【課題】有機金属気相成長法を用いた化合物半導体の製造において、被形成体を保持するのに用いられる治具の耐久性を向上させる。
【解決手段】有機金属気相成長法を用いてＩＩＩ族窒化物半導体の層を化合物半導体基板の被形成面に形成するＭＯＣＶＤ装置において、化合物半導体基板を保持する基板保持体３０を、ＳｉＣで形成された本体部３１と、Ｓｉ₃Ｎ₄で形成され、本体部の外周面の少なくとも一部を覆うように設けられる被覆部３２とで構成し、被形成面が外側を向くように化合物半導体基板を凹部３０ｂに取り付け、基板保持体３０をＭＯＣＶＤ装置の反応容器内に回転可能に取り付け、反応容器内にＩＩＩ族窒化物半導体の原料ガスを供給してＩＩＩ族窒化物半導体の層を形成する。 （もっと読む）

【課題】本件は、ＲＦ−ＣＶＤ法により基板表面に成膜を行なう成膜方法に関し、基板の特性劣化を防ぎつつ成膜の生産効率を高める。
【解決手段】チャンバ内に基板を搬入しチャンバ内に成膜ガスを導入してさらにＲＦ放電による成膜ガスのプラズマを発生させることにより基板表面に成膜し成膜後の基板をチャンバ内から搬出する成膜工程と、基板搬出後のチャンバ内にクリーニングガスを導入しＲＦ放電によるクリーニングガスのプラズマを発生させることによりチャンバ内をクリーニングするクリーニング工程とを有し、このクリーニング工程がさらに、チャンバ内のクリーニングの終了後に、チャンバ内に、クリーニングガスとの反応によりそのクリーニングガスに起因する基板の特性低下を防止するための無害化ガスを導入しＲＦ放電によるクリーニングガスと無害化ガスとの混合ガスのプラズマを発生させてクリーニングガスと無害化ガスを反応させる無害化工程を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークをワークケースに収納する際に、ワーク同士の接触を生じにくくし、ワークの損傷を抑制すると共に、ワークをワークケースに収納しやすい円盤状基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】製造工程にてワーク１０を間隔をあけて複数枚、収納配置できるようにワーク１０の保持ガイド１０６が複数形成されたワークケース１００の開口部１０８に、ワーク１０の挿入ガイド１０６が複数形成された収納用治具２００を取り付け、収納用治具２００を頼りに手作業にてワーク１０をワークケース１００に収納し、収納後に収納用治具２００を取り外し、ワークケース１００を用いてワーク１０を移動させてワーク１０を製造する円盤状基板の製造方法であって、収納用治具２００の挿入ガイドは、両端部から中央部に向けて開口幅が大きくなる孔部２０２であり、ワーク１０のエッジ部が挿入ガイドによりガイドされ、保持ガイド１０６に配置されるようになしたことを特徴とする円盤状基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シールド板、成膜装置及び磁気記録媒体の製造方法において、交換後のシールド板に対する脱ガス処理に要する時間を短縮可能とすることを目的とする。
【解決手段】成膜装置内に交換可能に取り付けられると共に、成膜装置内で飛散する成膜材料が堆積される堆積面を有するシールド板を、一対の相対向する表面のうちの一方が堆積面を形成する板状部材と、板状部材に一体的に設けられたヒータと、ヒータと電気的に接続された端子を備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体及び記憶装置において、記録密度を更に向上することを目的とする。
【解決手段】非磁性グラニュラ層と、前記非磁性グラニュラ層上に設けられた記録層を備え、前記記録層は、前記非磁性グラニュラ層上に設けられた第一グラニュラ磁性層と、前記第一グラニュラ磁性層上に設けられた第二グラニュラ磁性層を有し、前記非磁性グラニュラ層の金属粒子を磁気的に分離する非磁性材料が、前記第一グラニュラ磁性層の磁性粒子を磁気的に分離する非磁性材料とは異なるようにする。 （もっと読む）

