寸前の位置）における光学素子５３ｂ´の位置を最外位置とする領域が有効に透過光を照射できる領域（有効検査領域Ｓａ´）となり、保持ステージ３４´においてテープ４２を吸着保持する先端部３４ａの内方の全領域に透過光を照射することができない。換言すると、保持ステージ３４´の先端部３４ａの内方を検査領域として最大限に利用することができず、テープ４２を保持する保持ステージ３４´により、検査の作業効率の低下を招いてしまう虞がある。
（透過照明機構１４および透過ステージ３５による作用）
検査装置１０では、透過照明機構１４における照射機構部１６（その出射部５３）が、保持ステージ３４から離れた位置（保持ステージ３４の外方）から当該保持ステージ３４に吸着保持された検査対象物（各半導体素子４４）を照射する構成としている（図５等参照）。このため、保持ステージ３４と照射機構部１６（その出射部５３）とを、透過光軸Ｐａに直交する方向に相対的に移動させても、保持ステージ３４と照射機構部１６（その出射部５３）とが干渉することはない（図１０参照）。このため、図１０に示すように、照射機構部１６の出射部５３に筐体５３ａが設けられていることに拘らず、光学素子５３ｂから出射された透過光で、透過光軸Ｐａに直交する方向で見て保持ステージ３４の内周壁面に至る位置まで照射することができるので、保持ステージ３４においてテープ４２を吸着保持する先端部３４ａの内方の全領域（符号Ｓａ参照）に透過光を照射することができる。このため、保持ステージ３４の内方を全域に渡って有効検査領域Ｓａとすることができ、当該内方領域を最大限に利用することができる。
【００６１】
このとき、保持ステージ３４に設けられた透過ステージ３５の上端面３５ａが、保持ステージ３４に吸着保持されたテープ４２（検査対象ワーク４０）を平坦な状態とするとともに、そこに貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を観察面Ｆｐ上に位置させている（図１および図６等参照）。このため、観察機構１１（観察光学系（撮像カメラ２４））により、検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察することができる。
【００６２】
このように、本発明に係る検査装置１０では、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、保持ステージ３４から離れた位置（保持ステージ３４の外方）から当該保持ステージ３４に吸着保持された検査対象物（各半導体素子４４）を照射する構成であることから、照射機構部１６（その出射部５３）と保持ステージ３４とが干渉することを確実に防止することができる。このため、照射機構部１６の出射部５３に筐体５３ａが設けられていることに拘らず、光学素子５３ｂから出射された透過光で、透過光軸Ｐａに直交する方向で見て、保持ステージ３４の内周壁面に至る位置まで照射することができるので、保持ステージ３４においてテープ４２を吸着保持する先端部３４ａの内方の全領域に透過光を照射することができる。これにより、保持ステージ３４の内方を全域に渡って有効検査領域Ｓａとすることができ、有効な検査領域を最大限に確保することができる。
【００６３】
また、検査装置１０では、保持ステージ３４に設けられた透過ステージ３５の上端面３５ａにより、保持ステージ３４に吸着保持されたテープ４２（検査対象ワーク４０）を平坦な状態として、そこに貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を観察面Ｆｐ上に位置させることができるので、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、保持ステージ３４から離れた位置から検査対象物（各半導体素子４４）を照射する構成としても、観察機構１１（観察光学系（撮像カメラ２４））により適切な観察を行うことができる。
【００６４】
さらに、検査装置１０では、検査対象ワーク４０（そのテープ４２）を保持ステージ３４で吸着保持する際、透過ステージ３５の上端面３５ａを保持ステージ３４の先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するものとすることができるので、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）をより適切に観察面Ｆｐ上に位置させることができる。
【００６５】
検査装置１０では、透過ステージ３５が、位置調整機構により保持ステージ３４に対して観察光軸Ｏａに関する位置調整が可能とされていることから、テープ４２の撓み変形の量および状態に応じて、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）をより適切に観察面Ｆｐ上に位置させることができる。
【００６６】
検査装置１０では、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、照射領域の拡がり（拡散）を抑制する光学性能（インテグレータ機能）を有していることから、観察面Ｆｐ上における観察光学系（撮像カメラ２４）に対する適切な領域を照射することができるので、より効率的に観察光学系（撮像カメラ２４）による適切な観察を可能とすることができる。
【００６７】
検査装置１０では、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、進行方向となる透過光軸Ｐａに直交する断面で見た光量分布を均一化する光学性能（拡散防止（集光）機能）を有していることから、観察光学系（撮像カメラ２４）によるより適切な観察を可能とすることができる。
【００６８】
検査装置１０では、透過ステージ３５の下端面３５ｂが散乱面とされていることから、観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データにおいて、透過照明機構１４からの透過光（照射機構部１６から出射されて散乱面を経た透過光）が照射されたテープ４２における複数の影の部分が生じることを防止することができるので、透過照明機構１４を用いて、テープ４２に貼付された検査対象物（実施例１では各半導体素子４４）の情報を正確に得ることができる。これは、以下のことによる。テープ４２では、透過照明が照射された状態を観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データで観察すると、何らの部材が貼り付けられていない状態であっても、一様に明るい状態ではなく線状や点状の部分的に暗い箇所（上述した影の部分）が存在してしまう。この影の部分は、テープ４２には、塵埃等が付着していたり接着剤の斑が生じていたりすることに起因するものと考えられる。このような影の部分は、透過照明機構１４を用いてテープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を検査する際、ノイズ成分として作用してしまい、当該検査対象物の検査精度の低下を招いてしまう虞がある。これに対し、検査装置１０では、透過照明機構１４において、照射機構部１６（その出射部５３）からの透過光が、散乱面である透過ステージ３５の下端面３５ｂを経ることにより散乱光とされているので、透過照明機構１４からの透過光が照射された観察面Ｆｐ上のテープ４２を、観察光学系を経て撮像カメラ２４で取得した際、その画像データにおいてテープ４２における複数の影の部分を殆ど認識できなくすることができる。これは、テープ４２の付着した塵埃等や接着剤の斑に対して、様々な角度方向で透過光を照射することに起因するものと考えられる。このように、観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データにおけるノイズ成分を除去することができるので、透過照明機構１４を用いて、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）の情報を正確に得ることができる。
【００６９】
検査装置１０では、散乱面とされた下端面３５ｂが、透過光軸Ｐａ方向で見て、観察面Ｆｐを規定する透過ステージ３５の上端面３５ａから所定の間隔を置いて設けられていることから、散乱面とされたことによる散乱効果を確実に得ることができるので、観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データにおいて、透過照明機構１４からの透過光が照射されたテープ４２における複数の影の部分が生じることを確実に防止することができる。なお、ガラスで形成された透過ステージ３５の上端面３５ａを観察面Ｆｐとしかつ下端面３５ｂを散乱面として実験したところ、観察面Ｆｐと散乱面との間隔を３ｃｍ以上とすることにより、所望の散乱効果を得ることができた。
【００７０】
検査装置１０では、検査対象物を観察面Ｆｐ上に位置させる上端面３５ａが設けられた透過ステージ３５の下端面３５ｂで、透過照明機構１４としての散乱面を構成していることから、観察光学系（観察機構１１）において適切な観察地点である観察面Ｆｐ（上端面３５ａ）に対する透過光軸Ｐａ方向で見た散乱面（下端面３５ｂ）の位置、すなわち透過光軸Ｐａ方向で見た観察面Ｆｐと散乱面との間隔を容易にかつ確実に設定することができる。
【００７１】
検査装置１０では、上端面３５ａが設けられた透過ステージ３５の下端面３５ｂで透過照明機構１４としての散乱面を構成していることから、検査対象物を観察面Ｆｐ上に位置させる機能および画像データ上におけるノイズ成分を除去する機能を、透過ステージ３５を設けるだけで実現することができるので、簡易な構成とすることができる。
【００７２】
検査装置１０では、透過光軸Ｐａ方向で見た上端面３５ａと下端面３５ｂとの間隔（透過ステージ３５の厚さ寸法）が、照射機構部１６（その出射部５３）から出射されて透過ステージ３５を経た透過光における光量も考慮して設定されていることから、所定の光量で観察面Ｆｐ上の検査対象物に透過光を照射することができるので、透過照明機構１４を用いて検査対象物（実施例１では各半導体素子４４）の情報をより正確に得ることができる。
【００７３】
検査装置１０では、透過光軸Ｐａ方向で見た上端面３５ａと下端面３５ｂとの間隔（透過ステージ３５の厚さ寸法）が、透過ステージ３５の撓み変形の変形量が所定の範囲以内とする点も設定されていることから、観察光学系（撮像カメラ２４）により適切に観察することができる。
【００７４】
したがって、本発明に係る検査装置１０では、環状部材４３に保持されたテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することができる。
【実施例２】
【００７５】
次に、本発明の実施例２に係る検査装置１０Ａについて、図１１を用いて説明する。この実施例２は、実施例１の検査装置１０に対して、保持ステージ３４Ａ（保持機構１３Ａ）における位置調整機構の構成が異なる例である。この実施例２の検査装置１０Ａは、基本的な構成は上記した実施例１の検査装置１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７６】
検査装置１０Ａでは、図１１に示すように、保持機構１３Ａの保持ステージ３４Ａにおける位置調整機構として、各Ｚ軸螺合部材３７の代わりに、複数のＺ軸調整機構７１が設けられている。このＺ軸調整機構７１は、Ｚ軸螺合部材３７と同様に、少なくとも３点以上設けられている（図１１では２つのみ図示している）。各Ｚ軸調整機構７１は、駆動モータ７２と、その回転軸７２ａに取り付けられたカム部材７３と、それにより変動されるＺ軸支持部７４と、を有する。駆動モータ７２は、Ｚ軸調整機構７１における駆動源であり、回転軸７２ａで回転駆動力を出力する。その回転軸７２ａにカム部材７３が接続されている。そのカム部材７３は、円板状を呈し、軸線から偏心した位置で回転軸７２ａに接続されている。カム部材７３は、外側面でＺ軸支持部７４に当接可能とされている。そのＺ軸支持部７４は、棒状を呈し、Ｚ軸方向で見てカム部材７３の上側（透過ステージ３５側）で保持ステージ３４ＡをＺ軸方向に貫通して設けられており、Ｚ軸方向に移動自在とされている。Ｚ軸支持部７４は、上側（観察光学系側）の一端が支持枠３６を下方から支持しており、下側の他端がカム部材７３の外側面に当接されている。
【００７７】
