【課題】 調整角度が大きい場合であっても、簡単に調整することが出来る多光軸光電センサの取付構造・取付方法並びにそれに使用される取付具を提供することを目的とする。
【解決手段】 取付具２０は本体ケース１４の端部のキャップ部材１７Ａ、１７Ｂに装着される第１金具３０、作業台Ｓに装着される第２金具５０、両金具間３０、５０に介在される中間金具４０とからなるとともに、第１金具３０と中間金具４０との間には両金具３０、４０の相対位置を軸線Ｌ回りに段階的に変更が可能な位置決め手段（凹部３３と凸部４３とからなる）が設けられている。一方、中間金具４０と第２金具５０との間には無段階での調整が可能な調整手段（ガイド孔４６とねじ６３とからなる）が設けられている。そのため、両本体ケース（投光・受光器）１４を対向させるには段階的な調整が可能な位置決め手段によって本体ケース１４の向きを粗調整をした後、無段階の調整手段によって微調整を行えばよく、調整作業が容易に出来る。 （もっと読む）

【課題】 誤動作等を生じず、部品点数を削減可能な信号制御装置及び検出センサ並びに多光軸光電センサを提供する。
【解決手段】 センサコントローラ５０の信号入力装置５０Ａは、ＰＮＰ対応入力回路及びＮＰＮ対応入力回路のうちのいずれか一方をスライドスイッチ７０で選択することにより、電圧レベルからなる選択情報をシールド線３７を介して多光軸光電センサ本体１０の信号出力回路４０に出力するとともに、信号出力回路４０は、選択情報がＰＮＰ対応入力回路の電圧レベルであるときは、ＰＮＰ出力回路の出力信号のみを有効化する一方で、選択情報がＮＰＮ対応入力回路の電圧レベルであるときは、ＮＰＮ出力回路の出力信号のみを有効化する。 （もっと読む）

【課題】 種々の検出条件に対応可能な板状部材検出装置及び多光軸光電センサを提供する。
【解決手段】 各センサユニット１０を各ブラケット２０のＬ字部材２０ａに固定しておく。そして、Ｌ字部材２０ａの取付部分２４と、予め取付部材３０のガイド溝３１内に挿入しておいたナット部材２０ｂとをネジ２６によって仮螺合させる。そして、この状態で、検出対象の複数の半導体ウエハＷの離間間隔に対応した間隔の位置で、ネジ２６を締め付けて各センサユニット１０のブラケット２０を本螺合させる。 （もっと読む）

【課題】 印字速度に拘わらず良好なマーキング品質を維持することが出来るマーキング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レーザマーキング装置は座標データ生成手段１２０、制御手段１３０、Ｄ／Ａ変換手段２３０、サーボ回路２４０を主体として構成される。座標データ生成手段１２０を構成するＣＰＵでは、コンソール１１０から文字等の入力がなされると、その文字に対応するフォントデータ（ベクトルデータ）を読み出し、これを複数の点からなる座標データに変換する。この時、ＣＰＵはＤ／Ａ変換手段２３０の変換周期Ｔｏと各点の印字時間が等しくなるように座標データの座標間隔を設定する。その後、座標データはＤ／Ａ変換手段２３０に出力されてアナログ信号に変換される。ところで、上記のように座標間隔を設定すれば、低速印字の際には座標間隔が短くなるので、同一点にレーザ光が必要以上に照射される事態が回避され、良好なマーキング品質が維持される。 （もっと読む）

【課題】 外乱光による誤検出を生じず、光透過部材に付着した汚れを検出可能な投光装置及び光電スイッチ並びにレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光源２２からの光を遮らないように配設される静電容量式の検出部４５により、光透過部材３５の本体ケース１１外部側に付着する汚れを検出し、この検出信号を予め記憶された所定の閾値と比較することにより異常状態かどうかを制御部２９にて判別し、異常状態と判別したときは異常信号をレーザ発振制御手段２３に出力してレーザ光Ｌの出射を停止させる。 （もっと読む）

