流延装置、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法
【課題】溶液製膜方法において、フィルムの厚みムラを防止する。
【解決手段】流延装置１５は、ケーシング２３を有する。ケーシング２３内には流延バンド２６が移動自在に設けられる。シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内は、移動方向上流側から下流側にかけて順次、流延室２３ａ、乾燥室２３ｂ及び剥取室２３ｃに分けられる。流延室２３ａには流延ダイ４０が設けられる。流延ダイ４０はドープを流延バンド２６に向けて流出する。流出したドープは、流延ダイ４０から流延バンド２６にかけてビード４２を形成し、流延バンド２６上にて流延膜４３を形成する。流延室２３ａにおいて、ビード４２よりも下流側にサイドブランチ型消音器５０が設けられる。
【解決手段】流延装置１５は、ケーシング２３を有する。ケーシング２３内には流延バンド２６が移動自在に設けられる。シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内は、移動方向上流側から下流側にかけて順次、流延室２３ａ、乾燥室２３ｂ及び剥取室２３ｃに分けられる。流延室２３ａには流延ダイ４０が設けられる。流延ダイ４０はドープを流延バンド２６に向けて流出する。流出したドープは、流延ダイ４０から流延バンド２６にかけてビード４２を形成し、流延バンド２６上にて流延膜４３を形成する。流延室２３ａにおいて、ビード４２よりも下流側にサイドブランチ型消音器５０が設けられる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流延装置、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光透過性を有する熱可塑性フィルム（以下、フィルムと称する）は、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムの他、液晶表示装置の光学フィルム（偏光板保護フィルムや位相差フィルム等）として用いられている。
【０００３】
フィルムは、溶液製膜方法により製造される。溶液製膜方法は、移動する支持体に向けて、流延室内に配された流延ダイを用いて、ポリマーと溶剤とを含むポリマー溶液（以下、ドープと称する）を流し、帯状の流延膜を支持体上に形成する（以下、流延工程と称する）。次に、流延膜が搬送可能になった後、これを支持体から剥がして湿潤フィルムとする（以下、剥取工程と称する）。そして、この湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする（以下、乾燥工程と称する）方法である。
【０００４】
流延工程において、流出したドープは、流延ダイの流出口から支持体までにかけてビードを形成する。ところが、ビードが振動してしまうと、厚みムラが流延膜の長手方向に生じてしまう。そして、このような厚みムラを有する流延膜に対し、剥取工程及び乾燥工程を行っても、最終的に得られるフィルムには厚みムラが残ってしまう。こうした経緯から、フィルムの厚みムラを抑えるために、ビードの振動を抑制する策が講じられている。
【０００５】
ビードの振動の防止策として、ビードの長さをできるだけ短いものにする方法が知られている。この方法としては、支持体と流延ダイの先端までの間隔を小さくすること、ビードの背面側（支持体の移動方向上流側）を減圧する減圧チャンバを設けることが知られている。また、減圧チャンバを用いる場合において、幅方向両端及び幅方向中央における吸引量のバランスを所定範囲にして、ビードの振動を防止する方法（例えば、特許文献１）や、減圧チャンバ内に設けられたスピーカから、ビードの振動を打ち消すような音波を出力する方法（例えば、特許文献２）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２４６７２１号公報
【特許文献２】特開２００８−２７９７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のような方策を講じても、ビードの振動を十分に取り除くことはできないため、流延膜やフィルムの厚みムラは未だ残ってしまう。また、ビードの振動周波数が絶えず変化し得る流延工程にて、特許文献２のような方策を用いると、出力した音波によりビードを共振させてしまうおそれがあり、現実的ではない。
【０００８】
発明者の鋭意検討の結果、この厚みムラは、減圧チャンバ内の圧力変動に起因するもののみならず、流延室を仕切る仕切り板と支持体との隙間における空気の移動に起因することを突き止めた。
【０００９】
本発明はこのような課題を解決するものであり、流延装置、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の流延装置は、ケーシング内に配されドープを流出するドープ流出口を備えた流延ダイと、前記ドープ流出口の下方にて移動自在に設けられ、前記流出したドープを表面で支持し前記ドープからなる帯状の流延膜を形成する支持体と、前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し、先端が前記支持体の表面に近接するように形成され、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成する１組の遮風ユニットと、前記流延室の前記内表面に開口する消音穴を備えるサイドブランチ型消音器とを有することを特徴とする。
【００１１】
前記流延ダイに隣接して前記移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧チャンバを有し、前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることが好ましい。また、前記消音穴の開口形状が六角形であり、前記消音穴がハニカム状に並ぶことが好ましい。
【００１２】
前記消音穴に配され前記消音穴の深さ方向に移動自在に設けられた栓を前記深さ方向に移動させる栓駆動部と、前記支持体を速度Ｖで移動させる支持体駆動部と、長さ方向において前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定部と、前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出部と、前記距離Ｌｐ及び前記速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数を算出する周波数算出部と、前記算出された振動周波数に基づいて前記栓駆動部を制御する栓制御部とを有することが好ましい。
【００１３】
また、本発明は、ケーシング内の流延ダイを用いて、前記ケーシング内を移動する支持体に向けてドープを流出し、前記流出したドープからなる帯状の流延膜を前記支持体の表面上に形成する流延膜の形成方法において、前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し先端が前記支持体の表面に近接するように形成された１組のシール部材を用いて、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成し、前記流延室の内表面に開口する消音穴を用いて、前記流延室内の気体の振動を抑えることを特徴とする。
【００１４】
前記流延ダイに隣接して前記支持体の移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧工程を有し、前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることが好ましい。また、前記流延膜の長さ方向における前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定工程と、前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出工程と、前記ピーク間距離Ｌｐ及び前記支持体の移動速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数ｆ１を算出する周波数算出工程と、前記振動周波数ｆ１に応じて前記消音穴の深さを調節する深さ調節工程とを有することが好ましい。
【００１５】
更に、本発明の溶液製膜方法は、上記の流延膜の形成方法の後に、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、前記湿潤フィルムから溶剤を蒸発させる乾燥工程とを順次行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、流延室において、流延ダイから支持体に向けてドープを流出し、支持体上に流延膜を形成する流延装置において、流延室の内表面に消音孔を備えるサイドブランチ型消音器を備えるため、流延室内の空気の圧力変動を防止することができる。したがって、本発明によれば、空気の圧力変動に起因するビードの震動を抑え、結果として、フィルムの厚みムラの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】溶液製膜設備の概要を示す説明図である。
【図２】ケーシングの概要を示す部分断面図である。
【図３】第１の流延室の概要を示すケーシングの部分断面図である。
【図４】第１の流延室の概要を示す斜視図である。
【図５】第１の流延室及び乾燥室の概要を示す平面図である。
【図６】サイドブランチ型消音器に取り付けられた温調機の概要を示す部分断面図である。
【図７】第２の流延室及び乾燥室の概要を示す平面図である。
【図８】第３の流延室及び乾燥室の概要を示す平面図である。
【図９】サイドブランチ型消音器の概要を示す斜視図である。
【図１０】第４の流延室の概要を示すケーシングの部分断面図である。
【図１１】流延膜の長さ方向における流延膜の厚みのプロファイルの概要を示す説明図である。縦軸は、流延膜の厚みであり、横軸は、流延膜の長さ方向における距離である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（溶液製膜設備）
図１に示すように、溶液製膜設備１０は、ドープ１２から湿潤フィルム１３をつくる流延装置１５と、湿潤フィルム１３の乾燥によりフィルム１６を得るクリップテンタ１７と、湿潤フィルム１３の乾燥を行う乾燥装置１８と、フィルム１６を巻き芯に巻き取る巻取装置１９とを有する。
【００１９】
（流延装置）
図１及び図２に示すように、流延装置１５は、ケーシング２３と、ケーシング２３内に略水平に並べられた水平ロール２４、２５とを有する。水平ロール２４は、駆動軸２４ａと、駆動軸２４ａに軸着されたロール本体２４ｂとからなる。水平ロール２５は、回転軸２５ａと、回転軸２５ａに軸着されたロール本体２５ｂとからなる。水平ロール２４、２５には環状の流延バンド２６が巻きかけられる。流延バンド２６は、帯状のシート材の両端を連結することにより得られる。
【００２０】
駆動軸２４ａは、ロール駆動用モータ２７と接続する。制御部２８は、ロール駆動用モータ２７を制御して、水平ロール２４を所定の速度で回転させる。流延バンド２６は、水平ロール２４の回転に伴い所定の方向へ循環移動し、水平ロール２５は、流延バンド２６の移動に従って回転する。以下、流延バンド２６の移動方向をＸ方向と称し、流延バンド２６の幅方向をＹ方向と、垂直方向をＺ方向と称する。
【００２１】
流延バンド２６の表面（以下、流延面と称する）２６ａの移動速度Ｖは以上２００ｍ／分以下であることが好ましい。移動速度Ｖが２００ｍ／分を超えると、ビードを安定して形成することが困難となる。移動速度Ｖの下限値は、目標とするフィルムの生産性を考慮すればよい。移動速度Ｖの下限値は、例えば、１０ｍ／分以上である。
【００２２】
流延バンド２６は、ステンレス製であることが好ましく、十分な耐腐食性と強度とを有するＳＵＳ３１６製であることがより好ましい。流延バンド２６の幅は、例えば、ドープ１２の流延幅の１．１倍以上２．０倍以下であることが好ましい。流延バンド２６の長さは、例えば、２０ｍ以上２００ｍ以下であることが好ましく、流延バンド２６の厚みは、例えば、０．５ｍｍ以上〜２．５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、流延バンド２６の厚みムラは、全体の厚みに対して０．５％以下のものを用いることが好ましい。流延面２６ａは、研磨されていることが好ましく、流延面２６ａの表面粗さは０．０５μｍ以下であることが好ましい。
