【課題】 直径が非常に小さい円筒パイプ状の加工対象物ＯＢの表面に２次元空間光変調器を用いてレーザ加工による模様を形成する際、前記模様に対応した像が加工対象物ＯＢの表面に適正に形成されるようにする。
【解決手段】 Ｘ軸方向に延びた円筒パイプ状の加工対象物ＯＢに対して、加工用ヘッド１０からＺ軸方向に加工用レーザ光を照射するとともに、サーボ用Ｚ軸方向光ヘッド２０からサーボ用Ｚ軸方向レーザ光をＺ軸方向に照射し、サーボ用Ｙ軸方向光ヘッド３０からサーボ用Ｙ軸方向レーザ光をＹ軸方向に照射する。フォトディテクタ１４０に映し出される加工対象物ＯＢの射影の位置により加工対象物ＯＢのＹ軸方向のずれを検出し、フォトディテクタ４０２に映し出される加工対象物ＯＢの射影の位置により加工対象物ＯＢのＺ軸方向のずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させてガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３９で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からのサーボ用レーザ光をガルバノミラー３５で反射させて、ガラス管Ｇにおける測定用レーザ光の照射位置又はその近傍位置にＺ軸方向から照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからのサーボ用レーザ光の反射光を受光し、Ｙ軸方向エラー信号生成回路１１９、Ｙ軸方向サーボ回路１２０及びＹ軸方向ドライブ回路１２１が、モータ３６を駆動制御することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するようにガルバノミラー３５のＸ軸線周りの回転をサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを抑えたうえで、外乱光及び外部磁界の影響を受けずに太陽電池パネル又は太陽電池セルの検査を行う。
【解決手段】 ステージ４０上に、電極間に導線を介して抵抗を接続した太陽電池パネルＳＰを載置する。発光素子５０、発光信号供給回路６５及び光源駆動回路６６は、太陽電池パネルＳＰの表面全体にわたって、所定の周期で強度が変化する光を照射する。センサ信号取出回路６７及びロックインアンプ６８は、前記光の照射によって前記検査対象物に電流が流れることにより発生する磁界であって、前記所定の周期と等しい周期で強度が変化する磁界を検出する。 （もっと読む）

【課題】 直径が非常に小さい円筒パイプ状の加工対象物の表面をレーザ加工する場合に、加工対象物の表面に形成される光スポットの大きさが所定の大きさに保たれるようにしたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ軸方向に延びた円筒パイプ状の加工対象物ＯＢに対して、加工用ヘッド１０からＺ軸方向に加工用レーザ光を照射するとともに、サーボ用Ｚ軸方向光ヘッド２０からサーボ用Ｚ軸方向レーザ光をＺ軸方向に照射し、サーボ用Ｙ軸方向光ヘッド３０からサーボ用Ｙ軸方向レーザ光をＹ軸方向に照射する。フォトディテクタ１１８に映し出される加工対象物ＯＢの射影の位置により加工対象物ＯＢのＹ軸方向のずれを検出し、フォトディテクタ４０２に映し出される加工対象物ＯＢの射影の位置により加工対象物ＯＢのＺ軸方向のずれを検出する。検出したずれに基づいて、対物レンズ１１２を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 外部磁界の影響をなくして磁界を検出する。
【解決手段】 通電信号供給手段３１及び通電回路３２は、電解質と電極から構成されている電池ＦＣに所定周波数の交流成分を重畳させた直流電圧を印加して電解質に通電する。複数の磁気センサ２２をマトリクス状に配置した磁気センサユニット２０は、複数の磁気センサ２２が電池ＦＣの正負電極Ｆe1，Ｆe2間方向に平行な面に対向するように配置される。複数の磁気センサ２２は、電解質中を流れる電流によって発生する磁界を検出して、検出磁界を表す信号をそれぞれ出力する。これらの検出信号は、センサ信号取出回路３３−１〜Ｎ及び信号選択回路３４を介してロックインアンプ３５に供給される。