【課題】回折環の形状を短時間で精度良く検出できる、安価なＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】測定対象物ＯＢにＸ線を照射するＸ線出射器１３、測定対象物ＯＢにて回折したＸ線を受光して回折環を記録するイメージングプレート２８を固定するテーブル２７及びレーザ光をイメージングプレート２８に照射して、回折環の形状を読み取るレーザ検出装置ＰＵＨを設ける。テーブル２７の中心に、Ｘ線を通過させる貫通孔を設ける。回折環を撮像した後、スピンドルモータ２４及びフィードモータ１８によって、テーブル２７を回転させるとともにイメージングプレート２８の受光面に平行に移動させた状態で、レーザ検出装置ＰＵＨによって、イメージングプレート２８にレーザ光を照射して、イメージングプレート２８が発する光の強度が極大となるときのレーザ照射位置を取得する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 対物レンズ５７が、ガラス管Ｇに照射されるレーザ光を集光させて、その反射光を回折格子３５及びラインセンサ３６で受光してガラス管Ｇの厚さを測定する。対物レンズ５７をＸ軸線方向の焦点距離Ｆｘと、Ｙ軸線周りに回転するガルバノミラー５２から対物レンズ５７までの光学的距離ａと、対物レンズ５７からガラス管Ｇの表面までの光学的距離ｂとの関係が、(１／ａ)＋(１／ｂ)＝１／Ｆｘの関係になるようにする。レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸に垂直になるようにＹ軸線周り角度のサーボ制御を行っても、Ｘ軸線方向におけるレーザ光のガラス管Ｇへの照射位置を変化させないように１点に固定することができて、ガラス管ＧのＺ軸線周りの傾きの度合によりサーボが不安定になることを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 電解槽内の電解液の濃度を簡単かつ的確に測定する。
【解決手段】 交流信号供給回路５５及び通電回路１６は、電極１５ａ，１５ｂ間に電圧を印加して電解槽１０内の電解液中に電流を流す。磁気センサ２０は、電解槽１０の中央位置に移動されて、中央位置にて電解液中に流れる電流によって発生される磁界を検出する。コントローラ６０は、センサ信号取出回路５６及びロックインアンプ５７と協働して、磁気センサ２０による検出信号を取込んで、前記中央位置をＸ方向に流れる電流の大きさを検出する。そして、予め記憶されていて、前記中央位置にて電解液中を流れる電流の大きさと、電解液の濃度との関係を表すテーブルを参照して、前記検出された電流の大きさに基づいて電解液の濃度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 シリンドリカルレンズ５９が、ガラス管Ｇに出射されるレーザ光をＹ軸線方向に集光させて、ガラス管ＧにＸ軸線方向に延びたライン状のレーザ光を照射する。Ｙ軸方向サーボ回路１１９は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸方向エラー信号生成回路１１８によって検出されたＹ軸方向エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に照射されるようにガルバノミラー５６を回転駆動するモータ５７をサーボ制御する。また、Ｙ軸周り角度サーボ回路１２２は、４分割フォトディテクタ６２及びＹ軸周り角度エラー信号生成回路１２１によって検出されたＹ軸周り角度エラー信号を用いて、ガラス管Ｇに照射されるライン状のレーザ光がガラス管Ｇの中心軸に垂直に照射されるようにガルバノミラー５４を回転駆動するモータ５５をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】 透光性板状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス板Ｇの表面及び裏面で反射させて、反射光をラインセンサ５５に導いてガラス板Ｇの厚さを測定する。測定用レーザ光は、Ｙ軸線回りに回転可能なガルバノミラー４５及びＸ軸線周りに回転可能なガルバノミラー５１を介してガラス板Ｇに照射される。サーボ用レーザ光も、ガルバノミラー４５，５１を介してガラス板Ｇに照射され、反射光はガルバノミラー４５，５１を介して４分割フォトディテクタ６６に導かれる。４分割フォトディテクタ６６により、ガラス板Ｇの表面のＸ軸及びＹ軸線回りの傾きが検出され、この傾きに応じてガルバノミラー４５，５１を駆動するサーボ制御により、測定用レーザ光をガラス板Ｇに対して常に一定方向から入射させる。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池の電極の接続不良を精度よく検出する。