このＺ軸調整機構７１では、駆動モータ７２を適宜駆動制御することにより、カム部材７３の回転軸７２ａ回りの回転姿勢に応じて、Ｚ軸支持部７４をＺ軸方向に移動させることができる。このため、保持ステージ３４Ａでは、各Ｚ軸調整機構７１を適宜駆動させて、各Ｚ軸支持部７４による支持位置を適宜変更することにより、Ｚ軸方向すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た透過ステージ３５の位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節可能に、当該透過ステージ３５が設けられている。このことから、各Ｚ軸螺合部材３７は、保持ステージ３４Ａに対して、透過ステージ３５を観察光軸Ｏａに関する位置調整を可能に保持する位置調整機構として機能する。検査装置１０Ａでは、制御機構１５の駆動制御部６３が、各Ｚ軸調整機構７１すなわちその駆動モータ７２を適宜駆動制御することが可能とされている。
【００７８】
この検査装置１０Ａでは、対象とする検査対象ワーク４０を保持ステージ３４Ａで吸着保持した状態において、撮像カメラ２４からの画像データを制御機構１５の画像制御部６１で解析することにより、テープ４２の撓み変形の量および状態を取得する。次に、そのテープ４２の撓み変形の量および状態に応じて、制御機構１５の駆動制御部６３が、テープ４２上の各半導体素子４４を観察面Ｆｐ上に位置させるように、各Ｚ軸調整機構７１の駆動モータ７２を適宜駆動制御することにより、Ｚ軸方向すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た透過ステージ３５の位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節する。次に、その観察光軸Ｏａに関する位置が調整された透過ステージ３５の上端面３５ａ上のテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、観察面Ｆｐ上に位置させるべく、制御機構１５の駆動制御部６３が、観察機構１１、反射照明機構１２および透過照明機構１４（その照射機構部１６）をＺ軸方向に適宜移動させる。これにより、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）が、適切な状態で観察面Ｆｐ上に位置される。このため、検査装置１０Ａでは、実施例１の検査装置１０と同様に、当該検査対象物（各半導体素子４４）を検査することができる。
【００７９】
実施例２の検査装置１０Ａでは、基本的に実施例１の検査装置１０と同様の構成であることから、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。
【００８０】
それに加えて、実施例２の検査装置１０Ａでは、対象とする検査対象ワーク４０のテープ４２上の検査対象物（実施例２では各半導体素子４４）を、自動で観察面Ｆｐ上に位置させることができるので、迅速かつ適切に検査対象物（実施例２では各半導体素子４４）を検査することができる。
【００８１】
したがって、本発明に係る検査装置１０Ａでは、環状部材４３に保持されたテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することができる。
【００８２】
なお、実施例２では、各Ｚ軸調整機構７１が、駆動モータ７２（回転軸７２ａ）と、カム部材７３と、Ｚ軸支持部７４と、により構成されていたが、制御機構１５の駆動制御部６３による駆動制御により、保持ステージ３４Ａに対して観察光軸Ｏａに関する透過ステージ３５の位置を調整することができるものであればよく、実施例２の構成に限定されるものではない。
【実施例３】
【００８３】
次に、本発明の実施例３に係る検査装置１０Ｂについて、図１２を用いて説明する。この実施例３は、実施例２に係る検査装置１０Ａに対して、保持機構１３Ｂの構成が異なる例である。この実施例３の検査装置１０Ｂは、基本的な構成は上記した実施例２の検査装置１０Ａと同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００８４】
検査装置１０Ｂでは、図１２に示すように、保持機構１３Ｂにおいて、押圧機構８１が設けられている。この押圧機構８１は、保持ステージ３４Ａの透過ステージ３５（上端面３５ａ）上に載置された検査対象ワーク４０の保持を可能とするものである。詳細には、押圧機構８１は、透過ステージ３５の上端面３５ａが保持ステージ３４Ａの先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するように、保持ステージ３４Ａに対する透過ステージ３５のＺ軸方向での位置が調整された際、その透過ステージ３５（その上端面３５ａ）との協働により、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させつつ当該検査対象ワーク４０を保持することを可能とする。
【００８５】
この押圧機構８１は、実施例３では、Ｚ軸に直交する方向で見て、保持ステージ３４Ａの外方位置に設けられたスライド支持部８２と、そのスライド支持部８２によりＺ軸方向に移動自在に保持された押圧腕部８３とを有する。この押圧機構８１は、少なくとも２点以上設けられている（図１２では２つ図示している）。各押圧腕部８３は、スライド支持部８２から内方へ向けて延出されており、保持ステージ３４Ａの周辺で検査対象ワーク４０の環状部材４３を上方（観察光学系側）から押圧することが可能とされている。換言すると、各押圧腕部８３は、Ｚ軸方向で見て、少なくとも先端部分が、検査対象ワーク４０の環状部材４３と重なるように設けられている。
【００８６】
検査装置１０Ｂでは、基本的には、保持ステージ３４Ａの先端部３４ａで、検査対象ワーク４０のテープ４２を吸着保持する。ここで、透過ステージ３５の上端面３５ａが保持ステージ３４Ａの先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するように、保持ステージ３４Ａに対して透過ステージ３５のＺ軸方向での位置が調整された際、その上端面３５ａに載置されたテープ４２を保持ステージ３４Ａの先端部３４ａでは吸着保持することができなくなる場合がある。これは、テープ４２の撓み変形には、限界があることに起因するものであり、Ｚ軸方向で見た上端面３５ａの位置と先端部３４ａの位置との差が大きくなることにより生じる。このとき、検査装置１０Ｂでは、各押圧機構８１において、各スライド支持部８２に設けられた押圧腕部８３を押し下げて（照射機構部１６側（図１１等参照）へ移動させて）、その各押圧腕部８３で検査対象ワーク４０の環状部材４３を上方（観察光学系側（図１１等参照））から下方へと押圧する。すると、検査対象ワーク４０は、そのテープ４２の中央が透過ステージ３５の上端面３５ａにより押し上げられていることから、その上端面３５ａにテープ４２が貼り付くように平坦化された状態で固定される。このことから、各押圧腕部８３における押圧位置（高さ位置）は、透過ステージ３５（その上端面３５ａ）の観察光軸Ｏａに対する傾斜に応じて個別に設定する。なお、各押圧腕部８３における押圧位置は、同一の高さ位置（Ｚ軸方向で見た透過ステージ３５に対する位置）であってもよい。このため、検査対象物（各半導体素子４４）は、観察光学系における適切な位置である観察面Ｆｐ上に適切に位置されることとなる。この各スライド支持部８２上での押圧腕部８３の位置の移動は、制御機構１５（その駆動制御部６３）の制御下で行われる。なお、各スライド支持部８２上での押圧腕部８３の位置の移動は、手動により行うものであってもよい。この各押圧機構８１では、検査対象ワーク４０の環状部材４３を押圧していない場面では、検査対象ワーク４０の保持ステージ３４Ａ（透過ステージ３５）上への載置の妨げとならないように、押圧腕部８３がスライド支持部８２により上方位置へと退避される。なお、押圧腕部８３は、この退避のために、延出方向に伸縮自在な構成とされていてもよく、スライド支持部８２回りに回動可能な構成とされていてもよい。
【００８７】
実施例３の検査装置１０Ｂでは、基本的に実施例２の検査装置１０Ａと同様の構成であることから、基本的に実施例２と同様の効果を得ることができる。
【００８８】
それに加えて、実施例３の検査装置１０Ｂでは、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させるべく保持ステージ３４Ａに対して透過ステージ３５をＺ軸方向に位置調整することに起因して、保持ステージ３４Ａの先端部３４ａでは吸着保持することができなくなった検査対象ワーク４０であっても、押圧機構８１での押圧により、その透過ステージ３５の上端面３５ａに倣ってテープ４２を平坦化させつつ固定することができるので、当該テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に検査することができる。
【００８９】
また、検査装置１０Ｂでは、押圧機構８１が検査対象ワーク４０の環状部材４３を押圧するものであることから、当該検査対象ワーク４０のテープ４２やそこに貼付された検査対象物（各半導体素子４４）への負荷を抑制しつつ、そのテープ４２（検査対象物（各半導体素子４４））を透過ステージ３５の上端面３５ａに押し当てることができる。
【００９０】
したがって、本発明に係る検査装置１０Ｂでは、環状部材４３に保持されたテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することができる。
【００９１】
なお、実施例３では、実施例２の検査装置１０Ａに押圧機構８１を設けた検査装置１０Ｂを示していたが、この押圧機構８１を実施例１の検査装置１０に適用してもよく、上記した実施例３の構成に限定されるものではない。
【００９２】
また、実施例３では、押圧機構８１がスライド支持部８２と押圧腕部８３とを有する構成とされていたが、保持ステージ（３４Ａ）の透過ステージ３５（上端面３５ａ）上に載置された検査対象ワーク４０を、そのテープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させつつ保持することを可能とするものであればよく、上記した実施例３の構成に限定されるものではない。例えば、押圧機構は、保持ステージ（３４Ａ）において、先端部（３４ａ）の内方位置と透過部材（３５）と支持枠（３６）との間を封止するとともに、先端部（３４ａ）の内方位置と透過部材（３５）と支持枠（３６）とにより形成される環状の溝部を真空引きすることができる構成とすることにより、実現することができる。このような構成の場合、透過部材（３５）の上端面（３５ａ）に載置された検査対象ワーク４０のテープ４２を、その上端面（３５ａ）を取り囲む位置で全周に渡って吸着することができる。このため、保持ステージ３４Ａの先端部３４ａによりテープ４２を吸着保持することができるか否かに拘らず、テープ４２における撓み変形による余剰分を環状の溝部に引き込むことができるので、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させることができる
さらに、実施例３では、押圧機構８１の押圧腕部８３が、検査対象ワーク４０の環状部材４３を上方（観察光学系側）から押圧する構成とされていたが、テープ４２を押圧するものであってもよく、上記した実施例３の構成に限定されるものではない。
【００９３】
なお、上記した各実施例では、本発明に係る検査装置の各例について説明したが、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、検査対象物が貼付されるテープを保持する環状部材の内側で前記透過照明機構側から前記テープを保持可能な筒状の保持ステージと、を備える検査装置であって、前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を前記保持ステージの外方から前記観察面へ向けて出射する出射部を有し、前記保持ステージは、前記観察光学系側に前記観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた板状を呈しかつ前記出射部から出射された透過光の透過を許す透過部材と、前記保持ステージに対して観察光軸方向に関する位置調整可能に前記透過部材を保持する位置調整機構と、を有することを特徴とする検査装置であればよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【００９４】
