【課題】回転棚のような移動棚の可動範囲の制限をなくし、所定のポッドをより短い距離及び時間で、移動棚の払い出し位置まで移動させることが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板が収容される基板収容器が搬入出されるロードポートと、前記基板収容器を複数収納する移動可能な容器収納棚と、基板を移載する際に基板収容器が載置される移載棚と、前記ロードポートと、前記容器収納棚と、前記移載棚との間で前記基板収容器を搬送する容器搬送装置と、前記移載棚に載置された基板収容器内の基板の移載を行う基板移載装置と、少なくとも前記容器搬送装置、前記基板移載装置の駆動を制御する制御装置とを備え、前記容器収納棚には、基板収容器が載置されることにより変位するフラグを備え、前記容器収納棚の周囲には、前記フラグを検出するための基板収容器検出センサが固定して設けられることを特徴とする基板処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】親局での通信起動から子局での音声通報までに時間がかかり、緊急地震速報などの緊急性を要する通報について、子局での音声通報が遅くなることがあるという課題を解決する。
【解決手段】音声出力可能な子局と、無線により子局と接続される親局とを備え、親局から子局へ配信情報を送信し、子局が受信した配信情報を音声で出力する無線通信システムを、親局が、第１の配信情報を作成する操作卓と、外部から第２の配信情報を受信し第３の配信情報を作成する緊急通報装置と、前記第１の配信情報に基づき第４の配信情報を作成して無線により子局へ送信し、前記第３の配信情報に基づき第５の配信情報を作成し、第４の配信情報よりも優先して第５の配信情報を無線により子局へ送信する無線送受信装置とを備え、子局が、前記第４の配信情報又は第５の配信情報を受信する子局送無線部と、該受信した情報に基づき音声信号を作成する子局制御部と、該作成した音声信号を出力するスピーカとを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】処理室の数が多くなった場合においても、メンテナンス時の作業性のよい基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置を次のように構成する。すなわち、隣り合う複数の処理室を有する基板処理装置であって、前記複数の処理室は、それぞれ下処理室と、上処理室を有し、前記複数の上処理室は、上面から見た場合における前記複数の上処理室の中心同士を結ぶ直線と垂直な方向に向けて、水平方向に回転可能なように構成される基板処理装置。これにより、複数の上処理室を同時に水平方向に回転させ、複数の下処理室、または複数の上処理室、あるいは複数の上下処理室をまとめてメンテナンスすることができる。 （もっと読む）

【課題】ＤＳＴＢＣ方式により信号を送信する送信機で、効率的に通信を行う。
【解決手段】ＤＳＴＢＣ符号器が、入力ビット系列に対応した番号及び該当する時刻より１所定時刻前の状態番号を入力値とするとともに該当する時刻の状態番号を出力値とする状態遷移テーブル（１３）と、状態遷移テーブルから出力される状態番号を入力値とするとともにシンボルインデックスを出力値とする状態−シンボルインデックステーブル（１５）と、状態−シンボルインデックステーブルから出力されるシンボルインデックスを入力値とするとともにシンボル値を出力値とするシンボルインデックス−シンボル値テーブル（１６−１〜１６−４）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】誘導コイルの外側に設けられた金属材料で構成された部材が誘導加熱されることを抑制し、基板処理中の安全性を向上させる。
【解決手段】基板１４を収容する反応管４２と、該反応管の外周を囲うように設けられた誘導加熱部５０と、該誘導加熱部の外を囲うように設けられる遮蔽部１００と、前記反応管４０内に少なくとも原料ガスを供給するガス供給部２６０，２７０，２８０と、前記誘導加熱部５０が前記反応管４０内を加熱すると共に、前記ガス供給部２６０，２７０，２８０から原料ガスを前記反応管４０内へ供給させて前記基板１４を処理する制御部１５２と、を備え、前記遮蔽部１００が、前記誘導加熱部５０の外を囲うように設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡易な構成で正確な補正が可能な倍率色収差・像歪補正装置およびそのプログラムを提供する。
【解決手段】倍率色収差・像歪補正装置１は、補正データ生成手段２と、補正データを記憶する補正データ記憶手段６と、補正データが複数入力されると共に、補正データ記憶手段６の記憶容量又は所定の評価値に基づいて補正データの記憶数を算出し、入力された補正データを記憶数以下に間引いてから補正データ記憶手段６に書き込む補正データ間引き手段３と、信号入力手段４と、レンズパラメータ入力手段５と、補正データ記憶手段６と、補正データ選定手段７と、補正量算出手段８と、収差補正手段９と、信号記憶手段１０と、信号出力手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】任意の商用交流電源電圧を制御部に入力しても、一定の１次側定格電流で商用交流変換電源トランス以降を保護する。
【課題を解決するための手段】ＡＣ１００ＶまたはＡＣ１１７ＶまたはＡＣ２３０Ｖを入力する制御部と概制御部から２次側交流電圧の供給を受ける撮像部とを備える撮像装置において、商用交流変換電源トランスと概商用交流変換電源トランスの１次側商用交流入力電圧切替部と概商用交流変換電源トランスの１次側商用交流入力のＡＣ０Ｖに直列接続した複数のサーキットブレーカとを有し、入力した商用交流電源電圧の種類に適した切替に前記商用交流変換電源トランスの１次側商用交流入力電圧切替部の切替を設定し、前記商用交流変換電源トランスの１次側に入力した前記商用交流電源電圧を印加し、前記商用交流変換電源トランスの２次側に、ＡＣ２３０Ｖを出力し、前記撮像部に供給する。 （もっと読む）

【課題】 フィードフォワード歪補償方式での全体の消費電力及び歪補償効果のバランスを任意に設定することができるフィードフォワード増幅器を提供する。
【解決手段】 フィードフォワード歪補償方式の性質を利用し、歪検出ループ１９において、可変移相器４又は可変減衰器５に対する制御電圧V_PH1，V_AT1をずらして設定（変更）した場合に、制御回路１８内の加算電圧検出部１８５からの出力電圧V_detを制御部１８１が検出して、当該出力電圧が最小となるよう可変移相器４に対応する第１の基準電圧V_Ref_PH1、可変減衰器５に対応する第２の基準電圧V_Ref_AT1を調整するフィードフォワード増幅器である。 （もっと読む）

【課題】
高速シリアルデータを伝送することが本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
撮像装置において、４並列以上の読み出しの高フレームレートＣＭＯＳ固体撮像素子と４ヶ以上のカメラリンクインターフェース回路と４ヶ以上のカメラリンクコネクタとを有し、上記４ヶ以上のカメラリンクインターフェース回路と４ヶ以上のカメラリンクコネクタとを使用して上記固体撮像素子の画像データを４並列以上のカメラリンクシリアルデータとして高フレームレートで出力する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス後のＱＣチェックが完了していない処理室内に、生産用のウエハが搬送されるのを回避し、ＱＣチェック用のウエハのみが搬送されるようにし、ＱＣチェック終了後から生産用のウエハが処理できるようにする。
【解決手段】指定された処理室内への生産用の基板の搬送を禁止しつつ品質管理用の基板を搬送し、指定された処理室以外の処理室へ生産用の基板を搬送する。 （もっと読む）