【課題】 搬送ラインからの飛び出しを最小限に押さえた上で、ワークの側面・上面の双方に印字等を行うことが可能なレーザ加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レーザ加工装置は内部にレーザ光源１４を有するレーザ光源ユニット１０と、内部にガルバノミラー装置２４等を有する走査ユニット２０と、両ユニット１０、２０間を相対回動可能に連結する連結筒３１を主体として構成されている。そして、連結筒３１はその中心軸がレーザ光源ユニット１０のケーシング１１の長手方向とは直交するような配置とされている。そのため、レーザ光をレーザ光源ユニット１０の長手方向並びにこれと直交する方向のいずれの方向へも照射出来るから、ワークＷの上面或いは側面のいずれの面に印字等する場合であっても搬送ラインＬに対して幅方向の飛び出しなく同レーザ加工装置を設置することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 被測定対象物に対してレーザ光が所望とする位置に照射されているか、否かの確認機能を備え、かつ構造が簡便な光学測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学測定装置はレーザ光源２２、撮像部２９、集光部３５、ＣＰＵ３５、モニタ５５を主体として構成されるととももに、被測定対象物Ｗの角度を算出する測定モードと、レーザ光の照射位置調整を行うための照射位置調整モードが設定されている。集光部２５は被測定対象物Ｗで正反射した正反射光の光路内に定置される収束レンズ２６と、同光路内に出入り可能とされた可動レンズ２７とからなる。そして、照射位置調整モードが選択されたときには、可動レンズ２７が光路内に進入する。これにより、正反射光は撮像部２９の前方で焦点を結び、撮像面２９Ａには所定の大きさの光像が形成され、これがモニタ５５に表示される。従って、モニタ５５の画面を参照することでレーザ光が所望とする位置に照射されているか、否かを知ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】 光透過性を有する被検出物をより確実に検出することが可能な光電センサ及びウエハ検出装置を提供する。
【解決手段】 非検出状態では、順次取り込まれる受光量レベルに対して余裕度が大きい第１閾値Ｔｈ１との比較を行い、この第１閾値Ｔｈ１を下回ったことをトリガーとして、本来の第２閾値Ｔｈ２との比較に基づくウエハＷの検出の判定を行う構成とした。また、第１閾値Ｔｈ１及び第２閾値Ｔｈ２は、直前に取り込まれた２５５個或いは２３５の受光量レベルの平均値に基づき設定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 光学ユニットと本体ケースとの固定作業を容易化することができる多光軸光電センサ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学ユニット５に形成されているガイド片５６を筒状本体１０のガイド溝１７に滑りこませることで、当該光学ユニット５を筒状本体１０内に収容する。光学ユニット５を筒状本体１０内に収容したら、光学ユニット５の前端面５３Ａに固定具６を押しつける。この押し付け操作により、固定具６の板部材６１がレンズ保持部５４の間の隙間５５に嵌り込むとともに、弾性ロック片６４が凸条１４に押しつけられてその自由端６４Ｂが移動位置Ｍにまで移動し、ガイド溝１７内に入り込む。弾性ロック片６４がガイド溝１７内に入り込むと、自由端６４Ｂが移動位置Ｍから基準位置Ｒに復帰して、その上面が凸条１４の側面に当接する。これによって、ガイド片５６が撓み変形し、その復帰力により光学ユニット５が筒状本体１０に対して移動不能に固定される。 （もっと読む）

【課題】 装置の大型化を防止しつつ、光ピックアップレンズの位置測定等の可能な光学測定装置及び光ピックアップレンズ調整装置を提供する。
【解決手段】 レーザ光源２２からの平行光がレンズＷ上に照射されることにより正反射した光を、ビームスプリッタ２４により角度測定用正反射光Ｌ１と位置測定用正反射光Ｌ２とに分岐させ、角度測定用正反射光Ｌ１を収束レンズ２５により収束して角度測定用撮像手段２７の撮像面２７Ａに集光させるとともに、位置測定用正反射光Ｌ２を収束レンズ２５を介さずに位置測定用撮像手段２８の撮像面２８Ａに照射させ、角度測定用撮像手段２７の撮像面２７Ａにおける集光位置に基づいてレンズＷの傾きを測定するとともに、測定されたレンズＷの傾き及び位置測定用撮像手段２８の撮像面２８Ａにおける照射位置に基づいてレンズＷの位置を測定する。 （もっと読む）