また、上記した各実施例では、透過照明機構において拡散部（拡散面）が設けられていたが、この拡散部は設けられていなくてもよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【００９５】
さらに、上記した各実施例では、保持ステージ（３４等）が先端部３４ａでテープ４２を吸着保持する構成とされていたが、各半導体素子４４を検査対象物とすべく検査対象ワーク４０の状態を維持したまま当該検査対象ワーク４０を保持するものであればよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【００９６】
以上、本発明の検査装置を各実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については、これらの各例および各実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。
【符号の説明】
【００９７】
１０、１０Ａ、１０Ｂ 検査装置
１１ （観察光学系としての）観察機構
１２ 反射照明機構
１４ 透過照明機構
２４ （観察光学系としての）撮像カメラ
３４、３４Ａ 保持ステージ
３４ａ （テープの保持位置となる）先端部
３５ （透過部材としての）透過ステージ
３５ａ （平坦面としての）上端面
３７ （位置調整機構としての）Ｚ軸螺合部材
３８ （位置調整機構としての）直交軸螺合部材
４２ テープ
４３ 環状部材
４４ （検査対象物としての）半導体素子
５１ 透過用光源
５３ 出射部
７１ （位置調整機構としての）Ｚ軸調整機構
８１ 押圧機構
Ｆｐ 観察面
Ｏａ 観察光軸
Ｐａ 透過光軸
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子を検査対象物として検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＥＤチップ等の半導体素子に、種々の照明光を照射しつつその半導体素子を観察光学系で観察することにより、当該半導体素子を検査対象物として検査する検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この検査装置では、種々の照明光の１つとして、検査対象物から見て観察光学系とは反対側から当該検査対象物を照明する透過照明機構からの透過照明を用いている。
【０００３】
ここで、半導体素子は、テープ（フィルム）に貼り付けられままウェハから切り出され、そのテープが環状部材に保持されている状態で取り扱われることが多く見られる。このため、検査装置では、当該状態を維持したまま検査を行うために、観察光学系とは反対側から、環状部材の内側でテープを保持する筒状の保持ステージを設けることが考えられている。
【０００４】
また、テープが保持ステージで保持された状態では、テープの材質や検査対象物の重量等に応じて、テープに撓みが生じてしまうことがあり、観察光学系による適切な観察が困難となってしまうことがある。このため、従来の検査装置では、透過照明機構に長尺な棒状を呈し平坦な先端面を出射面とした出射部を設け、その出射部の出射面で保持ステージにより保持されたテープを押し上げることにより、検査対象物を観察光学系による適切な観察位置（観察面）に位置させて検査を行うことが考えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１０７２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、透過照明機構としての出射部では、透過光を出射させるための光学素子と、その光学素子を保護しつつ保持する外枠部と、を有する構成とする必要があることから、その外枠部と保持ステージの内壁との干渉により、保持ステージで保持されたテープを透過光で適切に照射できる照射領域すなわち透過照明を用いた有効な検査領域が、保持ステージの内方の領域よりも小さなものとなってしまう。換言すると、保持ステージの内方を有効検査領域として最大限に利用することができず、テープを保持する保持ステージにより、検査の作業効率の低下を招いてしまう。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、環状部材に保持されたテープに貼り付けられた検査対象物を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することのできる検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、検査対象物が貼付されるテープを保持する環状部材の内側で前記透過照明機構側から前記テープを保持可能な筒状の保持ステージと、を備える検査装置であって、前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を前記保持ステージの外方から前記観察面へ向けて出射する出射部を有し、前記保持ステージは、前記観察光学系側に前記観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた板状を呈しかつ前記出射部から出射された透過光の透過を許す透過部材と、前記保持ステージに対して観察光軸方向に関する位置調整可能に前記透過部材を保持する位置調整機構と、を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査装置であって、観察光軸方向に関する位置調整とは、観察光軸方向での位置および観察光軸方向に対する傾斜であることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の検査装置であって、前記位置調整機構は、観察光軸方向で見て、前記平坦面を前記保持ステージにおける前記テープの保持位置よりも前記観察光学系側とするように前記透過部材を位置させることが可能とされていることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の検査装置であって、さらに、前記透過部材の外方位置において前記テープを観察光軸方向の前記出射部側に押圧する押圧機構を備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の検査装置であって、前記押圧機構は、前記保持ステージの外方位置で前記環状部材を押圧することを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項４に記載の検査装置であって、前記押圧機構は、前記保持ステージにおいて、前記透過部材を取り巻くように該透過部材と前記テープを保持する箇所との間を吸引することを特徴とする。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の検査装置であって、前記出射部は、前記透過部材へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、導光した透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の検査装置であって、前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の検査装置によれば、透過照明機構の出射部が、保持ステージの外方から観察面を照射する構成であることから、出射部と保持ステージとが干渉することを確実に防止することができる。このため、保持ステージの内方の全領域に透過光を照射することができることから、保持ステージの内方を全域に渡って有効な検査領域とすることができ、有効検査領域を最大限に確保することができる。
【００１７】
また、検査装置では、保持ステージに設けられた透過部材の平坦面により、保持ステージに保持されたテープを平坦な状態として、そこに貼付された検査対象物を観察面上に位置させることができるので、透過照明機構の出射部が、保持ステージの外方から観察面を照射する構成としても、観察光学系により適切な観察を行うことができる。
【００１８】
さらに、検査装置では、透過部材が、位置調整機構により保持ステージに対して観察光軸に関する位置調整が可能とされていることから、テープの撓み変形の量および状態に応じて、テープに貼り付けられた検査対象物をより適切に観察面上に位置させることができる。
【００１９】
上記した構成に加えて、観察光軸方向に関する位置調整とは、観察光軸方向での位置および観察光軸方向に対する傾斜であることとすると、テープの撓み変形の量および状態に、適切に対応して、テープに貼り付けられた検査対象物を観察面上に位置させることができる。
【００２０】
上記した構成に加えて、前記位置調整機構は、観察光軸方向で見て、前記平坦面を前記保持ステージにおける前記テープの保持位置よりも前記観察光学系側とするように前記透過部材を位置させることが可能とされていることとすると、テープに貼り付けられた検査対象物をより適切に観察面上に位置させることができる。
【００２１】
上記した構成に加えて、さらに、前記透過部材の外方位置において前記テープを観察光軸方向の前記出射部側に押圧する押圧機構を備えることとすると、押圧機構での押圧により、透過部材の平坦面に倣ってテープを平坦化させつつ固定することができる。このため、テープに貼付された検査対象物を適切に検査することができる。
【００２２】
上記した構成に加えて、前記押圧機構は、前記保持ステージの外方位置で前記環状部材を押圧することとすると、押圧機構での押圧により、確実に透過部材の平坦面に倣ってテープを平坦化させつつ固定することができる。
【００２３】
上記した構成に加えて、前記押圧機構は、前記保持ステージにおいて、前記透過部材を取り巻くように該透過部材と前記テープを保持する箇所との間を吸引することとすると、テープにおける撓み変形による余剰分を引き込むことができるので、テープに貼付された検査対象物を適切に観察面上に位置させることができる。
【００２４】
上記した構成に加えて、前記出射部は、前記透過部材へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、導光した透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することとすると、観察面上における観察光学系に対する適切な領域を照射することができるので、より効率的に観察光学系による適切な観察を可能とすることができる。
【００２５】
上記した構成に加えて、前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることとすると、観察光学系によるより適切な観察を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本願発明に係る実施例１の検査装置１０の構成を模式的に示す説明図である。
【図２】検査装置１０の機能構成を示すブロック図である。
【図３】検査装置１０の保持ステージ３４を模式的に示す斜視図である。
【図４】検査対象ワーク４０の種類を説明するための説明図であり、（ａ）は各半導体素子４４がテープ４２に貼り付けられたまま各境界面で切断された状態を示し、（ｂ）はテープ４２が引き伸ばされて各半導体素子４４が各個に分断された状態を示している。
【図５】検査装置１０の保持機構１３および透過照明機構１４を模式的に示す斜視図である。
【図６】図５に示すＩ−Ｉ線に沿う箇所を部分的な断面で示す説明図である。
【図７】技術の課題を説明するための比較例としての検査装置１０´の保持機構１３´および透過照明機構１４´の構成を模式的に示す説明図である。
【図８】検査装置１０´において検査対象物を観察面Ｆｐ上に位置させる様子を説明するための説明図である。
【図９】検査装置１０´において、有効検査領域Ｓａ´が狭まることを説明するための説明図であり、上方に観察光学系側から保持ステージ３４´を見た様子を示し、下方に上方のII−II線に沿って得られた断面を示している。
【図１０】検査装置１０において、有効検査領域Ｓａが拡げられたことを説明するための説明図であり、上方に観察光学系側から保持ステージ３４を見た様子を示し、下方に上方のIII−III線に沿って得られた断面を示している。
【図１１】実施例２の検査装置１０Ａの構成を模式的に示す説明図である。