【００２３】
また、流延バンド２６の流延面２６ａの温度を所定の値にするために、水平ロール２４、２５に温調装置（図示しない）が取り付けられていることが好ましい。流延面２６ａの温度を１０℃〜４０℃に調整可能なものであることが好ましい。温調装置は、制御部の制御の下、所望の温度に調節された伝熱媒体を、ロール本体２４ｂ、２５ｂ内に設けられる流路中を循環させる。この伝熱媒体の循環により、ロール本体２４ｂ、２５ｂの温度を所望の温度に保つことができる。
【００２４】
（シール部材）
また、ケーシング２３内には、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、第１〜第３シール部材３１〜３３が順次配される。第１〜第３シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内は、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、流延室２３ａ、乾燥室２３ｂ、及び剥取室２３ｃに仕切られる。
【００２５】
第１シール部材３１は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３１ａと、遮風板３１ａに取り付けられたラビリンスシール３１ｂとからなる。遮風板３１ａは、ケーシング２３内の気体の流れを遮る遮風面を有する。遮風面は、Ｘ方向と直交するものでもよいし、Ｘ方向と斜めに交差するものでもよい。遮風板３１ａは、ケーシング２３の内壁面から突出し、流延バンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。なお、天井から突出するように遮風板３１ａを設けても良い。
【００２６】
ラビリンスシール３１ｂは、流延面２６ａと近接するように、遮風板３１ａの先端に設けられる。ラビリンスシール３１ｂは、流延バンド２６のうち水平ロール２４に巻き掛けられた部分の流延面２６ａと近接するように設けられることが好ましい。
【００２７】
第２シール部材３２は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３２ａと、遮風板３２ａに取り付けられたラビリンスシール３２ｂとからなる。遮風板３２ａは、遮風板３１ａと同様の形状であり、ケーシング２３内の天井から突出し、流延バンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。ラビリンスシール３１ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様の形状であり、流延面２６ａと近接するように遮風板３２ａの先端に設けられる。ラビリンスシール３２ｂは、流延バンド２６のうち水平ロール２４に巻き掛けられた部分の流延面２６ａと近接するように設けられることが好ましい。
【００２８】
同様に、第３シール部材３３は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３３ａと、遮風板３３ａに取り付けられたラビリンスシール３３ｂとからなる。遮風板３３ａは、遮風板３１ａと同様の形状であり、ケーシング２３内の内壁面から突出し、流延バンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。ラビリンスシール３３ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様の形状であり、流延面２６ａと近接するように遮風板３３ａの先端に設けられる。
【００２９】
図３に示すように、ラビリンスシール３１ｂは、遮風板３１ａの先端に取り付けられたラビリンス本体３１ｇと、ラビリンス本体３１ｇに取り付けられたシール板３１ｈとからなる。シール板３１ｈは、流延バンド２６の流延面２６ａに対し起立した姿勢で設けられる。複数のシール板３１ｈを設ける場合には、互いに離隔するようにＸ方向へ並べることが好ましい。シール板３５ｈと流延バンド２６の間隔ＣＬ１は、例えば、０．５ｍｍ以上２．０ｍｍ以下である。
【００３０】
ラビリンスシール３２ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様に、ラビリンス本体３２ｇとシール板３２ｈとからなる。ラビリンス本体３２ｇは、ラビリンス本体３１ｇと同様の構造であり、シール板３２ｈは、シール板３１ｈと同様の構造である。
【００３１】
図４に示すように、流延室２３ａにて、流延バンド２６のＹ方向両側に、サイドラビリンス３６が設けられる。サイドラビリンス３６は、流延室２３ａの内壁面と流延バンド２６との間における空気の移動を防ぐためのものであり、流延室２３ａの内壁面から突出し、流延バンド２６に向かって延設される。
【００３２】
流延室２３ａの気密性は、第１〜第２シール部材３１〜３２及びサイドラビリンス３６により維持される。同様に、乾燥室２３ｂの気密性は、第２〜第３シール部材３２〜３３により維持される。
【００３３】
（流延ダイ）
図３及び図４に示すように、流延室２３ａ内にて、流延バンド２６の上方には流延ダイ４０が設けられる。流延ダイ４０は、ドープ１２を流出するドープ流出口４０ａを有し、ドープ流出口４０ａが流延バンド２６と近接するように配される。
【００３４】
なお、流延ダイ４０の設置位置を、図示するように、水平ロール２４の上方としたが、本発明はこれに限られない。ラビリンスシール３１ｂ、３２ｂを水平ロール２５に巻き掛けられた流延バンド２６の部分と近接するように設けたときには、流延ダイ４０の設置位置を水平ロール２４の上方としてもよい。また、流延バンド２６を支持するサポートロールを水平ロール２４、２５の間に設け、ラビリンスシール３１ｂ、３２ｂをサポートロールに支持された流延バンド２６の部分と近接するように設けたときには、流延ダイ４０の設置位置をサポートロールの上方としても良い。
【００３５】
流延ダイ４０は、ドープ流出口４０ａから流延バンド２６に向けてドープ１２を流出する。ドープ流出口４０ａから流出し流延面２６ａに到達するまでのドープ１２は、ビード４２を形成する。流延面２６ａに到達したドープ１２は、流延面２６ａ上でＸ方向に延ばされる結果、帯状の流延膜４３を形成する。
【００３６】
（減圧ユニット）
流延装置１５（図２参照）には、減圧ユニット４５が取り付けられる。図３に示すように、減圧ユニット４５は、流延ダイ４０よりもＸ方向の上流側に配置される減圧チャンバ４５ａと、減圧チャンバ４５ａ内の気体を吸引するための減圧ファン４５ｂと、減圧ファン４５ｂ及び減圧チャンバ４５ａとを接続する吸引管４５ｃとを有する。吸引管４５ｃには、減圧チャンバ４５ａから減圧ファン４５ｂに向かって、共鳴型消音器４５ｄや拡張型消音器４５ｅが順次取り付けられる。
【００３７】
（サイドブランチ型消音器）
図３及び図５に示すように、流延室２３ａには、サイドブランチ型消音器５０が設けられる。サイドブランチ型消音器５０は、一端が開口し、他端が閉塞する筒５０ａを有する。筒５０ａは、耐溶剤性や耐腐食性を有し、熱変形しにくい材料、例えば、ステンレスから形成されることが好ましい。筒５０ａは、ビード４２よりもＸ方向下流側に開口面５０ｂが位置するように配されることが好ましい。なお、筒５０ａは、開口面５０ｂがビード４２の近傍となるように配することが好ましい。また、開口面５０ｂは、ケーシング２３の天井と面一であることが好ましい。
【００３８】
筒５０ａの中空部（消音穴）の長さ、すなわち開口面５０ｂから中空部の底面５０ｃまでの長さＬ１は、厚みムラを誘発するビード４２の振動周波数ｆ０に応じて決定すればよい。より具体的には、音速をｃ０とすると、長さＬ１は、次式のように表される。
Ｌ１＝ｃ０／（４・ｆ１）−Ｌｅ
ここで、Ｌｅは開口端補正長である。
【００３９】
また、サイドブランチ型消音器５０によるビード４２の振動の抑制効果を増大させるために、開口面５０ｂの面積は大きいほうが好ましい。なお、開口面５０ｂの形状は、円、楕円、多角形のいずれでもよい。多角形としては、三角形、四角形、五角形、六角形などがあり、いずれも本発明に適用できる。また、四角形としては、平行四辺形、ひし形、長方形、正方形などがあり、いずれも本発明に適用できる。
【００４０】
流延室２３ａに複数のサイドブランチ型消音器５０を設ける場合には、Ｘ方向、Ｙ方向、又は、Ｘ方向に交差する方向に並べればよい。
【００４１】
（乾燥室）
図２に示すように、乾燥室２３ｂには、流延膜４３に所定の乾燥風を供給する第１乾燥装置５３ａ〜第４乾燥装置５３ｄが、流延バンド２６の移動方向上流側から下流側に向かって、順次設けられる。第１〜４乾燥装置５３ａ〜５３ｄは、流延膜４３に対し所定の乾燥風を供給し、流延膜４３から溶剤を蒸発させる。流延膜４３における溶剤の蒸発により、流延膜４３は、剥ぎ取り可能な状態となる。
【００４２】
（剥取室）
剥取室２３ｃには、剥取ローラ５６が設けられる。剥取ローラ５６は、剥ぎ取り可能な状態となった流延膜４３を流延バンド２６から剥ぎ取って湿潤フィルム１３とし、剥取室２３ｃに設けられた出口２３ｏから湿潤フィルム１３を送り出す。
【００４３】
ケーシング２３内の雰囲気に含まれる溶剤を凝縮する凝縮装置、凝縮した溶剤を回収する回収装置を、流延装置１５に設けてもよい。これにより、ケーシング２３内の雰囲気に含まれる溶剤の濃度を一定の範囲に保つことができる。
【００４４】
図１に示すように、流延装置１５とクリップテンタ１７との間の渡り部５８には、湿潤フィルム３５を支持する支持ローラ５９が複数並べられている。支持ローラ５９は、図示しないモータにより、軸を中心に回転する。支持ローラ５９は、流延装置１５から送り出された湿潤フィルム３５を支持して、クリップテンタ１７へ案内する。なお、図１では、渡り部５８に２つの支持ローラ５９を並べた場合を示しているが、本発明はこれに限られず、渡り部５８に１つ、または３つ以上の支持ローラ５９を並べてもよい。また、支持ローラ５９は、フリーローラでもよい。
【００４５】
クリップテンタ１７は、湿潤フィルム１３の幅方向両側縁部を把持する多数のクリップを有し、このクリップが延伸軌道上を移動する。クリップにより把持された湿潤フィルム１３に対し乾燥風が送られ、湿潤フィルム１３には、幅方向への延伸処理とともに乾燥処理が施される。
【００４６】
クリップテンタ１７と乾燥装置１８との間には耳切装置６２が設けられている。耳切装置６２に送り出されたフィルム１６の幅方向の両端は、クリップによって形成された把持跡が形成されている。耳切装置６２は、この把持跡を有する両端部分を切り離す。この切り離された部分は、送風によりカットブロワ（図示しない）及びクラッシャ（図示しない）へ順次に送られて、細かく切断され、ドープ等の原料として再利用される。
【００４７】
乾燥装置１８は、フィルム１６の搬送路を備えるケーシングと、フィルム１６の搬送路を形成する複数のローラ１８ａと、ケーシング内の雰囲気の温度や湿度を調節する空調機（図示しない）とからなる。ケーシング内に導入されたフィルム１６は、複数のローラ１８ａに巻き掛けられながら搬送される。この雰囲気の温度や湿度の調節により、ケーシング内を搬送されるフィルム１６から残留した溶剤が蒸発する。更に、乾燥装置１８に、フィルム１６から蒸発した溶剤を吸着により回収する吸着回収装置が接続される。
【００４８】
乾燥装置１８及び巻取装置１９の間には、上流側から順に、冷却室６５ａ、除電バー（図示しない）、ナーリング付与ローラ６５ｂ、及び耳切装置（図示しない）が設けられる。冷却室６５ａは、フィルム１６の温度が略室温となるまで、フィルム１６を冷却する。除電バーは、冷却室６５ａから送り出され、帯電したフィルム１６から電気を除く除電処理を行う。ナーリング付与ローラ６５ｂは、フィルム１６の幅方向両端に巻き取り用のナーリングを付与する。耳切装置は、切断後のフィルム１６の幅方向両端にナーリングが残るように、フィルム１６の幅方向両端を切断する。
【００４９】
巻取装置１９は、プレスローラ１９ａと巻き芯１９ｂを有する。巻取装置１９に送られたフィルム１６は、プレスローラ１９ａによって押し付けられながら巻き芯１９ｂに巻き取られ、ロール状となる。
【００５０】
次に、本発明の作用を説明する。図２に示すように、第１〜第３シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内には、気密性を有する各２３ａ〜２３ｂが形成される。流延バンド２６は、各２３ａ〜２３ｃを順次通過する。流延室２３ａでは、流延ダイ４０が、ドープ流出口４０ａからドープ１２を連続的に流出する。流出したドープ１２は、流延ダイ４０から流延バンド２６にかけてビード４２（図３参照）を形成し、流延バンド２６上では流延膜４３を形成する。
