【課題】膜厚の測定精度を向上させた膜厚測定方法、及び磁気デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板Ｓの上にマスクパターンＭを形成し、マスクパターンＭを含む基板Ｓの上に膜厚Ｔ１からなる密着層Ｌ１と、測定対象層Ｌｍと、測定対象層Ｌｍよりも高い機械的強度を有して膜厚Ｔ２からなる保護層Ｌ２とを順に積層して積層膜Ｌ０を形成した。そして、マスクパターンＭをリフトオフして積層膜Ｌ０に段差部１０を形成し、段差部１０の深さＴ０を触針法によって測定して測定対象層Ｌｍの膜厚ＴｍをＴｍ＝Ｔ０−（Ｔ１＋Ｔ２）として得た。 （もっと読む）

【課題】ポリシリコン層を備えた薄膜トランジスタの製造工程を短縮し、薄膜トランジスタをローコストに製造することが可能な薄膜トランジスタの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１０を載置した電極板９をカソード電極とし、１００ｋＨｚ以上２ＭＨｚ以下の低周波数の交流電圧を印加して、３５０℃以上４３０℃以下の成膜温度でガラス基板１０にアモルファスシリコン層を成膜する。 （もっと読む）

【課題】基板を容易に出し入れすることができ、また、生産効率を向上することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜材料ガスを導入可能なチャンバ１１と、チャンバ１１内に設けられた、基板１３を配置可能な基板配置電極１４と基板配置電極１４に略平行に対向配置された対向電極２１とからなる一対の放電電極と、を備えた成膜装置１０において、チャンバ１１内に、基板配置電極１４と対向電極２１とが交互に複数配置され、対向電極２１が接地電極として構成されるとともに、基板配置電極１４に対して１００ｋＨｚ以上２ＭＨｚ以下の低周波交流電圧を印加可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】電子移動性に優れたチャネル層をゲート絶縁層に重ねて成膜可能な薄膜トランジスタの製造方法を提供する。
【解決手段】シャワープレートから原料ガスであるモノシラン（ＳｉＨ_４ ）ガスを真空槽内に導入する。そして、電極板に１００ｋＨｚ以上２ＭＨｚ以下の周波数の交流電圧、例えば８００ｋＨｚの交流電圧を印加する。交流電圧の出力密度が０．０１〜０．１Ｗ／ｃｍ^２の範囲になるようにして、低出力でゲート絶縁膜５２の上にアモルファスシリコンからなるチャネル層５３の下層膜５３ａを成膜する。 （もっと読む）

【課題】 プラズマＣＶＤ装置に設けられた遮蔽部材に付着した付着物の簡易なクリーニング方法の提供。
【解決手段】 真空チャンバー１１内にプラズマを発生せしめるプラズマ発生手段３、真空チャンバーの底部に設けられた基板ステージ４、及び前記基板ステージに対向して配置され、発生したプラズマに基板が曝されないようにプラズマを遮蔽する遮蔽部材５を備えたプラズマＣＶＤ装置１のクリーニング方法において、酸素含有雰囲気で、プラズマ発生手段によりプラズマを発生せしめて遮蔽部材のクリーニングを行う。 （もっと読む）

【課題】光学特性に優れ、表面抵抗の低い透明導電膜の形成方法及び透明電極の提供。
【解決手段】金属酸化物の微粒子を含む塗布液を基材上に塗布して乾燥し、酸化性雰囲気ガス中で焼成し、得られた塗膜を還元性ガス雰囲気中で焼成し、次いで酸化性ガス雰囲気中で焼成して、透明導電膜を形成する。この透明導電膜から透明電極を得る。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計による形状測定時に発生する力を短時間で正確に算出できるようにする表面形状測定用触針式段差計の空気抵抗補正方法。
【解決手段】支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を取付け、一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の空気抵抗補正方法において、針圧発生装置を作動させて探針を上端から下げ、下端で一回跳ね返る際の探針変位の時間変化を測定し、測定した探針変位の時間変化に基づき探針の速度と力の関係を求め、探針の速度がほぼゼロにあるときの力を求め、求めた力に基づいて設定値とのずれを補正し、針圧発生装置に流す電流と探針にかかる力との正しい関係を求め、設定したい力に対応するコイル電流を算出する。 （もっと読む）

【課題】安定な透明導電膜形成用塗布液、電気抵抗の低い透明導電膜の形成方法、及び透明電極の提供。
【解決手段】インジウム、スズ、アンチモン、アルミニウム、及び亜鉛から選ばれた１種類以上の金属を含む微粒子が分散されている塗布液において、微粒子の表面に吸着する分散剤として、総炭素数６〜２０の脂肪酸及び／又は脂肪酸エステルを用いる。この塗布液を基材に塗布後、乾燥及び焼成して透明導電膜を得る。この透明導電膜から透明電極を得る。 （もっと読む）

【課題】正確な質量変化や粘性変化の測定を可能とする方法を提供する。
【解決手段】圧電素子又は表面弾性波素子に対する質量負荷の変化を所定の周波数の変化に基づいて測定する方法であって、前記圧電素子の共振周波数近傍又は前記表面弾性波素子の中心周波数近傍のコンダクタンス(G)及びサセプタンスを測定し、その結果得られたアドミタンス円線図から前記所定の周波数を求める際に、測定された共振周波数より高周波側のスプリアスを除く測定点から、円近似により前記円線図を求め、前記円線図において、コンダクタンスの最大値、サセプタンス)の最大値及び測定されたコンダクタンスとサセプタンスを使い、コンダクタンスの最大値を与える計算上の周波数）とサセプタンスの最大値を与える周波数を決定し、その後サセプタンスの最小値を与える周波数を求めるようにし、少なくとも第２の半値周波数の変化を測定する。 （もっと読む）

【課題】導電性に優れた透明導電膜の形成方法及び透明電極の提供。
【解決手段】インジウム、スズ、アンチモン、アルミニウム、及び亜鉛から選ばれた少なくとも１種の金属の微粒子、これらの金属から選ばれた２種以上の金属からなる合金の少なくとも１種の微粒子、又はこれらの微粒子の混合物を含有する塗布液を基材上に塗布し、形成される塗膜を１×１０^−２Ｐａ以上１×１０^２Ｐａ以下の減圧下で焼成して、透明導電膜を得る。この透明導電膜から透明電極を得る。 （もっと読む）