顕微鏡装置
【課題】観察光源を選択的に切り替えて、観察性能を向上させることができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡装置１は、複数の光源（２，３）と、この複数の光源（２，３）から発せられる光を結合する光結合手段（４ａ）とを備え、好ましくは、顕微鏡装置１は、光結合手段（４ａ）を、光源（２，３）から発せられる光の光路Ｌ中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段（４）とを更に備える構成とする。
【解決手段】顕微鏡装置１は、複数の光源（２，３）と、この複数の光源（２，３）から発せられる光を結合する光結合手段（４ａ）とを備え、好ましくは、顕微鏡装置１は、光結合手段（４ａ）を、光源（２，３）から発せられる光の光路Ｌ中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段（４）とを更に備える構成とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光源を備える顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡の観察用光源としては、ハロゲン光源が多く使用されてきている。しかし、近年、ＬＥＤ光源は、高輝度化や低価格化により普及が著しく、顕微鏡用光源としてもそれは例外ではない。ＬＥＤは、長寿命・低消費電力で、また発熱量もハロゲンと比較すると少なく、非常に使い勝手の良い光源である。
【０００３】
一方で、ハロゲンやＬＥＤよりも高輝度な水銀キセノン光源や、赤外光を使ったＩＲ観察用のランプハウスなどを使用するニーズもあり、光源を選択するバリエーションは非常に増えてきている。
【０００４】
しかしながら、どの光源にも一長一短があり、一般的なハロゲン光源の代替を狙ったＬＥＤ光源も、波長特性に特徴があったり、輝度不足で暗視野観察には不向きであったりといった短所も存在している。また、高輝度水銀キセノン光源も電圧による調光ができないため、使い勝手があまり良いとは言えない。
【０００５】
そこで、２種類の光源を配置して、観察光源を選択的に切り替える方法が用いられている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３２６５４４号公報
【特許文献２】特開２００６−２６７４３２号公報
【特許文献３】特開２００５−３００６１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）用の基板や半導体ウエハ等の標本の観察性能は、年々高精度化が求められてきている。
【０００８】
そのため、観察光源を選択的に切り替えるだけでは、標本の十分な観察を行うことができなくなってきている。
本発明の目的は、観察性能を向上させることができる顕微鏡装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の顕微鏡装置は、複数の光源と、これら複数の光源から発せられる光を結合する光結合手段と、を備える構成とする。
好ましくは、上記顕微鏡装置は、上記光結合手段を、上記光源から発せられる光の光路中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段を更に備える構成とする。
【００１０】
より好ましくは、上記顕微鏡装置は、上記複数の光源のうちの少なくとも１つの光源から発せられる光を偏向させる光偏向手段を更に備え、上記光源切替手段は、上記光偏向手段と上記光結合手段とを、上記光源から発せられる光の光路中に選択的に移動させる構成とする。
【００１１】
好ましくは、上記顕微鏡装置は、複数のフィルタと、観察態様に応じて、これら複数のフィルタの少なくとも１つを上記光源から発せられる光の光路上に移動させるフィルタ切替手段と、を更に備える構成とする。
【００１２】
好ましくは、上記複数の光源は、２種以上の光源から構成とする。
好ましくは、上記光結合手段は、ハーフミラーである構成とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、複数の光源から発せられる光を結合することで、単一の光源では困難な観察を行うことができる。
よって、本発明によれば、観察性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置の内部構成を示す概略平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置の内部構成を示す概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態に係る顕微鏡装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置１の内部構成を示す概略平面図である。
【００１６】
図２は、上記顕微鏡装置１の内部構成を示す概略正面図である。
顕微鏡装置１は、複数の光源としてのハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３と、光結合手段としてのハーフミラー４ａ及び光偏向手段としてのミラー４ｂを有する光源切替手段としてのミラー切替ユニット４と、複数のフィルタ５ａ（１つのみ図示）を有するフィルタ切替手段としてのフィルタ切替ユニット５と、図示しない制御コンピュータに接続された制御部６と、を備える。
【００１７】
更には、顕微鏡装置１は、筐体７と、ＡＳ（明るさ絞り、Aperture Stop）ユニット８と、ＦＳ（視野絞り、Field Stop）ユニット９と、ポラライザ切替ユニット１０と、キューブ切替ユニット１１と、ＡＦ（Auto-Focus）ユニット１２と、アナライザ切替ユニット１３と、対物レンズ１４と、レボルバ１５と、レボルバ支持部材１６と、レンズ１７，１８と、ＤＩＣ（Differential Interference Contrast）プリズム切替ユニット１９と、を備える。
【００１８】
ハロゲン光源２は筐体７の右側面に配置され、ＬＥＤ光源３は筐体７の背面に配置されている。なお、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３は、ユニット化され、容易にキセノン光源のユニットと交換可能に構成されているものとする。
【００１９】
