【課題】 太陽電池セル検査装置の製造コストを低額に抑える。
【解決手段】 ステージ１０上に、電極間に導線を介して抵抗を接続した太陽電池セルＳＣを載置固定する。発光素子３１−１，３１−２・・・３１−Ｎが太陽電池セルＳＣの表面を照射し、磁気センサ３２−１，３２−２・・・３２−Ｎが光の照射によって太陽電池セルＳＣに電流が流れることにより発生する磁界を検出する。発光素子３１−１，３１−２・・・３１−Ｎは複数の異なる周波数の発光制御信号によって駆動される。信号選択回路４６，４７及びロックインアンプ４８は、複数の異なる発光制御信号の周波数ごとに、磁気センサ３２−１，３２−２・・・３２−Ｎによって検出された磁界に含まれて前記周波数で変化する信号成分を取出す。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池セル検査装置の製造コストを低額に抑える。
【解決手段】 ステージ１０上に、電極間に導線を介して抵抗を接続した太陽電池セルＳＣを載置固定する。発光素子４１から出射される光で太陽電池セルＳＣの表面を走査しながら、磁気センサ４１が光の照射によって太陽電池セルＳＣに電流が流れることにより発生する磁界を検出する。 （もっと読む）

【課題】 スタンパーの偏心量を正確に測定する。
【解決手段】 押し当て具１５を用いて、スタンパーＳＴをホルダー１３に一方向から押し当てた状態で、ホルダー１３をクランプ１２にセットして、スピンドルモータ１１を駆動することによりスタンパーＳＴを少なくとも１回転させる。このとき、コントローラ１００はスタンパーＳＴの回転角度に応じて変化する径方向ずれ量を取得する。径方向ずれ量とは、スタンパーＳＴの回転時における回転中心に対するスタンパーＳＴの中心の所定の径方向におけるずれ量である。コントローラ１００は、この回転角度及び径方向ずれ量に基づき、スタンパーＳＴの偏心ベクトルを計算する。そして、この偏心ベクトルから、スタンパーＳＴのホルダ１３への押し当てベクトルを減算する減算処理により、スタンパーＳＴ自身の偏心量を求める。 （もっと読む）

【課題】焦点位置を高速に移動させることなく、測定対象物の表面に形成されるレーザ光の照射スポットを小さく保つことができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】
レーザ光を出射するレーザ光源１０と前記レーザ光を反射して走査するミラー３０を設ける。レーザ光源１０とミラー３０の間にスポット形成器２０を設ける。スポット形成器２０は、前記レーザ光を平行光に変換するコリメートレンズ２２、前記平行光をリング状の輪帯光に変換するフィルタ２３、前記輪帯光を集光する第１リレーレンズ２４及び第２リレーレンズ２５を備える。さらに、測定した測定対象物までの距離の平均値を算出して、前記算出した平均値に応じてスポット形成器２０を前記レーザ光の光軸方向に移動させる移動装置２０ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーを用いてレーザ光を走査する３次元形状測定装置において、使用開始から長期間が経過してもミラーの回転角度を精度よく取得でき、測定精度を一定に保つことができるようにする。
【解決手段】
回転可能に支持されたミラー１４ａと供給される電気信号に応じてミラー１４ａを回転させて変位させる駆動回路とが一体的に形成された第１ミラー１４を設ける。ミラー１４ａは、それぞれレーザ光を反射可能な第１反射面及び第２反射面を有する。第１反射面に測定装置と測定対象物ＯＢとの距離を測定するためのレーザ光を照射する。第２反射面にミラー１４ａの回転角度を検出するためのレーザ光を照射する。第２反射面からの反射光を受光する受光センサ２６を設ける。受光センサ２６における反射光の受光位置からミラー１４ａの回転角度を計算するミラー角度検出回路４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 ステージを回転軸周りに回転させながら３次元形状測定を行う場合に、３次元カメラの位置を異ならせても効率の悪化を防ぐ。
【解決手段】 コントローラ３０は、第１のカメラ位置に配置した３次元カメラ２０の測定により取得したステージ１０の定点の座標又はベクトルの成分を記憶しておく。コントローラ３０は、第１のカメラ位置と異なる第２のカメラ位置に配置した３次元カメラ２０の測定により取得したステージ１０の定点の座標又はベクトルの成分と、前記記憶しておいたステージ１０の定点の座標又はベクトルの成分とを用いて、第２のカメラ位置で３次元カメラ２０により測定した３次元形状を表す３次元データを、第１のカメラ位置で３次元カメラ２０により測定した３次元形状を表す３次元データに座標変換するためのカメラ座標変換係数を取得する。 （もっと読む）

