【課題】コンパクトな構成でワークを汚すことなく搬送することができるワーク搬送装置及びワーク加工装置を提供する。
【解決手段】移動可能な第１アーム６０には、ウェーハ把持機構７２と、第１吸着保持機構７４とが備えられる。また、移動可能な第２アーム６６には、トレイ７６と位置決め機構７８と、第２吸着保持機構８０とが備えられる。カセットＣに格納されたウェーハＷは、縁部をウェーハ把持機構７２に把持されてカセットＣから引き出され、トレイ７６の上に載置される。トレイ７６に載置されたウェーハＷは、位置決め機構７８によって位置決めされた後、第１吸着保持機構７４によって吸着保持されて、ワークテーブル３０に搬送される。加工後、ウェーハＷは第２吸着保持機構８０に吸着保持されて、ワークテーブル３０から回収され、ワーク洗浄装置５６に搬送される。 （もっと読む）

【課題】普及している測定機を使用して、簡単な方法で、ナイフエッジ先端部の半径を正確に測定できる測定方法。
【解決手段】輪郭形状測定機を使用して、ナイフエッジ20の先端部を、先端に球体31を有する第１触針33で測定し、最小二乗円の半径を第１測定値Ｒ_kaとして算出し、ナイフエッジの先端部を、先端に球体32を有する第２触針34で測定し、最小二乗円の半径を第２測定値Ｒ_kbとして算出し、第１触針33と第２触針34の一方の先端部を、第１触針と第２触針の他方で測定し、最小二乗円の半径を第３測定値Ｒ_abとして算出し、（Ｒ_ka+Ｒ_kb-Ｒ_ab）／２を算出し、ナイフエッジの先端部の半径とするナイフエッジ先端部の半径測定方法。 （もっと読む）

【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】プローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端部に形成された、被測定物と接触する測定子１４と、前記プローブ本体１２内に形成され、前記プローブ本体１２の軸方向に垂直でかつ互いに直交する２方向に変位可能に構成された変位機構と、前記２方向の各変位を検出する前記変位機構に設けられた変位検出部２５
ａ、２５ｂと、を備えたことを特徴とするタッチプローブ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】各種の内径を高精度に測定可能なエアーマイクロメータの実現。
【解決手段】円筒状の筐体31と、外周面にエアー噴出し口をそれぞれ有する少なくとも１組のヘッド部材21A,21Bと、筐体に取り付けられ、少なくとも１組のヘッド部材を保持する少なくとも１組のヘッド保持機構32A,33AA,33AB;32B,33BA,33BBと、少なくとも１組のヘッド部材の中心軸に対する位置を変化させるヘッド位置変化機構41と、少なくとも１組のヘッド部材のエアー噴出し口にエアーを供給するエアー供給機構Pと、を有し、少なくとも１組のヘッド保持機構のそれぞれは、筐体に取り付けられる基材32A,32Bと、基材とヘッド部材を連結する平行な２枚の板バネ33AA,33AB;33BA,33BBと、を有し、ヘッド部材を筐体の中心軸に垂直な方向にのみ移動可能に保持する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ外周端部のだれやエッジ部の割れ、欠けなどを発生させず、偏心量やノッチ角度を正確に測定できるウェーハの位置決め検出装置を提供する。
【解決手段】外周のエッジ部３ａにノッチ部３ｂを有する薄板円盤状のウェーハ３を、該ウェーハ３の中心と回転軸の位置とを合わせて保持し、回転するサポートテーブル４と、レーザ光２を上記ウェーハ３の上記エッジ部３ａに照射し、その反射光を捉えて上記エッジ部３ａの位置および上記ノッチ部３の位置を検出する反射型レーザセンサ１と、上記センサ１の上記位置のデータより上記ウェーハ３の偏心量、偏心方向および上記ノッチ部３ｂの回転角度位置を演算する演算装置１１とを備え、上記サポートテーブル４の外形は上記ウェーハ３の外径より大きく、上記ウェーハ３の全面が上記サポートテーブル４の範囲内に載置できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイシングテープの伸び方に異方性が存在する場合に、該ダイシングテープをエキスパンドして各チップを離間させる際には異方性を加味してダイシングテープを一様にエキスパンドさせる。
【解決手段】円筒状のフレーム支持手段５によってダイシングフィルム３の外周をフレーム４に支持させる。さらに、フレーム支持手段５の内側に介在されたフィルム面支持機構６ａ（Ｘ１、Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２）が、ウェハ２から分割されるチップ２ａのＸ方向とＹ方向に対応して、ダイシングフィルム３に加える張力を独立して制御する。このとき、フレーム支持手段５は、フィルム面支持機構６ａに対して相対的に下方へ降下してダイシングフィルム３を伸長させることにより、各チップ２ａの間隔を均等に分割離間させることができる。 （もっと読む）

