【課題】 スクラバ物質の状態やその適切な交換時期を正確かつ容易に把握することが
できるスクラバを提供すること。
【解決手段】 ケース１２内に不揮発性酸を含むスクラバ物質４０を設けてなるスクラ
バ８において、前記ケース１２の全部または一部を透明または半透明に形成するとともに
、腐食性成分と反応して有色の塩を形成する着色剤と、還元剤とをスクラバ物質４０に含
ませてある。 （もっと読む）

【課題】複数のプローブを用いた場合において探針部の先端を可及的に近づけることのできるプローブを提供する。
【解決手段】振動子３３に固定され、先端３４Ａが先鋭化された探針部３４を有し、試料Ｓに対向して配置された状態において、前記探針部３４の先端３４Ａが、前記試料Ｓ表面に対して傾斜して設けられるとともに、前記振動子３３よりも試料Ｓ表面の面方向外側に設けられ、前記試料Ｓ表面に略垂直な上方又は下方から視認可能である。 （もっと読む）

【課題】自動的に異物除去の有無を判断することによるユーザの作業負担の軽減及び判断誤差の排除、基板Ｗの破損防止並びに作業時間の長期化を防ぐ。
【解決手段】基板表面の付着異物の異物情報を取得する異物情報取得部３と、付着異物を除去する異物除去部４と、基板表面Ｗ１の各領域毎に設定された閾値と、異物情報取得部３により得られた各領域毎の異物情報とを比較する比較部５４と、比較部５４の比較結果に基づいて異物除去部４により前記基板表面Ｗ１の異物を除去させる異物除去制御部５５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】不活性ガス雰囲気中での取り扱いを要する試料のグロー放電分光分析を可能にする試料容器及びグロー放電分光分析装置を提供する。
【解決手段】陽極３３を有するグロー放電分光分析装置本体と、試料Ｓを収容し、試料Ｓが陽極３３に対向するように保持する試料容器１とを備え、陽極３３と試料Ｓとの間に発生するグロー放電発光を分光分析するグロー放電分光分析装置であって、試料容器１に、開口部１１ｃを有し、試料Ｓを収容する試料収容体１１と、陽極３３及び試料Ｓが密封されるように、試料収容体１１をグロー放電分光分析装置本体に着脱可能に取り付けるための取付部１１ｈと、グロー放電分光分析装置本体から離脱した試料収容体１１の開口部１１ｃを開閉させるシャッタ部材１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料に含まれる微小部分の蛍光Ｘ線分析を安定して行うことができ、また小型化を可能とした蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、試料載置面１４１上の試料Ｓに対して、Ｘ線管（Ｘ線照射手段）１１からＸ線を集光せずに広範囲に照射し、ポリキャピラリＸ線ハーフレンズ（検出範囲限定手段）１３で限定される検出範囲内の微小部分から発生した蛍光Ｘ線のみをＸ線検出器（蛍光Ｘ線検出手段）１２で検出する。ポリキャピラリＸ線ハーフレンズ１３の光軸は試料載置面１４１に直交しており、試料Ｓの高さに拘わらずに、確実に試料Ｓの微小部分にはＸ線が照射され、微小部分からの蛍光Ｘ線は検出され、安定した蛍光Ｘ線分析が行われる。またＸ線管１１は焦点サイズを小さくする必要がないので、蛍光Ｘ線分析装置の小型化が容易である。 （もっと読む）

【課題】車両自動運転装置１００の本体部３の振動影響がエンジンスイッチＶＨ２１を押圧するスイッチアクチュエータ４に伝わることを抑制する。
【解決手段】エンジンを始動又は停止する押しボタン式のエンジンスイッチＶＨ２１を押圧するためのスイッチアクチュエータ４と、スイッチアクチュエータ４をエンジンスイッチＶＨ２１に対向するように支持するとともに、スイッチアクチュエータ４をステアリングコラムＶＨ３に固定する支持固定機構５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】チャンバ１００の外側に無用なスペースを必要とすることなく、低価格で、チャンバ１００に設けたウェーハＷの搬出入口１０１を可及的に小さくでき、しかも正確なウェーハＷの搬送が可能なウェーハ搬送装置３００を提供する。
【解決手段】Ｘリンクユニット２１で構成した伸縮手段２と、前記Ｘリンクユニット２１を構成するリンク要素２１ａ同士の回転軸２２に係合して伸縮軸線Ｃに沿ってスライド可能に支持するガイド部材８と、前記伸縮手段２の先端部に取り付けられて前記載置板１を抜脱可能かつ回転不能に保持する保持手段４と、前記伸縮手段２によってウェーハＷ交換室から受渡位置に向かって移動する途中での載置板１の、若干の伸縮軸線Ｃからの位置ずれを是正しながら受渡位置に導く案内機構６３とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 排ガス中の共存成分の影響を防ぐために、簡易な操作で、長期間安定的にこれを排除する排ガスサンプリング装置を提供すること。
【解決手段】 排出源からの硫黄酸化物および水分を含む排ガスを導入するプローブ１と、プローブ１を加熱す加熱部２と、加熱されたプローブ内に水分注入部４を介して霧状の水分を供給することにより、プローブ１に付着した硫酸成分を除去する水分供給部５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】全反射する光の入射角を正確に制御することができる入射光学系、及びラマン散乱光測定装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の入射光学系では、平面状の試料面１１１及び半球面状の曲面１１２を有する透光部材１１と、反射面１２１が回転放物面１２２の一部をなす放物面鏡１２とを備え、曲面１１２が反射面１２１に対向し、試料面１１１上の球中心が回転放物面１２２の焦点１２５に一致する。回転放物面１２２の回転対称軸１２３に平行なレーザ光（光束）Ｌは、反射面１２１で反射し、試料面１１１上の焦点１２５へ集光する。試料面１１１でレーザ光Ｌが内部全反射して発生したエバネッセント光により試料Ｓからラマン散乱光が発生する。レーザ光Ｌの光軸を回転対称軸１２３に接離する方向に移動させることにより、試料面１１１に対するレーザ光Ｌの入射角を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】散乱光の検出感度を向上させることができる入射光学系、及びラマン散乱光測定装置を提供する。
【解決手段】入射光学系１では、試料Ｓが載置される試料面１１１を有する透光部材１１と、試料面１１１に直交した中心線１４から所定距離以上離して中心線１４に平行にレーザ光（光束）Ｌを反射させる環状ミラー（反射鏡）２１と、環状ミラー２１が反射させたレーザ光Ｌを透光部材１１１内に入射させて試料面１１１で全反射させる集光レンズ（屈曲部材）１２とを備える。環状ミラー２１は、開口部２１２を中心線１４が通る位置に配置されている。試料面１１１でレーザ光Ｌが全反射して発生したエバネッセント光により試料Ｓから発生したラマン散乱光Ｒは、開口部２１２を通って放出される。ラマン散乱光Ｒは、光学部品を通過することなく空間的にレーザ光Ｌと分離されるので、ラマン散乱光Ｒの検出感度が向上する。 （もっと読む）