【００５１】
図示しない制御部の制御の下、減圧ファン４５ｂの回転により、減圧チャンバ４５ａ内の気体が吸引管４５ｃを通って吸引される。この結果、減圧ユニット４５は、ビード４２の上流側の気体を吸引する。この減圧ユニット４５によれば、ビード４２の上流側の圧力がビード４２の下流側の圧力よりも低い状態をつくることができる。ビード４２の上流側及び下流側の圧力差ΔＰは、１０Ｐａ以上２０００Ｐａ以下であることが好ましい。
【００５２】
減圧ユニット４５により、流延面２６ａの移動に伴って発生し、流延面２６ａの近傍にてＸ方向に流れる同伴風を吸引することができるため、同伴風に起因するビード４２の振動を抑えることができる。更に、ビード４２の上流側及び下流側の圧力差ΔＰを生むことにより、ビード４２の長さを短くすることができるため、ビード４２の振動を抑えることができる。また、吸引管４５ｃに設けられた共鳴型消音器４５ｄや拡張型消音器４５ｅは、減圧ユニット４５内における気体の圧力変動（例えば、減圧ファンの回転による圧力変動）を打ち消すことができる。
【００５３】
ここで、シール板３５ｈ及び流延バンド２６の間隔ＣＬ１は極めて小さい。このため、シール板３５ｈ及び流延バンド２６の間隔における空気の移動に起因して、流延室２３ａ内の気体の圧力が変動する結果、流延室２３ａ内の気体が振動する。しかしながら、減圧ユニット４５及び減圧ユニット４５に設けられた各消音器４５ｄ、４５ｅを用いても、減圧チャンバ３５ａの外にある気体の振動を除去することができない。また、グラスウールなどの吸音部材を用いた場合、除去可能な振動の周波数の範囲が１００Hz以上と限られているため、この範囲を除く周波数（例えば、１００Hz未満、より好ましくは、１０Hz以上１００Hz未満）の振動を除去することができない。
【００５４】
本発明では、流延室２３ａの内壁面に、サイドブランチ型消音器５０を設けたため、当該気体の振動を除去することができる。したがって、本発明によれば、当該気体の振動に起因するビード４２の振動を防ぐことが可能となり、結果として、流延膜４３やフィルム１６の厚みムラを防止することができる。
【００５５】
図６に示すように、サイドブランチ型消音器５０に温調機６８を設けても良い。温調機６８は、筒５０ａに螺旋状に巻きつけられたパイプ６８ａと、パイプ６８ａ内に所定の温度の伝熱媒体を循環させる流通させる温調ユニット６８ｂとからなる。温調ユニット６８ｂは、伝熱媒体の温度を調節した後、温度が調節された伝熱媒体をパイプ６８ａへ供給する。また、温調ユニット６８ｂは、パイプ６８ａ内を通った伝熱媒体を回収し、回収した伝熱媒体の温度を調節する。これを繰り返すことにより、筒５０ａの温度を所定の範囲（溶剤の凝縮温度よりも高い範囲、例えば、４０℃以上）にすることができる。温調機６８により、筒５０ａにおける溶剤の凝縮を防ぐ。
【００５６】
上記実施形態では、サイドブランチ型消音器５０の設置位置を流延室２３ａの天井としたが、本発明はこれに限られず、流延室２３ａの内壁面としてもよいし（図７参照）、遮風板３２ａとしてもよい（図８参照）。また、上記実施形態では、サイドブランチ型消音器５０の設置位置を、ビード４２よりもＸ方向下流側のみとしたが、本発明はこれに限られず、ビード４２よりもＸ方向上流側のみとしてもよいし、上流側及び下流側の両方に設けても良い。なお、サイドブランチ型消音器５０をビード４２よりもＸ方向上流側に設ける場合、流延室２３ａの天井、流延室２３ａの内壁面、遮風板３１ａのいずれであってもよい。
【００５７】
ビード４２の振動を効率よく抑えるためには、ビード４２のＹ方向中央部の振動よりも、ビード４２のＹ方向両端部の振動を優先的に抑えることが好ましい。ビード４２のＹ方向両端部の振動を優先的に抑えるためには、開口面５０ｂがビード４２のＹ方向両端部と正対するように、サイドブランチ型消音器５０を設けることが好ましい。この場合において、開口面５０ｂは、ビード４２のＸ方向上流側の面と正対してもよいし、ビード４２のＸ方向下流側の面と正対してもよいし、ビード４２の両面と正対していてもよい。
【００５８】
また、サイドブランチ型消音器５０として、複数の消音穴が開口するサイドブランチ型消音器７０を用いても良い。図９に示すように、サイドブランチ型消音器７０は、ブロック状の消音器本体７０ａと消音器本体７０ａの表面に開口する複数の消音穴７０ｂからなる。消音器本体７０ａは、耐溶剤性や耐腐食性を有し、熱変形しにくい材料、例えば、ステンレスから形成されることが好ましい。消音穴７０ｂの開口面の形状及び消音穴７０ｂの配列形態は特に限定されないが、消音穴７０ｂの形成密度が高くなるようなものであることが好ましい。例えば、図示するように、消音穴７０ｂの開口形状が六角形の場合には、ハニカム状であることが好ましい。また、消音穴７０ｂの開口形状が円形の場合には、六方充填配置であることが好ましい。
【００５９】
図１０に示すように、サイドブランチ型消音器５０に代えて、Ｌ１が可変自在なサイドブランチ型消音器８０を用いても良い。Ｌ１が可変自在なサイドブランチ型消音器８０は、両端に開口面８０ｂ、８０ｃを有する筒８０ａと、筒８０ａの中に配され、筒８０ａの長さ方向に移動自在な栓８０ｐとからなる。筒８０ａと栓８０ｐとは、耐溶剤性や耐腐食性を有し、熱変形しにくい材料、例えば、ステンレスから形成されることが好ましい。開口面８０ｂは流延室２３ａの内表面と面一となるように形成される。こうして、筒８０ａの中空部のうち、開口面８０ｂから栓８０ｐまでの間が消音穴となる。開口面８０ｃはケーシング２３の外で開口するように形成される。栓８０ｐは、栓駆動用モータ８２に接続する。
【００６０】
次に、サイドブランチ型消音器８０を用いた流延装置９０について説明する。流延室２３ａ内、例えば、流延ダイ４０と第２シール部材３２との間には、流延膜４３の厚みを測定する厚み測定部９２が設けられる。厚み測定部９２は、予め設定された測定場所において流延膜４３の厚みの測定を繰り返し行う。測定場所とは、Ｙ方向における任意の点としてもよいし、Ｙ方向全体としてもよい。
【００６１】
制御部２８は、厚みプロファイル生成部９３と、ピーク間距離算出部９４と、周波数算出部９５とを有する。また、制御部２８は、ロール駆動用モータ２７や栓駆動用モータ８２と接続する。厚みプロファイル生成部９３は、厚み測定部９２から読み取った複数の厚みの測定結果から、Ｘ方向における流延膜４３の厚みのプロファイル（図１１参照）を得る。ピーク間距離算出部９４は、流延膜４３の厚みのプロファイルからピーク間距離Ｌｐを算出する。周波数算出部９５は、ピーク間距離Ｌｐ及び流延バンド２６の流延面２６ａの移動速度Ｖに基づいて、ビードの振動周波数ｆ１を算出する。
【００６２】
流延装置９０における流延工程について説明する。制御部２８の制御の下、流延バンド２６の流延面２６ａは移動速度Ｖで移動する。流延ダイ４０は、ドープ１２をドープ流出口４０ａから連続的に流出する。流出したドープ１２は、流延ダイ４０から流延バンド２６にかけてビード４２を形成する。減圧ユニット４５はビード４２の上流側を減圧する。流出したドープ１２は、流延バンド２６上では流延膜４３を形成する。
【００６３】
厚み測定部９２は、流延膜４３の幅方向に設けられた測定ラインにおいて、流延膜４３の厚みの測定を繰り返し行う。厚みプロファイル生成部９３は、厚み測定部９２から流延膜４３の厚みの測定結果を読み取り、これらの測定データをＸ方向に並べて、Ｘ方向における流延膜４３の厚みのプロファイルを得る（図１１参照）。ピーク間距離算出部９４は、流延膜４３の厚みのプロファイルからピーク位置Ｐｉ（ｉ＝１、２、３、・・・ｎ）を求め、ピーク位置からピーク間距離Ｌｐを算出する。ここで、ピーク間距離Ｌｐは、Ｘ方向におけるピーク位置Ｐｋとピーク位置Ｐｋ＋１との距離である。周波数算出部９５は、ピーク間距離Ｌｐ及び流延バンド２６の流延面２６ａの移動速度Ｖに基づいて、ビード４２の振動周波数ｆ１を算出する。ビード４２の振動周波数ｆ１は、次式により算出できる。
ｆ１[Ｈｚ]＝１／６０・Ｖ[ｍ／分]／Ｌｐ[ｍ]
【００６４】
制御部２８は、算出されたビード４２の振動周波数ｆ１に基づくＬ１を算出する。このＬ１は、次式により算出できる。
Ｌ１＝ｃ０／（４・ｆ１）−Ｌｅ
ここで、ｃ０は音速であり、Ｌｅは、開口端補正長である。
【００６５】
制御部２８の制御の下、栓駆動用モータ８２は、筒８０ａの開口面８０ｂと栓８０ｐとの距離ｘが算出されたＬ１となるように、栓８０ｐの位置を調節する。サイドブランチ型消音器８０によれば、厚みムラを誘発するビード４２の振動周波数を特定し、当該周波数の振動を防止することができる。したがって、本発明によれば、流延膜やフィルムにおける厚みムラをより確実に防止することができる。
【００６６】
上記実施形態では、ドープ１２からなる流延膜４３を剥ぎ取り可能な状態にするために、流延膜４３から溶剤を蒸発させたが、本発明はこれに限られず、流延膜４３を冷却させてもよい。
【００６７】
上記実施形態では、上記実施形態では、支持体として、流延バンド２６を用いたが、本発明はこれに限られず、軸方向が水平となるように配された流延ドラムを用いてもよい。
【００６８】
本発明は、ドープを流延する際に、２種類以上のドープを同時に共流延させて積層させる同時積層共流延、または、複数のドープを逐次に共流延して積層させる逐次積層共流延を行うことができる。なお、両共流延を組み合わせてもよい。同時積層共流延を行う場合には、フィードブロックを取り付けた流延ダイを用いてもよいし、マルチポケット型の流延ダイを用いてもよい。
【００６９】
上記実施形態では、溶液製膜方法における流延工程に用いたが、本発明はこれに限られず、支持体に塗布液を塗布して、支持体上に塗布膜を形成する塗布工程にも適用可能である。
【００７０】
（ポリマー）
ポリマーとしては、セルロースアシレートや環状ポリオレフィン等を用いることができる。
【００７１】
（セルロースアシレート）
セルロースアシレートとしては、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）が特に好ましい。そして、セルロースアシレートの中でも、セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものがより好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。なお、ＴＡＣの９０重量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。
（Ｉ） ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ） ０≦Ａ≦３．０
（ＩＩＩ） ０≦Ｂ≦２．９
【００７２】
セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位，３位及び６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位，３位及び６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化は置換度１である）を意味する。
【００７３】
全アシル化置換度、即ち、ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６は２．００〜３．００が好ましく、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）は０．２８以上が好ましく、より好ましくは０．３０以上、特に好ましくは０．３１〜０．３４である。ここで、ＤＳ２はグルコース単位の２位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「２位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ３は３位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「３位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ６は６位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「６位のアシル置換度」とも言う）である。
【００７４】