【図１２】実施例３の検査装置１０Ｂの保持機構１３Ｂの構成を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下に、本願発明に係る検査装置の各実施例について図面を参照しつつ説明する。
【実施例１】
【００２８】
先ず、本願発明に係る実施例１の検査装置１０の概略的な構成について説明する。図１は、本願発明に係る検査装置の一例としての検査装置１０の構成を模式的に示す説明図である。図２は、検査装置１０の機能構成を示すブロック図である。なお、図５では、理解容易のために、検査対象ワーク４０におけるウェハ４１およびテープ４２を省略して示している。
【００２９】
検査装置１０は、図１および図２に示すように、観察機構１１と、反射照明機構１２と、保持機構１３と、透過照明機構１４と、制御機構１５と、から大略構成されている。この検査装置１０は、図１に示すように、本体部２１を有する。この本体部２１には、図示は略すが、リレーレンズやレボルバー式のターレット部が設けられており、そのターレット部には複数個の対物レンズ鏡筒２２が設けられている。この各対物レンズ鏡筒２２には、対物レンズ２３が設けられている。この本体部２１の上部に、撮像カメラ２４が取り付けられている。この撮像カメラ２４は、設定された対物レンズ２３により定まる倍率にしたがって、当該対物レンズ２３および本体部２１（リレーレンズ）を経て、その光軸（観察光軸Ｏａ）上の所定の位置の画像データを取得することができる。このため、撮像カメラ２４、本体部２１、各対物レンズ鏡筒２２およびその対物レンズ２３は、観察機構１１における観察光学系として機能し、その光軸が観察光軸Ｏａとなる。また、観察光軸Ｏａ上における撮像カメラ２４が適切な画像を取得可能な位置すなわち観察光学系における焦点位置を含み当該観察光軸Ｏａに直交する平面（物体側の結像面）が観察面Ｆｐとなる。以下では、観察光軸Ｏａの方向をＺ軸方向とし、そこに直交する面をＸ−Ｙ平面とする。この撮像カメラ２４により取得された画像データは、後述する画像制御部６１により、適宜解析されるとともにモニタ３９に表示可能とされている（図２参照）。
【００３０】
その本体部２１の内部には、観察光軸Ｏａ上にハーフミラーまたはプリズムで構成された反射部材２５が設けられている。本体部２１では、反射部材２５による観察光軸Ｏａからの反射方向に、コネクタ部２６を介して導光ファイバ２７が取り付けられている。この導光ファイバ２７は、同軸用光源２８から出射された照射光を反射部材２５へと導光することが可能とされている。その同軸用光源２８は、図２に示すように、ハロゲンランプ２８ａとストロボ２８ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ２７へと出射させることが可能とされている。この同軸用光源２８から出射された照射光は、図１に示すように、導光ファイバ２７および反射部材２５を経て観察光軸Ｏａ上を進行し、各対物レンズ鏡筒２２の対物レンズ２３を経て観察光軸Ｏａ上で観察面Ｆｐを照明することができる。このため、同軸用光源２８、導光ファイバ２７および反射部材２５は、各対物レンズ鏡筒２２の対物レンズ２３との協働により、観察光学系に対して、後述する検査対象物（４４）からの同軸方向での反射光を生成するための反射照明機構１２、すなわち同軸落射照明機構２９として機能する。
【００３１】
この本体部２１は、後述するＺ軸駆動機構６６（図２参照）により、観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。このため、観察機構１１における観察光学系と、同軸落射照明機構２９とは、一体的に観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。
【００３２】
また、本体部２１には、図１に示すように、対物レンズ鏡筒２２の外周を包囲するようにして照明光導出用リング盤３０が設けられている。この照明光導出用リング盤３０は、図示は略すが観察光軸Ｏａと所定の間隔を置いて当該観察光軸Ｏａを取り囲むように複数の発光部が設けられており、各発光部は観察光軸Ｏａに対して傾斜する方向から観察面Ｆｐへ向けて照射可能とされている。照明光導出用リング盤３０には、導光ファイバ３１が取り付けられている。この導光ファイバ３１は、リング用光源３２から出射された照射光を照明光導出用リング盤３０の各発光部（図示せず）へと導光することが可能とされている。そのリング用光源３２は、図２に示すように、ハロゲンランプ３２ａとストロボ３２ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光ファイバ３１へと出射させることが可能とされている。このリング用光源３２から出射された照射光は、図１に示すように、導光ファイバ３１を経て、照明光導出用リング盤３０の各発光部（図示せず）から観察光軸Ｏａに対して傾斜する方向で観察面Ｆｐを照明することができる。このため、リング用光源３２、導光ファイバ３１および照明光導出用リング盤３０（その各発光部）は、観察光学系に対して、後述する検査対象物（４４）からの観察光軸Ｏａに傾斜する方向での反射光を生成するための反射照明機構１２、すなわち斜光照明機構３３として機能する。この照明光導出用リング盤３０は、後述するＺ軸駆動機構６６（図２参照）により、観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に移動可能とされている。この観察光軸Ｏａ方向への移動は、本体部２１と一体的なものであってもよく、互いに独立するものであってもよい。
【００３３】
この本体部２１および照明光導出用リング盤３０の下方に、保持機構１３が設けられている。この保持機構１３は、保持ステージ３４を有する。この保持ステージ３４は、図３に示すように、段付きの円筒形状を呈し、その環状の先端部３４ａで後述する検査対象物（４４）の保持部を構成している。この先端部３４ａでは、円環状の環状溝３４ｂが設けられるとともに、その溝内に真空引きのための吸引孔３４ｃが設けられている。このため、保持ステージ３４では、後述するように載置されたテープ４２（図４等参照）を、先端部３４ａで吸着保持することが可能とされている。この保持ステージ３４では、その内方に透過ステージ３５が設けられている。
【００３４】
透過ステージ３５は、図１、図３、図５および図６に示すように、円板形状を呈し、上側（観察光学系側）の上端面３５ａが平坦面とされており、下側（透過照明機構１４の後述する照射機構部１６側）の下端面３５ｂが散乱面とされている。この上端面３５ａは、実施例１では、研磨された平坦面とされており、下端面３５ｂは、後述するような散乱効果を得る観点から拡散率等を適宜考慮して設定される。この透過ステージ３５は、少なくとも透過照明機構１４の後述する照射機構部１６（その出射部５３）から出射された透過光の透過を許す透明な部材（透過部材）で形成されており、実施例１では、ガラスで形成されている。透過ステージ３５は、その周縁部の下端が、支持枠３６（図６参照）を介して下方から支持されている。この支持枠３６は、図６に示すように、円環状を呈し、複数のＺ軸螺合部材３７（図６では１つのみ図示している）により下方から支持されているとともに、複数の直交軸螺合部材３８（図６では１つのみ図示している）によりＺ軸方向上側（観察光学系側）への移動が制限されている。各Ｚ軸螺合部材３７は、保持ステージ３４をＺ軸方向に貫通して設けられており、ナット３７ａによりＺ軸方向での位置決めが可能とされている。このＺ軸螺合部材３７は、Ｚ軸を中心とする回転方向で見て所定の間隔をおくように、少なくとも３点以上設けられている。各直交軸螺合部材３８は、先端が円錐形状とされており、支持枠３６の上端位置の傾斜面との係合が可能とされている。このため、保持ステージ３４では、各Ｚ軸螺合部材３７による支持位置を適宜変更することにより、Ｚ軸方向すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た透過ステージ３５の位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節可能に、当該透過ステージ３５が設けられている。このことから、各Ｚ軸螺合部材３７と各直交軸螺合部材３８とは、保持ステージ３４に対して、透過ステージ３５を観察光軸Ｏａに関する位置調整を可能に保持する位置調整機構として機能する。
【００３５】
この透過ステージ３５は、厚さ寸法すなわち上端面３５ａと下端面３５ｂとの間隔が、透過ステージ３５における光学的な特性および硬度特性を勘案しつつ、以下の３点を考慮して設定されている。実施例１では、透過ステージ３５の厚さ寸法は、５ｃｍ〜１５ｃｍの範囲であって、全体に均等なものとされている。
【００３６】
１点目は、透過照明機構１４の後述する照射機構部１６から出射されて下端面３５ｂへと入射し上端面３５ａから出射した透過光において、所定の光量を確保することができることである。これは、透過ステージ３５では、観察光学系を経て撮像カメラ２４で取得した画像で見て、後述する検査対象物（４４）が適切に照明されている必要があることによる。この点は、主に透過ステージ３５の厚さ寸法の上限値に影響する。
【００３７】
２点目は、周縁部の下端が下方から支持されていることに起因して、中央位置において、落ち込むような撓み変形の変形量が所定の範囲以内であることである。これは、透過ステージ３５では、後述するように、上端面３５ａが、後述する検査対象物（４４）を観察光学系における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させる機能を有していることから、上端面３５ａを全面に渡って観察面Ｆｐに沿うものとする必要があることによる。このため、上述した変形量における所定の範囲とは、最大で観察光学系における被写界深度となる。この点は、主に透過ステージ３５の厚さ寸法の下限値に影響する。
【００３８】
３点目は、散乱面とされた下端面３５ｂによる散乱効果が、上端面３５ａから出射される透過光において十分に得られていることである。詳細には、観察面Ｆｐ上のテープ４２を照射する透過光、すなわち上端面３５ａから出射される透過光を、所定の散乱状態とすることを可能とするように、下端面３５ｂにおける散乱面の度合い（粗面度）を勘案して設定されている。ここで、所定の散乱状態とは、撮像カメラ２４からの画像データにおいてテープ４２における複数の影の部分が生じることを防止すること、すなわち透過照明機構１４からの透過光が照射された観察面Ｆｐ上のテープ４２を、観察光学系を経て撮像カメラ２４で取得した際、その画像データにおいてテープ４２が一様に明るい状態となること、を言う。
【００３９】
この透過ステージ３５を保持する保持ステージ３４は、図１に示すように、後述するＸＹ駆動機構６４（図２参照）により、観察光軸Ｏａ（観察光学系）に対して、そこに直交するＸ−Ｙ平面上で移動可能とされている。また、保持ステージ３４は、後述する回転駆動機構６５（図２参照）により、Ｚ軸回りに回転可能とされている。この保持ステージ３４には、検査対象ワーク４０が吸着保持される。
【００４０】
検査対象ワーク４０は、図４に示すように、ウェハ４１（ガラス基板等も含むものとする）が貼り付けられたテープ（フィルム）４２を、環状部材４３の内方で保持して構成されている。この検査対象ワーク４０では、（ａ）に示すように、ウェハ４１から形成される複数の半導体素子４４が、テープ４２に貼り付けられたまま各境界面で切断（ダイシング）された状態であるものと、（ｂ）に示すように、テープ４２に貼り付けられて切断された後にテープ４２が引き伸ばされて各個に分断（エキスパンド）された状態であるものとがある。ここで、環状部材４３は、状態の差異（検査対象ワーク４０の種類）に拘らず、保持ステージ３４の先端部３４ａ（図１参照）よりも大きな径寸法とされている。検査装置１０では、それらのいずれの状態であっても、各半導体素子４４が適切に形成されているか否かを検査するために用いられる。このため、各半導体素子４４を検査対象物として、検査対象ワーク４０の状態を維持したまま当該検査対象物の検査を行うことができる。この検査対象ワーク４０では、図１、図５および図６に示すように、環状部材４３の内方に保持ステージ３４が位置され、その先端部３４ａにテープ４２が載置された状態において、環状溝３４ｂおよび吸引孔３４ｃの作用により、テープ４２が先端部３４ａに吸着保持される。このとき、保持ステージ３４において、透過ステージ３５の上端面３５ａが先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するものとされると、テープ４２における吸着保持された箇所よりも内方に位置する領域が、透過ステージ３５の上端面３５ａにより引っ張られるので、当該上端面３５ａに貼り付くように平坦化される（図１参照）。このため、透過ステージ３５を観察光軸Ｏａに関して位置調整することにより、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を適切な状態で観察面Ｆｐ上に位置させることができる。この保持ステージ３４の下方に透過照明機構１４としての照射機構部１６が設けられている（図１参照）。
