【課題】 穴の全体形状だけでなく、穴の壁面に形成された微細な凹凸形状をも精度良く測定する。
【解決手段】 管状プローブ８０からレーザ光を測定対象穴の壁面に照射し、レーザ光の焦点位置と壁面における反射位置とのずれ量（焦点ずれ量）に応じたフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成回路１１１，１１２を備える。コントローラ１００は、管状プローブ８０を回転させながらＺ方向（管状プローブの中心軸方向）に移動させて、レーザ光を測定対象穴の壁面に螺旋状に照射する。そして、管状プローブ８０のＺ方向位置と、管状プローブ８０の回転角度と、フォーカスエラー信号から得た焦点ずれ量とに基づいて測定対象穴の３次元形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ光照射装置から出射されるレーザ光の波面収差を精度よく測定する。
【解決手段】支持装置２０に平面ミラーをセットするとともに、コリメートレンズ６１をレーザ光の光路外に配置した状態で、基準レーザ光照射装置から平行光からなる基準レーザ光を平面ミラーに照射して、その反射光の波面収差Ｂ１を測定する。次に、支持装置２０に球面ミラーをセットするとともに、コリメートレンズ６１をレーザ光の光路内に配置して、球面ミラーからの反射光の波面収差Ｂ２を測定する。（Ｂ２−Ｂ１）／２の演算により、コリメートレンズ６１によるレーザ光の波面収差Ｂを計算する。支持装置２０にレーザ光照射装置１０を支持させて、レーザ光照射装置１０からのレーザ光の波面収差Ａ１を測定する。波面収差Ｂを用いて波面収差Ａ１を補正して、レーザ光照射装置１０からのレーザ光の波面収差Ａを計算する。 （もっと読む）

【課題】
ドラム状物体ごとの液状物質の塗布時間を短くして、多くのドラム状物体に液状物質を塗布する必要がある場合でも、液状物質を塗布する装置を多くせずに生産効率が悪くならないようにすることができるドラム状物体への液状物質塗布装置を提供することにある。
【解決手段】
複数本のドラム状物体を、ドラム状物体の中心軸が略水平であり、それぞれのドラム状物体の中心軸が略１点で交差するように固定するドラム状物体セット手段と、ドラム状物体の中心軸が略交差する位置付近を通り、ドラム状物体のそれぞれの中心軸方向と略直角な軸を回転軸にして、ドラム状物体セット手段を回転させる第１の回転手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検出対象物ＯＢが細いものであっても精度良く検出する。
【解決手段】 レーザ光源１０から出射されたレーザ光は、凸レンズ１２を通過してビーム径を狭くしながらミラー１４に入射して反射する。ミラー１４で反射したレーザ光は、光開口３ａを通過して検出通路Ａに送られる。検出通路Ａに送られたレーザ光は、検出通路Ａの中央位置で収束し、その後はビーム径を拡げながら左ケーシング２ｂの光開口３ｂを通過してミラー１６に入射する。ミラー１６に入射したレーザ光は、反射し凸レンズ１８を通過してフォトディテクタ２０の受光面に集光する。フォトディテクタ２０は、レーザ光を受光し、受光した光の強度に応じた受光信号を出力する。従って、検出対象物ＯＢがレーザ光の収束位置を通過すると、受光信号に大きな変化が得られる。 （もっと読む）

【課題】 加工対象物ＯＢの表面に異常部が生じていても、フォーカスサーボが外れずにレーザ加工を継続でき、加工対象物ＯＢの損失や加工時間の無駄を低減する。
【解決手段】 加工用レーザ光の光スポットの加工方向前方位置に検査用レーザ光を照射し、その反射光の強度に基づいてレーザ加工直前位置における異常部を検出する。検査用レーザ光の反射光の強度が低下したときにマスク信号発生回路６７にてマスク信号を発生させる。遅延回路６８は、加工用レーザ光が異常部を照射するまでの時間遅れを考慮してホールド信号を作成し導通回路６３に出力する。導通回路６３は、ホールド信号を入力したとき、フォーカスエラー信号をゼロにしてフォーカスサーボをホールドする。 （もっと読む）

