【課題】クラックの発生を制御し、優れた割断特性を実現するレーザダイシング方法を提供する。
【解決手段】クロック信号Ｓ１に同期したパルスレーザビームＰＬ４を出射し、ステージ２０をクロック信号Ｓ１に同期させて移動することにより、被加工基板ＷとパルスレーザビームＰＬ４とを相対的に移動させ、被加工基板ＷへのパルスレーザビームＰＬ４の照射と非照射を、クロック信号Ｓ１に同期して、パルスレーザビームＰＬ４の通過と遮断を制御することで、光パルス単位で切り替え、被加工基板Ｗに基板表面に達するクラックを形成するレーザダイシング方法であって、被加工基板Ｗの位置とパルスピッカー１４の動作開始位置が同期し、パルスレーザビームＰＬ４の照射エネルギー、加工点深さ、および、照射非照射の間隔を制御することにより、クラックが被加工基板表面において略直線的に連続するよう形成する。 （もっと読む）

【課題】転写の際に、被成形品に気泡が発生することを防止することができ、転写のための押圧力を小さくすることができ、被成形品と型との型離れがよい転写装置を提供する。
【解決手段】ベース部材の上方に位置するビームの下部の平面に、基板を保持可能な門型フレームと、ベース部材のＹ軸方向に移動自在な第１の移動部材と、第１の移動部材のＸ軸方向に移動自在な第２の移動部材と、第２の移動部材のＺ軸方向に移動自在な第３の移動部材と、第１の移動部材を移動させる第１の駆動手段と、第３の移動部材を移動させる第２の駆動手段と、凸面の内側の揺動中心軸を第３の移動部材に揺動自在に支持された型保持体と、揺動中心軸を中心にして型保持体を一方向に付勢する付勢手段と、型保持体を前記一方向とは逆に揺動させるアクチュエータと、型保持体に保持された型の転写パターンが形成された面に、薄膜状の被成形層を設ける被成形層設置手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】パルスレーザビームの照射条件を最適化することでクラックの発生を制御し、優れた割断特性を実現するレーザダイシング方法を提供する。
【解決手段】被加工基板をステージに載置し、クロック信号を発生し、クロック信号に同期したパルスレーザビームを出射し、被加工基板とパルスレーザビームとを相対的に移動させ、被加工基板へのパルスレーザビームの照射と非照射を、クロック信号に同期して、パルスピッカーを用いてパルスレーザビームの通過と遮断を制御することで、光パルス単位で切り替え、被加工基板に基板表面に達するクラックを形成するレーザダイシング方法であって、パルスレーザビームの照射エネルギー、パルスレーザビームの加工点深さ、および、パルスレーザビームの照射非照射の間隔を制御することにより、クラックが被加工基板表面において連続するよう形成することを特徴とするレーザダイシング方法。 （もっと読む）

【課題】転写の際に、被成形品に気泡が発生することを防止することができ、転写のための押圧力を小さくすることができ、さらに、被成形品と型との型離れがよい転写装置を提供する。
【解決手段】基板テーブル１０３と、基板テーブル１０３に対して相対的に移動自在な型保持体１０５と、型保持体１０５をＹ軸方向で基板テーブル１０３に対して相対的に移動位置決めするための駆動手段と、型保持体１０５をＺ軸方向で基板テーブル１０３に対し接近・離反する方向で相対的に移動位置決めするための駆動手段と、型保持体１０５に保持されている型５５の転写パターンが形成されている面に、薄膜状の被成形層１６を設ける被成形層設置手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】レイズアレイの作成に用いられる金型を高精度かつ高効率で加工できるレンズアレイ金型の加工方法および加工装置を提供する。
【解決手段】加工機Ａと制御装置Ｃとを備える。加工機Ａは、Ｘテーブル１１をベッド１に対してＸ軸方向へ移動させるＸ軸移動機構１３Ｘと、Ｘテーブルの上に設けられた回転テーブル２１をＢ軸を中心に回転させる回転機構２３と、先端に加工工具Ｔを有する工具スピンドル６０をＺ，Ｙ軸方向へ移動させるＺ軸移動機構３３ＺおよびＹ軸移動機構４３Ｙを含んで構成され、制御装置は、回転テーブルの回転中心を加工基準として、回転機構およびＸ軸移動機構を制御するとともに、Ｚ軸移動機構およびＹ軸移動機構を制御して、ワークにレンズ形状を加工する。 （もっと読む）

