【課題】 レジスト溶剤への溶解性に優れ、ベーク温度依存性が少なく、また現像後のパターンのラインエッジラフネスを低減する。
【解決手段】 式（１）と、式（２）と、式（３）および／または式（４）とを含有することを特徴とする。【化１】 Ｒ、Ｒ’、Ｒ’’、およびＲ’’’は水素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基を、Ｒ^１は、水素原子、炭素数１〜４の直鎖状あるいは分岐状のアルキル基、アルコキシ基、または、炭素数１〜４の直鎖状あるいは分岐状のフッ素化アルキル基を、Ｘは炭素数７〜２０の炭素原子および水素原子のみからなる多環型脂環式炭化水素基を、Ｒ^２およびＲ^３は相互に独立に炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基を、Ｒ^４は炭素数４〜２０の脂環式炭化水素基を、Ｒ^５は炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基を、Ｒ^６およびＲ^７は水素原子、または炭素数１〜４の直鎖状または分岐状のアルキル基をそれぞれ表す。 （もっと読む）

本発明は、リビングフリーラジカル重合技法によるフォトレジストポリマーの調製に関する。立体的にかさ高いエステルモノマーは、重合成分として利用される。連鎖移動剤の使用は重合処理条件に含まれる。ヘテロ原子を含むポリマー末端基の開裂について述べる。本発明のフォトレジスト組成物は、光酸発生剤と、式［Ａ］_ｘ［Ｂ］_ｙ［Ｃ］_ｚ（式中、Ａ、ＢおよびＣはそれぞれ個別に以下の構造の１つであり、式中、Ｂ≠Ｃという条件で、ｘは両方の数値を含めて約０〜約２００であり、ｙは両方の数値を含めて約１〜約２００、ｚは両方の数値を含めて約１〜約２００である）を含むポリマー樹脂を含む。
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本発明はリビングフリーラジカル重合技術によるフォトレジストポリマーの調製に関する。立体的にかさばるエステルモノマーが重合成分として用いられる。連鎖移動剤の使用が重合処理条件に含められる。ヘテロ原子を含むポリマー末端基の開裂が記される。本発明は、エッチングおよび／または他の露光後処理工程に耐えるのに十分な厚さでもありながらレジストの底部に光が透過するのを許容するように十分に薄い単層または多層薄レジストを製造するための物質および方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】特定の複屈折特性をもつ複屈折板や、任意の偏光特性を与えうる波長板を使用し、必要に応じてＩＲカット機能を有する複屈折板や波長板を使用することで、工業的に安価で特性が良好な光学ローパスフィルタを提供する。
を提供する。
【解決手段】複屈折板および波長板を含む部品からなる光学ローパスフィルタにおいて、上記の複屈折板、波長板が環状オレフィン系樹脂を含む材料からなり、かつ必要に応じて、複屈折板または波長板の少なくともいずれか一つがＩＲカット機能を有する光学ローパスフィルタ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性率の低いポリイミド系複合物膜で微細配線を被覆することにより、電気絶縁性や高周波特性などの電気特性に優れ、軽量でしなやかさを有する印刷配線板、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の印刷配線板は、樹脂フィルム基体の上に設けられた金属層からなる微細配線の少なくとも一部または全部がポリイミド系複合物膜で被覆されてなり、該ポリイミド系複合物膜が、（Ａ）ポリイミド成分と、（Ｂ）その他のポリマー成分とから形成され、かつ、該複合物膜の弾性率が１０ＧＰａ未満であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 材料の屈折率変化を簡易な方法で行うとともに、その変化した屈折率差が十分大きな値となり、しかもその後の使用条件によらずに安定な屈折率パターンおよび光学材料を与える組成物ならびにそれを形成するための方法を提供すること。
【解決手段】 （Ａ）分解性化合物、（Ｂ）テトラブトキシチタン、テトラメトキシジルコニウム、テトラメトキシゲルマニウム、テトラメトキシシランの如きアルコキシドあるいはテトラクロロシランの如きハロゲン化合物の加水分解生成物および（Ｃ）感放射線分解剤を含有する感放射線性組成物。 （もっと読む）

【課題】 放射線に対する透明性が高く、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等に優れ、露光後の加熱時の温度依存性が小さい感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）（メタ）アクリル酸５−ｔ−ブトキシカルボニルノルボルニル、（メタ）アクリル酸８−ｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロドデカン等で代表される酸解離性基含有脂環族構造を有する（メタ）アクリル酸エステル類と、下記式（１）の化合物等で代表されるラクトン基含有複素環構造を有する（メタ）アクリル酸エステル類との共重合体からなる樹脂、および（Ｂ）１−（３，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）テトラヒドロチオフェニウムパーフルオロ−ｎ−オクタンスルホネート、１−（４−ｎ−ブトキシ−１−ナフチル）テトラヒドロチオフェニウムノナフルオロ−ｎ−ブタンスルホネート等で代表される感放射線性酸発生剤を含有する。
【化１】 （もっと読む）

【解決手段】 本発明に係る熱伝導性シートは、バインダー、磁性体および炭素繊維を含有する熱伝導性シートであって、前記バインダー中に、前記磁性体および前記炭素繊維が前記熱伝導性シートの厚み方向に配向していることを特徴とする。また、本発明に係る放熱構造は、高熱部と、放熱部とが、前記熱伝導性シートを介して接合されていることを特徴とする。また、本発明に係る放熱構造は、高熱部の表面に、前記熱伝導性シートが存在していることを特徴とする。
【効果】 本発明に係る熱伝導性シートは、各種の電気機器、電子機器、発電機器等に求められる放熱、熱伝導に係る要求を満たす。 （もっと読む）

【課題】 残留位相差が小さくて優れた光学特性を有する透明樹脂シートおよびその製造方法、このシートを有する透明積層シートおよびその製造方法並びにこの透明積層シートよりなる液晶表示素子用シートを提供すること。
【解決手段】 本発明のシートは、環状オレフィン系熱可塑性樹脂よりなり、少なくとも一面に表面粗さが０．０１μｍ以下の平滑面が形成され、厚みが０．０５〜３ｍｍで、残留位相差が２０ｎｍ以下である。このシートは、押出機に取り付けられたＴダイから溶融状態の環状オレフィン系熱可塑性樹脂を垂直方向に押し出し、この環状オレフィン系熱可塑性樹脂を、金属製の冷却用ロールと金属製の冷却用ベルトとによって挟圧することにより、冷却用ロールまたは冷却用ベルトに圧着させ、環状オレフィン系熱可塑性樹脂のガラス転移温度以下の温度で環状オレフィン系熱可塑性樹脂を冷却用ロールまたは冷却用ベルトから剥離して得られる。 （もっと読む）

【課題】 優れたスラリー保持性を有し、しかも、高い硬度を有する研磨パッドを得ることのできる重合体組成物を提供すること。研磨速度が高く、しかも、被処理物に対して、平坦性の高い表面を形成することができる研磨パッドを提供すること。
【解決手段】 本発明の重合体組成物は、ショアーＤ硬度が３５以上である非水溶性の熱可塑性重合体中に、５〜６０体積％の水溶性物質が分散されてなり、当該水溶性物質の平均粒径が０．１〜５００μｍであることを特徴とする。本発明の研磨パッドは、上記の重合体組成物よりなることを特徴とする。 （もっと読む）