【課題】板状部材を厚み方向に沿った線を中心として回動させる場合にもタクトを短縮できる板状部材の搬送装置および板状部材の搬送方法を提供する。
【解決手段】搬送装置１０は、上方に向かって複数の噴射口から気体を噴射することによりガラス基板１１を浮上させる浮上部材２１を有する浮上手段２０と、浮上手段２０によりガラス基板１１が浮上部材２１から浮上した状態でガラス基板１１を保持するとともに搬送方向に沿って下流側に向かってガラス基板１１を搬送する搬送手段３０とを備える。搬送手段３０は、搬送方向に沿って移動可能であるとともにガラス基板１１の厚み方向に沿った線を中心として軸回転可能な吸着パッド３４を有する。パッド３４は、ガラス基板１１の平面中央部に吸着する。 （もっと読む）

【課題】
干渉光学系において干渉縞のある取得画像からアライメントマーク位置を検出する方法およびこれを用いた高速な装置を提供する。
【解決手段】
干渉光学系における撮像画像は撮像対象面３０Ａと参照面１５から同一光路を戻る反射光同士の干渉現象により、撮像装置１９で撮像した画像には干渉縞が現れる。このとき、分布干渉縞の角度θだけ画像を回転させた回転画像を作成し、その画像に対して１次元微分フィルタを掛けることにより干渉縞の輝度変動の影響を無くす事が出来、取得画像のアライメントマークの位置を正しく検出する事が出来る。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化にも影響されることなく、塗布基板を生産するのに必要なタクトタイムを短縮させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、塗布工程において前記ステージに載置された基板に塗布液を吐出して基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、乾燥工程において前記ステージに載置された基板に形成された塗布膜を乾燥させる乾燥ユニットと、を備えており、前記塗布工程における基板を載置するステージと、前記乾燥工程における基板を載置するステージとが共通のステージとした。 （もっと読む）

【課題】容易に製造でき、組立性、メンテナンス性、応答性に優れた高寿命のポンプを得る。
【解決手段】ポンプ１は、シリンダ２０内がダイヤフラム１０によって、液体を吸入および吐出するポンプ室５０と往復動部材３０を収容する駆動室６０とに仕切られ、往復動部材３０をダイヤフラム１０に離反可能に突き合い接触させ、駆動室６０内の圧力Ｐ２を常にポンプ室５０内の圧力Ｐ１よりも低く維持し（Ｐ２＜Ｐ１）、かつその差圧Ｐ３（Ｐ１−Ｐ２）を常に所定圧以上に維持して、ダイヤフラム１０を往復動部材３０の動きに合わせて作動させ、ダイヤフラム１０と往復動部材３０の結合を無くす。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂製のローリングダイヤフラムを備えたポンプで、ローリングダイヤフラムの閉鎖端をピストンの先端側にネジ結合で取付けると、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下を容易に防止できない。
【解決手段】ポンプ１は、ピストン３０とは別体に構成されたピストンロッド４０の先端部に雄ネジ４１を設け、ローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５に前記雄ネジ４１に螺合する雌ネジ１８を設け、ピストンロッド４０の先端部をローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５にピストン３０を挟んでネジ結合し、該ネジ結合のみでローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５をピストン３０の先端側に取付け、ローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５とピストン３０のネジ結合をなくす。 （もっと読む）

