【課題】カメラマン以外のスタジオにいる関係者に認識できるようにする機能を提供する。
【解決手段】複数のレンズと映像表示手段とを有する撮像装置と該複数の撮像装置の映像を選択する手段と、該選択する手段の現用選択信号と予備選択信号を前記複数の撮像装置に送る手段と、前記現用選択信号を前記複数の撮像装置の前面に赤で表示する警告手段と、前記現用選択信号を前記映像表示手段の背面または撮像装置の背面に赤で表示する手段と、前記予備選択信号を前記映像表示手段の背面または撮像装置の背面に緑で表示する手段とを有する、撮像システムにおいて、前記現用選択信号がｏｆｆの場合で前記予備選択信号がｏｎ場合は緑を表示する警告手段を前記レンズまたは前記映像表示手段または前記撮像装置の前面に備える。 （もっと読む）

【課題】従来のＣＶＤ法で形成された窒化チタン膜と比較して良質な窒化チタン膜を、ＡＬＤ法で形成された窒化チタン膜と比較して速い成膜速度で、すなわち高い生産性で提供することが可能な半導体装置の製造方法及び基板処理装置を提供することにある。
【解決手段】処理室に基板を搬入する基板搬入工程と、前記処理室に第１の処理ガス及び第２の処理ガスを同時に供給して前記基板に所定の膜を形成する膜形成工程と、前記第１の処理ガス及び前記第２の処理ガスの供給を停止して前記処理室内に残留する第１の処理ガス及び第２の処理ガスを除去する除去工程と、前記除去工程の後に、前記処理室に前記第２の処理ガスを供給して前記基板に形成された膜を改質する改質工程と、前記処理室から前記基板を搬出する基板搬出工程と、を有し、前記膜形成工程では、前記処理室に前記第２の処理ガスを供給する時間が、前記処理室に前記第１の処理ガスを供給する時間より長いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】冷却水の消費量を削減する。
【解決手段】ウエハ２００を加熱して処理する処理炉２０２において、冷却水供給ポンプ２、入口コック３、圧力計４、マニホールド２０９の冷却水ライン５Ａ、シールキャップ２１９の冷却水ライン５Ｂ、シャッタ１０２の冷却水ライン５Ｃ、ジャケット２０７の冷却水ライン５Ｄ、各冷却水ライン５Ａ〜５Ｄに接続された流量調整弁６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄ、出口コック７、タンク８および流量制御部９を備えている冷却水供給装置１を設ける。冷却必要箇所としてのマニホールド２０９、シールキャップ２１９、シャッタ１０２およびジャケット２０７には各熱電対１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄを設置する。流量制御部９は各熱電対１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄの測定温度を一定に保つように冷却水の流量を各流量調整弁６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、６Ｄによって制御する。 （もっと読む）

【課題】 基板上に成膜される薄膜の面内膜厚の均一性を向上させる。
【解決手段】 イオンを発生するイオン発生部と、ターゲットを複数配列させたターゲット群を保持し、ターゲット群のうち所定のターゲットにイオンが入射するようターゲット群を回動させるターゲット保持部と、所定のターゲットにて発生したスパッタ粒子が入射されるように基板を保持する基板保持部と、スパッタ粒子の基板上への入射を規制する規制部材を複数保持し、所定のターゲットに応じた所定の規制部材を基板と所定のターゲットとの間に挿入させる規制部材保持部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス配管同士を接続するフランジ部に於いて、該フランジ部を加熱するヒータの寿命の延長を図ると共に、前記フランジ部を効率よく加熱可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を収納し処理する反応管と、該反応管内に処理ガスを供給するガス供給管、前記反応管内の雰囲気を排気するガス排気管等のガス配管を具備し、該ガス配管同士は端部に形成されたフランジ部４４ａ，４６ａを介してクランパ３によって接続され、該フランジ部に連続する直管部４４，４６にヒータ９４を設けると共に前記フランジ部にもヒータ９３，９５を設け、前記フランジ部及び前記直管部を覆う断熱材９２を設けた。 （もっと読む）