【００４１】
透過照明機構１４は、図１に示すように、保持ステージ３４により吸着保持された検査対象物（各半導体素子４４）に対して、観察光学系（観察機構１１）とは反対側から透過光を照射するものである。この透過照明機構１４は、照射機構部１６を有する。その照射機構部１６は、後述する導光部５２を経て透過用光源５１から出射された透過光を後述する出射部５３へと導光することが可能とされている。その透過用光源５１は、図２に示すように、ハロゲンランプ５１ａとストロボ５１ｂとの双方を選択的に発光させることが可能とされており、いずれが発光されても導光部５２へと出射させることが可能とされている。
【００４２】
この照射機構部１６は、上述した透過用光源５１（図２参照）に加えて、図５および図６に示すように、導光部５２と出射部５３と支持部５４とを有する。導光部５２は、図示は略すが一端側に設けられた入射面が透過用光源５１（図２参照）のハロゲンランプ５１ａおよびストロボ５１ｂから発光された光（透過光）を入射可能とすべくそれぞれに対向されて設けられており、当該入射面から入射された透過用光源５１（図２参照）からの透過光を他端側に設けられた出射面５２ａ（図６参照）へと導く。この導光部５２は、実施例１では、光ファイバで形成されている。導光部５２の出射面５２ａに出射部５３が接続されている（図６参照）。
【００４３】
その出射部５３は、筒状の筐体５３ａに少なくとも１つ以上の光学素子５３ｂが収容されて構成されている。この光学素子５３ｂは、導光部５２の出射面５２ａに対向する入射面５３ｃと、そこから入射された透過光を出射する出射面５３ｄと、を構成している。光学素子５３ｂは、入射面５３ｃから入射された透過光を所望の状態として出射面５３ｄから出射すべく、所定の光学的特性を有するものとされている。この光学素子５３ｂの中心軸位置となる回転対称軸を、照射機構部１６（透過照明機構１４（透過照明系））の透過光軸Ｐａ（図１参照）とする。この照射機構部１６では、導光部５２から出射部５３へと透過光が入射されると、出射部５３から透過光軸Ｐａに沿う透過光を出射する。光学素子５３ｂにおける所定の光学的特性とは、進行方向となる透過光軸Ｐａに直交する断面で見た光量分布が均一化されていることと、照射領域の拡がり（拡散）が抑制されていることと、を言う。この光学素子５３ｂは、上述した所定の光学的特性（インテグレータ機能および拡散防止（集光）機能）を有する光学素子で構成されており、実施例１では、光学素子５３ｂは、ロッドインテグレータ光学部材で構成されている。
【００４４】
また、実施例１では、筐体５３ａにおいて光学素子５３ｂの入射面５３ｃよりも下方に位置する下端部５３ｅが筒状とされており、導光部５２の他端部（出射面５２ａが設けられている側の端部）を内方に嵌入可能とされている。このため、出射部５３と導光部５２とは、導光部５２の他端部を出射部５３の下端部５３ｅに嵌入することにより、導光部５２の出射面５２ａと出射部５３の入射面５３ｃとが突き合わされて連結（接続）される。この状態において、導光部５２と出射部５３とが、支持部５４により固定的に支持されている。
【００４５】
このため、照射機構部１６では、透過用光源５１から出射した透過光を、導光部５２を経て出射部５３へと進行させ、均一な光量分布の略平行光として出射部５３から透過光軸Ｐａ（図１参照）方向へ向けて出射させて、透過ステージ３５の下端面３５ｂを照射することができる。この透過光は、散乱面とされた下端面３５ｂにより、散乱光とされて観察面Ｆｐを裏面側から照射する。この透過光は、少なくとも保持ステージ３４に吸着保持された検査対象ワーク４０のテープ４２を透過して、観察光学系（撮像カメラ２４）により観察可能とされている（図１参照）。このため、照射機構部１６（透過用光源５１、導光部５２および出射部５３）は、散乱面とされた透過ステージ３５の下端面３５ｂと協働として、観察光学系とは反対側から観察面Ｆｐ（検査対象物（半導体素子４４））を照射する透過光を生成する透過照明機構１４として機能する。実施例１では、透過光軸ＰａがＺ軸方向に平行に設定されており、透過光軸Ｐａと観察光軸Ｏａとが一致するように、観察光学系に対する照射機構部１６の位置が設定されている。また、透過照明機構１４は、ロッドインテグレータ光学部材で構成された照射機構部１６の光学素子５３ｂにより、観察面Ｆｐ上で見た透過光の照射領域で、観察光学系（撮像カメラ２４）により観察可能な観察領域を充足することを可能とするように設定されている。
【００４６】
この検査装置１０では、上述したように構成された観察機構１１、反射照明機構１２、保持機構１３および透過照明機構１４が、制御機構１５（図２参照）の制御下で統括的に制御される。この制御機構１５は、図２に示すように、画像制御部６１と、照明制御部６２と、駆動制御部６３とを有している。
【００４７】
画像制御部６１は、撮像カメラ２４により取得された画像データを適宜解析する。この解析とは、テープ４２に貼り付けられた複数の検査対象物（半導体素子４４）の輪郭線を認識することや、観察点におけるフォーカス状態を判断することや、各検査対象物における欠陥を認識することや、各検査対象物に設けられた電極や配線等の不備を認識することや、ウェハ４１からの各検査対象物（半導体素子４４）の切り出し不良を認識すること等があげられる。また、画像制御部６１は、撮像カメラ２４により取得された画像データに基づく映像をモニタ３９に表示させる。
【００４８】
照明制御部６２は、同軸用光源２８とリング用光源３２と透過用光源５１とを適宜点消灯制御を行う。すなわち、照明制御部６２は、同軸用光源２８、リング用光源３２および透過用光源５１において、ハロゲンランプ（２８ａ、３２ａ、５１ａ）もしくはストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）を選択的に適宜点消灯させるとともに、同軸用光源２８、リング用光源３２および透過用光源５１を、同時にまたは個別に点灯および消灯させる。このハロゲンランプ（２８ａ、３２ａ、５１ａ）は、観察用照明として用いるものであり、ストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）は検査用照明として用いるものである。また、照明制御部６２は、各光源（２８、３２、５１）において、検査用照明としてのストロボ（２８ｂ、３２ｂ、５１ｂ）の明るさ調整が可能とされている。この明るさ調整は、例えば、複数のＮＤフィルタのいずれかを適宜選択することで、実現することができる。
【００４９】
駆動制御部６３は、ＸＹ駆動機構６４、回転駆動機構６５およびＺ軸駆動機構６６を適宜駆動制御する。すなわち、駆動制御部６３は、Ｚ軸駆動機構６６を駆動制御することにより、観察機構１１における観察光学系および同軸落射照明機構２９を観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に適宜移動させることができるとともに、斜光照明機構３３を観察光軸Ｏａ方向（Ｚ軸方向）に適宜移動させることができる。これにより、保持ステージ３４に吸着保持された検査対象ワーク４０の検査対象物（各半導体素子４４）を、適切な照明の下で、適切に観察することを可能とする。また、駆動制御部６３は、ＸＹ駆動機構６４および回転駆動機構６５を駆動制御することにより、保持ステージ３４すなわちそこに吸着保持された検査対象ワーク４０を、観察光軸Ｏａ（観察光学系）および透過光軸Ｐａ（照射機構部１６）に対して、そこに直交するＸ−Ｙ平面上で適宜移動させることができるとともに、観察光軸Ｏａ（透過光軸Ｐａ（Ｚ軸方向））回りに適宜回転させることができる。これにより、保持ステージ３４に吸着保持された検査対象ワーク４０における任意の位置の検査対象物（半導体素子４４）を検査することが可能となる。
【００５０】
制御機構１５では、この他にも、上述した保持ステージ３４における吸着動作の制御等が可能とされているとともに、検査のための画像データの比較等が可能とされている。
【００５１】
この検査装置１０では、先ず、検査対象とする検査対象物が貼付された検査対象ワーク４０に応じて、透過ステージ３５の観察光軸Ｏａに関する位置調整を行う。これは、以下のことによる。検査装置１０では、保持ステージ３４の先端部３４ａで環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持するものであることから、テープ４２の周縁部が下方から支持されていることに起因して、中央位置が落ち込むように撓み変形することがある。すると、この撓み変形によりテープ４２上の各半導体素子４４が観察面Ｆｐからずれてしまい、観察光学系（撮像カメラ２４）による適切な観察が出来なくなる虞がある。このテープ４２の撓み変形の量および状態は、テープ４２の材質や貼付された各半導体素子４４の位置および個数等に応じて異なるものであることから、検査対象ワーク４０の種類に応じて異なるものとなる。このため、対象とする検査対象ワーク４０を保持ステージ３４で吸着保持した状態において、テープ４２上の各半導体素子４４を観察面Ｆｐ上に位置させるように、テープ４２の撓み変形の量および状態に応じて、透過ステージ３５のＺ軸すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節する。
【００５２】
このとき、テープ４２の撓み変形が大きいほど、透過ステージ３５の上端面３５ａを保持ステージ３４の先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置させる。これは、以下のことによる。透過ステージ３５の上端面３５ａを保持ステージ３４の先端部３４ａよりも上方に位置させると、テープ４２における吸着保持された箇所よりも内方に位置する領域が、透過ステージ３５の上端面３５ａにより上方に引っ張られるので、当該上端面３５ａにテープ４２が貼り付くように平坦化される。このため、テープ４２の撓み変形に応じて、透過ステージ３５の上端面３５ａを上方に位置させることにより、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）をより適切な状態で観察面Ｆｐ上に位置させることができる。このとき、透過ステージ３５の上端面３５ａに高さ位置に応じて、観察機構１１、反射照明機構１２および透過照明機構１４の照射機構部１６をＺ軸方向に適宜移動させることは言うまでもない。このテープ４２の撓み変形の量および状態は、例えば、撮像カメラ２４からの画像データを画像制御部６１で解析することにより、取得することができる。
【００５３】
検査装置１０では、次に、保持ステージ３４で検査対象ワーク４０を吸着保持して、チップスキャンを行う。このチップスキャンでは、保持ステージ３４の先端部３４ａの内方位置すなわち検査対象ワーク４０（テープ４２）において吸着保持された箇所よりも内方位置を全面に渡って走査するように、駆動制御部６３により、観察光軸Ｏａに対して保持ステージ３４を移動させる。この走査では、透過照明機構１４からの透過光を照射しつつ撮像カメラ２４による画像の取得を行う。
【００５４】
次に、チップマップの作成を行う。このチップマップとは、検査対象ワーク４０（テープ４２）における各検査対象物（半導体素子４４）の位置、および姿勢を示すものである。制御機構１５では、チップスキャンによる撮像カメラ２４からの画像データを画像制御部６１で解析することにより、輪郭線を認識することでテープ４２に貼り付けられた複数の検査対象物（半導体素子４４）を判別するとともに、駆動制御部６３による移動位置情報を加味することで、各検査対象物（半導体素子４４）の位置および姿勢を取得する。
【００５５】