ミラー切替ユニット４は、上記のハーフミラー４ａ及びミラー４ｂに加え、ターレット式のミラー保持部４ｃ及びこのミラー保持部４ｃを回動させるモータ等の電動の駆動部４ｄを有する。ミラー保持部４ｃには、ハーフミラー４ａを保持するための孔と、ミラー４ｂを保持するための孔と、光を通過させるようにミラーが保持されていない孔とを含む３つ以上（図２では４つ）の孔が形成されている。この３つ以上の孔は、ミラー保持部４ｃの回動軸に対し回転対称に形成されている。
【００２０】
ハーフミラー４ａは、ハロゲン光源２の光軸とＬＥＤ光源３の光軸とが互いに直交する位置に、そのハーフミラー面が位置するように配置され、ハロゲン光源２から発せられる光を透過させると共にＬＥＤ光源３から発せられる光を９０度偏向させることで、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とを顕微鏡の光軸方向へ向かうよう結合する。一方、ミラー４ｂは、ＬＥＤ光源３から発せられる光を９０度偏向させ顕微鏡の光軸方向へ向かわせるとともにハロゲン光源２からの光を遮光する。
【００２１】
ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄは、制御部６の制御により、ハーフミラー４ａ若しくはミラー４ｂを光路Ｌ上に移動させるか、又は、ハーフミラー４ａ及びミラー４ｂを光路Ｌ上から退避させるように即ちミラーが保持されていない孔を光路Ｌ上に移動させるように、ミラー保持部４ｃを回動させる。
【００２２】
例えば、ミラー保持部４ｃは、観察光源としてハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方を使用する場合にはハーフミラー４ａを光路Ｌ上に移動させるように回動し、ハロゲン光源２のみを使用する場合にはミラーが保持されていない孔を光路Ｌ上に移動させるように回動し、ＬＥＤ光源３のみを使用する場合にはミラー４ｂを光路Ｌ上に移動させるように回動する。
【００２３】
なお、ハロゲン光源２から発せられる紫外光による標本へのダメージを防ぐために、ミラー保持部４ｃに紫外線カットフィルタが配置可能である。その際、ハーフミラー４ａの表面又は裏面に重ねて紫外線カットフィルタを配置するか、或いは、ミラー面の裏面に直接紫外線を遮光するコートを形成してもよい。また、後述するフィルタ切替ユニット５のフィルタ５ａに紫外線カットフィルタ以外のフィルタ、例えばＬＢＤ（Light Balanced Daylight）フィルタを用いる場合は、自然な白色に近い色で顕微鏡観察することができる。
【００２４】
フィルタ切替ユニット５は、上記の複数のフィルタ５ａ、ターレット式のフィルタ保持部５ｂ、及び、このフィルタ保持部５ｂを回動させる駆動部５ｃを有する。フィルタ保持部５ｂには、複数のフィルタ５ａを収容する複数の孔が、フィルタ保持部５ｂの回動軸に対し回転対称に形成されている。
【００２５】
フィルタ５ａには、例えば、ＬＢＤフィルタ、紫外線カットフィルタ等を用いることができる。例えば、観察光源としてハロゲン光源２のみを用いる場合には、ＬＢＤフィルタ又は紫外線カットフィルタを、ＬＥＤ光源３のみを用いる場合には、フィルタ無しの孔又は紫外線カットフィルタを、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３を用いる場合には、ＬＢＤフィルタ、紫外線カットフィルタ又はフィルタ無しの孔を、それぞれ光路Ｌ上に位置するように、制御部６の制御により、駆動部５ｃがフィルタ保持部５ｂを回動させる。
【００２６】
なお、制御部６は、上述のように、ハロゲン光源２やＬＥＤ光源３などの光源の使用状態に基づく観察態様に応じてフィルタ５ａを切り換えるようにするほか、ユーザのフィルタ切替操作に基づく観察態様に応じてフィルタ５ａを切り換えるようにしてもよい。
【００２７】
ＡＳ（明るさ絞り、Aperture Stop）ユニット８及びＦＳ（視野絞り、Field Stop）ユニット９は、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３から発せられる光の、ミラー切替ユニット４、レンズ１７及びフィルタ切替ユニット５を経た光路Ｌ上に配置されている。また、ＡＳユニット８及びＦＳユニット９は、制御部６の制御により、選択された対物レンズ１４に合わせて予め設定された絞り径に自動制御される。
【００２８】
ポラライザ切替ユニット１０は、ＦＳユニット９及びレンズ１８を経た光の光路Ｌ上に配置されている。また、ポラライザ切替ユニット１０は、ポラライザ１０ａを有し、制御部６の制御により、後述する微分干渉観察時にポラライザ１０ａを光路Ｌ上に移動させる。
【００２９】
キューブ切替ユニット１１は、ポラライザ切替ユニット１０を経た光の光路Ｌ上に配置されている。また、キューブ切替ユニット１１は、明視野キューブ１１ａ及び暗視野キューブ１１ｂを有し、制御部６の制御により、後述する暗視野観察時には暗視野キューブ１１ｂを、それ以外の観察時には明視野キューブ１１ａを、光路Ｌ上に移動させる。
【００３０】
ＤＩＣプリズム切替ユニット１９は、レボルバ１５内において、キューブ切替ユニット１１により鉛直（Ｚ軸）下方に偏向された光の光路Ｌ上に配置されている。また、ＤＩＣプリズム切替ユニット１９は、ＤＩＣプリズム１９ａを有し、制御部６の制御により、後述する微分干渉時にＤＩＣプリズム１９ａを光路Ｌ上に移動させる。
【００３１】
レボルバ１５には、複数の対物レンズ１４が配置されている。レボルバ１５は、レボルバ支持部材１６により支持されている。このレボルバ支持部材１６は、対物レンズ１４及びレボルバ１５と一体的にＺ軸方向に上下動する。
【００３２】
キューブ切替ユニット１１のＺ軸上方には、ＡＦユニット１２が配置され、更にその上方にはアナライザ切替ユニット１３が配置されている。アナライザ切替ユニット１３は、アナライザ１３ａを有し、後述する微分干渉観察時にアナライザ１３ａを光路Ｌ上に移動させる。
【００３３】
アナライザ切替ユニット１３のＺ軸上方には、図示しない接眼鏡筒を直接設置して肉眼観察したり、ＴＶカメラアダプタ及びＣＣＤカメラを設置してＴＶモニタを介して顕微鏡画像を観察したりすることが可能となっている。
【００３４】
以下、本実施の形態に係る顕微鏡装置１の動作について観察方法ごとに説明する。
＜明視野観察＞
まず、顕微鏡装置１の下方に位置する図示しないステージに標本が載置される。制御部６は、搬送された標本について事前に入手した観察倍率等の情報からレボルバ１５を自動操作するか、又は、操作者が図示しない操作部において操作することにより、観察時の対物レンズ１４を選択する。
【００３５】
そして、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の一方又は両方をＯＮにする。
ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方をＯＮにした場合、制御部６は、ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄによりミラー保持部４ｃを回動させ、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とが交差する位置にハーフミラー４ａを移動させる。
【００３６】
この場合、ハーフミラー４ａは、ハロゲン光源２から発せられる光を透過すると共にＬＥＤ光源３から発せられる光を偏向させることにより、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とを結合する。これにより、ハロゲン光源２から発せられる光の波長とＬＥＤ光源３から発せられる光の波長とで互いの波長特性を補うことができ、単一光源では観察しづらい標本の欠陥等の観察が可能になる。また、光を結合することにより、輝度を高めることや、単一光源での観察を要しない場合には光源の切替動作を省略することも可能になる。
【００３７】
次に、ハロゲン光源２のみをＯＮにした場合、制御部６は、ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄによりミラー保持部４ｃを回動させ、ハロゲン光源２から発せられる光の光路Ｌ上に、ミラー保持部４ｃの、ミラーが保持されていない孔を移動させる。
【００３８】
また、ＬＥＤ光源３のみをＯＮにした場合、制御部６は、ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄによりミラー保持部４ｃを回動させ、ＬＥＤ光源３から発せられる光の光路Ｌ上に、ミラー４ｂを移動させる。この場合、ミラー４ｂは、ＬＥＤ光源３から発せられる光を９０度偏向させて光路Ｌをフィルタ切替ユニット５側に導く。
【００３９】
制御部６は、上述のように、ハロゲン光源２やＬＥＤ光源３などの光源の使用状態に基づく観察態様、或いは、図示しない操作部におけるユーザのフィルタ切替操作に基づく観察態様等の観察態様に応じて、例えば、ＬＢＤフィルタ、紫外線カットフィルタ等のフィルタ５ａ、或いはフィルタ無しの孔が、それぞれ自動で光路Ｌ上に移動するように、フィルタ切替ユニット５の駆動部５ｃによりフィルタ保持部５ｂを回動させる。
【００４０】
レンズ１７及びフィルタ切替ユニット５を経た光は、ＡＳユニット８及びＦＳユニット９や、レンズ１８を経てキューブ切替ユニット１１に導かれる。なお、ＡＳユニット８及びＦＳユニット９は、制御部６により、対物レンズ１４に合わせて予め設定された絞り径に自動的に変更される。また、明視野観察時にはポラライザ切替ユニット１０のポラライザ１０ａは、光路Ｌ上から退避している。
【００４１】
キューブ切替ユニット１１では、明視野観察時には明視野キューブ１１ａが光路Ｌ上に位置するように制御され、明視野キューブ１１ａによりＺ軸下方に光が偏向される。ＤＩＣプリズム切替ユニット１９のＤＩＣプリズム１９ａは、明視野観察時には光路Ｌ上から退避しており、Ｚ軸下方に偏向された光は対物レンズ１４に導かれ、更に、この対物レンズ１４の下方に位置する標本に導かれる。
【００４２】
標本において反射した光は、Ｚ軸上方に反射し、明視野キューブ１１ａ及びＡＦユニット１２を経て、図示しない接眼鏡筒或いは、ＴＶカメラアダプタ及びＣＣＤカメラに導かれ、観察される。なお、明視野観察時にはアナライザユニット１３のアナライザ１３ａは光路Ｌ上から退避している。
【００４３】
＜暗視野観察＞
上述の明視野観察と相違する点についてのみ説明する。
暗視野観察を中心とした観察を行う場合には、光源として、ＬＥＤ光源３に代えて、比較的高輝度な例えば水銀キセノン光源を選択し、事前に交換するとよい。水銀キセノン光源は、高輝度である一方、電圧可変による調光ができないといった欠点がある。そのため、ＬＥＤ光源３に代えて水銀キセノンを用いる場合には、フィルタ切替ユニット５のフィルタ５ａとして、減光（ＮＤ：Neutral Density）フィルタを、例えば透過率７５％、５０％、２５％のものなど複数配置するとよい。
【００４４】
キューブ切替ユニット１１では、制御部６の制御により、明視野キューブ１１ａに代えて暗視野キューブ１１ｂを光路Ｌ上に移動させ、暗視野で標本を観察する。
＜微分干渉観察＞
上述の明視野観察と相違する点についてのみ説明する。
【００４５】
ポラライザ切替ユニット１０のポラライザ１０ａ、アナライザ切替ユニット１３のアナライザ１３ａ、及び、ＤＩＣプリズム切替ユニット１９のＤＩＣプリズム１９ａを光路Ｌ上に移動させることで、標本の形状を擬似的な色及び凹凸を付けて観察する。
【００４６】
観察の際には、ＤＩＣプリズム１９ａを対物レンズ１４の光軸方向（Ｚ軸方向）と直交する平面（ＸＹ平面）において微調させることで色味や明るさが変化するので、標本を観察しやすい位置を探しながら観察するのが一般的である。
【００４７】
例えば、標本として半導体用ベアウエハを用いる場合、非常に段差の低い表面層の欠陥検査を微分干渉観察で要求される場合がある。微分干渉では、上述のとおりＤＩＣプリズム１９ａを微調させることにより明るさが変化するが、一番凹凸が付いてコンストラスト良く観察できるのは最も暗い状態から少しだけＤＩＣプリズム１９ａを移動させた位置であることがわかっている。
【００４８】
そのため、ベアウエハ検査でも高輝度光源を用いるのが効果的な場合がある。よって、光源としては、事前にＬＥＤ光源３に代えて水銀キセノン光源を選択し交換しておき、ハロゲン光源２及び水銀キセノン光源の両方又は一方を使い分けながら使用するとよい。
【００４９】
ところで、ユーザの要求によっては、前工程の自動欠陥検査装置からの欠陥位置情報に基づく標本の欠陥を顕微鏡装置１の視野内に移動させ、欠陥画像を自動取得するといったシステムを実現する場合もある。
【００５０】
この場合、図示しない制御コンピュータを用いて、欠陥画像のコントラストを画像処理によってその都度判断しながら画像取得することが可能である。例えば、ハロゲン光源２での観察をデフォルトとしておき、予め設定しておいたコンストラスト値を満たして問題なく欠陥が確認できる場合はそのまま画像を取得し、欠陥が確認できない場合は、ハロゲン光源２に水銀キセノン光源を組み合わせて、或いは、ハロゲン光源２を水銀キセノン光源に切り替えて、ＮＤフィルタの選択やＤＩＣプリズム１９ａの微調をしながら最もコントラストの付く条件で画像取得することも可能である。
【００５１】
＜線幅測定＞
