【課題】ウェーハ端部付近における測定値変動を正しく補正し、正確な値を求めることができる半導体ウェーハ抵抗率測定装置を提供する。
【解決手段】４探針抵抗率測定器を用いて半導体ウェーハ１２の抵抗率を測定する半導体ウェーハ抵抗率測定装置において、４探針プローブ１４の４探針に供給する電流の探針と測定する電圧の探針を変更して半導体ウェーハ１２の端部から半径方向の直線上における複数の位置の抵抗率を測定手段により測定する。前記測定手段により測定された複数値に対して演算を行ってから前記各測定位置から前記ウェーハ端部までの距離と半導体ウェーハ上に生成される薄膜の端部までの距離との差による端部補正係数を乗じて抵抗値を得る。 （もっと読む）

【課題】安価で素早く高度な洗浄性能を発揮することができる超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】超音波洗浄装置１は、洗浄液７００を用いて被洗浄物８００を超音波洗浄処理する洗浄処理部１００と、洗浄液７００に対して超音波振動を照射する振動子２００と、振動子２００を圧電効果によって超音波振動させるために、所望の周波数で、且つ所望の振幅の電気信号を振動子２００に付与する発振器３００と、洗浄液７００に所望の濃度を有する気体４１０を溶解する気体溶解部４００と、振動子２００より発振される超音波振動（圧力変動）から音圧Ｐを測定する音圧測定部５６０と、音圧測定部５６０によって測定された音圧Ｐを基に、気体溶解部４００によって洗浄液７００に溶解する気体４１０の濃度を制御する制御部６００とを有している。 （もっと読む）

【課題】電子機器から発生するスイッチングノイズ等の影響を受けることなく、侵入者を確実に検知することができる反射型侵入監視装置を提供する。
【解決手段】送信部１０は送信アンテナ２１からマイクロ波を検知エリア２０へ送信する。受信部３０は検知エリア２０に侵入した対象物２２からの反射波を受信アンテナ２３で受信し、周波数変換回路４０にて受信信号ｆｒをローカル信号ｆlo、ｆｔと混合して中間周波数ｆifに変換する。周波数検波回路５０は、中間周波数ｆifを中間周波信号ＩＦ２に変換して周波数検波する。ＡＦＣ電圧生成回路５４は、反転直流増幅器６１で増幅された検波電圧ｂと予め設定したしきい値と比較し、検波電圧ｂがしきい値を超えない範囲では周波数検波部５１内の周波数変換部の周波数制御を行い、検波電圧ｂがしきい値を超えると上記周波数変換部の周波数制御を停止する。 （もっと読む）

【課題】 グループ通話に参加していない端末に対して、グループ通話の参加を促進することができる状態表示装置を提供する。
【解決手段】 構内無線システムにおける各端末の状態を表示する状態表示装置であり、構内無線システムの構内交換機から各端末の呼制御信号を取得する取得部６と、取得部が取得した呼制御信号に基づいて各端末がグループ通話に参加しているか参加していないかの状態表示をするための信号を生成する生成部１９と、グループ通話に参加していない端末に対する指示信号を外部から受けてグループ通話に参加していない端末に対してグループ通話への参加を促す信号を生成して発信する発信部５，１２をもつ状態表示装置。 （もっと読む）

【課題】超音波振動面を被洗浄物表面に近づけて処理する超音波洗浄装置で、被洗浄物に照射される超音波強度の均一性を上げ、かつ被洗浄物からの反射波の影響による発振器の不安定動作を防止し、さらに振動面−被洗浄物間での定在波の発生を抑えることで、被洗浄物のダメージを抑制し、安定かつ高い洗浄性能を得る。
【解決手段】超音波洗浄装置において、振動素子１２０と、超音波発振器１１０と、振動伝達材１３０と、洗浄液供給配管１４０とを備える。特に、振動伝達材１３０は、一端に振動素子１２０を配置し、他端に被洗浄物Ｗに対向する振動面１３１を配置し、かつ振動面１３１は被洗浄物Ｗに向かって少なくとも２個以上の微小突起１３２などの凹凸部を備える。そして、洗浄液１４１に凹凸部を有する振動面１３１を接触させて超音波を発生させる。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図り、かつ、断点を防ぐことが可能であり、さらに効率向上を図ることが可能な誘導無線用アンテナを提供する。
【解決手段】ループアンテナ１１，１２が互いに干渉し合わないように、互いの一部を重なり合わせる。そして、ループアンテナ１１，１２間の位相がπ／２だけずれるように、ループアンテナ１１，１２と合成／分配部１４との間に位相器１３を設置する。 （もっと読む）