次に、検査対象物（半導体素子４４）の判定を行う。この判定では、作成したチップマップに基づいて、観察光学系による観察位置を決定し、その決定に応じて駆動制御部６３により保持ステージ３４を移動させる。その後、その観察位置にある検査対象物（半導体素子４４）を、その検査対象物の良品のデータと比較し、当該検査対象物（半導体素子４４）の良否の判断を行う。この良否の判断は、撮像カメラ２４からの画像データを画像制御部６１で解析することにより行う。
【００５６】
この検査対象物（半導体素子４４）の判定を、作成したチップマップに基づいて、検査対象ワーク４０（テープ４２）上のすべての検査対象物（半導体素子４４）に対して順次行うことにより、当該検査対象ワーク４０に対する検査が終了する。なお、この検査は、画像制御部６１の制御下でモニタ３９に表示された、撮像カメラ２４により取得された画像データに基づく映像を目視することにより、行うこともできる。
（技術の課題）
次に、技術の課題について、図７ないし図９を用いて説明する。図７は、技術の課題を説明するための検査装置１０´の保持機構１３´および透過照明機構１４´の構成を示す説明図である。この検査装置１０´は、実施例１の検査装置１０に対して、保持ステージ３４´に透過ステージ３５が設けられておらず、かつ透過照明機構１４´（その照射機構部１６´）の用い方およびその機能が異なるものとされた例である。検査装置１０´は、基本的な構成は上記した検査装置１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５７】
先ず、一般的に、検査対象物となる半導体素子では、ウェハ４１が貼り付けられたテープ（フィルム）４２を環状部材４３の内方で保持している状態である検査対象ワーク４０（図４参照）のままで取り扱われることが多く見られることから、複数の半導体素子４４の検査も検査対象ワーク４０（図４参照）のままで取り扱うことが望ましい。このため、検査装置１０´では、上述したように、保持ステージ３４´の先端部３４ａで、環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持して、観察機構１１、反射照明機構１２（図１参照）および透過照明機構１４´を用いて、そのテープ４２に貼付された各半導体素子４４の検査を行うものとしている。
【００５８】
このとき、検査対象物である各半導体素子４４を観察機構１１（観察光学系（撮像カメラ２４（図１参照）））における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させるために、その各半導体素子４４が貼付されたテープ４２を平坦な状態としつつ保持する必要がある。これは、保持ステージ３４´の先端部３４ａで環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持するものであることから、テープ４２の周縁部が下方から支持されていることに起因して、中央位置が落ち込むように撓み変形することがあり、この撓み変形によりテープ４２上の各半導体素子４４が観察面Ｆｐからずれてしまうことがあることによる。ところが、検査装置１０´では、保持ステージ３４´に透過ステージ３５が設けられていない。そのため、透過照明機構１４´（その照射機構部１６´）の用い方およびその機能が、検査装置１０とは異なるものとされている。
【００５９】
詳細には、検査装置１０´では、図７に示すように、透過照明機構１４´の照射機構部１６´の出射部５３´の光学素子５３ｂ´の上側（観察光学系側）の出射面５３ｄ´が平坦面とされている。この検査装置１０´では、保持ステージ３４´の先端部３４ａで環状部材４３の内方位置のテープ４２を吸着保持した際、図７および図８に示すように、照射機構部１６´の出射部５３´の出射面５３ｄ´を、テープ４２の裏面（照射機構部１６´側の面）に押し当ててその当接箇所を持ち上げることで、検査対象物を観察光学系（撮像カメラ２４（図１参照））における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させる。このように、検査装置１０´では、透過照明機構１４´としての照射機構部１６´の出射部５３´の出射面５３ｄ´が、検査対象物を観察光学系（撮像カメラ２４）における適切な位置である観察面Ｆｐ上に位置させる機能を有している。
【００６０】
ところが、照射機構部１６´の出射部５３´では、筒状の筐体５３ａ´に光学素子５３ｂ´が収容されて構成されていることから、照射可能な領域が光学素子５３ｂ´の出射面５３ｄ´（その面積）に略等しいものとなる。これに対して、透過光軸Ｐａ（Ｚ軸方向）に直交する方向で見て、保持ステージ３４´の内方における照射機構部１６´の相対的に移動可能な領域は、その筐体５３ａ´と保持ステージ３４´の内周壁面との干渉により制限されてしまう（図９参照）。このため、照射機構部１６´（透過照明機構１４´）では、図９に示すように、保持ステージ３４´の内方において、その内周壁面に筐体５３ａ´を当接させた状態（正確には、当接する寸前の位置）における光学素子５３ｂ´の位置を最外位置とする領域が有効に透過光を照射できる領域（有効検査領域Ｓａ´）となり、保持ステージ３４´においてテープ４２を吸着保持する先端部３４ａの内方の全領域に透過光を照射することができない。換言すると、保持ステージ３４´の先端部３４ａの内方を検査領域として最大限に利用することができず、テープ４２を保持する保持ステージ３４´により、検査の作業効率の低下を招いてしまう虞がある。
（透過照明機構１４および透過ステージ３５による作用）
検査装置１０では、透過照明機構１４における照射機構部１６（その出射部５３）が、保持ステージ３４から離れた位置（保持ステージ３４の外方）から当該保持ステージ３４に吸着保持された検査対象物（各半導体素子４４）を照射する構成としている（図５等参照）。このため、保持ステージ３４と照射機構部１６（その出射部５３）とを、透過光軸Ｐａに直交する方向に相対的に移動させても、保持ステージ３４と照射機構部１６（その出射部５３）とが干渉することはない（図１０参照）。このため、図１０に示すように、照射機構部１６の出射部５３に筐体５３ａが設けられていることに拘らず、光学素子５３ｂから出射された透過光で、透過光軸Ｐａに直交する方向で見て保持ステージ３４の内周壁面に至る位置まで照射することができるので、保持ステージ３４においてテープ４２を吸着保持する先端部３４ａの内方の全領域（符号Ｓａ参照）に透過光を照射することができる。このため、保持ステージ３４の内方を全域に渡って有効検査領域Ｓａとすることができ、当該内方領域を最大限に利用することができる。
【００６１】
このとき、保持ステージ３４に設けられた透過ステージ３５の上端面３５ａが、保持ステージ３４に吸着保持されたテープ４２（検査対象ワーク４０）を平坦な状態とするとともに、そこに貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を観察面Ｆｐ上に位置させている（図１および図６等参照）。このため、観察機構１１（観察光学系（撮像カメラ２４））により、検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察することができる。
【００６２】
このように、本発明に係る検査装置１０では、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、保持ステージ３４から離れた位置（保持ステージ３４の外方）から当該保持ステージ３４に吸着保持された検査対象物（各半導体素子４４）を照射する構成であることから、照射機構部１６（その出射部５３）と保持ステージ３４とが干渉することを確実に防止することができる。このため、照射機構部１６の出射部５３に筐体５３ａが設けられていることに拘らず、光学素子５３ｂから出射された透過光で、透過光軸Ｐａに直交する方向で見て、保持ステージ３４の内周壁面に至る位置まで照射することができるので、保持ステージ３４においてテープ４２を吸着保持する先端部３４ａの内方の全領域に透過光を照射することができる。これにより、保持ステージ３４の内方を全域に渡って有効検査領域Ｓａとすることができ、有効な検査領域を最大限に確保することができる。
【００６３】
また、検査装置１０では、保持ステージ３４に設けられた透過ステージ３５の上端面３５ａにより、保持ステージ３４に吸着保持されたテープ４２（検査対象ワーク４０）を平坦な状態として、そこに貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を観察面Ｆｐ上に位置させることができるので、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、保持ステージ３４から離れた位置から検査対象物（各半導体素子４４）を照射する構成としても、観察機構１１（観察光学系（撮像カメラ２４））により適切な観察を行うことができる。
【００６４】
さらに、検査装置１０では、検査対象ワーク４０（そのテープ４２）を保持ステージ３４で吸着保持する際、透過ステージ３５の上端面３５ａを保持ステージ３４の先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するものとすることができるので、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）をより適切に観察面Ｆｐ上に位置させることができる。
【００６５】
検査装置１０では、透過ステージ３５が、位置調整機構により保持ステージ３４に対して観察光軸Ｏａに関する位置調整が可能とされていることから、テープ４２の撓み変形の量および状態に応じて、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）をより適切に観察面Ｆｐ上に位置させることができる。
【００６６】
検査装置１０では、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、照射領域の拡がり（拡散）を抑制する光学性能（インテグレータ機能）を有していることから、観察面Ｆｐ上における観察光学系（撮像カメラ２４）に対する適切な領域を照射することができるので、より効率的に観察光学系（撮像カメラ２４）による適切な観察を可能とすることができる。
【００６７】
検査装置１０では、透過照明機構１４の照射機構部１６（その出射部５３）が、進行方向となる透過光軸Ｐａに直交する断面で見た光量分布を均一化する光学性能（拡散防止（集光）機能）を有していることから、観察光学系（撮像カメラ２４）によるより適切な観察を可能とすることができる。
【００６８】
検査装置１０では、透過ステージ３５の下端面３５ｂが散乱面とされていることから、観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データにおいて、透過照明機構１４からの透過光（照射機構部１６から出射されて散乱面を経た透過光）が照射されたテープ４２における複数の影の部分が生じることを防止することができるので、透過照明機構１４を用いて、テープ４２に貼付された検査対象物（実施例１では各半導体素子４４）の情報を正確に得ることができる。これは、以下のことによる。テープ４２では、透過照明が照射された状態を観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データで観察すると、何らの部材が貼り付けられていない状態であっても、一様に明るい状態ではなく線状や点状の部分的に暗い箇所（上述した影の部分）が存在してしまう。この影の部分は、テープ４２には、塵埃等が付着していたり接着剤の斑が生じていたりすることに起因するものと考えられる。このような影の部分は、透過照明機構１４を用いてテープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を検査する際、ノイズ成分として作用してしまい、当該検査対象物の検査精度の低下を招いてしまう虞がある。これに対し、検査装置１０では、透過照明機構１４において、照射機構部１６（その出射部５３）からの透過光が、散乱面である透過ステージ３５の下端面３５ｂを経ることにより散乱光とされているので、透過照明機構１４からの透過光が照射された観察面Ｆｐ上のテープ４２を、観察光学系を経て撮像カメラ２４で取得した際、その画像データにおいてテープ４２における複数の影の部分を殆ど認識できなくすることができる。これは、テープ４２の付着した塵埃等や接着剤の斑に対して、様々な角度方向で透過光を照射することに起因するものと考えられる。このように、観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データにおけるノイズ成分を除去することができるので、透過照明機構１４を用いて、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）の情報を正確に得ることができる。