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。２位，３位及び６位の水酸基による置換度の総和をＤＳＡとし、２位，３位及び６位の水酸基のアセチル基以外のアシル基による置換度の総和をＤＳＢとすると、ＤＳＡ＋ＤＳＢの値は、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳＢは０．３０以上であり、特に好ましくは０．７以上である。さらにＤＳＢはその２０％以上が６位水酸基の置換基であるが、より好ましくは２５％以上が６位水酸基の置換基であり、３０％以上がさらに好ましく、特には３３％以上が６位水酸基の置換基であることが好ましい。また更に、セルロースアシレートの６位の置換度が０．７５以上であり、さらには０．８０以上であり特には０．８５以上であるセルロースアシレートも挙げることができる。これらのセルロースアシレートにより溶解性の好ましい溶液（ドープ）が作製できる。特に非塩素系有機溶剤において、良好な溶液の作製が可能となる。さらに粘度が低く、濾過性の良い溶液の作製が可能となる。
【００７５】
セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター，パルプのどちらから得られたものでも良い。
【００７６】
本発明のセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でも良く特に限定されない。それらは、例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどであり、それぞれさらに置換された基を有していても良い。これらの好ましい例としては、プロピオニル、ブタノイル、ペンタノイル、ヘキサノイル、オクタノイル、デカノイル、ドデカノイル、トリデカノイル、テトラデカノイル、ヘキサデカノイル、オクタデカノイル、ｉｓｏ−ブタノイル、ｔ−ブタノイル、シクロヘキサンカルボニル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイル基などを挙げることができる。これらの中でも、プロピオニル、ブタノイル、ドデカノイル、オクタデカノイル、ｔ−ブタノイル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイルなどがより好ましく、特に好ましくはプロピオニル、ブタノイルである。
【００７７】
（溶剤）
ドープを調製する溶剤としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明において、ドープとはポリマーを溶剤に溶解または分散して得られるポリマー溶液，分散液を意味している。
【００７８】
これらの中でも炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フィルムの機械的強度など及びフィルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶剤全体に対し２質量％〜２５質量％が好ましく、５質量％〜２０質量％がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。
【００７９】
ところで、最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない場合の溶剤組成についても検討が進み、この目的に対しては、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素原子数１〜１２のアルコールが好ましく用いられる。これらを適宜混合して用いることがある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶剤が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステル及びアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−及び−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶剤として用いることができる。
【００８０】
（添加剤）
ドープに所定の添加剤を添加してもよい。本発明で用いられる添加剤としては、可塑剤、紫外線吸収剤などがある。可塑剤として重縮合エステルを用いることが好ましい。
【００８１】
フィルム１６の厚みは、２０μｍ以上１２０μｍ以下であることが好ましく、４０μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましい。
【００８２】
フィルム１６の幅は、７００ｍｍ以上３０００ｍｍ以下であることが好ましく、１０００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下であることがより好ましく、１５００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であることが特に好ましい。なお、フィルム１６の幅は、３０００ｍｍ以上であってもよい。
【００８３】
（ヘイズ）
フィルム１６のヘイズは、０．２０％未満であることが好ましく、０．１５％未満であることがより好ましく、０．１０％未満であることが特に好ましい。ヘイズを０．２％未満とすることにより、液晶表示装置に組み込んだ際のコントラスト比を改善することができる。また、フィルムの透明性がより高くなり、光学フィルムとしてより用いやすくなるという利点もある。
【００８４】
（Ｒｅ、Ｒｔｈ）
フィルム１６の面内方向のレターデーションは、２５ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦１００ｎｍであり、かつ、５０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２５０ｎｍであることが好ましい。そして、３０ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦８０ｎｍであることがより好ましく、３５ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦７０ｎｍであることが特に好ましい。また、７０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２４０ｎｍであることがより好ましく、９０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２３０ｎｍであることが特に好ましい。
【００８５】
本明細書におけるＲｅ（λ）、Ｒｔｈ（λ）は各々、波長λにおける面内のレターデーションおよび厚さ方向のレターデーションを表す。本願明細書においては、特に記載がないときは、波長λは、５９０ｎｍとする。Ｒｅ（λ）はＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨ（王子計測機器（株）製）において波長λｎｍの光をフィルム法線方向に入射させて測定される。Ｒｔｈ（λ）は前記Ｒｅ（λ）を、面内の遅相軸（ＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨにより判断される）を傾斜軸（回転軸）として（遅相軸がない場合にはフィルム面内の任意の方向を回転軸とする）のフィルム法線方向に対して法線方向から片側５０度まで１０度ステップで各々その傾斜した方向から波長λｎｍの光を入射させて全部で６点測定し、その測定されたレターデーション値と平均屈折率の仮定値及び入力された膜厚値を基にＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨが算出する。尚、遅相軸を傾斜軸（回転軸）として（遅相軸がない場合にはフィルム面内の任意の方向を回転軸とする）、任意の２方向からレターデーション値を測定し、その値と平均屈折率の仮定値及び入力された膜厚値を基に、以下の式（Ａ−１）、式（Ａ−２）及び式（Ｂ）より、Ｒｅ及びＲｔｈを算出することもできる。ここで平均屈折率の仮定値はポリマーハンドブック（ＪＯＨＮ ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮＳ，ＩＮＣ）、各種光学フィルムのカタログの値を使用することができる。平均屈折率の値が既知でないものについてはアッベ屈折計で測定することができる。主な光学フィルムの平均屈折率の値を以下に例示する：セルロースアシレート（１．４８）、シクロオレフィンポリマー（１．５２）、ポリカーボネート（１．５９）、ポリメチルメタクリレート（１．４９）、ポリスチレン（１．５９）である。これら平均屈折率の仮定値と膜厚を入力することで、ＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨはｎｘ、ｎｙ、ｎｚを算出する。この算出されたｎｘ、ｎｙ、ｎｚよりＮｚ＝（ｎｘ−ｎｚ）／（ｎｘ−ｎｙ）が更に算出される。
【００８６】
【数１】
【００８７】
ここで、上記のＲｅ（γ）は法線方向から角度γ傾斜した方向におけるレターデーション値を表し、ｎｘ、ｎｙ、ｎｚは、屈折率楕円体の各主軸方位の屈折率を表し、ｄはフィルム厚を表す。
Ｒｔｈ＝（（ｎｘ＋ｎｙ）／２−ｎｚ）×ｄ 式（Ｂ）
【符号の説明】
【００８８】
１０ 溶液製膜設備
１５ 流延装置
２６ 流延バンド
３１〜３３ 第１〜３シール部材
４０ 流延ダイ
４５ 減圧チャンバ
５０ サイドブランチ型消音器
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流延装置、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光透過性を有する熱可塑性フィルム（以下、フィルムと称する）は、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多岐に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムの他、液晶表示装置の光学フィルム（偏光板保護フィルムや位相差フィルム等）として用いられている。
【０００３】
フィルムは、溶液製膜方法により製造される。溶液製膜方法は、移動する支持体に向けて、流延室内に配された流延ダイを用いて、ポリマーと溶剤とを含むポリマー溶液（以下、ドープと称する）を流し、帯状の流延膜を支持体上に形成する（以下、流延工程と称する）。次に、流延膜が搬送可能になった後、これを支持体から剥がして湿潤フィルムとする（以下、剥取工程と称する）。そして、この湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする（以下、乾燥工程と称する）方法である。
【０００４】
流延工程において、流出したドープは、流延ダイの流出口から支持体までにかけてビードを形成する。ところが、ビードが振動してしまうと、厚みムラが流延膜の長手方向に生じてしまう。そして、このような厚みムラを有する流延膜に対し、剥取工程及び乾燥工程を行っても、最終的に得られるフィルムには厚みムラが残ってしまう。こうした経緯から、フィルムの厚みムラを抑えるために、ビードの振動を抑制する策が講じられている。
【０００５】
ビードの振動の防止策として、ビードの長さをできるだけ短いものにする方法が知られている。この方法としては、支持体と流延ダイの先端までの間隔を小さくすること、ビードの背面側（支持体の移動方向上流側）を減圧する減圧チャンバを設けることが知られている。また、減圧チャンバを用いる場合において、幅方向両端及び幅方向中央における吸引量のバランスを所定範囲にして、ビードの振動を防止する方法（例えば、特許文献１）や、減圧チャンバ内に設けられたスピーカから、ビードの振動を打ち消すような音波を出力する方法（例えば、特許文献２）が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２４６７２１号公報
【特許文献２】特開２００８−２７９７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のような方策を講じても、ビードの振動を十分に取り除くことはできないため、流延膜やフィルムの厚みムラは未だ残ってしまう。また、ビードの振動周波数が絶えず変化し得る流延工程にて、特許文献２のような方策を用いると、出力した音波によりビードを共振させてしまうおそれがあり、現実的ではない。
【０００８】
発明者の鋭意検討の結果、この厚みムラは、減圧チャンバ内の圧力変動に起因するもののみならず、流延室を仕切る仕切り板と支持体との隙間における空気の移動に起因することを突き止めた。
【０００９】
