【課題】静電気のスパークにより半導体ウエハ等の被着体の要部が損傷することを防止できるようにすること。
【解決手段】支持装置１０は、半導体ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを含む一体物ＷＲを支持する第１及び第２支持面１５、１６を有する支持テーブル１１と、半導体ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに帯電した静電気を除去可能な除電手段１２とを備えて構成されている。除電手段１２は、支持テーブル１１に支持された一体物ＷＲに接触する受電部材２３Ａ、２４Ａと、一体物ＷＲにおける第１及び第２支持面１５、１６からに対する接近又は離間動作に追従して受電部材２３Ａ、２４Ａを所定量移動可能な巻きばね２３、２４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】支持する半導体ウエハＷＦ等の板状部材に凹凸が生じたり、支持不良になることを防止できるようにすること。
【解決手段】支持装置１０は、吸引孔２０が設けられた吸引面１１を備えて半導体ウエハＷＦを支持可能な支持テーブル１２と、吸引面１１と半導体ウエハＷＦとの間に配置されるとともに、面内に貫通孔１３Ａを有する多孔板１３とを備えて構成されている。支持テーブル１２は、多孔板１３を吸引面１１側に接着するために形成される内側第１凹溝１７及び外側第１凹溝１８を備えている。各第１凹溝１７、１８は、接着剤ＡＤを貯留する貯留部３１と、この貯留部３１から溢れ出た接着剤ＡＤを受容可能な受け部３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】接着剤の消費を抑制できるシート製造装置を提供すること。
【解決手段】シート製造装置は、基材シートＢＳを繰り出す繰出手段１０と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を積層する第１積層手段２０Ａと、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を囲むように第２接着剤層ＡＤ２を積層する第２積層手段２０Ｂとを備え、第１積層手段２０Ａおよび第２積層手段２０Ｂのうちの少なくとも一方は、所定の版２２Ａ，２２Ｂを有する印刷手段２１Ａ，２１Ｂを備え、版２２Ａ，２２Ｂにより接着剤を所定形状に印刷することで各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２を積層する。 （もっと読む）

【課題】高いパワーファクターを実現することが可能な熱電変換素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】その表面にＦＤＴＳ被膜６が形成されたガラス基板２の上層に、真空蒸着法によって膜厚が６ｎｍのペンタセン薄膜３を成膜し、ペンタセン薄膜３の更に上層に真空蒸着法によって膜厚が２ｎｍのＦ_４−ＴＣＮＱ薄膜４を成膜する。更に、Ｆ_４−ＴＣＮＱ薄膜４の上層には取り出し電極として膜厚が５０ｎｍのＡｕ電極５を形成する。 （もっと読む）

【課題】被着体を確実に保持できる接着シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に設けられた第１接着剤層ＡＤ１と、基材シートの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を囲むように設けられた第２接着剤層ＡＤ２とを備え、第２接着剤層ＡＤ２は、第１接着剤層ＡＤ１よりも脆性が低い接着剤層からなる。シート製造方法は、基材シートＢＳを繰り出す工程と、繰り出された基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を積層する工程と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を囲むように第２接着剤層ＡＤ２を積層する工程とを備え、第１接着剤層ＡＤ１および第２接着剤層ＡＤ２のうちの少なくとも一方は、所定の版により接着剤を所定形状に印刷することで積層される。 （もっと読む）

【課題】接着シートに傷を付けたりすることがないとともに、接着シートの表面に凹凸が表出するようなことがないように接着シートを被着体に貼付すること。
【解決手段】接着シートＡＳを支持する第１支持手段１１と、接着シートに相対する位置で被着体ＷＫを支持する第２支持手段１６と、これらを収容して減圧室ＣＨ１を形成する減圧室形成手段１２と、減圧室ＣＨ１を減圧する減圧手段１３と、接着シートＡＳを被着体Ｗに貼付する押圧手段１４とを含む。この押圧手段１４は、被着体又は接着シートとの間に減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室ＣＨ２を形成する外縁押圧手段５０Ａを含み、圧力調整室ＣＨ２を減圧室ＣＨ１に対して相対的に高圧状態とすることで接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ロールに巻き付けられたフィルム部材の皺や積層部材同士の剥離等の発生を防止できるロールプロテクタ、ロール保持体およびロールの保管方法を提供すること。
【解決手段】本発明のロールプロテクタ１は、フィルム部材４２が芯材４１に巻き付けられているロール４０の一端面側に当接して装着される第一基板１０と、ロール４０の他端面側に当接して装着される第二基板２０と、第一基板１０および第二基板２０を連結するとともに、第一基板１０および第二基板２０がロール４０に装着されている際に第一基板１０および第二基板２０からロール４０の幅方向内側へ向かって加わる力に抗する支持部３０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実際の挙動に近いシミュレーションが可能な巻き取りロールの非定常熱伝導解析プログラムの提供。
【解決手段】巻き取りロール４内に巻き込まれた空気の影響を考慮した非定常熱伝導解析プログラムは、コンピュータに巻き取りロールの半径方向に対するウェブ１と空気層Airを合成した等価層について熱伝導率、密度、比熱の算出手順と、算出された等価層の熱伝導率、密度、比熱を非定常熱伝導の基礎方程式（１）に用い、巻き取りロール内の温度変化量の算出手順を実行する。
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【課題】基材をなす延伸樹脂フィルムの延伸方向に基づいて異方性を有する特性が制御された粘着シートを製造する手段を提供する。
【解決手段】 粘着シートの基材の原料となる長尺の延伸樹脂フィルムについて、含有される高分子の配向軸の分布が特定されたものを用意し、この長尺の延伸樹脂フィルムを備える長尺のフィルムから矩形の粘着シートの形状に対応した矩形の部材を切り出すにあたり、延伸樹脂フィルムにおける矩形の基材として切り出される矩形の領域の長軸に沿った方向である矩形長軸方向とこの矩形の領域に含有される高分子の配向軸の方向とがなす角度であるシート内高分子配向角度が所定の角度範囲となるように、長尺の延伸樹脂フィルムの長手方向と矩形長軸方向とがなす角度を調整する。 （もっと読む）

【課題】所定時間あたりの処理能力を向上できる接着シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に設けられた第１接着剤層ＡＤ１と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を囲むように設けられた第２接着剤層ＡＤ２とを備え、第１接着剤層ＡＤ１は、複数の被着体ＣＰの被着面ＣＰ１の形状に対応した形状に形成され、当該複数の被着体ＣＰを接着可能に設けられている。 （もっと読む）