【００６９】
検査装置１０では、散乱面とされた下端面３５ｂが、透過光軸Ｐａ方向で見て、観察面Ｆｐを規定する透過ステージ３５の上端面３５ａから所定の間隔を置いて設けられていることから、散乱面とされたことによる散乱効果を確実に得ることができるので、観察光学系（撮像カメラ２４）からの画像データにおいて、透過照明機構１４からの透過光が照射されたテープ４２における複数の影の部分が生じることを確実に防止することができる。なお、ガラスで形成された透過ステージ３５の上端面３５ａを観察面Ｆｐとしかつ下端面３５ｂを散乱面として実験したところ、観察面Ｆｐと散乱面との間隔を３ｃｍ以上とすることにより、所望の散乱効果を得ることができた。
【００７０】
検査装置１０では、検査対象物を観察面Ｆｐ上に位置させる上端面３５ａが設けられた透過ステージ３５の下端面３５ｂで、透過照明機構１４としての散乱面を構成していることから、観察光学系（観察機構１１）において適切な観察地点である観察面Ｆｐ（上端面３５ａ）に対する透過光軸Ｐａ方向で見た散乱面（下端面３５ｂ）の位置、すなわち透過光軸Ｐａ方向で見た観察面Ｆｐと散乱面との間隔を容易にかつ確実に設定することができる。
【００７１】
検査装置１０では、上端面３５ａが設けられた透過ステージ３５の下端面３５ｂで透過照明機構１４としての散乱面を構成していることから、検査対象物を観察面Ｆｐ上に位置させる機能および画像データ上におけるノイズ成分を除去する機能を、透過ステージ３５を設けるだけで実現することができるので、簡易な構成とすることができる。
【００７２】
検査装置１０では、透過光軸Ｐａ方向で見た上端面３５ａと下端面３５ｂとの間隔（透過ステージ３５の厚さ寸法）が、照射機構部１６（その出射部５３）から出射されて透過ステージ３５を経た透過光における光量も考慮して設定されていることから、所定の光量で観察面Ｆｐ上の検査対象物に透過光を照射することができるので、透過照明機構１４を用いて検査対象物（実施例１では各半導体素子４４）の情報をより正確に得ることができる。
【００７３】
検査装置１０では、透過光軸Ｐａ方向で見た上端面３５ａと下端面３５ｂとの間隔（透過ステージ３５の厚さ寸法）が、透過ステージ３５の撓み変形の変形量が所定の範囲以内とする点も設定されていることから、観察光学系（撮像カメラ２４）により適切に観察することができる。
【００７４】
したがって、本発明に係る検査装置１０では、環状部材４３に保持されたテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することができる。
【実施例２】
【００７５】
次に、本発明の実施例２に係る検査装置１０Ａについて、図１１を用いて説明する。この実施例２は、実施例１の検査装置１０に対して、保持ステージ３４Ａ（保持機構１３Ａ）における位置調整機構の構成が異なる例である。この実施例２の検査装置１０Ａは、基本的な構成は上記した実施例１の検査装置１０と同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７６】
検査装置１０Ａでは、図１１に示すように、保持機構１３Ａの保持ステージ３４Ａにおける位置調整機構として、各Ｚ軸螺合部材３７の代わりに、複数のＺ軸調整機構７１が設けられている。このＺ軸調整機構７１は、Ｚ軸螺合部材３７と同様に、少なくとも３点以上設けられている（図１１では２つのみ図示している）。各Ｚ軸調整機構７１は、駆動モータ７２と、その回転軸７２ａに取り付けられたカム部材７３と、それにより変動されるＺ軸支持部７４と、を有する。駆動モータ７２は、Ｚ軸調整機構７１における駆動源であり、回転軸７２ａで回転駆動力を出力する。その回転軸７２ａにカム部材７３が接続されている。そのカム部材７３は、円板状を呈し、軸線から偏心した位置で回転軸７２ａに接続されている。カム部材７３は、外側面でＺ軸支持部７４に当接可能とされている。そのＺ軸支持部７４は、棒状を呈し、Ｚ軸方向で見てカム部材７３の上側（透過ステージ３５側）で保持ステージ３４ＡをＺ軸方向に貫通して設けられており、Ｚ軸方向に移動自在とされている。Ｚ軸支持部７４は、上側（観察光学系側）の一端が支持枠３６を下方から支持しており、下側の他端がカム部材７３の外側面に当接されている。
【００７７】
このＺ軸調整機構７１では、駆動モータ７２を適宜駆動制御することにより、カム部材７３の回転軸７２ａ回りの回転姿勢に応じて、Ｚ軸支持部７４をＺ軸方向に移動させることができる。このため、保持ステージ３４Ａでは、各Ｚ軸調整機構７１を適宜駆動させて、各Ｚ軸支持部７４による支持位置を適宜変更することにより、Ｚ軸方向すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た透過ステージ３５の位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節可能に、当該透過ステージ３５が設けられている。このことから、各Ｚ軸螺合部材３７は、保持ステージ３４Ａに対して、透過ステージ３５を観察光軸Ｏａに関する位置調整を可能に保持する位置調整機構として機能する。検査装置１０Ａでは、制御機構１５の駆動制御部６３が、各Ｚ軸調整機構７１すなわちその駆動モータ７２を適宜駆動制御することが可能とされている。
【００７８】
この検査装置１０Ａでは、対象とする検査対象ワーク４０を保持ステージ３４Ａで吸着保持した状態において、撮像カメラ２４からの画像データを制御機構１５の画像制御部６１で解析することにより、テープ４２の撓み変形の量および状態を取得する。次に、そのテープ４２の撓み変形の量および状態に応じて、制御機構１５の駆動制御部６３が、テープ４２上の各半導体素子４４を観察面Ｆｐ上に位置させるように、各Ｚ軸調整機構７１の駆動モータ７２を適宜駆動制御することにより、Ｚ軸方向すなわち観察光軸Ｏａ方向で見た透過ステージ３５の位置（高さ位置）と、当該観察光軸Ｏａに対する透過ステージ３５（上端面３５ａ）の傾斜と、の双方を調節する。次に、その観察光軸Ｏａに関する位置が調整された透過ステージ３５の上端面３５ａ上のテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、観察面Ｆｐ上に位置させるべく、制御機構１５の駆動制御部６３が、観察機構１１、反射照明機構１２および透過照明機構１４（その照射機構部１６）をＺ軸方向に適宜移動させる。これにより、テープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）が、適切な状態で観察面Ｆｐ上に位置される。このため、検査装置１０Ａでは、実施例１の検査装置１０と同様に、当該検査対象物（各半導体素子４４）を検査することができる。
【００７９】
実施例２の検査装置１０Ａでは、基本的に実施例１の検査装置１０と同様の構成であることから、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。
【００８０】
それに加えて、実施例２の検査装置１０Ａでは、対象とする検査対象ワーク４０のテープ４２上の検査対象物（実施例２では各半導体素子４４）を、自動で観察面Ｆｐ上に位置させることができるので、迅速かつ適切に検査対象物（実施例２では各半導体素子４４）を検査することができる。
【００８１】
したがって、本発明に係る検査装置１０Ａでは、環状部材４３に保持されたテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することができる。
【００８２】
なお、実施例２では、各Ｚ軸調整機構７１が、駆動モータ７２（回転軸７２ａ）と、カム部材７３と、Ｚ軸支持部７４と、により構成されていたが、制御機構１５の駆動制御部６３による駆動制御により、保持ステージ３４Ａに対して観察光軸Ｏａに関する透過ステージ３５の位置を調整することができるものであればよく、実施例２の構成に限定されるものではない。
【実施例３】
【００８３】
次に、本発明の実施例３に係る検査装置１０Ｂについて、図１２を用いて説明する。この実施例３は、実施例２に係る検査装置１０Ａに対して、保持機構１３Ｂの構成が異なる例である。この実施例３の検査装置１０Ｂは、基本的な構成は上記した実施例２の検査装置１０Ａと同様であることから、等しい構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００８４】
検査装置１０Ｂでは、図１２に示すように、保持機構１３Ｂにおいて、押圧機構８１が設けられている。この押圧機構８１は、保持ステージ３４Ａの透過ステージ３５（上端面３５ａ）上に載置された検査対象ワーク４０の保持を可能とするものである。詳細には、押圧機構８１は、透過ステージ３５の上端面３５ａが保持ステージ３４Ａの先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するように、保持ステージ３４Ａに対する透過ステージ３５のＺ軸方向での位置が調整された際、その透過ステージ３５（その上端面３５ａ）との協働により、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させつつ当該検査対象ワーク４０を保持することを可能とする。
【００８５】
この押圧機構８１は、実施例３では、Ｚ軸に直交する方向で見て、保持ステージ３４Ａの外方位置に設けられたスライド支持部８２と、そのスライド支持部８２によりＺ軸方向に移動自在に保持された押圧腕部８３とを有する。この押圧機構８１は、少なくとも２点以上設けられている（図１２では２つ図示している）。各押圧腕部８３は、スライド支持部８２から内方へ向けて延出されており、保持ステージ３４Ａの周辺で検査対象ワーク４０の環状部材４３を上方（観察光学系側）から押圧することが可能とされている。換言すると、各押圧腕部８３は、Ｚ軸方向で見て、少なくとも先端部分が、検査対象ワーク４０の環状部材４３と重なるように設けられている。
【００８６】
検査装置１０Ｂでは、基本的には、保持ステージ３４Ａの先端部３４ａで、検査対象ワーク４０のテープ４２を吸着保持する。ここで、透過ステージ３５の上端面３５ａが保持ステージ３４Ａの先端部３４ａ（吸着保持位置）よりも上方（観察光学系側）に位置するように、保持ステージ３４Ａに対して透過ステージ３５のＺ軸方向での位置が調整された際、その上端面３５ａに載置されたテープ４２を保持ステージ３４Ａの先端部３４ａでは吸着保持することができなくなる場合がある。これは、テープ４２の撓み変形には、限界があることに起因するものであり、Ｚ軸方向で見た上端面３５ａの位置と先端部３４ａの位置との差が大きくなることにより生じる。このとき、検査装置１０Ｂでは、各押圧機構８１において、各スライド支持部８２に設けられた押圧腕部８３を押し下げて（照射機構部１６側（図１１等参照）へ移動させて）、その各押圧腕部８３で検査対象ワーク４０の環状部材４３を上方（観察光学系側（図１１等参照））から下方へと押圧する。すると、検査対象ワーク４０は、そのテープ４２の中央が透過ステージ３５の上端面３５ａにより押し上げられていることから、その上端面３５ａにテープ４２が貼り付くように平坦化された状態で固定される。このことから、各押圧腕部８３における押圧位置（高さ位置）は、透過ステージ３５（その上端面３５ａ）の観察光軸Ｏａに対する傾斜に応じて個別に設定する。なお、各押圧腕部８３における押圧位置は、同一の高さ位置（Ｚ軸方向で見た透過ステージ３５に対する位置）であってもよい。このため、検査対象物（各半導体素子４４）は、観察光学系における適切な位置である観察面Ｆｐ上に適切に位置されることとなる。この各スライド支持部８２上での押圧腕部８３の位置の移動は、制御機構１５（その駆動制御部６３）の制御下で行われる。なお、各スライド支持部８２上での押圧腕部８３の位置の移動は、手動により行うものであってもよい。この各押圧機構８１では、検査対象ワーク４０の環状部材４３を押圧していない場面では、検査対象ワーク４０の保持ステージ３４Ａ（透過ステージ３５）上への載置の妨げとならないように、押圧腕部８３がスライド支持部８２により上方位置へと退避される。なお、押圧腕部８３は、この退避のために、延出方向に伸縮自在な構成とされていてもよく、スライド支持部８２回りに回動可能な構成とされていてもよい。