本発明はこのような課題を解決するものであり、流延装置、流延膜の形成方法及び溶液製膜方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の流延装置は、ケーシング内に配されドープを流出するドープ流出口を備えた流延ダイと、前記ドープ流出口の下方にて移動自在に設けられ、前記流出したドープを表面で支持し前記ドープからなる帯状の流延膜を形成する支持体と、前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し、先端が前記支持体の表面に近接するように形成され、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成する１組の遮風ユニットと、前記流延室の前記内表面に開口する消音穴を備えるサイドブランチ型消音器とを有することを特徴とする。
【００１１】
前記流延ダイに隣接して前記移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧チャンバを有し、前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることが好ましい。また、前記消音穴の開口形状が六角形であり、前記消音穴がハニカム状に並ぶことが好ましい。
【００１２】
前記消音穴に配され前記消音穴の深さ方向に移動自在に設けられた栓を前記深さ方向に移動させる栓駆動部と、前記支持体を速度Ｖで移動させる支持体駆動部と、長さ方向において前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定部と、前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出部と、前記距離Ｌｐ及び前記速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数を算出する周波数算出部と、前記算出された振動周波数に基づいて前記栓駆動部を制御する栓制御部とを有することが好ましい。
【００１３】
また、本発明は、ケーシング内の流延ダイを用いて、前記ケーシング内を移動する支持体に向けてドープを流出し、前記流出したドープからなる帯状の流延膜を前記支持体の表面上に形成する流延膜の形成方法において、前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し先端が前記支持体の表面に近接するように形成された１組のシール部材を用いて、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成し、前記流延室の内表面に開口する消音穴を用いて、前記流延室内の気体の振動を抑えることを特徴とする。
【００１４】
前記流延ダイに隣接して前記支持体の移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧工程を有し、前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることが好ましい。また、前記流延膜の長さ方向における前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定工程と、前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出工程と、前記ピーク間距離Ｌｐ及び前記支持体の移動速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数ｆ１を算出する周波数算出工程と、前記振動周波数ｆ１に応じて前記消音穴の深さを調節する深さ調節工程とを有することが好ましい。
【００１５】
更に、本発明の溶液製膜方法は、上記の流延膜の形成方法の後に、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、前記湿潤フィルムから溶剤を蒸発させる乾燥工程とを順次行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、流延室において、流延ダイから支持体に向けてドープを流出し、支持体上に流延膜を形成する流延装置において、流延室の内表面に消音孔を備えるサイドブランチ型消音器を備えるため、流延室内の空気の圧力変動を防止することができる。したがって、本発明によれば、空気の圧力変動に起因するビードの震動を抑え、結果として、フィルムの厚みムラの発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】溶液製膜設備の概要を示す説明図である。
【図２】ケーシングの概要を示す部分断面図である。
【図３】第１の流延室の概要を示すケーシングの部分断面図である。
【図４】第１の流延室の概要を示す斜視図である。
【図５】第１の流延室及び乾燥室の概要を示す平面図である。
【図６】サイドブランチ型消音器に取り付けられた温調機の概要を示す部分断面図である。
【図７】第２の流延室及び乾燥室の概要を示す平面図である。
【図８】第３の流延室及び乾燥室の概要を示す平面図である。
【図９】サイドブランチ型消音器の概要を示す斜視図である。
【図１０】第４の流延室の概要を示すケーシングの部分断面図である。
【図１１】流延膜の長さ方向における流延膜の厚みのプロファイルの概要を示す説明図である。縦軸は、流延膜の厚みであり、横軸は、流延膜の長さ方向における距離である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（溶液製膜設備）
図１に示すように、溶液製膜設備１０は、ドープ１２から湿潤フィルム１３をつくる流延装置１５と、湿潤フィルム１３の乾燥によりフィルム１６を得るクリップテンタ１７と、湿潤フィルム１３の乾燥を行う乾燥装置１８と、フィルム１６を巻き芯に巻き取る巻取装置１９とを有する。
【００１９】
（流延装置）
図１及び図２に示すように、流延装置１５は、ケーシング２３と、ケーシング２３内に略水平に並べられた水平ロール２４、２５とを有する。水平ロール２４は、駆動軸２４ａと、駆動軸２４ａに軸着されたロール本体２４ｂとからなる。水平ロール２５は、回転軸２５ａと、回転軸２５ａに軸着されたロール本体２５ｂとからなる。水平ロール２４、２５には環状の流延バンド２６が巻きかけられる。流延バンド２６は、帯状のシート材の両端を連結することにより得られる。
【００２０】
駆動軸２４ａは、ロール駆動用モータ２７と接続する。制御部２８は、ロール駆動用モータ２７を制御して、水平ロール２４を所定の速度で回転させる。流延バンド２６は、水平ロール２４の回転に伴い所定の方向へ循環移動し、水平ロール２５は、流延バンド２６の移動に従って回転する。以下、流延バンド２６の移動方向をＸ方向と称し、流延バンド２６の幅方向をＹ方向と、垂直方向をＺ方向と称する。
【００２１】
流延バンド２６の表面（以下、流延面と称する）２６ａの移動速度Ｖは以上２００ｍ／分以下であることが好ましい。移動速度Ｖが２００ｍ／分を超えると、ビードを安定して形成することが困難となる。移動速度Ｖの下限値は、目標とするフィルムの生産性を考慮すればよい。移動速度Ｖの下限値は、例えば、１０ｍ／分以上である。
【００２２】
流延バンド２６は、ステンレス製であることが好ましく、十分な耐腐食性と強度とを有するＳＵＳ３１６製であることがより好ましい。流延バンド２６の幅は、例えば、ドープ１２の流延幅の１．１倍以上２．０倍以下であることが好ましい。流延バンド２６の長さは、例えば、２０ｍ以上２００ｍ以下であることが好ましく、流延バンド２６の厚みは、例えば、０．５ｍｍ以上〜２．５ｍｍ以下であることが好ましい。なお、流延バンド２６の厚みムラは、全体の厚みに対して０．５％以下のものを用いることが好ましい。流延面２６ａは、研磨されていることが好ましく、流延面２６ａの表面粗さは０．０５μｍ以下であることが好ましい。
【００２３】
また、流延バンド２６の流延面２６ａの温度を所定の値にするために、水平ロール２４、２５に温調装置（図示しない）が取り付けられていることが好ましい。流延面２６ａの温度を１０℃〜４０℃に調整可能なものであることが好ましい。温調装置は、制御部の制御の下、所望の温度に調節された伝熱媒体を、ロール本体２４ｂ、２５ｂ内に設けられる流路中を循環させる。この伝熱媒体の循環により、ロール本体２４ｂ、２５ｂの温度を所望の温度に保つことができる。
【００２４】
（シール部材）
また、ケーシング２３内には、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、第１〜第３シール部材３１〜３３が順次配される。第１〜第３シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内は、Ｘ方向上流側から下流側に向かって、流延室２３ａ、乾燥室２３ｂ、及び剥取室２３ｃに仕切られる。
【００２５】
第１シール部材３１は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３１ａと、遮風板３１ａに取り付けられたラビリンスシール３１ｂとからなる。遮風板３１ａは、ケーシング２３内の気体の流れを遮る遮風面を有する。遮風面は、Ｘ方向と直交するものでもよいし、Ｘ方向と斜めに交差するものでもよい。遮風板３１ａは、ケーシング２３の内壁面から突出し、流延バンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。なお、天井から突出するように遮風板３１ａを設けても良い。
【００２６】
ラビリンスシール３１ｂは、流延面２６ａと近接するように、遮風板３１ａの先端に設けられる。ラビリンスシール３１ｂは、流延バンド２６のうち水平ロール２４に巻き掛けられた部分の流延面２６ａと近接するように設けられることが好ましい。
【００２７】
第２シール部材３２は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３２ａと、遮風板３２ａに取り付けられたラビリンスシール３２ｂとからなる。遮風板３２ａは、遮風板３１ａと同様の形状であり、ケーシング２３内の天井から突出し、流延バンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。ラビリンスシール３１ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様の形状であり、流延面２６ａと近接するように遮風板３２ａの先端に設けられる。ラビリンスシール３２ｂは、流延バンド２６のうち水平ロール２４に巻き掛けられた部分の流延面２６ａと近接するように設けられることが好ましい。
【００２８】
同様に、第３シール部材３３は、ケーシング２３内に取り付けられた遮風板３３ａと、遮風板３３ａに取り付けられたラビリンスシール３３ｂとからなる。遮風板３３ａは、遮風板３１ａと同様の形状であり、ケーシング２３内の内壁面から突出し、流延バンド２６の流延面２６ａに向かって延設される。ラビリンスシール３３ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様の形状であり、流延面２６ａと近接するように遮風板３３ａの先端に設けられる。
【００２９】
図３に示すように、ラビリンスシール３１ｂは、遮風板３１ａの先端に取り付けられたラビリンス本体３１ｇと、ラビリンス本体３１ｇに取り付けられたシール板３１ｈとからなる。シール板３１ｈは、流延バンド２６の流延面２６ａに対し起立した姿勢で設けられる。複数のシール板３１ｈを設ける場合には、互いに離隔するようにＸ方向へ並べることが好ましい。シール板３５ｈと流延バンド２６の間隔ＣＬ１は、例えば、０．５ｍｍ以上２．０ｍｍ以下である。
【００３０】
ラビリンスシール３２ｂは、ラビリンスシール３１ｂと同様に、ラビリンス本体３２ｇとシール板３２ｈとからなる。ラビリンス本体３２ｇは、ラビリンス本体３１ｇと同様の構造であり、シール板３２ｈは、シール板３１ｈと同様の構造である。
【００３１】
図４に示すように、流延室２３ａにて、流延バンド２６のＹ方向両側に、サイドラビリンス３６が設けられる。サイドラビリンス３６は、流延室２３ａの内壁面と流延バンド２６との間における空気の移動を防ぐためのものであり、流延室２３ａの内壁面から突出し、流延バンド２６に向かって延設される。
【００３２】
流延室２３ａの気密性は、第１〜第２シール部材３１〜３２及びサイドラビリンス３６により維持される。同様に、乾燥室２３ｂの気密性は、第２〜第３シール部材３２〜３３により維持される。
【００３３】
（流延ダイ）
図３及び図４に示すように、流延室２３ａ内にて、流延バンド２６の上方には流延ダイ４０が設けられる。流延ダイ４０は、ドープ１２を流出するドープ流出口４０ａを有し、ドープ流出口４０ａが流延バンド２６と近接するように配される。