【課題】複数の切削部を備えたダイシング装置において、メンテナンス等のために一時的に稼働を停止している切削部を、切削精度を低下させることなく迅速に再稼働させることができるダイシング装置を提供する。
【解決手段】２台の切削装置ユニットが並設されている場合にその両方の切削部の背面側にドレンパン１３０と、ミストカバー１３２が配置される。これらの内部空間は、仕切板１３４により左右の２つの内部空間に分割されると共に、２つの内部空間は仕切板１３４の開口１３６により連通されている。これによって、稼働中の切削部から飛散したミストや空気を稼働停止中の切削部に回り込ませて稼働停止中の切削部の温度を稼働時の温度の維持することができ、迅速に再稼働させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＡＥセンサをなるべく加工点の近くに設置し、加工中にＳ／Ｎ比の良い明瞭なＡＥ信号を検出することによりワークの面粗さの推定及び砥石のドレスタイミングの検出を可能とするとともに、ＡＥセンサの取り付けを容易にする。
【解決手段】研削加工中の加工物に接触してその寸法変化を検出しこれを電気信号として出力する測定ヘッドと、前記測定ヘッドのフィンガー部に取り付けられた接触子と、前記接触子からの電気信号に基づいて前記加工物の寸法を検出し、前記加工物が所定の寸法に加工されるように前記加工物を加工する工作機械を制御する定寸制御手段と、前記工作機械の加工具が前記加工物に接触する際のアコースティックエミッションを検出するため、前記加工物に直接接触する部位に取り付けられたＡＥセンサと、前記ＡＥセンサの検出信号に基づいて前記加工物の加工状況を検出するＡＥセンサ制御手段とを備えたことを特徴とする定寸装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】プローブ部材の摺動部に滑り軸受けを用いた接触式変位測定器において、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止する。
【解決手段】測定対象物に当接して変位可能な接触子４と、前記接触子４と接続し滑り軸受構造により変位するプローブ部材８と、前記接触子４及び前記プローブ部材８の間に設けられた蛇腹部６と、前記プローブ部材８の変位に対応した出力を行う差動トランス１４，１６を有する接触式変位測定ヘッド１を備えた接触式変位測定器であって、前記プローブ部材８の変位に伴って前記蛇腹部６が伸縮する時の前記蛇腹部６内の空気を逃がす通路１８を前記プローブ部材８の内部に設けた。 （もっと読む）

【課題】ウェハ分割対象領域のみを選択的に冷却し、ウェハ外周部のＤＡＦの破断を抑制する。
【解決手段】ダイシングテープにダイアタッチフィルムを介して貼付されたワークを、予めワークに形成された分断予定ラインに沿って個々のチップに分割するワーク分割装置において、ダイシングテープ表面に貼付されたダイアタッチフィルムと、前記ダイアタッチフィルム上に貼付されたワークと、前記ダイシングテープの前記ダイアタッチフィルムが貼付された側とは反対側から前記ダイシングテープに接触することによって、前記ダイアタッチフィルムの前記ワークの分割対象領域のみを、熱伝達現象により選択的に冷却可能な選択的冷却手段と、前記ダイシングテープをエキスパンドすることによって前記選択的に冷却されたダイアタッチフィルムとともに前記ワークを前記分断予定ラインに沿って分割するワーク分割手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）