【解決手段】 発光素子６０は、太陽電池ＳＢを載置するためのステージ２０に対向して配置されて、ステージ２０上に載置された太陽電池ＳＢに対して発電のために光を照射する。磁気センサ１０は、ステージ２０と発光素子６０との間に配置された支持部材３１に支持されて、発光素子６０の光の照射による発電に基づいて太陽電池ＳＢに流れる電流により発生する磁界を検出する。支持部材３１には、ステージ２０上に載置された太陽電池ＳＢの支持部材３１と対向する領域に光を照射する発光素子５９が設けられて、太陽電池ＳＢ表面の明暗の差を小さくする。さらに、遮光カーテン５１Ｂが支持部材３１に取付けられ、前記太陽電池ＳＢの支持部材３１と対向する領域に、発光素子６０による光が照射されないように光を遮断する。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池の電極の接続不良を短時間で精度よく検出する。
【解決手段】 太陽電池ＳＢの表面上を遮光カーテン６１で、複数の領域に区分する。区分された複数の領域に照射装置５０Ａ，５０Ｂがそれぞれ配置される。照射装置５０Ａ，５０Ｂは、発光信号供給回路８１，８１Ｂにそれぞれ制御されて、互いに異なる周波数で強度が変化する光を太陽電池ＳＢにそれぞれ照射する。磁気センサ１０Ａ，１０Ｂも、複数の領域に配置されてそれぞれ磁界を検出して、前記異なる周波数の光の強度変化がもたらす複数の異なる周波数成分を含む磁界検出信号をそれぞれ出力する。コントローラ９０は、信号選択回路８４，８５及びロックインアンプ８６と協働して、磁気センサ１０Ａ（及び１０Ｂ）による磁界検出信号から照射装置５０Ｂ（及び５０Ａ）の光の照射による光の強度変化がもたらす周波数成分の磁気検出信号を取出す。 （もっと読む）

【課題】受光センサにて受光した反射光のスポットが欠けた場合であっても、精度良く測定対象物の３次元形状を測定できる３次元形状測定装置及び３次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】受光信号の強度の閾値としてレベルＬ１を設ける。受光信号の強度が最も大きい受光素子の位置を基準位置Ｐ１（ｎ）とする。基準位置Ｐ１（ｎ）の両側から、受光信号の強度がレベルＬ１である受光素子又はレベルＬ１に最も近い受光素子の位置を１つずつ取得する。前記取得した２つの受光位置の中点と基準位置Ｐ１（ｎ）とのずれ量Ｄ１が許容値以下であれば、基準位置Ｐ１（ｎ）を反射光の結像位置Ｐ（ｎ）と決定し、結像位置Ｐ（ｎ）を用いて、その測定ポイントの３次元座標を算出する。ずれ量Ｄ１が許容値より大きければ、その測定ポイントの３次元座標を算出しない。 （もっと読む）

【課題】 両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの取出電極と内部電極との間の接続不良を精度よく検出する。
【解決手段】 発光信号供給回路６５、光源駆動回路６６及び発光素子５０は、多数の太陽電池セルを含む太陽電池パネルＳＰに光を照射することにより、各太陽電池セルを発電動作させる。この発電動作により、太陽電池セルの各部に電流が流れ、太陽電池セルの対向する各部に磁界が発生する。磁気センサ１０は、この発生した各部の磁界を検出して磁界信号を出力する。センサ信号取出回路６７及びロックインアンプ６８は、磁気センサ１０から出力される磁界信号を取出して、コントローラ７０に供給する。コントローラ７０は、プログラム処理により、前記磁界信号に基づいて、取出電極位置又はその近傍位置における取り出し電極間方向の電流の大きさを検出する。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池を検査場所まで運搬する手間を必要とせずに、太陽電池セルや太陽電池パネルの検査を高精度で行う。
【解決手段】 ステージ４０上に太陽電池パネルＳＰを載置して、通電信号供給回路６５及び通電回路６６により太陽電池パネルＳＰに直流電圧を印加して電流を流す。磁気センサ１０を移動させて、太陽電池パネルＳＰに対向する複数の箇所で、太陽電池パネルＳＰに流れる電流によって発生する磁界を検出する。コントローラ７０は、この検出した磁界をセンサ信号取出回路６７及びロックインアンプ６８を介して取込み、太陽電池パネルＳＰの複数の電極の延設方向における電流の大きさの分布、及び複数の電極間における電流の大きさの分布を計算する。 （もっと読む）