【００３４】
なお、流延ダイ４０の設置位置を、図示するように、水平ロール２４の上方としたが、本発明はこれに限られない。ラビリンスシール３１ｂ、３２ｂを水平ロール２５に巻き掛けられた流延バンド２６の部分と近接するように設けたときには、流延ダイ４０の設置位置を水平ロール２４の上方としてもよい。また、流延バンド２６を支持するサポートロールを水平ロール２４、２５の間に設け、ラビリンスシール３１ｂ、３２ｂをサポートロールに支持された流延バンド２６の部分と近接するように設けたときには、流延ダイ４０の設置位置をサポートロールの上方としても良い。
【００３５】
流延ダイ４０は、ドープ流出口４０ａから流延バンド２６に向けてドープ１２を流出する。ドープ流出口４０ａから流出し流延面２６ａに到達するまでのドープ１２は、ビード４２を形成する。流延面２６ａに到達したドープ１２は、流延面２６ａ上でＸ方向に延ばされる結果、帯状の流延膜４３を形成する。
【００３６】
（減圧ユニット）
流延装置１５（図２参照）には、減圧ユニット４５が取り付けられる。図３に示すように、減圧ユニット４５は、流延ダイ４０よりもＸ方向の上流側に配置される減圧チャンバ４５ａと、減圧チャンバ４５ａ内の気体を吸引するための減圧ファン４５ｂと、減圧ファン４５ｂ及び減圧チャンバ４５ａとを接続する吸引管４５ｃとを有する。吸引管４５ｃには、減圧チャンバ４５ａから減圧ファン４５ｂに向かって、共鳴型消音器４５ｄや拡張型消音器４５ｅが順次取り付けられる。
【００３７】
（サイドブランチ型消音器）
図３及び図５に示すように、流延室２３ａには、サイドブランチ型消音器５０が設けられる。サイドブランチ型消音器５０は、一端が開口し、他端が閉塞する筒５０ａを有する。筒５０ａは、耐溶剤性や耐腐食性を有し、熱変形しにくい材料、例えば、ステンレスから形成されることが好ましい。筒５０ａは、ビード４２よりもＸ方向下流側に開口面５０ｂが位置するように配されることが好ましい。なお、筒５０ａは、開口面５０ｂがビード４２の近傍となるように配することが好ましい。また、開口面５０ｂは、ケーシング２３の天井と面一であることが好ましい。
【００３８】
筒５０ａの中空部（消音穴）の長さ、すなわち開口面５０ｂから中空部の底面５０ｃまでの長さＬ１は、厚みムラを誘発するビード４２の振動周波数ｆ０に応じて決定すればよい。より具体的には、音速をｃ０とすると、長さＬ１は、次式のように表される。
Ｌ１＝ｃ０／（４・ｆ１）−Ｌｅ
ここで、Ｌｅは開口端補正長である。
【００３９】
また、サイドブランチ型消音器５０によるビード４２の振動の抑制効果を増大させるために、開口面５０ｂの面積は大きいほうが好ましい。なお、開口面５０ｂの形状は、円、楕円、多角形のいずれでもよい。多角形としては、三角形、四角形、五角形、六角形などがあり、いずれも本発明に適用できる。また、四角形としては、平行四辺形、ひし形、長方形、正方形などがあり、いずれも本発明に適用できる。
【００４０】
流延室２３ａに複数のサイドブランチ型消音器５０を設ける場合には、Ｘ方向、Ｙ方向、又は、Ｘ方向に交差する方向に並べればよい。
【００４１】
（乾燥室）
図２に示すように、乾燥室２３ｂには、流延膜４３に所定の乾燥風を供給する第１乾燥装置５３ａ〜第４乾燥装置５３ｄが、流延バンド２６の移動方向上流側から下流側に向かって、順次設けられる。第１〜４乾燥装置５３ａ〜５３ｄは、流延膜４３に対し所定の乾燥風を供給し、流延膜４３から溶剤を蒸発させる。流延膜４３における溶剤の蒸発により、流延膜４３は、剥ぎ取り可能な状態となる。
【００４２】
（剥取室）
剥取室２３ｃには、剥取ローラ５６が設けられる。剥取ローラ５６は、剥ぎ取り可能な状態となった流延膜４３を流延バンド２６から剥ぎ取って湿潤フィルム１３とし、剥取室２３ｃに設けられた出口２３ｏから湿潤フィルム１３を送り出す。
【００４３】
ケーシング２３内の雰囲気に含まれる溶剤を凝縮する凝縮装置、凝縮した溶剤を回収する回収装置を、流延装置１５に設けてもよい。これにより、ケーシング２３内の雰囲気に含まれる溶剤の濃度を一定の範囲に保つことができる。
【００４４】
図１に示すように、流延装置１５とクリップテンタ１７との間の渡り部５８には、湿潤フィルム３５を支持する支持ローラ５９が複数並べられている。支持ローラ５９は、図示しないモータにより、軸を中心に回転する。支持ローラ５９は、流延装置１５から送り出された湿潤フィルム３５を支持して、クリップテンタ１７へ案内する。なお、図１では、渡り部５８に２つの支持ローラ５９を並べた場合を示しているが、本発明はこれに限られず、渡り部５８に１つ、または３つ以上の支持ローラ５９を並べてもよい。また、支持ローラ５９は、フリーローラでもよい。
【００４５】
クリップテンタ１７は、湿潤フィルム１３の幅方向両側縁部を把持する多数のクリップを有し、このクリップが延伸軌道上を移動する。クリップにより把持された湿潤フィルム１３に対し乾燥風が送られ、湿潤フィルム１３には、幅方向への延伸処理とともに乾燥処理が施される。
【００４６】
クリップテンタ１７と乾燥装置１８との間には耳切装置６２が設けられている。耳切装置６２に送り出されたフィルム１６の幅方向の両端は、クリップによって形成された把持跡が形成されている。耳切装置６２は、この把持跡を有する両端部分を切り離す。この切り離された部分は、送風によりカットブロワ（図示しない）及びクラッシャ（図示しない）へ順次に送られて、細かく切断され、ドープ等の原料として再利用される。
【００４７】
乾燥装置１８は、フィルム１６の搬送路を備えるケーシングと、フィルム１６の搬送路を形成する複数のローラ１８ａと、ケーシング内の雰囲気の温度や湿度を調節する空調機（図示しない）とからなる。ケーシング内に導入されたフィルム１６は、複数のローラ１８ａに巻き掛けられながら搬送される。この雰囲気の温度や湿度の調節により、ケーシング内を搬送されるフィルム１６から残留した溶剤が蒸発する。更に、乾燥装置１８に、フィルム１６から蒸発した溶剤を吸着により回収する吸着回収装置が接続される。
【００４８】
乾燥装置１８及び巻取装置１９の間には、上流側から順に、冷却室６５ａ、除電バー（図示しない）、ナーリング付与ローラ６５ｂ、及び耳切装置（図示しない）が設けられる。冷却室６５ａは、フィルム１６の温度が略室温となるまで、フィルム１６を冷却する。除電バーは、冷却室６５ａから送り出され、帯電したフィルム１６から電気を除く除電処理を行う。ナーリング付与ローラ６５ｂは、フィルム１６の幅方向両端に巻き取り用のナーリングを付与する。耳切装置は、切断後のフィルム１６の幅方向両端にナーリングが残るように、フィルム１６の幅方向両端を切断する。
【００４９】
巻取装置１９は、プレスローラ１９ａと巻き芯１９ｂを有する。巻取装置１９に送られたフィルム１６は、プレスローラ１９ａによって押し付けられながら巻き芯１９ｂに巻き取られ、ロール状となる。
【００５０】
次に、本発明の作用を説明する。図２に示すように、第１〜第３シール部材３１〜３３により、ケーシング２３内には、気密性を有する各２３ａ〜２３ｂが形成される。流延バンド２６は、各２３ａ〜２３ｃを順次通過する。流延室２３ａでは、流延ダイ４０が、ドープ流出口４０ａからドープ１２を連続的に流出する。流出したドープ１２は、流延ダイ４０から流延バンド２６にかけてビード４２（図３参照）を形成し、流延バンド２６上では流延膜４３を形成する。
【００５１】
図示しない制御部の制御の下、減圧ファン４５ｂの回転により、減圧チャンバ４５ａ内の気体が吸引管４５ｃを通って吸引される。この結果、減圧ユニット４５は、ビード４２の上流側の気体を吸引する。この減圧ユニット４５によれば、ビード４２の上流側の圧力がビード４２の下流側の圧力よりも低い状態をつくることができる。ビード４２の上流側及び下流側の圧力差ΔＰは、１０Ｐａ以上２０００Ｐａ以下であることが好ましい。
【００５２】
減圧ユニット４５により、流延面２６ａの移動に伴って発生し、流延面２６ａの近傍にてＸ方向に流れる同伴風を吸引することができるため、同伴風に起因するビード４２の振動を抑えることができる。更に、ビード４２の上流側及び下流側の圧力差ΔＰを生むことにより、ビード４２の長さを短くすることができるため、ビード４２の振動を抑えることができる。また、吸引管４５ｃに設けられた共鳴型消音器４５ｄや拡張型消音器４５ｅは、減圧ユニット４５内における気体の圧力変動（例えば、減圧ファンの回転による圧力変動）を打ち消すことができる。
【００５３】
ここで、シール板３５ｈ及び流延バンド２６の間隔ＣＬ１は極めて小さい。このため、シール板３５ｈ及び流延バンド２６の間隔における空気の移動に起因して、流延室２３ａ内の気体の圧力が変動する結果、流延室２３ａ内の気体が振動する。しかしながら、減圧ユニット４５及び減圧ユニット４５に設けられた各消音器４５ｄ、４５ｅを用いても、減圧チャンバ３５ａの外にある気体の振動を除去することができない。また、グラスウールなどの吸音部材を用いた場合、除去可能な振動の周波数の範囲が１００Hz以上と限られているため、この範囲を除く周波数（例えば、１００Hz未満、より好ましくは、１０Hz以上１００Hz未満）の振動を除去することができない。
【００５４】
本発明では、流延室２３ａの内壁面に、サイドブランチ型消音器５０を設けたため、当該気体の振動を除去することができる。したがって、本発明によれば、当該気体の振動に起因するビード４２の振動を防ぐことが可能となり、結果として、流延膜４３やフィルム１６の厚みムラを防止することができる。
【００５５】
図６に示すように、サイドブランチ型消音器５０に温調機６８を設けても良い。温調機６８は、筒５０ａに螺旋状に巻きつけられたパイプ６８ａと、パイプ６８ａ内に所定の温度の伝熱媒体を循環させる流通させる温調ユニット６８ｂとからなる。温調ユニット６８ｂは、伝熱媒体の温度を調節した後、温度が調節された伝熱媒体をパイプ６８ａへ供給する。また、温調ユニット６８ｂは、パイプ６８ａ内を通った伝熱媒体を回収し、回収した伝熱媒体の温度を調節する。これを繰り返すことにより、筒５０ａの温度を所定の範囲（溶剤の凝縮温度よりも高い範囲、例えば、４０℃以上）にすることができる。温調機６８により、筒５０ａにおける溶剤の凝縮を防ぐ。
【００５６】
上記実施形態では、サイドブランチ型消音器５０の設置位置を流延室２３ａの天井としたが、本発明はこれに限られず、流延室２３ａの内壁面としてもよいし（図７参照）、遮風板３２ａとしてもよい（図８参照）。また、上記実施形態では、サイドブランチ型消音器５０の設置位置を、ビード４２よりもＸ方向下流側のみとしたが、本発明はこれに限られず、ビード４２よりもＸ方向上流側のみとしてもよいし、上流側及び下流側の両方に設けても良い。なお、サイドブランチ型消音器５０をビード４２よりもＸ方向上流側に設ける場合、流延室２３ａの天井、流延室２３ａの内壁面、遮風板３１ａのいずれであってもよい。
【００５７】
ビード４２の振動を効率よく抑えるためには、ビード４２のＹ方向中央部の振動よりも、ビード４２のＹ方向両端部の振動を優先的に抑えることが好ましい。ビード４２のＹ方向両端部の振動を優先的に抑えるためには、開口面５０ｂがビード４２のＹ方向両端部と正対するように、サイドブランチ型消音器５０を設けることが好ましい。この場合において、開口面５０ｂは、ビード４２のＸ方向上流側の面と正対してもよいし、ビード４２のＸ方向下流側の面と正対してもよいし、ビード４２の両面と正対していてもよい。
【００５８】
また、サイドブランチ型消音器５０として、複数の消音穴が開口するサイドブランチ型消音器７０を用いても良い。図９に示すように、サイドブランチ型消音器７０は、ブロック状の消音器本体７０ａと消音器本体７０ａの表面に開口する複数の消音穴７０ｂからなる。消音器本体７０ａは、耐溶剤性や耐腐食性を有し、熱変形しにくい材料、例えば、ステンレスから形成されることが好ましい。消音穴７０ｂの開口面の形状及び消音穴７０ｂの配列形態は特に限定されないが、消音穴７０ｂの形成密度が高くなるようなものであることが好ましい。例えば、図示するように、消音穴７０ｂの開口形状が六角形の場合には、ハニカム状であることが好ましい。また、消音穴７０ｂの開口形状が円形の場合には、六方充填配置であることが好ましい。
【００５９】