近年、液晶基板の検査で、顕微鏡画像を基にＴＦＴ（Thin Film Transistor）パターンの微小線幅を測定して、露光異常やレイヤーの重ね合わせ異常を製造工程にフィードバックするシステムが構築されている。
【００５２】
線幅測定では、顕微鏡画像におけるパターンのエッジを画像処理によって認識させるため、パターンエッジのコントラストが高ければ高いほど、線幅測定の測定精度が良くなる。液晶基板では、フィルタ切替ユニット５のフィルタ５ａとしてバンドパスフィルタを挿入すると顕微鏡画像のコントラストが変化する場合があり、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３を用いて、フィルタ５ａとしてバンドパスフィルタを何種類か用意しておけば、検査工程によって予め調査しておいた一番コントラストの付く１つ又は２つの光源とバンドパスフィルタとの組み合わせで線幅計測を精度良く行うことができる。
【００５３】
以上説明した本実施の形態では、ハロゲン光源２、ＬＥＤ光源３等の複数の光源から発せられる光を結合することで、単一の光源では困難な観察を行うことができる。よって、本実施の形態によれば、観察性能を向上させることができる。
【００５４】
また、本実施の形態では、顕微鏡装置１は、ハーフミラー４ａを、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３から発せられる光の光路Ｌ中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段としてのミラー切替ユニット４を備える。
【００５５】
また、本実施の形態では、顕微鏡装置１は、複数の光源のうちの少なくとも１つの光源としてのＬＥＤ光源３から発せられる光を偏向させる光偏向手段としてのミラー４ｂを備え、ミラー切替ユニット４は、ハーフミラー４ａとミラー４ｂとを、光路Ｌ中に選択的に移動させる。
【００５６】
これらの構成により、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方を用いた観察に加え、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の一方を用いた観察を行うことができ、観察性能を一層向上させることができる。
【００５７】
また、本実施の形態では、顕微鏡装置１は、観察態様に応じて複数のフィルタ５ａの少なくとも１つを光路Ｌ上に移動させるフィルタ切替手段５を備える。そのため、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方を用いる場合や、一方を用いる場合において自動で最適なフィルタ５ａを選択することができ、したがって、観察性能を一層向上させることができる。
【００５８】
また、本実施の形態では、複数の光源としてハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の２種の光源を採用している。そのため、光源の欠点を互いに補うことができ、したがって、観察性能を一層向上させることができる。
【００５９】
また、本実施の形態では、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３から発せられる光を結合する光結合手段としてハーフミラー４ａを採用している。そのため、簡素な構成で観察性能を向上させることができる。
【００６０】
なお、本実施の形態では、光源として、主にハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３を例に説明したが、上述の水銀キセノンや、赤外光源（例えば、ハロゲン光源２で熱線吸収フィルタを外して構成する）など他の光源を用いることも可能であり、所望の観察や検査に応じて配置するとよい。
【００６１】
また、本実施の形態では、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とを結合する例に説明したが、例えばハーフミラーの数を増やして３種以上の光源から発せられる光を結合するようにしても、互いに同一の光源を用いた２以上の光源から発せられる光を結合するようにしてもよい。
【００６２】
また、ミラー保持部４ｃに複数のハーフミラー４ａを設置し、各ハーフミラー４ａのミラー面ではない側の面それぞれに適宜、ダイクロイックフィルタ、赤外カットフィルタ、紫外カットフィルタ等の波長選択フィルタ等を形成することにより、或いは、表面・裏面のいずれかに上述の各種フィルタを重ねて配置することにより、フィルタ切替手段を省略することもできる。
【符号の説明】
【００６３】
１ 顕微鏡装置
２ ハロゲン光源
３ ＬＥＤ光源
４ ミラー切替ユニット
４ａ ハーフミラー
４ｂ ミラー
４ｃ ミラー保持部
４ｄ 駆動部
５ フィルタ切替ユニット
５ａ フィルタ
５ｂ フィルタ保持部
５ｃ 駆動部
６ 制御部
７ 筐体
８ ＡＳユニット
９ ＦＳユニット
１０ ポラライザ切替ユニット
１０ａ ポラライザ
１１ キューブ切替ユニット
１１ａ 明視野キューブ
１１ｂ 暗視野キューブ
１２ ＡＦユニット
１３ アナライザ切替ユニット
１３ａ アナライザ
１４ 対物レンズ
１５ レボルバ
１６ レボルバ支持部材
１７，１８ レンズ
１９ ＤＩＣプリズム切替ユニット
１９ａ ＤＩＣプリズム
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光源を備える顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡の観察用光源としては、ハロゲン光源が多く使用されてきている。しかし、近年、ＬＥＤ光源は、高輝度化や低価格化により普及が著しく、顕微鏡用光源としてもそれは例外ではない。ＬＥＤは、長寿命・低消費電力で、また発熱量もハロゲンと比較すると少なく、非常に使い勝手の良い光源である。
【０００３】
一方で、ハロゲンやＬＥＤよりも高輝度な水銀キセノン光源や、赤外光を使ったＩＲ観察用のランプハウスなどを使用するニーズもあり、光源を選択するバリエーションは非常に増えてきている。
【０００４】
しかしながら、どの光源にも一長一短があり、一般的なハロゲン光源の代替を狙ったＬＥＤ光源も、波長特性に特徴があったり、輝度不足で暗視野観察には不向きであったりといった短所も存在している。また、高輝度水銀キセノン光源も電圧による調光ができないため、使い勝手があまり良いとは言えない。
【０００５】
そこで、２種類の光源を配置して、観察光源を選択的に切り替える方法が用いられている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３２６５４４号公報