【課題】部品コスト及び管理コストを低減させつつメンテナンスの利便性に優れると共に反応用途の多様化を図ることのできるマイクロリアクタを提供する。
【解決手段】厚さ方向に貫通し且つ面方向に連続する貫通溝（２３）を有する貫通溝板材（２）と、平坦面（１Ｕ，３Ｄ）を有し貫通溝板材（２）と合体・分離自在とされた平坦板材（１，３）と、平坦板材（１，３）の平坦面（１Ｕ，３Ｄ）を貫通溝板材（２）に対面させた状態で、平坦板材（１，３）により貫通溝板材（２）の厚さ方向両面を挟圧する挟圧手段（７）とを備え、平坦面（１Ｕ，３Ｄ）により貫通溝（２３）を閉塞することで微細流路（Ｒ１）を形成するマイクロリアクタ（１）において、挟圧手段（７）の少なくとも一つは、微細流路（Ｒ１）を包絡する平面領域（Ｈ１）内に位置するように設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布液だけ充満させる供給装置で、誤って空気が混入したり、溶存空気が気泡になっても、これらの空気を系外に排出して、インクジェットヘッドに気泡起因の障害を発生させず、かつ塗布液の滞留起因の品質劣化を排除して塗布液の品質維持が長時間にわたって可能なインクジェットヘッドの塗布液供給装置ならびに供給方法を提供する。
【解決手段】塗布液タンクとインクジェットヘッドの中間にあって塗布液を充満して一時的に定容量貯蔵可能な中間タンクは、塗布液タンクからの塗布液が流入する入口と、インクジェットヘッドへ塗布液が流出する出口と、貯蔵する塗布液容量に応じて略重力方向に位置変化可能に配置された面可撓性膜と、前記入口と出口よりも重力方向の上方に配置されている塗布液排出口と、塗布液排出口からの塗布液の排出／停止を制御する開閉バルブと、前記面可撓性膜を減圧／加圧するためのチャンバーと、を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロ化学プラントの小型化及び低コスト化を図ることができると共に伝熱効率に優れるマイクロリアクタを提供すること。
【解決手段】内部にマイクロ流路（５）が形成されたマイクロチューブ（３２）と、マイクロチューブ（３２）を加熱する加熱手段（３１）とを備え、加熱手段（３１）によりマイクロチューブ（３２）を加熱することでマイクロ流路（５）内の被反応流体を加熱させつつ被反応流体の反応を進行させるマイクロリアクタ（１）において、加熱手段（３１）は、所定温度まで昇温可能なコア体とされ、マイクロチューブ（３２）は、加熱手段（３１）を巻芯として密に巻回されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布装置３と搬出装置５との動作タイミングを連携させる制御を容易とし、時間短縮が可能となる基板処理システム１を提供する。
【解決手段】塗布液を塗布した基板Ｗを渡すために当該基板Ｗを載せた状態で上下動作するピン１４を有している塗布装置３と、前記基板Ｗを搬出するために塗布装置３に対して接近離反移動するハンド部３１を有している搬出装置５とを備えている。塗布装置３と搬出装置５との間は通信線Ｌ５によって信号の送受信が行われる。通信線Ｌ５を通じて塗布装置３と搬出装置５との間で送信された信号に基づいて、基板Ｗを渡すためのピン１４の動作完了前にハンド部３１の移動を開始させることで、ピン１４の動作とハンド部３１の移動とを並行させる。 （もっと読む）

【課題】複数層からなる透過性を有する測定対象物から、所定層に作用している主応力の差とその方向を高速かつ精度よく求めることのできる光弾性測定方法およびこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】異なる偏光角の光を測定対象物Ｗに向けて照射する複数台の光学ヘッド４Ａ−４Ｃを備えた光学ユニット５と測定対象物Ｗを相対的に水平移動させ、測定対象物Ｗの所定層の同一焦点から反射して戻る反射光を各光学ヘッド４Ａ−４Ｃで検出する。このとき光学ヘッド内のＧＬＰに反射光を透過させ、測定対象物Ｗを構成するガラス基板Ｗ１，Ｗ２に作用している応力によって偏光状態が複屈折により変化した第２偏光と初期の光路に戻る第１偏光に分離し、第２偏光をピンホールに通過させて所定の焦点面から反射して戻る第２偏光のみを検出する。各光学ヘッド４Ａ−4Ｃによる測定結果に基づいて、所定のガラス基板に作用している主応力の差とその方向を求める。 （もっと読む）