ロックインアンプ３５は、通電信号供給回路３１からの所定周波数に等しい信号を用いて、検出信号から所定周波数の信号成分を取出して出力する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３７で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からガラス管Ｇに対して、サーボ用レーザ光を測定用レーザ光の光軸と測定用レーザ光の反射光の光軸との中心線の方向であるＺ軸方向に照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからの反射光を受光し、Ｙ軸方向サーボ回路１２０が、圧電アクチュエータ２５を駆動することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するように光ヘッド１００をＹ軸方向にサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】出射光学系の部品の取り付け角度がずれたとき、出射光学系から出射されるレーザ光の光軸方向のずれを相殺するように出射光学系に入射するレーザ光の光軸の方向を調整することができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源１０とレーザ光を走査する第１ミラー１６との間に、直交する２つの回転軸回りに回転可能に支持されたミラー１４ａを設ける。測定対象物ＯＢからの反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第１受光センサ２４と、第１受光センサ２４にて反射した反射光を受光して受光位置に応じた信号を出力する第２受光センサ２６を設ける。３次元カメラＣＡと測定対象物ＯＢが所定の位置関係になるようにセットし、反射光が第２受光センサ２６の所定の範囲内にて受光されるように、ミラー１４ａを回転させる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光を原点位置まで移動させることができない構造のレーザ加工装置であっても、レーザ光照射における原点位置と回転中心とを一致させる。
【解決手段】 レーザ光の照射位置を、レーザ光の照射の原点位置から第１及び第２距離を有する第１及び第２位置までそれぞれ移動させ、前記移動後にテーブル１１にセットされた加工対象物ＯＢを回転させ、加工ヘッド２０から加工対象物ＯＢにレーザ光を照射して、加工対象物ＯＢに円形の第１及び第２加工跡をそれぞれ形成する。テーブル１１にセットされた加工対象物ＯＢの表面をカメラ４０で撮影して、円形の第１及び第２加工跡の半径をそれぞれ測定し、測定された円形の第１及び第２加工跡の半径と、原点位置からレーザ光の照射位置までの距離である第１及び第２距離とを用いて、実際の回転中心に対する原点位置のずれ量を計算する。 （もっと読む）

【課題】 直径が非常に小さい円筒パイプ状の加工対象物ＯＢの表面をレーザ加工する場合であって、重い対物レンズを用いる場合であっても、レーザ光の焦点が加工対象物ＯＢの適正位置になるように制御する。
【解決手段】 Ｘ軸方向に延びた円筒パイプ状の加工対象物ＯＢに、加工用ヘッド１０からＺ軸方向に加工用レーザ光を照射する。サーボ用Ｚ軸方向光ヘッド２０からサーボ用Ｚ軸方向レーザ光をＺ軸方向に照射し、サーボ用Ｙ軸方向光ヘッド３０からサーボ用Ｙ軸方向レーザ光をＹ軸方向に照射する。フォトディテクタ１３２及びフォトディテクタ４０２に映し出される加工対象物ＯＢの射影の位置により加工対象物ＯＢのＹ軸方向のずれ及びＺ軸方向のずれをそれぞれ検出する。検出したずれに応じて、ガルバノミラー１０８及び第１リレーレンズ１１２を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物に流れる電流の分布を高精度で測定することができるようにする。
【解決手段】 通電信号供給回路４１及び通電回路４２−１〜４２−Ｍは、所定周波数の電流を被測定物の一対の電極１２，１３間に通電する。磁気センサ３２は、太陽電池セルＳＣの複数の部分に対向して位置し、複数の部分に流れる電流によってそれぞれ発生する磁界を検出して、検出磁界を表す信号を出力する。ロックインアンプ４５は、磁気センサ３２から出力される検出磁界を表す信号から、前記所定周波数に等しい周波数の信号成分を取出す。コントローラ５０は、ロックインアンプ４５によって取出された信号成分から、太陽電池セルＳＣの複数の部分に前記所定周波数と等しい周波数でそれぞれ流れる電流の大きさ及び向きを検出する。 （もっと読む）