【特許文献２】特開２００６−２６７４３２号公報
【特許文献３】特開２００５−３００６１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）用の基板や半導体ウエハ等の標本の観察性能は、年々高精度化が求められてきている。
【０００８】
そのため、観察光源を選択的に切り替えるだけでは、標本の十分な観察を行うことができなくなってきている。
本発明の目的は、観察性能を向上させることができる顕微鏡装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の顕微鏡装置は、複数の光源と、これら複数の光源から発せられる光を結合する光結合手段と、を備える構成とする。
好ましくは、上記顕微鏡装置は、上記光結合手段を、上記光源から発せられる光の光路中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段を更に備える構成とする。
【００１０】
より好ましくは、上記顕微鏡装置は、上記複数の光源のうちの少なくとも１つの光源から発せられる光を偏向させる光偏向手段を更に備え、上記光源切替手段は、上記光偏向手段と上記光結合手段とを、上記光源から発せられる光の光路中に選択的に移動させる構成とする。
【００１１】
好ましくは、上記顕微鏡装置は、複数のフィルタと、観察態様に応じて、これら複数のフィルタの少なくとも１つを上記光源から発せられる光の光路上に移動させるフィルタ切替手段と、を更に備える構成とする。
【００１２】
好ましくは、上記複数の光源は、２種以上の光源から構成とする。
好ましくは、上記光結合手段は、ハーフミラーである構成とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、複数の光源から発せられる光を結合することで、単一の光源では困難な観察を行うことができる。
よって、本発明によれば、観察性能を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置の内部構成を示す概略平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置の内部構成を示す概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態に係る顕微鏡装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る顕微鏡装置１の内部構成を示す概略平面図である。
【００１６】
図２は、上記顕微鏡装置１の内部構成を示す概略正面図である。
顕微鏡装置１は、複数の光源としてのハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３と、光結合手段としてのハーフミラー４ａ及び光偏向手段としてのミラー４ｂを有する光源切替手段としてのミラー切替ユニット４と、複数のフィルタ５ａ（１つのみ図示）を有するフィルタ切替手段としてのフィルタ切替ユニット５と、図示しない制御コンピュータに接続された制御部６と、を備える。
【００１７】
更には、顕微鏡装置１は、筐体７と、ＡＳ（明るさ絞り、Aperture Stop）ユニット８と、ＦＳ（視野絞り、Field Stop）ユニット９と、ポラライザ切替ユニット１０と、キューブ切替ユニット１１と、ＡＦ（Auto-Focus）ユニット１２と、アナライザ切替ユニット１３と、対物レンズ１４と、レボルバ１５と、レボルバ支持部材１６と、レンズ１７，１８と、ＤＩＣ（Differential Interference Contrast）プリズム切替ユニット１９と、を備える。
【００１８】
ハロゲン光源２は筐体７の右側面に配置され、ＬＥＤ光源３は筐体７の背面に配置されている。なお、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３は、ユニット化され、容易にキセノン光源のユニットと交換可能に構成されているものとする。
【００１９】
ミラー切替ユニット４は、上記のハーフミラー４ａ及びミラー４ｂに加え、ターレット式のミラー保持部４ｃ及びこのミラー保持部４ｃを回動させるモータ等の電動の駆動部４ｄを有する。ミラー保持部４ｃには、ハーフミラー４ａを保持するための孔と、ミラー４ｂを保持するための孔と、光を通過させるようにミラーが保持されていない孔とを含む３つ以上（図２では４つ）の孔が形成されている。この３つ以上の孔は、ミラー保持部４ｃの回動軸に対し回転対称に形成されている。
【００２０】
ハーフミラー４ａは、ハロゲン光源２の光軸とＬＥＤ光源３の光軸とが互いに直交する位置に、そのハーフミラー面が位置するように配置され、ハロゲン光源２から発せられる光を透過させると共にＬＥＤ光源３から発せられる光を９０度偏向させることで、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とを顕微鏡の光軸方向へ向かうよう結合する。一方、ミラー４ｂは、ＬＥＤ光源３から発せられる光を９０度偏向させ顕微鏡の光軸方向へ向かわせるとともにハロゲン光源２からの光を遮光する。
【００２１】
ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄは、制御部６の制御により、ハーフミラー４ａ若しくはミラー４ｂを光路Ｌ上に移動させるか、又は、ハーフミラー４ａ及びミラー４ｂを光路Ｌ上から退避させるように即ちミラーが保持されていない孔を光路Ｌ上に移動させるように、ミラー保持部４ｃを回動させる。
【００２２】
例えば、ミラー保持部４ｃは、観察光源としてハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方を使用する場合にはハーフミラー４ａを光路Ｌ上に移動させるように回動し、ハロゲン光源２のみを使用する場合にはミラーが保持されていない孔を光路Ｌ上に移動させるように回動し、ＬＥＤ光源３のみを使用する場合にはミラー４ｂを光路Ｌ上に移動させるように回動する。
【００２３】
なお、ハロゲン光源２から発せられる紫外光による標本へのダメージを防ぐために、ミラー保持部４ｃに紫外線カットフィルタが配置可能である。その際、ハーフミラー４ａの表面又は裏面に重ねて紫外線カットフィルタを配置するか、或いは、ミラー面の裏面に直接紫外線を遮光するコートを形成してもよい。また、後述するフィルタ切替ユニット５のフィルタ５ａに紫外線カットフィルタ以外のフィルタ、例えばＬＢＤ（Light Balanced Daylight）フィルタを用いる場合は、自然な白色に近い色で顕微鏡観察することができる。
