説明

株式会社堀場製作所により出願された特許

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【課題】光ファイバーを用いずに伝送する光検出装置及び光伝送装置を提供する。
【解決手段】チャンバ2内の試料台5に試料4が載置される。電子線照射部1から楕円面鏡3の孔部30を通過して試料4の試料面に電子線が照射される。照射スポットに位置する試料4の試料面の一部が励起して散乱光を発する。散乱光は、楕円面鏡3の内面での反射により楕円面鏡3の2焦点と異なる位置に集光されて非散乱光に変換される。非散乱光は、チャンバ2の開口部24を気密封止しているコリメートレンズ21を通過して平行化され、チャンバ2外の分光部7へ伝送される。分光部7は、伝送された光を検出する。 (もっと読む)


【課題】複数の検査対象から出る光を光ファイバを用いて1台の分光器に導く分析装置において、各検査対象間の検出感度を可及的に同一にする。
【解決手段】第1及び第2の検査対象3毎に設けられて各検査対象3から得られる光を光検出部7に導く第1及び第2の導光部材6を備え、第1及び第2の導光部材6を構成する複数の光ファイバ要素の光射出側端部が混合して配置されている。 (もっと読む)


【課題】走査電子顕微鏡としての機能と真空紫外発光検出の機能を両立させた、簡便で小型化された一体型の高性能の電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】フィールドエミッション方式或いはフィラメント方式の電子線源を有する走査電子顕微鏡に加えて、真空紫外発光材料を低真空雰囲気に保持して電子を照射する低真空試料室、該発光材料から発光した真空紫外線を含む光を集光する集光ミラーを有する集光伝送部、並びに真空紫外線を検出するための回折格子などの分光器およびCCDや光電子増倍管などの検出器からなる分光装置を具備し、該集光伝送部が集光ミラーにより集光された真空紫外線を含む光を窒素ガスなどの雰囲気下に直接分光装置に伝送する集光伝送部であることを特徴とする電子線励起真空紫外線を検出する機能を兼ね備えた走査電子顕微鏡。 (もっと読む)


【課題】散乱光を用いた粒子測定装置であって、ゼータ電位をはじめとする種々の粒子物性の測定精度に優れた装置を提供する。
【解決手段】粒子が分散媒中に分散しているサンプル液を収容するセル2と、前記セル内の粒子に光を照射する光源3と、前記光源3からの光を照射された粒子から発せられる散乱光を受光する受光部42とを備え、前記分散媒の屈折率を示すデータである分散媒屈折率データを受け付ける屈折率データ受付部61と、前記分散媒屈折率データに基づいて、前記散乱光の前記粒子での散乱角度を示すデータである散乱角度データを算出する散乱角度データ算出部621を更に備えているようにした。 (もっと読む)


【課題】従来の方法では、除去することが難しかった試料体内部の空気だまりを可及的に少なくし、扁平で小さく折りたたまれた試料体を形成できる形成治具又は形成方法を提供する。
【解決手段】筒状容器Cを押圧して試料体を形成するための形成治具100であって、前記筒状容器Cが載置される載置面13と、前記載置面13に対して立設するように形成された平面視概略V字状の凹部11と、を具備する受け金型1と、前記凹部11と略合致する凸部21が形成された押し当て金型2と、を備えており、前記受け金型1と前記押し当て金型2とが、それぞれ離間している離間位置と、前記凹部及び前記凸部が略合致し、前記筒状容器が半径方向から押圧される押圧位置と、に相対移動可能に構成されており、前記押圧位置において、前記凹部11と前記凸部21とによって形成される隙間が、少なくとも前記筒状容器Cの開口端近傍を押圧する部分は、それより下側の部分よりも狭くした。 (もっと読む)


【課題】演算プログラムを書き換える必要が無く、PLCの演算式を容易に変更可能にする。
【解決手段】分析システムに用いられるPLCであって、1又は複数の分析機器から得られたデータを格納するデータ格納部と、データ格納部のデータを演算処理するための演算式から作成された演算コマンド、格納アドレス及び演算手順を含む演算テーブルを受け付けるテーブル受付部と、演算テーブルに基づいて、データ格納部からデータを取得し、演算手順により演算コマンドを用いて演算する演算部と、を備える。 (もっと読む)


【課題】複数の分析機器の一部に通信異常がある場合であっても、その他の分析機器との通信頻度を低下させない。
【解決手段】複数の分析機器と、複数の分析機器との間で順次データの送受信を半二重通信により行うPLC3と、を備え、PLC3が、コマンドを送信してから所定時間内にコマンドの応答が完了しない通信異常を所定回数発生した分析機器をコマンドの送信対象から除外して、その他の分析機器との間で順次データの送受信を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】干渉膜厚計100において、検査ワークの光反射率測定時に都度必要であった付随計測(特に校正サンプルの計測)を省略可能にして、測定時間の短縮や装置構成の簡単化を促進する。
【解決手段】ヘッド4の内部に光反射率一定の内部反射機構8を配置するとともに、該内部反射機構8で反射した光が、光検出器2で受光されるように構成しておき、光が実質的に導入されていない状態での光検出器2の出力値と、光を実質的に反射しないダークサンプルを用いたときの前記光検出器2の出力値と、光反射率が既知の校正サンプルを用いたときの光検出器2の出力値と、測定対象である検査ワークを用いたときの光検出器2の出力値とに基づいて、前記検査ワークの光反射率を算出するようにした。 (もっと読む)


【課題】 農産物または加工品などの試料中に残留する、殺菌剤のアゾキシストロビンの量を測定する手段を提供すること。
【解決手段】 アゾキシストロビン誘導体と高分子化合物との複合体を免疫原として用い、アゾキシストロビンに特異的な抗体を得る。このような抗体を用いたアゾキシストロビンの測定方法および測定用キットの調製を行う。 (もっと読む)


【課題】酸化剤である水を噴射弁により直接噴射する際の不具合を解消した成膜方法及びその成膜装置を提供する。
【解決手段】基板Wを内部に保持し、ポンプ71により減圧されている成膜室2内に、有機金属化合物を含む液体原料を噴射弁41により直接噴射して減圧沸騰現象により前記液体原料を気化させて、基板表面に有機金属化合物を吸着させる吸着工程と、成膜室2内に、酸化剤である水と水よりも気化潜熱の小さい有機溶媒との混合溶液を噴射弁51により直接噴射して減圧沸騰現象により前記混合溶液を気化させて、基板表面上に吸着した有機金属化合物を酸化する酸化工程と、を具備する。 (もっと読む)


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