説明

宇部日東化成株式会社により出願された特許

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【課題】基板と素子分離層との剥離やクラックが発生し難く、凹状の溝を有する基板上に平坦な素子分離層を形成することができる素子分離材料用塗布液等を提供する。
【解決手段】半導体装置のシャロートレンチアイソレーション構造の素子分離層の形成に用いられる素子分離材料用塗布液は、アルコキシシラン化合物が加水分解、縮合された絶縁膜形成前駆体と、絶縁膜形成前駆体の濃度を所望の濃度に調製する溶媒と、を備えている。絶縁膜形成前駆体は、(Si−O)の繰り返し単位を主骨格としたポリマーであり、その分子の末端に炭素数2〜6個のアルコキシル基を有している。 (もっと読む)


【課題】基板と素子分離層との剥離やクラックが発生し難く、凹状の溝を有する基板上に平坦な素子分離層を形成することができる素子分離材料用塗布液等を提供する。
【解決手段】素子分離材料用塗布液は、アルコキシシラン化合物と金属アルコキシドとの混合物が加水分解、縮合された絶縁膜形成前駆体と、絶縁膜形成前駆体の濃度を所望の濃度に調製する溶媒と、を備えている。絶縁膜形成前駆体は、Si−O−M−O−(Mは1種もしくは2種以上の金属)を主骨格としたポリマーであり、その分子の末端に炭素数2〜6個のアルコキシル基を有している。 (もっと読む)


【課題】基板と素子分離層との剥離やクラックが発生し難く、凹状の溝を有する基板上に平坦な素子分離層を形成することができる素子分離材料用塗布液の作製方法等を提供する。
【解決手段】半導体装置のシャロートレンチアイソレーション構造の素子分離層の形成に用いられる素子分離材料用塗布液の作製方法は、混合液作製工程と絶縁膜形成前駆体作製工程と塗布液作製工程とを備えている。混合液作製工程では、炭素数2〜6個のアルコキシル基を有するアルコキシシラン化合物と第1の溶媒との混合液を作製する。絶縁膜形成前駆体作製工程では、この混合液に加水分解触媒及び水を添加し、加水分解、縮合して絶縁膜形成前駆体を作製する。水の添加量は、アルコキシシラン化合物中の全アルコキシル基1モルに対して0.3〜0.8倍モルの範囲とする。塗布液作製工程では、作製された絶縁膜形成前駆体に第2の溶媒を加え、素子分離材料用塗布液を作製する。 (もっと読む)


【課題】粗面化処理することなく、平坦な表面を有する導電性金属箔を用いてなる、有機基材や異方導電フィルムとの密着性を向上させた金属箔部材を提供する。
【解決手段】導電性金属箔1の片面に絶縁性機能膜2を有する金属箔1であって、前記絶縁性機能膜2が、ケイ素、チタン、ジルコニウムおよびアルミニウムの中から選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド化合物を加水分解−縮合反応してなるM−Oの繰り返し単位を主骨格とする縮合物を含む塗工液を塗工して形成されてなり、かつ前記絶縁性機能膜2と、異方導電フィルム4との接着強度が、リフロー処理後で5.7N/cm以上であり、リフロー処理後、更に80℃、95%RHで1000時間の処理を行った後において3.5N/cm以上である絶縁性機能膜付き金属箔1である。 (もっと読む)


【課題】無色透明で、かつクラックなどが発生しにくい非晶質酸化チタンを含む塗膜を与えることのできる低コストのコーティング組成物を提供する。
【解決手段】 (A)成分の非晶質酸化チタン形成用化合物と(B)成分のチタン以外の異種金属化合物を含むコーティング組成物において、
(A)成分の非晶質酸化チタン形成用化合物が、一般式(I)
TiR1x(OR24-x …(I)
(式中、R1はアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、アラルキル基又はアシル基、R2は炭素数1〜6のアルキル基、xは0〜2の整数を示す。)
で表されるチタンアルコキシドおよび/またはその加水分解・縮合物であり、
(B)成分の異種金属化合物が、非晶質酸化チタンの結晶化阻害化合物としての硝酸アルミニウムまたはその水和物であることを特徴とする非晶質酸化チタン複合塗膜形成用コーティング組成物。 (もっと読む)