【００２４】
フィルタ切替ユニット５は、上記の複数のフィルタ５ａ、ターレット式のフィルタ保持部５ｂ、及び、このフィルタ保持部５ｂを回動させる駆動部５ｃを有する。フィルタ保持部５ｂには、複数のフィルタ５ａを収容する複数の孔が、フィルタ保持部５ｂの回動軸に対し回転対称に形成されている。
【００２５】
フィルタ５ａには、例えば、ＬＢＤフィルタ、紫外線カットフィルタ等を用いることができる。例えば、観察光源としてハロゲン光源２のみを用いる場合には、ＬＢＤフィルタ又は紫外線カットフィルタを、ＬＥＤ光源３のみを用いる場合には、フィルタ無しの孔又は紫外線カットフィルタを、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３を用いる場合には、ＬＢＤフィルタ、紫外線カットフィルタ又はフィルタ無しの孔を、それぞれ光路Ｌ上に位置するように、制御部６の制御により、駆動部５ｃがフィルタ保持部５ｂを回動させる。
【００２６】
なお、制御部６は、上述のように、ハロゲン光源２やＬＥＤ光源３などの光源の使用状態に基づく観察態様に応じてフィルタ５ａを切り換えるようにするほか、ユーザのフィルタ切替操作に基づく観察態様に応じてフィルタ５ａを切り換えるようにしてもよい。
【００２７】
ＡＳ（明るさ絞り、Aperture Stop）ユニット８及びＦＳ（視野絞り、Field Stop）ユニット９は、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３から発せられる光の、ミラー切替ユニット４、レンズ１７及びフィルタ切替ユニット５を経た光路Ｌ上に配置されている。また、ＡＳユニット８及びＦＳユニット９は、制御部６の制御により、選択された対物レンズ１４に合わせて予め設定された絞り径に自動制御される。
【００２８】
ポラライザ切替ユニット１０は、ＦＳユニット９及びレンズ１８を経た光の光路Ｌ上に配置されている。また、ポラライザ切替ユニット１０は、ポラライザ１０ａを有し、制御部６の制御により、後述する微分干渉観察時にポラライザ１０ａを光路Ｌ上に移動させる。
【００２９】
キューブ切替ユニット１１は、ポラライザ切替ユニット１０を経た光の光路Ｌ上に配置されている。また、キューブ切替ユニット１１は、明視野キューブ１１ａ及び暗視野キューブ１１ｂを有し、制御部６の制御により、後述する暗視野観察時には暗視野キューブ１１ｂを、それ以外の観察時には明視野キューブ１１ａを、光路Ｌ上に移動させる。
【００３０】
ＤＩＣプリズム切替ユニット１９は、レボルバ１５内において、キューブ切替ユニット１１により鉛直（Ｚ軸）下方に偏向された光の光路Ｌ上に配置されている。また、ＤＩＣプリズム切替ユニット１９は、ＤＩＣプリズム１９ａを有し、制御部６の制御により、後述する微分干渉時にＤＩＣプリズム１９ａを光路Ｌ上に移動させる。
【００３１】
レボルバ１５には、複数の対物レンズ１４が配置されている。レボルバ１５は、レボルバ支持部材１６により支持されている。このレボルバ支持部材１６は、対物レンズ１４及びレボルバ１５と一体的にＺ軸方向に上下動する。
【００３２】
キューブ切替ユニット１１のＺ軸上方には、ＡＦユニット１２が配置され、更にその上方にはアナライザ切替ユニット１３が配置されている。アナライザ切替ユニット１３は、アナライザ１３ａを有し、後述する微分干渉観察時にアナライザ１３ａを光路Ｌ上に移動させる。
【００３３】
アナライザ切替ユニット１３のＺ軸上方には、図示しない接眼鏡筒を直接設置して肉眼観察したり、ＴＶカメラアダプタ及びＣＣＤカメラを設置してＴＶモニタを介して顕微鏡画像を観察したりすることが可能となっている。
【００３４】
以下、本実施の形態に係る顕微鏡装置１の動作について観察方法ごとに説明する。
＜明視野観察＞
まず、顕微鏡装置１の下方に位置する図示しないステージに標本が載置される。制御部６は、搬送された標本について事前に入手した観察倍率等の情報からレボルバ１５を自動操作するか、又は、操作者が図示しない操作部において操作することにより、観察時の対物レンズ１４を選択する。
【００３５】
そして、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の一方又は両方をＯＮにする。
ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方をＯＮにした場合、制御部６は、ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄによりミラー保持部４ｃを回動させ、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とが交差する位置にハーフミラー４ａを移動させる。
【００３６】
この場合、ハーフミラー４ａは、ハロゲン光源２から発せられる光を透過すると共にＬＥＤ光源３から発せられる光を偏向させることにより、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とを結合する。これにより、ハロゲン光源２から発せられる光の波長とＬＥＤ光源３から発せられる光の波長とで互いの波長特性を補うことができ、単一光源では観察しづらい標本の欠陥等の観察が可能になる。また、光を結合することにより、輝度を高めることや、単一光源での観察を要しない場合には光源の切替動作を省略することも可能になる。
【００３７】
次に、ハロゲン光源２のみをＯＮにした場合、制御部６は、ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄによりミラー保持部４ｃを回動させ、ハロゲン光源２から発せられる光の光路Ｌ上に、ミラー保持部４ｃの、ミラーが保持されていない孔を移動させる。
【００３８】
また、ＬＥＤ光源３のみをＯＮにした場合、制御部６は、ミラー切替ユニット４の駆動部４ｄによりミラー保持部４ｃを回動させ、ＬＥＤ光源３から発せられる光の光路Ｌ上に、ミラー４ｂを移動させる。この場合、ミラー４ｂは、ＬＥＤ光源３から発せられる光を９０度偏向させて光路Ｌをフィルタ切替ユニット５側に導く。
【００３９】
制御部６は、上述のように、ハロゲン光源２やＬＥＤ光源３などの光源の使用状態に基づく観察態様、或いは、図示しない操作部におけるユーザのフィルタ切替操作に基づく観察態様等の観察態様に応じて、例えば、ＬＢＤフィルタ、紫外線カットフィルタ等のフィルタ５ａ、或いはフィルタ無しの孔が、それぞれ自動で光路Ｌ上に移動するように、フィルタ切替ユニット５の駆動部５ｃによりフィルタ保持部５ｂを回動させる。
【００４０】