【課題】 規格内の大きさの受光センサを用いても、受光センサを大きくした場合と同じように、３次元形状の測定可能範囲が大きいか、又は分解能を高くする。
【解決手段】 レーザ光照射器から測定対象物（ＯＢ）の表面にレーザ光を照射し、測定対象物ＯＢの表面の照射スポット位置にて発生する散乱光の一部である反射光を集光レンズ３２で集光するとともに、集光された反射光をダイクロイックミラー３０で互いに異なる少なくとも第１方向及び第２方向に分離する。分離された反射光を、複数の受光素子からなる受光センサ１４，２４でそれぞれ受光する。受光センサ１４，２４は、レーザ出射器からの距離が異なる測定対象物ＯＢの表面からの反射光をそれぞれ受光するとともに、一部距離を重複させる。受光センサ１４，２４による受光信号を用いて、３角測量法の原理に基づいてレーザ光照射器から測定対象物ＯＢの表面までの距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】 微小な凹凸に加えて周期と変動量の大きな凹凸が存在する測定対象物の表面粗さも検出できるようにする。
【解決手段】 測定対象物ＯＢの表面上を接触しながら移動するスライダ４４に対物レンズ３０５を配置するとともに、スライダ４４をプローブ４０によって光学ヘッド本体３０に弾性的に支持する。レーザ光源３０１からのレーザ光を対物レンズ３０５により集光させて測定対象物ＯＢの表面に照射し、測定対象物ＯＢの表面からの反射光をフォトディテクタ３０８で受光して、フォーカスエラー信号を生成する。フォーカスエラー信号を用いてレーザ光の焦点位置から測定対象物ＯＢの表面位置までの距離に応じて変化する距離を計算して、前記計算した距離に、スライダ４４の光学ヘッド本体３０に対する相対位置の変動量を加味して測定対象物ＯＢの表面の基準面に対する凹凸の大きさを計算する。 （もっと読む）

【課題】 多数枚の透光性基板ＯＢの検査を短時間でできるようにする。
【解決手段】 複数のガラス基板ＯＢの一部に対してライン状の光を照射し、このライン状の光が照射される設定枚数のガラス基板ＯＢを検査対象ブロックとする。検査対象ブロック内のガラス基板ＯＢがカメラ２１の被写界深度内に入るように、治具１１の位置を調整して撮影する。撮影画面における輝度データに基づいて、検査対象ブロック内に欠陥が存在するガラス基板ＯＢがあるか否かを判定し、欠陥が存在するガラス基板ＯＢがある場合には、カメラ位置をガラス基板ＯＢの法線方向に細かく切り替えて撮影し、カメラ位置に対する輝度値と関連する値の変化曲線から欠陥が存在するガラス基板ＯＢを判別する。 （もっと読む）

【課題】 断面形状によらず情報再生光と参照再生光の一方を再生用フォトディテクタ４６に入射させ、他方を遮光し得るホログラム記録再生装置を提供すること。
【解決手段】 再生用フォトディテクタ４６の手前に遮光用液晶パネル４０を配置する。遮光用液晶パネル４０の入射領域に配置された複数の画素の透過率は遮光用信号制御回路２０８により制御される。遮光用信号制御回路２０８は、遮光用液晶パネル４０に情報再生光が入射するパターン対応領域Ｓ１および参照再生光が入射する非遮光対応領域Ｓ２を設定し、パターン対応領域Ｓ１の画素の透過率を最高値に、非遮光対応領域Ｓ２の画素の透過率を最低値に設定する。情報再生光と参照再生光の断面形状がどのように変化しても、その断面形状に応じてパターン対応領域Ｓ１および非遮光対応領域Ｓ２を設定することで、一方の光を再生用フォトディテクタ４６に受光させ、他方の光を遮光することができる。 （もっと読む）