【課題】可動子を曲線状にも移動させるリニアモータにおける、制御可能性を判断する。
【課題手段】可動子の位置、および、移動の向きを示す位相差のある第１および第２の信号を出力する位置検出センサの読みを用いて、（１）第１の信号の２乗と第２の信号の２乗との和を算出し、（２）２乗和が所定の値以上にあるとき、リニアモータが制御可能であると判断して、リニアモータの制御を行う。 （もっと読む）

【課題】クイルを送るＺ軸送り機構と、主軸を送るＷ軸送り機構が主軸頭に単独で組み付けられた簡易な構造の工作機械であっても、クイルに回転面板を取り付けるだけで、加工物にテーパー穴加工や曲面穴加工などを行えるようにする。
【解決手段】クイルを送るＺ軸の移動量をｚ、中ぐり軸を移動させてスライダを半径方向に送るＷ軸の移動量をｗとして、回転面板を用いた穴加工での軸移動の指令コードを記述したブロックを含む加工プログラムを数値制御装置に入力し、数値制御装置内部で軸移動の指令コードを含むブロックを解析するときに、Ｚ軸の移動量をｚ＝ｚ、Ｗ軸の移動量をｗ＝（ｚ＋ｗ）に変換して解析し、変換後のＺ軸移動量ｚ、Ｗ軸移動量（ｚ＋ｗ）に基づいてＺ軸、Ｗ軸のそれぞれの実際の移動量指令値を演算し、移動量の指令をそれぞれＺ軸サーボ制御部、Ｗ軸サーボ制御部に出力する。 （もっと読む）

【課題】微細な転写パターンが外周に形成されている転写ロールに付着している不要物を除去するときに、前記転写ロールの微細な転写パターンに傷がつくことを防止する。
【解決手段】外周に微細な転写パターン１１が形成されている転写ロール９を、粘着剤４３を用いて掃除するように構成されている転写ロール清掃装置５である。 （もっと読む）

【課題】テレセントリック光学系顕微鏡システムを用いながらも、観察対象物に対する焦点合わせを容易に実施できるような観察点焦点合わせ支援機能付きの工作機械を提供すること。
【解決手段】落射照明用の光源と光路とが設けられたテレセントリック光学系顕微鏡システムと、前記テレセントリック光学系顕微鏡システムの画像を撮影するＣＣＤカメラと、前記落射照明用の光路に対して斜め方向から第１スポット光を投影させる第１スポット光源と、前記落射照明用の光路に対して斜め方向から第２スポット光を投影させる第２スポット光源と、を備える。第１スポット光も第２スポット光も、テレセントリック光学系顕微鏡システムの焦点レベルにおいて、テレセントリック光学系顕微鏡システムの画像内に入るようになっている。第１スポット光と第２スポット光とは、テレセントリック光学系顕微鏡システムの焦点レベルにおいて、互いに交差するようになっている。 （もっと読む）

【課題】金型交換時に次に取付ける金型に適した位置に支持盤を移動させることが可能な型締装置を提供する。
【解決手段】型締装置１３は、固定盤３０と、可動盤３１と、支持盤として機能するリンクハウジング３２と、トグル式開閉機構３３と、被検出部材６０と、センサ７０などを備えている。トグル式開閉機構３３によって可動盤３１が型締方向あるいは型開方向に移動する際、センサ７０が被検出部材６０の第１端６１あるいは第２端６２に反応することにより、オンまたはオフの信号が出力される。制御部は、固定盤３０からセンサ７０までの距離Ｌｓと、前記信号が出力されたときの可動盤３１の位置Ｌａとに基いて、取外された第１の金型の厚さＬ１を算出する。次に取付ける第２の金型の厚さＬ２が制御部に入力されると、第１の金型の厚さＬ１と第２の金型の厚さＬ２との差に基いて、可動盤３１の移動目標距離が算出される。 （もっと読む）