レンズ１７及びフィルタ切替ユニット５を経た光は、ＡＳユニット８及びＦＳユニット９や、レンズ１８を経てキューブ切替ユニット１１に導かれる。なお、ＡＳユニット８及びＦＳユニット９は、制御部６により、対物レンズ１４に合わせて予め設定された絞り径に自動的に変更される。また、明視野観察時にはポラライザ切替ユニット１０のポラライザ１０ａは、光路Ｌ上から退避している。
【００４１】
キューブ切替ユニット１１では、明視野観察時には明視野キューブ１１ａが光路Ｌ上に位置するように制御され、明視野キューブ１１ａによりＺ軸下方に光が偏向される。ＤＩＣプリズム切替ユニット１９のＤＩＣプリズム１９ａは、明視野観察時には光路Ｌ上から退避しており、Ｚ軸下方に偏向された光は対物レンズ１４に導かれ、更に、この対物レンズ１４の下方に位置する標本に導かれる。
【００４２】
標本において反射した光は、Ｚ軸上方に反射し、明視野キューブ１１ａ及びＡＦユニット１２を経て、図示しない接眼鏡筒或いは、ＴＶカメラアダプタ及びＣＣＤカメラに導かれ、観察される。なお、明視野観察時にはアナライザユニット１３のアナライザ１３ａは光路Ｌ上から退避している。
【００４３】
＜暗視野観察＞
上述の明視野観察と相違する点についてのみ説明する。
暗視野観察を中心とした観察を行う場合には、光源として、ＬＥＤ光源３に代えて、比較的高輝度な例えば水銀キセノン光源を選択し、事前に交換するとよい。水銀キセノン光源は、高輝度である一方、電圧可変による調光ができないといった欠点がある。そのため、ＬＥＤ光源３に代えて水銀キセノンを用いる場合には、フィルタ切替ユニット５のフィルタ５ａとして、減光（ＮＤ：Neutral Density）フィルタを、例えば透過率７５％、５０％、２５％のものなど複数配置するとよい。
【００４４】
キューブ切替ユニット１１では、制御部６の制御により、明視野キューブ１１ａに代えて暗視野キューブ１１ｂを光路Ｌ上に移動させ、暗視野で標本を観察する。
＜微分干渉観察＞
上述の明視野観察と相違する点についてのみ説明する。
【００４５】
ポラライザ切替ユニット１０のポラライザ１０ａ、アナライザ切替ユニット１３のアナライザ１３ａ、及び、ＤＩＣプリズム切替ユニット１９のＤＩＣプリズム１９ａを光路Ｌ上に移動させることで、標本の形状を擬似的な色及び凹凸を付けて観察する。
【００４６】
観察の際には、ＤＩＣプリズム１９ａを対物レンズ１４の光軸方向（Ｚ軸方向）と直交する平面（ＸＹ平面）において微調させることで色味や明るさが変化するので、標本を観察しやすい位置を探しながら観察するのが一般的である。
【００４７】
例えば、標本として半導体用ベアウエハを用いる場合、非常に段差の低い表面層の欠陥検査を微分干渉観察で要求される場合がある。微分干渉では、上述のとおりＤＩＣプリズム１９ａを微調させることにより明るさが変化するが、一番凹凸が付いてコンストラスト良く観察できるのは最も暗い状態から少しだけＤＩＣプリズム１９ａを移動させた位置であることがわかっている。
【００４８】
そのため、ベアウエハ検査でも高輝度光源を用いるのが効果的な場合がある。よって、光源としては、事前にＬＥＤ光源３に代えて水銀キセノン光源を選択し交換しておき、ハロゲン光源２及び水銀キセノン光源の両方又は一方を使い分けながら使用するとよい。
【００４９】
ところで、ユーザの要求によっては、前工程の自動欠陥検査装置からの欠陥位置情報に基づく標本の欠陥を顕微鏡装置１の視野内に移動させ、欠陥画像を自動取得するといったシステムを実現する場合もある。
【００５０】
この場合、図示しない制御コンピュータを用いて、欠陥画像のコントラストを画像処理によってその都度判断しながら画像取得することが可能である。例えば、ハロゲン光源２での観察をデフォルトとしておき、予め設定しておいたコンストラスト値を満たして問題なく欠陥が確認できる場合はそのまま画像を取得し、欠陥が確認できない場合は、ハロゲン光源２に水銀キセノン光源を組み合わせて、或いは、ハロゲン光源２を水銀キセノン光源に切り替えて、ＮＤフィルタの選択やＤＩＣプリズム１９ａの微調をしながら最もコントラストの付く条件で画像取得することも可能である。
【００５１】
＜線幅測定＞
近年、液晶基板の検査で、顕微鏡画像を基にＴＦＴ（Thin Film Transistor）パターンの微小線幅を測定して、露光異常やレイヤーの重ね合わせ異常を製造工程にフィードバックするシステムが構築されている。
【００５２】
線幅測定では、顕微鏡画像におけるパターンのエッジを画像処理によって認識させるため、パターンエッジのコントラストが高ければ高いほど、線幅測定の測定精度が良くなる。液晶基板では、フィルタ切替ユニット５のフィルタ５ａとしてバンドパスフィルタを挿入すると顕微鏡画像のコントラストが変化する場合があり、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３を用いて、フィルタ５ａとしてバンドパスフィルタを何種類か用意しておけば、検査工程によって予め調査しておいた一番コントラストの付く１つ又は２つの光源とバンドパスフィルタとの組み合わせで線幅計測を精度良く行うことができる。
【００５３】
以上説明した本実施の形態では、ハロゲン光源２、ＬＥＤ光源３等の複数の光源から発せられる光を結合することで、単一の光源では困難な観察を行うことができる。よって、本実施の形態によれば、観察性能を向上させることができる。
【００５４】
また、本実施の形態では、顕微鏡装置１は、ハーフミラー４ａを、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３から発せられる光の光路Ｌ中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段としてのミラー切替ユニット４を備える。
【００５５】
また、本実施の形態では、顕微鏡装置１は、複数の光源のうちの少なくとも１つの光源としてのＬＥＤ光源３から発せられる光を偏向させる光偏向手段としてのミラー４ｂを備え、ミラー切替ユニット４は、ハーフミラー４ａとミラー４ｂとを、光路Ｌ中に選択的に移動させる。
【００５６】
これらの構成により、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方を用いた観察に加え、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の一方を用いた観察を行うことができ、観察性能を一層向上させることができる。
【００５７】