【課題】外観不良の発生を抑制することの容易なフレキシブル金属積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】熱圧着工程では、ダブルベルトプレス装置の加圧面と積層用金属箔との間に保護用金属箔を配置した状態で、熱圧着性樹脂フィルムに積層用金属箔が熱圧着される。熱圧着工程は、保護用金属箔として、シャイニー面及びマット面の両面を有する金属箔を用いて、マット面が加圧面に接した状態で実施される。金属箔は、耐擦傷試験により選択される。耐擦傷試験では、ステンレス鋼板91上にマット面92bが接するように金属箔92を載置し、シャイニー面92aに荷重を印加した状態で金属箔92を一定方向に引っ張ることで、金属箔92のマット面92bをステンレス鋼板91の面に擦る。保護用金属箔は、マット面92bに線状をなす傷の確認される荷重が76mm×26mmの面積当たりの荷重において500gを超える金属箔92である。 (もっと読む)


【課題】ドロップ光ケーブル用テンションメンバなどとして使用可能なFRP部の短辺が0.3mm未満の略矩形状を有する熱可塑性樹脂被覆FRP線条物の改良された製造方法を提供すること。
【解決手段】有機合成繊維からなる補強繊維束を、当該補強繊維束が巻かれたボビンから巻が解除する方向に引き出し、補強繊維束1本当たり40cN以上、280cN以下の張力下に補強繊維束を実質的に無撚り状態に開繊して熱硬化性樹脂を収容した含浸槽に導入してなり、かつ、前記被覆工程(3)は、矩形状未硬化線条物の外周に接触する前において、MIが2g/10分以上のポリオレフィン系熱可塑性樹脂を円環状のダイスから吐出したコーン状熱可塑性樹脂の内部側を減圧状態として被覆する、ことを特徴とする、略矩形状の熱可塑性樹脂被覆FRP線条物の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】絶縁性を有すると共に、永久磁石として機能し、かつ従来よりも残留磁化を向上させ得る磁性薄膜の製造方法、磁性薄膜及び磁性体を提供する。
【解決手段】磁性薄膜3を形成する際に、絶縁性を有すると共に、永久磁石として機能するイプシロン型酸化鉄系化合物を含む磁性粒子を含有した塗工液に対して所定の強さの外部磁場を印加し、当該塗工液を固化して磁性薄膜3を形成するようにしたことにより、当該イプシロン型酸化鉄系化合物を含む磁性粒子を磁化方向へ規則的に配向させた状態で固化させることができ、かくして、絶縁性を有すると共に、永久磁石として機能し、かつ従来よりも残留磁化を向上させ得る磁性薄膜3の製造方法、磁性薄膜3及び磁性体1を提供できる。 (もっと読む)


【課題】電気的中空率が高く、かつ機械的強度、特に側圧強度が優れ、安定して生産することができる伝送ケーブル用中空コア体及びその製造方法並びに信号伝送用ケーブルを提供する。
【解決手段】内部導体1,3の周囲に、内環状部2aと、この内環状部2aから放射状に延びる複数のリブ部2bと、各リブ部2bの外端を連結する外環状部2cとで構成され、内環状部2a、外環状部2c及び各リブ部2bにより囲まれた3以上の空隙部2dを備える絶縁被覆体2が設けられた中空コア体10,11において、内環状部2aの厚さを、絶縁被覆体の外径の1〜4%の範囲にすると共に、リブ部2b及び外環状部2cよりも薄くする。 (もっと読む)


【課題】粒径を大きくするに際して分散系の安定性を確保することの容易なポリオルガノシロキサン系粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】ポリオルガノシロキサン系粒子は、アルコキシドの加水分解及び縮合を通じて製造される。ポリオルガノシロキサン系粒子の製造方法では、アルコキシドを加水分解及び縮合させることで、液滴状のポリオルガノシロキサン粒子が分散してなる水性分散液を調製する。次に、水中で油滴を形成可能なアルコキシドを油滴として分散してなる油滴アルコキシドの水性分散液を調製した後に、同分散液とポリオルガノシロキサン粒子の水性分散液とを接触させる。これにより、ポリオルガノシロキサン粒子に油滴アルコキシドが吸収させることで、油滴アルコキシド吸収粒子の水性分散液が得られる。こうした油滴アルコキシド吸収粒子を固化させる。 (もっと読む)


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