【００８７】
実施例３の検査装置１０Ｂでは、基本的に実施例２の検査装置１０Ａと同様の構成であることから、基本的に実施例２と同様の効果を得ることができる。
【００８８】
それに加えて、実施例３の検査装置１０Ｂでは、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させるべく保持ステージ３４Ａに対して透過ステージ３５をＺ軸方向に位置調整することに起因して、保持ステージ３４Ａの先端部３４ａでは吸着保持することができなくなった検査対象ワーク４０であっても、押圧機構８１での押圧により、その透過ステージ３５の上端面３５ａに倣ってテープ４２を平坦化させつつ固定することができるので、当該テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に検査することができる。
【００８９】
また、検査装置１０Ｂでは、押圧機構８１が検査対象ワーク４０の環状部材４３を押圧するものであることから、当該検査対象ワーク４０のテープ４２やそこに貼付された検査対象物（各半導体素子４４）への負荷を抑制しつつ、そのテープ４２（検査対象物（各半導体素子４４））を透過ステージ３５の上端面３５ａに押し当てることができる。
【００９０】
したがって、本発明に係る検査装置１０Ｂでは、環状部材４３に保持されたテープ４２に貼り付けられた検査対象物（各半導体素子４４）を、透過照明を用いて効率良く適切に検査することができる。
【００９１】
なお、実施例３では、実施例２の検査装置１０Ａに押圧機構８１を設けた検査装置１０Ｂを示していたが、この押圧機構８１を実施例１の検査装置１０に適用してもよく、上記した実施例３の構成に限定されるものではない。
【００９２】
また、実施例３では、押圧機構８１がスライド支持部８２と押圧腕部８３とを有する構成とされていたが、保持ステージ（３４Ａ）の透過ステージ３５（上端面３５ａ）上に載置された検査対象ワーク４０を、そのテープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させつつ保持することを可能とするものであればよく、上記した実施例３の構成に限定されるものではない。例えば、押圧機構は、保持ステージ（３４Ａ）において、先端部（３４ａ）の内方位置と透過部材（３５）と支持枠（３６）との間を封止するとともに、先端部（３４ａ）の内方位置と透過部材（３５）と支持枠（３６）とにより形成される環状の溝部を真空引きすることができる構成とすることにより、実現することができる。このような構成の場合、透過部材（３５）の上端面（３５ａ）に載置された検査対象ワーク４０のテープ４２を、その上端面（３５ａ）を取り囲む位置で全周に渡って吸着することができる。このため、保持ステージ３４Ａの先端部３４ａによりテープ４２を吸着保持することができるか否かに拘らず、テープ４２における撓み変形による余剰分を環状の溝部に引き込むことができるので、テープ４２に貼付された検査対象物（各半導体素子４４）を適切に観察面Ｆｐ上に位置させることができる
さらに、実施例３では、押圧機構８１の押圧腕部８３が、検査対象ワーク４０の環状部材４３を上方（観察光学系側）から押圧する構成とされていたが、テープ４２を押圧するものであってもよく、上記した実施例３の構成に限定されるものではない。
【００９３】
なお、上記した各実施例では、本発明に係る検査装置の各例について説明したが、観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、検査対象物が貼付されるテープを保持する環状部材の内側で前記透過照明機構側から前記テープを保持可能な筒状の保持ステージと、を備える検査装置であって、前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を前記保持ステージの外方から前記観察面へ向けて出射する出射部を有し、前記保持ステージは、前記観察光学系側に前記観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた板状を呈しかつ前記出射部から出射された透過光の透過を許す透過部材と、前記保持ステージに対して観察光軸方向に関する位置調整可能に前記透過部材を保持する位置調整機構と、を有することを特徴とする検査装置であればよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【００９４】
また、上記した各実施例では、透過照明機構において拡散部（拡散面）が設けられていたが、この拡散部は設けられていなくてもよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【００９５】
さらに、上記した各実施例では、保持ステージ（３４等）が先端部３４ａでテープ４２を吸着保持する構成とされていたが、各半導体素子４４を検査対象物とすべく検査対象ワーク４０の状態を維持したまま当該検査対象ワーク４０を保持するものであればよく、上記した各実施例に限定されるものではない。
【００９６】
以上、本発明の検査装置を各実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については、これらの各例および各実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。
【符号の説明】
【００９７】
１０、１０Ａ、１０Ｂ 検査装置
１１ （観察光学系としての）観察機構
１２ 反射照明機構
１４ 透過照明機構
２４ （観察光学系としての）撮像カメラ
３４、３４Ａ 保持ステージ
３４ａ （テープの保持位置となる）先端部
３５ （透過部材としての）透過ステージ
３５ａ （平坦面としての）上端面
３７ （位置調整機構としての）Ｚ軸螺合部材
３８ （位置調整機構としての）直交軸螺合部材
４２ テープ
４３ 環状部材
４４ （検査対象物としての）半導体素子
５１ 透過用光源
５３ 出射部
７１ （位置調整機構としての）Ｚ軸調整機構
８１ 押圧機構
Ｆｐ 観察面
Ｏａ 観察光軸
Ｐａ 透過光軸
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、検査対象物が貼付されるテープを保持する環状部材の内側で前記透過照明機構側から前記テープを保持可能な筒状の保持ステージと、を備える検査装置であって、
前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を前記保持ステージの外方から前記観察面へ向けて出射する出射部を有し、
前記保持ステージは、前記観察光学系側に前記観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた板状を呈しかつ前記出射部から出射された透過光の透過を許す透過部材と、前記保持ステージに対して観察光軸方向に関する位置調整可能に前記透過部材を保持する位置調整機構と、を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
観察光軸方向に関する位置調整とは、観察光軸方向での位置および観察光軸方向に対する傾斜であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記位置調整機構は、観察光軸方向で見て、前記平坦面を前記保持ステージにおける前記テープの保持位置よりも前記観察光学系側とするように前記透過部材を位置させることが可能とされていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の検査装置であって、
さらに、前記透過部材の外方位置において前記テープを観察光軸方向の前記出射部側に押圧する押圧機構を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
前記押圧機構は、前記保持ステージの外方位置で前記環状部材を押圧することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記押圧機構は、前記保持ステージにおいて、前記透過部材を取り巻くように該透過部材と前記テープを保持する箇所との間を吸引することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
前記出射部は、前記透過部材へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、導光した透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項１】
観察光軸上の所定の位置を観察面とする観察光学系と、該観察光学系側から前記観察面を照明する反射照明機構と、前記観察光学系とは反対側から前記観察面を照明する透過照明機構と、検査対象物が貼付されるテープを保持する環状部材の内側で前記透過照明機構側から前記テープを保持可能な筒状の保持ステージと、を備える検査装置であって、
前記透過照明機構は、光源から導光された透過光を前記保持ステージの外方から前記観察面へ向けて出射する出射部を有し、
前記保持ステージは、前記観察光学系側に前記観察面に沿う平面を規定する平坦面が設けられた板状を呈しかつ前記出射部から出射された透過光の透過を許す透過部材と、前記保持ステージに対して観察光軸方向に関する位置調整可能に前記透過部材を保持する位置調整機構と、を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
観察光軸方向に関する位置調整とは、観察光軸方向での位置および観察光軸方向に対する傾斜であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記位置調整機構は、観察光軸方向で見て、前記平坦面を前記保持ステージにおける前記テープの保持位置よりも前記観察光学系側とするように前記透過部材を位置させることが可能とされていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の検査装置であって、
さらに、前記透過部材の外方位置において前記テープを観察光軸方向の前記出射部側に押圧する押圧機構を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
前記押圧機構は、前記保持ステージの外方位置で前記環状部材を押圧することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記押圧機構は、前記保持ステージにおいて、前記透過部材を取り巻くように該透過部材と前記テープを保持する箇所との間を吸引することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項７】
前記出射部は、前記透過部材へと所定のスポット領域で透過光を入射させるべく、導光した透過光の拡散を低減する集光光学部材を有することを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記集光光学部材は、透過光軸に直交する断面で見た光量分布を均一化する機能も有するロッドインテグレータ光学部材であることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１２−５２９９１（Ｐ２０１２−５２９９１Ａ）
【公開日】平成２４年３月１５日（２０１２．３．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１９７５４３（Ｐ２０１０−１９７５４３）
【出願日】平成２２年９月３日（２０１０．９．３）
【出願人】（０００２２０３４３）株式会社トプコン (904)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月１５日（２０１２．３．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月３日（２０１０．９．３）
【出願人】（０００２２０３４３）株式会社トプコン (904)
【Ｆターム（参考）】
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