また、本実施の形態では、顕微鏡装置１は、観察態様に応じて複数のフィルタ５ａの少なくとも１つを光路Ｌ上に移動させるフィルタ切替手段５を備える。そのため、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の両方を用いる場合や、一方を用いる場合において自動で最適なフィルタ５ａを選択することができ、したがって、観察性能を一層向上させることができる。
【００５８】
また、本実施の形態では、複数の光源としてハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３の２種の光源を採用している。そのため、光源の欠点を互いに補うことができ、したがって、観察性能を一層向上させることができる。
【００５９】
また、本実施の形態では、ハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３から発せられる光を結合する光結合手段としてハーフミラー４ａを採用している。そのため、簡素な構成で観察性能を向上させることができる。
【００６０】
なお、本実施の形態では、光源として、主にハロゲン光源２及びＬＥＤ光源３を例に説明したが、上述の水銀キセノンや、赤外光源（例えば、ハロゲン光源２で熱線吸収フィルタを外して構成する）など他の光源を用いることも可能であり、所望の観察や検査に応じて配置するとよい。
【００６１】
また、本実施の形態では、ハロゲン光源２から発せられる光とＬＥＤ光源３から発せられる光とを結合する例に説明したが、例えばハーフミラーの数を増やして３種以上の光源から発せられる光を結合するようにしても、互いに同一の光源を用いた２以上の光源から発せられる光を結合するようにしてもよい。
【００６２】
また、ミラー保持部４ｃに複数のハーフミラー４ａを設置し、各ハーフミラー４ａのミラー面ではない側の面それぞれに適宜、ダイクロイックフィルタ、赤外カットフィルタ、紫外カットフィルタ等の波長選択フィルタ等を形成することにより、或いは、表面・裏面のいずれかに上述の各種フィルタを重ねて配置することにより、フィルタ切替手段を省略することもできる。
【符号の説明】
【００６３】
１ 顕微鏡装置
２ ハロゲン光源
３ ＬＥＤ光源
４ ミラー切替ユニット
４ａ ハーフミラー
４ｂ ミラー
４ｃ ミラー保持部
４ｄ 駆動部
５ フィルタ切替ユニット
５ａ フィルタ
５ｂ フィルタ保持部
５ｃ 駆動部
６ 制御部
７ 筐体
８ ＡＳユニット
９ ＦＳユニット
１０ ポラライザ切替ユニット
１０ａ ポラライザ
１１ キューブ切替ユニット
１１ａ 明視野キューブ
１１ｂ 暗視野キューブ
１２ ＡＦユニット
１３ アナライザ切替ユニット
１３ａ アナライザ
１４ 対物レンズ
１５ レボルバ
１６ レボルバ支持部材
１７，１８ レンズ
１９ ＤＩＣプリズム切替ユニット
１９ａ ＤＩＣプリズム
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光源と、
該複数の光源から発せられる光を結合する光結合手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記光結合手段を、前記光源から発せられる光の光路中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記複数の光源のうちの少なくとも１つの光源から発せられる光を偏向させる光偏向手段を更に備え、
前記光源切替手段は、前記光偏向手段と前記光結合手段とを、前記光源から発せられる光の光路中に選択的に移動させる、
ことを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
複数のフィルタと、
観察態様に応じて、該複数のフィルタの少なくとも１つを前記光源から発せられる光の光路上に移動させるフィルタ切替手段と、
を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記複数の光源は、２種以上の光源からなることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
前記光結合手段は、ハーフミラーであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項１】
複数の光源と、
該複数の光源から発せられる光を結合する光結合手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記光結合手段を、前記光源から発せられる光の光路中の位置とそこから退避した位置とに移動させる光源切替手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記複数の光源のうちの少なくとも１つの光源から発せられる光を偏向させる光偏向手段を更に備え、
前記光源切替手段は、前記光偏向手段と前記光結合手段とを、前記光源から発せられる光の光路中に選択的に移動させる、
ことを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
複数のフィルタと、
観察態様に応じて、該複数のフィルタの少なくとも１つを前記光源から発せられる光の光路上に移動させるフィルタ切替手段と、
を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項５】
前記複数の光源は、２種以上の光源からなることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【請求項６】
前記光結合手段は、ハーフミラーであることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の顕微鏡装置。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１０−１６４８５４（Ｐ２０１０−１６４８５４Ａ）
【公開日】平成２２年７月２９日（２０１０．７．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−８１６５（Ｐ２００９−８１６５）
【出願日】平成２１年１月１６日（２００９．１．１６）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年７月２９日（２０１０．７．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１月１６日（２００９．１．１６）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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