【課題】機器試験システムに適した情報の記憶および管理を行えるようにする。
【解決手段】試験システム１は、試験対象装置１８それぞれに対して、予め定められた手順に従って試験を行う複数の操作制御装置１０と、試験対象装置１８それぞれの試験に用いられる試験レシピと、その試験結果と、試験を行ったユーザなどの情報とを対応付けて記憶し、ユーザにより、試験対象装置１８およびこれに対する試験結果を検索するための検索条件が入力されると、この検索条件に適合する情報を見つけ出し、見つけ出された情報を、ネットワーク記憶装置２２などにバックアップする。 （もっと読む）

【課題】回路基板の電子回路デバイスで発生した熱をファンの対流による放熱と熱伝導による放熱で効率良く筐体外に排出することができ、筐体内の温度上昇が抑えられるようにしたテレビジョンカメラ装置を提供する。
【解決手段】放熱板２ｂ、３ｂは、板厚０．５ｍｍ程度の薄く熱伝導性の良い銅を用いる。さらに、放熱板２ｂ、３ｂと電子回路デバイス２ａ、３ａとの接触抵抗を少なくするために、電子回路デバイス２ａ、３ａの上には薄い熱伝導シート２ｃ、３ｃを取り付け、放熱板２ｂ、３ｂと回路基板３、４との間にオサエスポンジ２ｄ、３ｄを入れることにより、板厚の薄い放熱板２ｂ、３ｂのバネ性を利用し密着性を向上させるだけではなく、放熱板２ｂ、３ｂを薄くすることにより、筐体５０の底部および側面下部からの吸気口の風の流れの抵抗を低減させ放熱を促進させることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の試験対象装置に対する複数の試験を、同時並行的に効率よく行える試験システムを提供する。
【解決手段】試験対象装置１８の試験内容を定義した試験レシピが指定されると、操作制御装置１４０は、共有データ保持装置１４２を参照し、他の操作制御装置１４０が試験レシピ・バッチ処理を行っていないか否かを判断する。他の試験レシピなどが行われていないときには、指定された試験レシピなどが実行される。これ以外のときには、実行されようとする新たな試験レシピなどが、その時点で実行されている他の試験レシピとの間で、測定器１６２などの競合など、新たな試験の実行を妨げる理由を有するか否かが判断される。理由があるときには、試験レシピの例外処理が行われ、理由ないときには指定された試験レシピが実行される。 （もっと読む）

【課題】予期した明るさの画像が容易に得られるようにした撮像装置を提供すること。
【解決手段】撮像素子に設定される画像信号１フレーム当りの露光時間が任意に設定できるようにした撮像装置において、縦方向の寸法と横方向の寸法により面積が決まる方形の図形Ｇ１が表示可能な画像表示用のモニタを設け、露光時間の設定値と撮像レンズの絞り値により図形Ｇ１の縦方向の寸法が決り、画像信号のフレームレートにより図形Ｇ１の横方向の寸法が決るようにしたもの。露光量が図形Ｇ１の大きさに置き換えて表現されているので、感覚的に露光量がどの程度のものか容易に把握できる。 （もっと読む）

【課題】 基板上に成膜される薄膜の膜質を向上させる。
【解決手段】 イオンを発生するイオン発生部と、ターゲットを複数配列させたターゲット群を保持し、ターゲット群のうち所定のターゲットにイオンが入射するようターゲット群を回動させるターゲット保持部と、所定のターゲットにて発生したスパッタ粒子が入射されるように基板を保持する基板を保持する基板保持部と、ターゲット保持部に保持され、各ターゲットに対向する部位に第１開口部がそれぞれ形成されると共に、隣接する各ターゲット間を仕切る隔壁を複数有し、所定のターゲットにて発生したスパッタ粒子が他のターゲットに飛散することを抑制する飛散抑制部と、飛散抑制部と基板との間に設けられ、所定のターゲットを露出させるように第２開口部が形成されると共に、他のターゲットに対向する第１開口部を覆うように構成され、所定のターゲットにて発生したスパッタ粒子が他のターゲットに入射することを抑制する入射抑制部と、を備える。 （もっと読む）