図１０に示すように、サイドブランチ型消音器５０に代えて、Ｌ１が可変自在なサイドブランチ型消音器８０を用いても良い。Ｌ１が可変自在なサイドブランチ型消音器８０は、両端に開口面８０ｂ、８０ｃを有する筒８０ａと、筒８０ａの中に配され、筒８０ａの長さ方向に移動自在な栓８０ｐとからなる。筒８０ａと栓８０ｐとは、耐溶剤性や耐腐食性を有し、熱変形しにくい材料、例えば、ステンレスから形成されることが好ましい。開口面８０ｂは流延室２３ａの内表面と面一となるように形成される。こうして、筒８０ａの中空部のうち、開口面８０ｂから栓８０ｐまでの間が消音穴となる。開口面８０ｃはケーシング２３の外で開口するように形成される。栓８０ｐは、栓駆動用モータ８２に接続する。
【００６０】
次に、サイドブランチ型消音器８０を用いた流延装置９０について説明する。流延室２３ａ内、例えば、流延ダイ４０と第２シール部材３２との間には、流延膜４３の厚みを測定する厚み測定部９２が設けられる。厚み測定部９２は、予め設定された測定場所において流延膜４３の厚みの測定を繰り返し行う。測定場所とは、Ｙ方向における任意の点としてもよいし、Ｙ方向全体としてもよい。
【００６１】
制御部２８は、厚みプロファイル生成部９３と、ピーク間距離算出部９４と、周波数算出部９５とを有する。また、制御部２８は、ロール駆動用モータ２７や栓駆動用モータ８２と接続する。厚みプロファイル生成部９３は、厚み測定部９２から読み取った複数の厚みの測定結果から、Ｘ方向における流延膜４３の厚みのプロファイル（図１１参照）を得る。ピーク間距離算出部９４は、流延膜４３の厚みのプロファイルからピーク間距離Ｌｐを算出する。周波数算出部９５は、ピーク間距離Ｌｐ及び流延バンド２６の流延面２６ａの移動速度Ｖに基づいて、ビードの振動周波数ｆ１を算出する。
【００６２】
流延装置９０における流延工程について説明する。制御部２８の制御の下、流延バンド２６の流延面２６ａは移動速度Ｖで移動する。流延ダイ４０は、ドープ１２をドープ流出口４０ａから連続的に流出する。流出したドープ１２は、流延ダイ４０から流延バンド２６にかけてビード４２を形成する。減圧ユニット４５はビード４２の上流側を減圧する。流出したドープ１２は、流延バンド２６上では流延膜４３を形成する。
【００６３】
厚み測定部９２は、流延膜４３の幅方向に設けられた測定ラインにおいて、流延膜４３の厚みの測定を繰り返し行う。厚みプロファイル生成部９３は、厚み測定部９２から流延膜４３の厚みの測定結果を読み取り、これらの測定データをＸ方向に並べて、Ｘ方向における流延膜４３の厚みのプロファイルを得る（図１１参照）。ピーク間距離算出部９４は、流延膜４３の厚みのプロファイルからピーク位置Ｐｉ（ｉ＝１、２、３、・・・ｎ）を求め、ピーク位置からピーク間距離Ｌｐを算出する。ここで、ピーク間距離Ｌｐは、Ｘ方向におけるピーク位置Ｐｋとピーク位置Ｐｋ＋１との距離である。周波数算出部９５は、ピーク間距離Ｌｐ及び流延バンド２６の流延面２６ａの移動速度Ｖに基づいて、ビード４２の振動周波数ｆ１を算出する。ビード４２の振動周波数ｆ１は、次式により算出できる。
ｆ１[Ｈｚ]＝１／６０・Ｖ[ｍ／分]／Ｌｐ[ｍ]
【００６４】
制御部２８は、算出されたビード４２の振動周波数ｆ１に基づくＬ１を算出する。このＬ１は、次式により算出できる。
Ｌ１＝ｃ０／（４・ｆ１）−Ｌｅ
ここで、ｃ０は音速であり、Ｌｅは、開口端補正長である。
【００６５】
制御部２８の制御の下、栓駆動用モータ８２は、筒８０ａの開口面８０ｂと栓８０ｐとの距離ｘが算出されたＬ１となるように、栓８０ｐの位置を調節する。サイドブランチ型消音器８０によれば、厚みムラを誘発するビード４２の振動周波数を特定し、当該周波数の振動を防止することができる。したがって、本発明によれば、流延膜やフィルムにおける厚みムラをより確実に防止することができる。
【００６６】
上記実施形態では、ドープ１２からなる流延膜４３を剥ぎ取り可能な状態にするために、流延膜４３から溶剤を蒸発させたが、本発明はこれに限られず、流延膜４３を冷却させてもよい。
【００６７】
上記実施形態では、上記実施形態では、支持体として、流延バンド２６を用いたが、本発明はこれに限られず、軸方向が水平となるように配された流延ドラムを用いてもよい。
【００６８】
本発明は、ドープを流延する際に、２種類以上のドープを同時に共流延させて積層させる同時積層共流延、または、複数のドープを逐次に共流延して積層させる逐次積層共流延を行うことができる。なお、両共流延を組み合わせてもよい。同時積層共流延を行う場合には、フィードブロックを取り付けた流延ダイを用いてもよいし、マルチポケット型の流延ダイを用いてもよい。
【００６９】
上記実施形態では、溶液製膜方法における流延工程に用いたが、本発明はこれに限られず、支持体に塗布液を塗布して、支持体上に塗布膜を形成する塗布工程にも適用可能である。
【００７０】
（ポリマー）
ポリマーとしては、セルロースアシレートや環状ポリオレフィン等を用いることができる。
【００７１】
（セルロースアシレート）
セルロースアシレートとしては、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）が特に好ましい。そして、セルロースアシレートの中でも、セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の全てを満足するものがより好ましい。なお、以下の式（Ｉ）〜（ＩＩＩ）において、Ａ及びＢは、アシル基の置換度を表わし、Ａはアセチル基の置換度、またＢは炭素原子数３〜２２のアシル基の置換度である。なお、ＴＡＣの９０重量％以上が０．１ｍｍ〜４ｍｍの粒子であることが好ましい。
（Ｉ） ２．０≦Ａ＋Ｂ≦３．０
（ＩＩ） ０≦Ａ≦３．０
（ＩＩＩ） ０≦Ｂ≦２．９
【００７２】
セルロースを構成するβ−１，４結合しているグルコース単位は、２位，３位及び６位に遊離の水酸基を有している。セルロースアシレートは、これらの水酸基の一部または全部を炭素数２以上のアシル基によりエステル化した重合体（ポリマー）である。アシル置換度は、２位，３位及び６位それぞれについて、セルロースの水酸基がエステル化している割合（１００％のエステル化は置換度１である）を意味する。
【００７３】
全アシル化置換度、即ち、ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６は２．００〜３．００が好ましく、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳ６／（ＤＳ２＋ＤＳ３＋ＤＳ６）は０．２８以上が好ましく、より好ましくは０．３０以上、特に好ましくは０．３１〜０．３４である。ここで、ＤＳ２はグルコース単位の２位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「２位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ３は３位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「３位のアシル置換度」とも言う）であり、ＤＳ６は６位の水酸基のアシル基による置換度（以下、「６位のアシル置換度」とも言う）である。
【００７４】
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は１種類だけでも良いし、あるいは２種類以上のアシル基が使用されていても良い。２種類以上のアシル基を用いるときは、その１つがアセチル基であることが好ましい。２位，３位及び６位の水酸基による置換度の総和をＤＳＡとし、２位，３位及び６位の水酸基のアセチル基以外のアシル基による置換度の総和をＤＳＢとすると、ＤＳＡ＋ＤＳＢの値は、より好ましくは２．２２〜２．９０であり、特に好ましくは２．４０〜２．８８である。また、ＤＳＢは０．３０以上であり、特に好ましくは０．７以上である。さらにＤＳＢはその２０％以上が６位水酸基の置換基であるが、より好ましくは２５％以上が６位水酸基の置換基であり、３０％以上がさらに好ましく、特には３３％以上が６位水酸基の置換基であることが好ましい。また更に、セルロースアシレートの６位の置換度が０．７５以上であり、さらには０．８０以上であり特には０．８５以上であるセルロースアシレートも挙げることができる。これらのセルロースアシレートにより溶解性の好ましい溶液（ドープ）が作製できる。特に非塩素系有機溶剤において、良好な溶液の作製が可能となる。さらに粘度が低く、濾過性の良い溶液の作製が可能となる。
【００７５】
セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター，パルプのどちらから得られたものでも良い。
【００７６】
本発明のセルロースアシレートの炭素数２以上のアシル基としては、脂肪族基でもアリール基でも良く特に限定されない。それらは、例えばセルロースのアルキルカルボニルエステル、アルケニルカルボニルエステルあるいは芳香族カルボニルエステル、芳香族アルキルカルボニルエステルなどであり、それぞれさらに置換された基を有していても良い。これらの好ましい例としては、プロピオニル、ブタノイル、ペンタノイル、ヘキサノイル、オクタノイル、デカノイル、ドデカノイル、トリデカノイル、テトラデカノイル、ヘキサデカノイル、オクタデカノイル、ｉｓｏ−ブタノイル、ｔ−ブタノイル、シクロヘキサンカルボニル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイル基などを挙げることができる。これらの中でも、プロピオニル、ブタノイル、ドデカノイル、オクタデカノイル、ｔ−ブタノイル、オレオイル、ベンゾイル、ナフチルカルボニル、シンナモイルなどがより好ましく、特に好ましくはプロピオニル、ブタノイルである。
【００７７】
（溶剤）
ドープを調製する溶剤としては、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。なお、本発明において、ドープとはポリマーを溶剤に溶解または分散して得られるポリマー溶液，分散液を意味している。
【００７８】
これらの中でも炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フィルムの機械的強度など及びフィルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶剤全体に対し２質量％〜２５質量％が好ましく、５質量％〜２０質量％がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。
【００７９】
ところで、最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない場合の溶剤組成についても検討が進み、この目的に対しては、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素原子数１〜１２のアルコールが好ましく用いられる。これらを適宜混合して用いることがある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶剤が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステル及びアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−及び−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶剤として用いることができる。
【００８０】
（添加剤）
ドープに所定の添加剤を添加してもよい。本発明で用いられる添加剤としては、可塑剤、紫外線吸収剤などがある。可塑剤として重縮合エステルを用いることが好ましい。
【００８１】
フィルム１６の厚みは、２０μｍ以上１２０μｍ以下であることが好ましく、４０μｍ以上１００μｍ以下であることがより好ましい。
【００８２】
フィルム１６の幅は、７００ｍｍ以上３０００ｍｍ以下であることが好ましく、１０００ｍｍ以上２８００ｍｍ以下であることがより好ましく、１５００ｍｍ以上２５００ｍｍ以下であることが特に好ましい。なお、フィルム１６の幅は、３０００ｍｍ以上であってもよい。
【００８３】
（ヘイズ）
フィルム１６のヘイズは、０．２０％未満であることが好ましく、０．１５％未満であることがより好ましく、０．１０％未満であることが特に好ましい。ヘイズを０．２％未満とすることにより、液晶表示装置に組み込んだ際のコントラスト比を改善することができる。また、フィルムの透明性がより高くなり、光学フィルムとしてより用いやすくなるという利点もある。
【００８４】
（Ｒｅ、Ｒｔｈ）