【課題】円盤状基板の研磨に用いられるブラシの寿命を延ばす。
【解決手段】ブラシ２４は、毛先が螺旋状に配列されたブラシ部６１と、このブラシ部６１の両端部に連続して形成され、一端と他端とを形成する軸６２とを備えている。例えば、複数本のワイヤの間に、ブラシの毛７０（材質：例えばナイロン（デュポン社の商品名）などの樹脂材料）を挟み込み、この毛７０が挟み込まれたワイヤをねじることで、ブラシ部６１を形成している。ブラシ部６１におけるブラシの毛７０は、上記ワイヤにより支持される柱状の基部７１と、先端に設けられ且つ基部７１よりも径の大きい径大部７２とを備えている。ここで径大部７２は、略球状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本件は、記憶媒体を洗浄する記憶媒体洗浄装置および記憶媒体洗浄方法に関し、記憶媒体周面から粒子を剥がし、その剥がした粒子が記憶媒体表面に再付着するのを防止する。
【解決手段】流水状態の洗浄液中に、その洗浄液の流れ方向に周面を向けて浸漬されたディスク状の記憶媒体３０の周面３２に接して記憶媒体を支持しながら回転する複数の洗浄コマ６０と、洗浄液中に浸漬されて洗浄コマに支持された状態の記憶媒体に洗浄液を介して超音波を作用させる超音波発振器４１とを備え、複数の洗浄コマのうちの少なくとも１つの洗浄コマが、通電により磁力を発生させて記憶媒体の周面から離れた磁性粒子を吸着する電磁石を有する。 （もっと読む）

【課題】本件は、基板上に磁性体記録層が形成された記録媒体等に関し、パターン化された記録層の上に平坦化された保護膜を形成する。
【解決手段】基板上に磁性体の記録層を形成する記録層形成工程（ａ）と、記録層をエッチングして所定パターンに分離された記録層を形成するエッチング工程（ｂ）〜（ｅ）と、エッチング工程において形成された所定パターンに分離された記録層２０３どうしの間を非磁性体で埋めるとともにさらに記録層の上を含めて非磁性体からなる分離層２０５を形成する分離層形成工程（ｆ）と、分離層上面を、記録層上面に分離層を残しつつ平坦化除去する平坦化除去工程（ｇ）と、平坦化除去工程を経た後の分離層上に保護膜２０６を形成する保護膜形成工程（ｈ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の塗布工程とインプリント工程の両立という技術的困難性を緩和し、且つ低粘度で流動性の高い塗布液を用いても幅方向の広がりを防止する。
【解決手段】微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、インプリント用の転写フィルムの製造方法であって、基材フィルム２の一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層１１を形成し、カバーフィルム６を貼合した後、パターン露光を施し、硬化性樹脂硬化部１２を設けることで幅方向のみならず加工流れ方向の塗膜流動も抑制することができ、より高い塗膜厚みの均一性を確保した状態でロール体に巻き取ってインプリント用の転写フィルム１０を製造する。更には、枚葉で供給されるインプリント用の転写フィルムの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】熱交換コア部を通過してきた空気の温度である吐気温のばらつきを防止しうるエバポレータを提供する。
【解決手段】エバポレータ１の冷媒出口ヘッダ部６内を、仕切部材23によって、冷媒入口および冷媒出口８側に位置する第１空間24と、これと反対側に位置する第２空間25とに区画する。冷媒入口ヘッダ部内と冷媒出口ヘッダ部６の第２空間25内とを通じさせる。冷媒出口ヘッダ部６および第２中間ヘッダ部11に接続された熱交換管14を、冷媒出口ヘッダ部６の第１空間24および第２中間ヘッダ部11に通じる第１熱交換管群28と、冷媒出口ヘッダ部６の第２空間25および第２中間ヘッダ部11に通じる第２熱交換管群29とに分ける。冷媒入口ヘッダ部内に流入した冷媒の一部を、冷媒出口ヘッダ部６の第２空間25および第２熱交換管群29の熱交換管14を通して第２中間ヘッダ部11内に流す。 （もっと読む）