【課題】特定の箇所に洗浄ムラが発生することがなく、異物の一部が被洗浄物に再付着せず、且つ、高回転の高トルクモーターを必要としない自公転ディスクブラシ装置を提供することにある。
【解決手段】公転アーム１０と自転ガイドリング２０と１つ以上の回転ブラシ３０とを有し、１つ以上の回転ブラシ３０は公転アーム１０にセットされ、自転ガイドリング２０の内側部と回転ブラシ３０の円周部とが接触する接触部４０を有するように設置され、公転アーム１０が回転することにより回転ブラシ３０が自公転する。 （もっと読む）

【課題】通過帯域が電子制御により可変である導波管型の共振器フィルタを提供する。
【解決手段】この共振器フィルタ１は、伝送基本モードがＴＥ１０であり、誘導性の棒状素子１１が内部に複数配置されて共振器を構成している矩形導波管１０と、矩形導波管１０の内部に発生する磁界を所定の結合度で結合するために、矩形導波管１０の内部に設けられるストリップ導体２と、ストリップ導体１２に同軸伝送線路１３を介して接続されており、バラクタダイオード１５を有する共振周波数可変部１４と、を備えている。バラクタダイオード１５の容量の変化に応じて、共振器の共振周波数が変化するようになっている。 （もっと読む）

【課題】基板の汚れ状況に対応して、不必要な洗浄時間を費やすことのないノズル方式による基板洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】基板８０を設置して回転させる回転駆動部６０と、基板８０の表面に洗浄液７５を供給するノズル１０と、ノズル１０に洗浄液７５を供給する洗浄液供給部７０と、ノズル１０の基板８０の表面上での位置を検出するノズル位置検出部２０と、ノズル１０を基板８０の表面上で移動させるノズル移動部３０と、ノズル位置検出部２０の位置検出信号と外部から入力される基板８０の汚れ検査情報信号とからノズル移動部３０を制御するノズル移動制御部４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】通過帯域の低域側、或いは低域側及び高域側に減衰極を有する、導波管を用いた有極形帯域通過フィルタを提供する。
【解決手段】導波管１１、１２、１３、１４が４段接続されるとともに、１段目の導波管１１と４段目の導波管１４がアイリス１５を介して飛び越し結合された有極形帯域通過フィルタ１である。導波管１１、１３、１４はＴＥ１０１モードの共振器として機能し、導波管１２はＴＥ１０２モードの共振器として機能する。これにより、飛び越し結合されている導波管１１、１４内に発生する電界及び磁界が反転し、導波管１１、１４の結合係数が負になる。そのために有極形帯域通過フィルタ１は、通過帯域の低域側、或いは低域側及び高域側に減衰極を有するようになる。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内のガス溶解水のガスの濃度を所定の値に保つガス溶解水循環手段を有する洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】ガス溶解部２１によりガスの濃度を制御したガス溶解水７０を、洗浄装置の洗浄槽６０の側壁から供給するガス溶解水供給手段２０と、洗浄槽６０からオーバーフローしたガス溶解水７０を排出処理するガス溶解水排出処理手段３０と、洗浄装置の洗浄槽６０内に満たされたガス溶解水７０を洗浄槽６０の下部から取り出し、循環させて洗浄槽６０の側壁から供給するガス溶解水循環手段１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板に対し、洗浄液の増加を抑え、超音波による洗浄効果の低下を生じない超音波洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】超音波洗浄のための超音波ノズル１０と、被洗浄物５０を搬送する搬送ローラ４０と、洗浄液６０を供給する洗浄液供給ノズル３０と、洗浄液６０を一旦蓄える洗浄液槽２０とを有し、超音波ノズル１０と洗浄液供給ノズル３０とは、搬送ローラ４０で搬送される被洗浄物５０の上方に位置し、洗浄液槽２０は被洗浄物５０の下方に位置している。 （もっと読む）

【課題】 被乾燥物の熱容量に関係なく、被乾燥物が乾燥槽から取り出された後、乾燥不良によるシミが発生しない蒸気乾燥装置を提供する。
【解決手段】 被乾燥物４０を乾燥させる乾燥槽１０、乾燥蒸気を発生する蒸気発生部２０、加熱蒸気を生成する蒸気加熱部３０、及び加熱蒸気を冷却する蒸気冷却部５７を有する蒸気乾燥装置１００であって、蒸気発生部２０は蒸気を発生し、蒸気加熱部３０は蒸気を加熱して加熱蒸気を生成し、乾燥槽１０は加熱蒸気が供給されて被乾燥物を乾燥し、蒸気冷却部５７は加熱蒸気を冷却して回収する。 （もっと読む）

【課題】乾燥処理部内において異物が発生しない被乾燥物の搬送手段を備えた乾燥装置を提供することにある。
【解決手段】被乾燥物４０を搬入する搬入部１０と、被乾燥物４０を搬出する搬出部２０と、被乾燥物４０を乾燥する乾燥処理部３０とを有する乾燥装置１００であって、搬送バー１１が、乾燥処理部３０を貫通して、搬入部１０及び搬出部２０の滑動支持台１２上に配置され、搬送バー１１は、搬入部１０及び搬出部２０の滑動支持台１２上を滑動することにより、搬入部１０で載置された被乾燥物４０を、乾燥処理部３０に搬入し、且つ、搬出部２０に搬出する。 （もっと読む）

【課題】形状に自由度があるホーンアンテナ装置を提供する。
【解決手段】フランジ３１が形成された中空の矩形導波管３と、この矩形導波管３の中空部分に固定されるアンテナ部２とを備えたホーンアンテナ装置１である。アンテナ部２は、略台形の４枚の板部４〜７が上底及び上底よりも長い下底で矩形を成すように構成されており、上底側で矩形導波管３の中空部分と一連になるように接続される。板部４、６は、板部５、７と接触する面に開口部が設けられる。板部５、７は、板部４、６と接触する辺に嵌合部が設けられる。嵌合部が、板部５、７の開口部に挿入されて固定される。各板部４〜７の接触部分は、接着剤により固定される。 （もっと読む）

【課題】洗浄装置の洗浄液が回転ブラシの回転軸を介して洗浄槽の外部に漏れ出すことを防止し、回転ブラシに回転駆動トルクを与えている回転機構、及びモーターの電気配線等への障害を無くする回転ブラシ支持機構を提供する。
【解決手段】Ｏリング溝１８を具備し回転ブラシ軸２２に固定される上部カバー１４と、洗浄装置の洗浄槽の底部１０に固定される下部カバー１２と、エアー注入口２０−１とエアー放出溝２０−２とを具備し下部カバー１２に固定されるエアー注入カバー１６とを有し、上部カバー１４は、下部カバー１２とエアー注入カバー１６との間に挿入された位置で回転し、エアー注入口２０−１から注入されたエアーは、エアー放出溝２０−２から放出されて、上部カバー１４とエアー注入カバー１６との間隙を充満する。 （もっと読む）