フィルム１６の面内方向のレターデーションは、２５ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦１００ｎｍであり、かつ、５０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２５０ｎｍであることが好ましい。そして、３０ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦８０ｎｍであることがより好ましく、３５ｎｍ≦｜Ｒｅ（５９０）｜≦７０ｎｍであることが特に好ましい。また、７０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２４０ｎｍであることがより好ましく、９０ｎｍ≦｜Ｒｔｈ（５９０）｜≦２３０ｎｍであることが特に好ましい。
【００８５】
本明細書におけるＲｅ（λ）、Ｒｔｈ（λ）は各々、波長λにおける面内のレターデーションおよび厚さ方向のレターデーションを表す。本願明細書においては、特に記載がないときは、波長λは、５９０ｎｍとする。Ｒｅ（λ）はＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨ（王子計測機器（株）製）において波長λｎｍの光をフィルム法線方向に入射させて測定される。Ｒｔｈ（λ）は前記Ｒｅ（λ）を、面内の遅相軸（ＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨにより判断される）を傾斜軸（回転軸）として（遅相軸がない場合にはフィルム面内の任意の方向を回転軸とする）のフィルム法線方向に対して法線方向から片側５０度まで１０度ステップで各々その傾斜した方向から波長λｎｍの光を入射させて全部で６点測定し、その測定されたレターデーション値と平均屈折率の仮定値及び入力された膜厚値を基にＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨが算出する。尚、遅相軸を傾斜軸（回転軸）として（遅相軸がない場合にはフィルム面内の任意の方向を回転軸とする）、任意の２方向からレターデーション値を測定し、その値と平均屈折率の仮定値及び入力された膜厚値を基に、以下の式（Ａ−１）、式（Ａ−２）及び式（Ｂ）より、Ｒｅ及びＲｔｈを算出することもできる。ここで平均屈折率の仮定値はポリマーハンドブック（ＪＯＨＮ ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮＳ，ＩＮＣ）、各種光学フィルムのカタログの値を使用することができる。平均屈折率の値が既知でないものについてはアッベ屈折計で測定することができる。主な光学フィルムの平均屈折率の値を以下に例示する：セルロースアシレート（１．４８）、シクロオレフィンポリマー（１．５２）、ポリカーボネート（１．５９）、ポリメチルメタクリレート（１．４９）、ポリスチレン（１．５９）である。これら平均屈折率の仮定値と膜厚を入力することで、ＫＯＢＲＡ ２１ＡＤＨはｎｘ、ｎｙ、ｎｚを算出する。この算出されたｎｘ、ｎｙ、ｎｚよりＮｚ＝（ｎｘ−ｎｚ）／（ｎｘ−ｎｙ）が更に算出される。
【００８６】
【数１】
【００８７】
ここで、上記のＲｅ（γ）は法線方向から角度γ傾斜した方向におけるレターデーション値を表し、ｎｘ、ｎｙ、ｎｚは、屈折率楕円体の各主軸方位の屈折率を表し、ｄはフィルム厚を表す。
Ｒｔｈ＝（（ｎｘ＋ｎｙ）／２−ｎｚ）×ｄ 式（Ｂ）
【符号の説明】
【００８８】
１０ 溶液製膜設備
１５ 流延装置
２６ 流延バンド
３１〜３３ 第１〜３シール部材
４０ 流延ダイ
４５ 減圧チャンバ
５０ サイドブランチ型消音器
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内に配されドープを流出するドープ流出口を備えた流延ダイと、
前記ドープ流出口の下方にて移動自在に設けられ、前記流出したドープを表面で支持し前記ドープからなる帯状の流延膜を形成する支持体と、
前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し、先端が前記支持体の表面に近接するように形成され、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成する１組の遮風ユニットと、
前記流延室の前記内表面に開口する消音穴を備えるサイドブランチ型消音器とを有することを特徴とする流延装置。
【請求項２】
前記流延ダイに隣接して前記移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧チャンバを有し、
前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることを特徴とする請求項１記載の流延装置。
【請求項３】
前記消音穴の開口形状が六角形であり、
前記消音穴がハニカム状に並ぶことを特徴とする請求項１または２記載の流延装置。
【請求項４】
前記消音穴に配され前記消音穴の深さ方向に移動自在に設けられた栓を前記深さ方向に移動させる栓駆動部と、
前記支持体を速度Ｖで移動させる支持体駆動部と、
長さ方向において前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定部と、
前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出部と、
前記距離Ｌｐ及び前記速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数を算出する周波数算出部と、
前記算出された振動周波数に基づいて前記栓駆動部を制御する栓制御部とを有することを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１項記載の流延装置。
【請求項５】
ケーシング内の流延ダイを用いて、前記ケーシング内を移動する支持体に向けてドープを流出し、前記流出したドープからなる帯状の流延膜を前記支持体の表面上に形成する流延膜の形成方法において、
前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し先端が前記支持体の表面に近接するように形成された１組のシール部材を用いて、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成し、前記流延室の内表面に開口する消音穴を用いて、前記流延室内の気体の振動を抑えることを特徴とする流延膜の形成方法。
【請求項６】
前記流延ダイに隣接して前記支持体の移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧工程を有し、
前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることを特徴とする請求項５記載の流延膜の形成方法。
【請求項７】
前記流延膜の長さ方向における前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定工程と、
前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出工程と、
前記ピーク間距離Ｌｐ及び前記支持体の移動速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数ｆ１を算出する周波数算出工程と、
前記振動周波数ｆ１に応じて前記消音穴の深さを調節する深さ調節工程とを有することを特徴とする請求項５または６記載の流延膜の形成方法。
【請求項８】
請求項５ないし７のうちいずれか１項記載の流延膜の形成方法の後に、
前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、
前記湿潤フィルムから溶剤を蒸発させる乾燥工程とを順次行うことを特徴とする溶液製膜方法。
【請求項１】
ケーシング内に配されドープを流出するドープ流出口を備えた流延ダイと、
前記ドープ流出口の下方にて移動自在に設けられ、前記流出したドープを表面で支持し前記ドープからなる帯状の流延膜を形成する支持体と、
前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し、先端が前記支持体の表面に近接するように形成され、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成する１組の遮風ユニットと、
前記流延室の前記内表面に開口する消音穴を備えるサイドブランチ型消音器とを有することを特徴とする流延装置。
【請求項２】
前記流延ダイに隣接して前記移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧チャンバを有し、
前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることを特徴とする請求項１記載の流延装置。
【請求項３】
前記消音穴の開口形状が六角形であり、
前記消音穴がハニカム状に並ぶことを特徴とする請求項１または２記載の流延装置。
【請求項４】
前記消音穴に配され前記消音穴の深さ方向に移動自在に設けられた栓を前記深さ方向に移動させる栓駆動部と、
前記支持体を速度Ｖで移動させる支持体駆動部と、
長さ方向において前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定部と、
前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出部と、
前記距離Ｌｐ及び前記速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数を算出する周波数算出部と、
前記算出された振動周波数に基づいて前記栓駆動部を制御する栓制御部とを有することを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１項記載の流延装置。
【請求項５】
ケーシング内の流延ダイを用いて、前記ケーシング内を移動する支持体に向けてドープを流出し、前記流出したドープからなる帯状の流延膜を前記支持体の表面上に形成する流延膜の形成方法において、
前記ドープ流出口よりも前記支持体の移動方向上流側及び下流側にて前記ケーシングの内表面から前記支持体の表面に向かって突出し先端が前記支持体の表面に近接するように形成された１組のシール部材を用いて、前記流延ダイを囲む流延室を前記ケーシング内に形成し、前記流延室の内表面に開口する消音穴を用いて、前記流延室内の気体の振動を抑えることを特徴とする流延膜の形成方法。
【請求項６】
前記流延ダイに隣接して前記支持体の移動方向上流側に配され、前記流出したドープによって前記流延ダイから前記支持体にかけて形成されるビードの前記移動方向上流側を減圧する減圧工程を有し、
前記サイドブランチ型消音器は前記ビードよりも前記移動方向下流側に設けられることを特徴とする請求項５記載の流延膜の形成方法。
【請求項７】
前記流延膜の長さ方向における前記流延膜の厚さ分布を検知する膜厚測定工程と、
前記検知した厚さ分布から厚さのピーク間の距離Ｌｐを算出するピーク間距離算出工程と、
前記ピーク間距離Ｌｐ及び前記支持体の移動速度Ｖに基づいて、前記ビードの振動周波数ｆ１を算出する周波数算出工程と、
前記振動周波数ｆ１に応じて前記消音穴の深さを調節する深さ調節工程とを有することを特徴とする請求項５または６記載の流延膜の形成方法。
【請求項８】
請求項５ないし７のうちいずれか１項記載の流延膜の形成方法の後に、
前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って湿潤フィルムとする剥取工程と、
前記湿潤フィルムから溶剤を蒸発させる乾燥工程とを順次行うことを特徴とする溶液製膜方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−１５２９３０（Ｐ２０１２−１５２９３０Ａ）
【公開日】平成２４年８月１６日（２０１２．８．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１１６９５（Ｐ２０１１−１１６９５）
【出願日】平成２３年１月２４日（２０１１．１．２４）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年８月１６日（２０１２．８．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１月２４日（２０１１．１．２４）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
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