【課題】超音波発生時の周波数に影響されることなくケーブル及び振動子の正確な接続異常を検出する超音波発生装置を提供する。
【解決手段】超音波を発生する振動子３１が接続されるケーブルＣと、所望の高周波信号を発振してケーブルに供給する発振器１２と、高周波信号の電流値を測定する測定部２４と、振動子に超音波を発生させる際は所定の周波数をもった高周波信号を発振器に発振させ、予め振動子とケーブルに対して共振周波数ｆ_Ｒを検出して記憶し、振動子およびケーブルの異常を検出する際は記憶された共振周波数ｆ_Ｒをもった高周波信号を発振器で発振させてケーブルに供給し、このときの電流値が規定値以上である場合ケーブルの断線または振動子の接続不良と判定するべく制御する制御部１１をもつ超音波発生装置。 （もっと読む）

【課題】メッセージ送信手段と交換機との接続回線数を増加することなく、複数の携帯無線機に短い時間で同一内容のメッセージを通知することができるようにしたメッセージ無線通信システムを提供する。
【解決手段】交換機４内に、ＩＰ網および基地局と接続した回線インタフェース部１８と制御部１６と、メッセージ送信手段１からのメールの宛先ＩＰアドレス２４とグループ着信とを対応付けた割付テーブル２３と、このグループ着信と各携帯無線機の内線番号２５を対応付けたグループテーブル１９とを設け、回線インタフェース部１８では割付テーブル２３からのメールの宛先ＩＰアドレス２４からグループ着信を検出し、制御部１６ではグループテーブル１９からグループ着信に対応する各携帯無線機の内線番号を抽出して同一内容メッセージメールの着信処理を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】帯域内妨害波の受けることなく安定した侵入者検知を行うことができる侵入者検知装置を提供する。
【解決手段】送信機１０はサブキャリアをＰＲＮ符号信号により変調してＰＲＮ符号変調サブキャリアとし、メインキャリアをＡＭ変調して送出する。受信機３０は受信入力を受信検波回路４０で検波しＰＲＮ符号信号を復調して妨害波の影響を除去し、更にＰＲＮ符号信号をＰＲＮ符号復調回路５０にてサブキャリアの復調を行い、直流検波器６３により受信入力に対する検波電圧を発生させてＡＧＣ電圧生成回路７０に入力し、緩慢な電界変動に対してはＡＧＣを“制御”状態とし常時受信検波回路４０の利得を制御して安定な警戒状態を維持し、急激な電界変動に対してはＡＧＣを“非制御”状態として受信検波回路４０の制御は行わずに該検波電圧を検知エリアの電界変動に直線的に追従させて侵入者の検知を行う。 （もっと読む）

【課題】構内交換機から呼制御信号を取り出して容易に通話状態を表示する状態表示装置を提供する。
【解決手段】構内無線システムにおける各端末の状態を表示する状態表示装置であって、構内無線システムの構内交換機２から全ての呼制御信号４０を取得する呼制御信号取得部２１と、呼制御信号の種別に応じて状態表示を行なうための呼制御信号の解析を行なうとともに、状態表示に用いない呼制御信号を破棄する呼制御信号解析部２６と、呼制御信号解析部で呼制御信号を解析した結果に基づいて状態表示するための信号を生成する表示信号生成部２７−３２をもつ状態表示装置。 （もっと読む）