【課題】機械的強度及び耐久性に優れるとともに、製造コストを抑制することができ、かつ、支持管の材料ガラスの選択の幅が広いイオン選択性電極を提供する。
【解決手段】少なくとも一端が開放されている支持管と、前記支持管の開放端を封止するように設けられたイオン伝導性ガラス又は電子伝導性ガラスからなる基材と、前記支持管内に充填された内部液と、前記基材の表面のうち、前記支持管の開放端から露出している面と、前記内部液に接する面とに形成された応答ガラス膜と、前記内部液に浸漬された内部電極と、を備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】装置内部の空気を置換ガスに効率よく置換することが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】筺体１の上面中央の開口部にセルホルダ２を装着させることによって、筺体１で囲まれた分析室１ａが密閉される。また、試料セル５のＸ線透過窓材５４の破損によって試料がこぼれ出た場合に、こぼれ出た試料がＸ線管３及びＸ線検出器４等に付着することを防止するために、セルホルダ２がＸ線透過窓材２３を挟持する。蛍光Ｘ線の分析処理を行なう場合、分析室１ａ内の空気と、試料セル５のＸ線透過窓材５４及びセルホルダ２が挟持するＸ線透過窓材２３の間の窓材間空間内の空気とを置換ガスに置換する。即ち、カバー７で覆われた試料室内の空気を置換ガスに置換する必要はない。 （もっと読む）

【課題】試料セルに設けられたＸ線透過窓材の撓みによる誤差の発生を防止し、流動試料に対する高精度な分析を行うことができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】セルホルダ２のセルホルダ内枠２１に設けられた開口部２１ｃの周縁に支持部２４を突設し、支持部２４の突端部に設けた円環状の平面が試料セル５の底部の開口５２ｄの内側に設けられたＸ線透過窓材５４に当接して試料セル５を支持する。また、試料セル５のＸ線透過窓材５４、セルホルダ２の支持部２４及びＸ線透過窓材２３にて囲まれた略密閉空間と、筐体１内とにヘリウムガスなどの気体を注入し、Ｘ線管３から試料セル５まで及び試料セル５からＸ線検出器４までの空間をヘリウムガスなどの気体で充填した後に、Ｘ線の照射及び蛍光Ｘ線の検出を行って試料の分析を行う。 （もっと読む）

【課題】雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを利用可能な蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管（Ｘ線照射部）５１からの一次Ｘ線とＸ線検出器（検出部）５２が検出する蛍光Ｘ線とが通過する測定室（内部空間）３１内を特定のガスの雰囲気にした上で蛍光Ｘ線分析を行う。測定室３１へガスを供給する配管１の途中に、ヘリウム用圧力調整器２１と窒素用圧力調整器２２とを並列に備え、各圧力調整器は、ガスの種類に応じた圧力に調整してあり、ガスを測定室３１へ供給する際には、ガスの経路を、ガスの種類に対応する圧力調整器を通過するように切換弁（経路切換手段）２６で切り換える。配管１の殆どの部分を共通に使用しながら、雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】製造された全ての半導体基板の所定の測定点における少なくとも応力と膜厚とを自動的に測定し、かつ、的確に分析して高性能で生産性よい基板製造工程の確立に寄与する基板検査装置を提供できるようにする。
【解決手段】測定対象ウェハ３を移動可能な試料台４上に搬送する搬送装置と、試料台４上のウェハ３表面の測定点Ｐを観察する光学顕微鏡１０と、その測定点Ｐに多波長の偏光された光Ｌ₃を照射してウェハ表面に関する情報を出力するエリプソメータ光学系４０と、ウェハ３の測定点Ｐにレーザ光を照射してウェハ３に関する他の情報を出力するラマン分光光学系２０と、それら情報を用いて膜厚・屈折率及び応力・組成などの物理情報を解析し出力するコンピュータ６０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】解析に要する時間と解析精度とをバランス良く両立させる。
【解決手段】エリプソメータ１は試料Ｓのいずれかのポイントに対し第１分光器８及び第２分光器９で測定を行う。第１分光器８の測定結果を用いて解析を行うと共に第２分光器９の測定結果を用いて解析を行い、第２分光器９に係る解析結果を第１分光器８に係る解析結果へ近似する近似式を算出する。試料Ｓの残りのポイントに対しては、第２分光器９で測定を行い、その結果を用いた解析の結果を近似式に基づき補正する。第２分光器９は第１分光器８に比べて測定精度は低いが測定時間が短いため全体の測定時間は短くなり、また、第２分光器９に係る解析結果を補正するため解析精度は向上する。 （もっと読む）

【課題】作業者の安全性の確保及び周辺機器への熱影響を解消し、また、煙道内の圧力影響による不具合を解消する。
【解決手段】ガスセンサ４を内部に保持し、煙道内に突出して設けられてその煙道を流れる排ガスをガスセンサ４に導くセンサホルダ５と、センサホルダ５に設けられてガスセンサ４に冷却用空気を供給し、冷却用空気排出口Ｐ１が煙道外に設けられた冷却用空気流路Ｌ２と、一端が冷却用空気排気口Ｐ２に接続され、他端が煙道内に連通する排出管９と、排出管９上に設けられて冷却用空気排出口側から煙道側への流通のみを許容する逆止弁１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ組み立て容易な構成でありながら、確実に全てのガス導入孔に校正ガスを行き渡らせる。
【解決手段】ガスを内部に導入するための複数のガス導入孔４ａを有するガスセンサ４と、ガスセンサ４を内部に保持し、煙道内に突出して設けられてその煙道を流れる排ガスＧをガスセンサ４に導くセンサホルダ５と、センサホルダ５に設けられ、ガスセンサ４のガス導入孔４ａを囲む側壁内面５２１ａにおいて開口し、ガスセンサ４に校正ガスを供給する校正ガス流路Ｌ１と、校正ガス流路Ｌ１の開口に連続して設けられ、側壁内面５２１ａにおいて複数のガス導入孔４ａに対向するようにその配列方向に沿って設けられた案内溝８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】プローブユニットを煙道から取り外すことなくガスセンサの感度劣化を点検できるようにし、また、プローブユニット内のガスセンサとの比較試験を可能にするだけでなく、フィルタの目詰まりを解消可能にし、フィルタ寿命を長くする。
【解決手段】ガスセンサ４を内部に保持し、煙道内に突出して設けられてその煙道を流れる排ガスをフィルタＦを介してガスセンサ４に導くセンサホルダ５と、センサホルダ５に設けられ、フィルタ清掃時においてフィルタＦにガスセンサ側から煙道側に清掃用ガスが流れるように供給し、測定時においてフィルタＦを通過した排ガスの一部をガスセンサ４とは異なる測定装置１３に導く清掃・測定ガス流路Ｌ３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電気化学的方法によるヒ素又はヒ素化合物の検出・濃度測定を、簡便な操作及び装置で、高精度かつ高感度に行うことができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料溶液に金を添加する工程、導電性ダイヤモンド電極の電位を負電位方向に変動させて、前記導電性ダイヤモンド電極表面にヒ素及び金を電着させる電着工程、並びに、前記導電性ダイヤモンド電極の電位を正電位方向に掃引して、前記導電性ダイヤモンド電極表面に電着したヒ素を前記試料溶液中に溶出させる溶出工程を備えているようにした。 （もっと読む）