【課題】干渉光学系を用いた表面形状測定方法および装置において、複数の干渉縞画像を撮像し、測定対象の表面形状を正確に計測できる表面形状測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】光の進行方向に対して異なる角度の参照面による複数の干渉縞画像を取得する第１の過程と、前記複数の各干渉縞画像の同一座標における干渉縞振幅を比較し、その最も大きな干渉縞振幅を持つ干渉縞画像から得られる高さを実高さとする第２の過程とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上、又は、ステージと基板との間に異物が存在している場合に、ガード部材から基板が押圧されることにより基板が損傷するのを抑えることができ、さらに、異物の存在を誤検知するのを抑制する塗布装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ、スリットノズルから塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布ユニットと、スリットノズルよりも塗布進行方向側に取付けられ、スリットノズルを保護するガード部と、ガード部が衝突対象物に接触したことを検知する検知部と、を備えており、ガード部は、衝突対象物を接触させる衝突部と、この衝突部を基板から離れる側に変位させる変形促進部とを有しており、衝突部に衝突対象物が接触した状態から、さらに塗布ユニットが塗布進行方向に移動すると、衝突部が基板から離れる側に変位し、検知部はガード部に衝突対象物が接触したことを検知する構成とする。 （もっと読む）

【課題】電子写真法を用いて印刷する高い導電性の回路パターンを高い接着力で基材に形成可能な回路パターン形成装置を提供すること。
【解決手段】 基材に回路パターンを形成する回路パターン形成装置は、接着剤を吐出して、回路パターンが形成される基材上の領域に接着剤を塗布する接着剤供給部と、電子写真方式の印刷によって、接着剤供給部が接着剤を塗布した基材上の領域に第１の導電性金属粒子を供給することで、基材に回路パターンを印刷する回路パターン印刷部と、第１の導電性金属粒子よりも小さい大きさの第２の導電性金属粒子又は導電性高分子を含む導電性液体を吐出して、回路パターン上に導電性液体を塗布する導電性液体供給部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板やフィルムの表面に微細な金型の凹凸パターンを転写成形するナノインプリント法において、離型する際に転写成形された凹凸パターンに欠陥の生じない、連続して安定したパターン形成を行うことの出来る、パターン形成装置及び方法を提供する。
【解決手段】 基板もしくはフイルムの被加工物に、凹凸パターンを有する金型を押し付け凹凸パターンを転写成形するパターン形成装置であって、前記金型を前記被加工物から離型する際の力を検出する検出器と、前記転写成形を連続して行うことによる、前記検出器の測定結果の経時変化から前記金型の凹凸表面に塗布される離型剤の塗布時期を判断する判断手段を備えた装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】膜状シール方式のピストンポンプにおいて、膜状シールの長寿命化を図るとともに、膜状シールの折り返し部分における塗布液凝集の発生を抑える。
【解決手段】塗布ユニットに連通される流出口を有するハウジングと、ハウジング内を軸方向に往復動作するピストンヘッドと、少なくともハウジングとピストンヘッドとで形成される隙間を封止する膜状シールと、ピストンヘッドを往復動作させるピストン駆動装置と、ピストン駆動装置を駆動制御する制御装置と、を備えており、ピストンヘッドは、軸方向後端部分から先端部分にかけて縮径する円錐形状を有しており、制御装置は、膜状シールがピストンヘッドに接する状態に応じてピストンヘッドの移動速度を調節し、流出口から吐出される塗布液の吐出量が一定になるように前記ピストン駆動装置を駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上の塗布膜に乾燥ムラが形成されるのを抑えることができる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】基板を収容する収容部と、前記収容部の所定の位置に基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板の中心位置と対向する位置に設けられ、前記収容部の大気を排気させる排気口と、前記基板保持部に保持された基板の外周縁に沿って設けられる開口部を有しており、前記基板の外周縁に沿って環状に連通して形成される環状吸引口と、を備え、前記排気口と環状吸引口とが連通して接続されていることにより、前記排気口に吸引力が発生すると収容部の大気が前記開口部を通じて排気口から排気される構成とする。 （もっと読む）

【課題】種々の代表長さを有する充填材が含有される流体の流体流動過程における流動解析を良好に行うことができる解析装置、解析方法及び解析プログラムを提供すること。
【解決手段】流体が流動するキャビティの少なくとも一部を複数の微小要素に分割してなる３次元モデルを構築するモデル構築処理部３２と、微小要素における流体の流動コンダクタンスを決定する流動コンダクタンス決定処理部３３と、決定された流動コンダクタンスに基づいて微小要素における流体の圧力を算出する算出処理部３４とを備え、算出された流体の圧力により解析された解析結果を出力する流体流動過程の解析装置１において、流動コンダクタンス決定処理部３３は、キャビティの幅の大きさと、流体に含有される充填材の代表長さとの関係式を含む関数方程式を解くことにより決定するものである。 （もっと読む）

【課題】複数のインクジェットヘッドを用いて、大きな塗布領域に均一にムラなく、色度のばらつきを所定の幅にする仕様に関する要求を満たすカラーフィルタを低コストで製造することのできる塗布装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドモジュールは、インクジェットヘッドノズルの吐出特性を記録するメモリ２０を有し、インクジェッドヘッドモジュールから吐出特性のデータを受信し、塗布のシーケンスを示すＭａｐ情報を作成し、更新する。従って、インクジェットヘッドバー中にある数千に近いインクジェットヘッドノズルの吐出特性を逐一塗布装置の制御部に入力しなくてよい。 （もっと読む）

【課題】基幹系システムで使用している外字フォントからビットマップフォントを抽出し、変換することによって、該外字フォントをオープン系システムで利用可能とすること。
【解決手段】外字データ集合体から、一定のデータ長（ｍ）毎に並び、かつ、一定増分値を有するデータ単位を順次抽出し、前記外字データ集合体を、前記の一定のデータ長（ｍ）毎に並び、かつ、一定増分値を有するデータ単位で区切り、区切られた各々をデータ長（ｍ）の外字データと見なし、該データ長（ｍ）の外字データ各々から、所定の整数をｎ（ただしｎ×ｎ＜ｍ）として（ｍ−ｎ×ｎ＋１）個の連続したデータ長（ｎ×ｎ）のデータを外字ビットマップデータ候補として抽出し、該外字ビットマップデータ候補に基づくビットマップフォントを、操作画面上に表示及び／またはオペレータによる選択を可能としている。 （もっと読む）

【課題】ラックに複数のボックスを備えたラックシステムにおいて、ラックに多数のボックスを容易に設置でき、ボックス同士をできるだけ隙間なく設置することができる。
【解決手段】収納物を複数の収納区画部２に収納する複数のラックと、各ラック１間に形成される走行通路３０と、走行通路３０を走行して搬送する搬送装置４とを備え、ラック１が収納区画部２に収納物を囲うボックス２０を備え、走行通路３の幅Ｗより短く分割された複数の分割ボックス２０ａ，２０ｂを搬送装置４で搬送して、ラック１における所定の収納区画部２に設置し、各分割ボックス２０ａ，２０ｂを連結することで、ボックス２０を収納区画部２に形成する。 （もっと読む）