【課題】 受光器や受光器が出力する信号を処理する回路の数の増加をせずに、２次反射による反射光の影響を除外することができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 異なった照射角度で２回の測定が行われ、そのときの反射光は同一の受光器に受光される。１回目の測定により求められた第一形状データに属する座標値が対象座標値とされ、２回目の測定により求められた第二形状データに属する座標値が比較座標値とされる。全ての対象座標値のそれぞれについて、その対象座標値により表される点を中心とした所定空間範囲内に存在する座標点を表す比較座標値の数Ｃがカウントされる。ＣがＭ以下であれば、その対象座標値が除外される。除外されなかった対象座標値が正規の座標値として抽出される。抽出された座標値を用いて精度の良好な３次元画像が生成される。 （もっと読む）

【課題】 生産効率を低下させることなく加工対象物ＯＢを精度良く検査する。
【解決手段】 加工用レーザ光を加工対象物ＯＢに照射してレーザ加工するときに、加工用レーザ光とは光軸がずれた検査用レーザ光を照射する。検査用レーザ光は、加工対象物ＯＢがレーザ加工されない弱い強度であって、加工用レーザ光によるレーザ加工の直前部分を照射する。検査用レーザ光の反射光の強度が基準強度よりも下回っている時間が異常判定用基準時間以上となった場合には、加工対象物ＯＢに異常部（異物付着部や傷形成部）が存在すると判定する。従って、加工用レーザ光の強度に無関係に異常検出を行う事ができるので、検査精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの大幅な上昇を招くことのない長期間データ保存が可能なガラスディスクを製造する。
【解決手段】 第１ステップにて、ガラス基板１１の上面に石英層１２を形成する。第２ステップにて、石英層１２の上面にフォトレジスト層１３を形成する。第３，第４ステップにて、フォトレジスト層１３にレーザ光を照射した後、現像液でレーザ反応跡１４を除去してフォトレジスト層１３に２値化データを表すピット列１５を形成する。第５ステップにて、ガスエッチングを作用させて石英層１２に２値化データを表すピット列１６を形成する。第６ステップにて、フォトレジスト層１３を剥離する。 （もっと読む）

【課題】 中心に孔が形成されているスタンパーに均等な膜厚の光透過膜を形成し、且つ洗浄などの余計な工数が発生しない光ディスクの原盤の検査方法を提供すること。
【解決手段】 スタンパー１０の円孔１１を塞ぐようにスタンパー１０の記録面１０ａ側にシール３１を貼り付け、記録面１０ａの中心付近に固化すると光透過膜になる液体を供給し、スタンパー１０を回転させて液体を記録面１０ａの全体に塗布し、塗布した液体を紫外線照射により固化させて透明薄膜５０を形成し、その後シール３１を除去する。シール３１で円孔１１を塞ぐことにより、供給される液体が円孔１１から流れ落ちず、記録面１０ａに均一な透明薄膜５０が形成される。また、シール３１は安価で使い捨て可能であるので、シールを洗浄するような余分な工程を省くことができる。 （もっと読む）

【課題】 記録したＢＣＡコードの半径方向端の半径方向位置を短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 コントローラ６０は、レーザ光の照射位置を、初期半径方向位置からバースト・カッティング・エリア（ＢＣＡ）の半径方向端に向かって、光ディスクＤＫの半径方向に移動させる。コントローラ６０は、このレーザ光の照射位置を移動させている状態で、光ディスクＤＫからの反射光に基づいて作成した信号におけるバースト・カッティング・エリアのバー部分に関する瞬時値を抽出する。そして、コントローラ６０は、前記抽出した瞬時値がバースト・カッティング・エリアの半径方向端を示す設定値になった時点で、バースト・カッティング・エリアの半径値を計算する。 （もっと読む）