【課題】封止膜の形成工程以後に処理対象物がポリ尿素膜の軟化点以上の温度に加熱されても、封止膜の表面にしわが発生しない封止膜形成方法とリチウム二次電池の製造方法を提供する。
【解決手段】
イソシアナート材料とアミン材料とを別々に加熱して蒸気を発生させ、処理対象物の表面に一緒に到達させてポリ尿素膜１６ａ₂を形成するポリ尿素膜形成工程と、アルミナのターゲットをスパッタして、ポリ尿素膜１６ａ₂の表面にアルミナ膜１６ｃ₂を形成するアルミナ膜形成工程とを有する封止膜形成方法であって、アルミナ膜形成工程では、１００ＭＰａ以上の引っ張り応力を持つアルミナ膜１６ｃ₂を形成する。アルミナ膜１６ｃ₂からポリ尿素膜１６ａ₂に膜面内で縮む方向の力がかかることはなく、ポリ尿素膜１６ａ₂は軟化点の温度以上に加熱されても、膜面内で縮む方向には変形せず、封止膜１６の表面にしわは発生しない （もっと読む）

【課題】ロボットアームの伸縮過程で湾曲による鉛直方向に沿った高さ位置の変動を抑制し、かつ、軽量化も可能な搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ロボットアーム１１は、それぞれのアーム部２１ａ、２１ｂの長手方向Ｌに沿った全長のうち少なくとも一部は、長手方向Ｌに対して垂直な方向に広がる断面の形状が長方形を成す第一領域Ｅ１と、この長方形の一方の長辺Ｗ１から直角な方向に向けて突出した第二領域Ｅ２とからなる形状に形成されている。例えば、第一領域Ｅ１を成す長方形の一方の長辺Ｗ１の中央部分を中心にして、矩形の第二領域Ｅ２が突出しているような、断面が略Ｔ字型となるように形成されていれば良い。 （もっと読む）

【課題】高精細の発光層パターンを、高い生産性をもって製造することができる有機発光デバイスの製造装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】有機発光デバイスの製造装置１０は、複数の処理ユニット１１，１２と、搬送ユニット１３とを具備する。複数の処理ユニット１１，１２は、基板２上に発光層５Ｒ，５Ｇを形成するレーザ転写装置１１０，１２０を含む。搬送ユニット１３は、レーザ転写装置１１０と１２０との間に設置された搬送室１３０と、基板２を搬送する搬送機構１３１とを含む。移載機構１１３，１２３は、熱転写体５０Ｒ，５０Ｇをそれぞれ配置している。第１の処理ユニット１１、搬送ユニット１３及び第２の処理ユニット１２は、水平面においてＸ軸方向に配列されており、真空中で基板２を搬送しながら熱転写体５０Ｒ，５０Ｇにレーザを照射することで、発光層５Ｒ，５Ｇを順次形成するインライン式のレーザ転写装置を構成している。 （もっと読む）

【課題】小型で、かつ適切な蘇生処置を行うことができる人工呼吸器を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る人工呼吸器は、マスク２と、本体１０と、呼吸制御ユニット２２とを具備する。本体１０は、患者Ｐに供給される気体を貯留することが可能な内部空間Ｓと、患者Ｐの後頭部を支持することで頭部後屈姿勢を保持することが可能な第１の本体部Ｒ１とを有する。呼吸制御ユニット２２は、内部空間Ｓに貯留された上記気体をマスク２に送出する第１の状態と、マスク２から排出される患者Ｐの呼気を解放する第２の状態とを有し、マスク２と本体１０とに接続される。 （もっと読む）

【課題】化学反応性の高いアルカリ金属、アルカリ土類金属等からなる薄膜であっても、簡便かつ高い精度で膜厚を測定できる膜厚測定方法、膜厚測定システムおよび膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る膜厚測定方法は、成膜室２内のステージ２２に設置された測定用基板１０上に複数配置された振動子１１に、アルカリ金属またはアルカリ土類金属からなる薄膜を形成することを含む。上記測定用基板１０は、外部より低湿度に調節された測定室３の内部へ搬送される。測定室３内で、振動子１１を検出ユニット３２に接続し発振させることで、薄膜の膜厚が測定される。 （もっと読む）

【課題】複数種の原料ガスを、複数の隔絶空間に同等のガス供給量で導入できて、同等のガス流量で基板に供給できるようにした簡単な構成の真空処理装置用のガス供給装置を提供する。
【解決手段】反応室１ａ内を臨むガス導入部４を備え、このガス導入部は複数の隔絶空間４ａ、４ｂを有し、各隔絶空間に、原料ガスを供給する、流量制御手段５１を介設したガス供給管５_１、５_２が夫々接続されると共に、各隔絶空間から夫々反応室に通じるガス導入口４２ａ、４２ｂが設けられている。また、各ガス供給管に、他の流量制御手段７１を介設した１本のガス管７を分岐した分岐管が７_１、７_２夫々接続され、このガス管を流れるガスの流量を、ガス供給管を流れる原料ガスの流量差より多くなるように制御する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状の測定精度を大幅に向上させることのできる、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法を提供する。
【解決手段】対物レンズの下にビームスプリッター及びミラーを配し、試料表面を含めて、マイケルソン型などの干渉計を構成し、試料までの距離又はミラーまでの距離をピエゾアクチュエーターで走査し、それによりできる干渉波形をCCDカメラで撮影して動画ファイルデータとして記録し、データ収集間隔をナイキスト間隔（干渉波形の周期の１／２）よりも広く取って試料の表面形状を測定する、走査型白色干渉計による試料の表面形状の測定方法において、得られた収集波形についてヒルベルト変換を行い、包絡線と位相を得、こうして得られた位相が０になる走査位置と試料の表面高さとの関係を用いて位相が0になる走査位置から試料表面の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】結晶基板の一方の主面および他方の主面に、それぞれ備えたｐ型半導体層およびｎ型半導体層を低抵抗化することにより、光電変換効率を向上させた結晶太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】受光面と、受光面と対向する裏面との間で光電変換機能を発現する結晶基板を具備する結晶太陽電池１００の製造方法であって、結晶基板として、ｐ型の単結晶又は多結晶シリコンからなる平板状の基体１０１を用い、基体１０１の一方の主面１０１ａ側に、ｐ型のイオンを注入して、ｐ型半導体層１０２を形成する第一工程と、基体１０１に対して、第一アニール処理を行う第二工程と、基体１０１の他方の主面１０１ｂ側に、ｎ型のイオンを注入して、ｎ型半導体層１０３を形成する第三工程と、基体１０１に対して、第二アニール処理を行う第四工程と、を順に少なくとも備えている。 （もっと読む）

【課題】ドライな環境でリチウム二次電池を形成する技術を提供する。
【解決手段】薄膜リチウム二次電池形成装置１は、長手方向を有する形状に形成された移動室２と、移動室２の長手方向の一端と他端に、それぞれ設けられ、大気と移動室２との間に接続と遮断が可能な入口扉８１と、出口扉８２と移動室２内に配置され、入口扉側８１を上流とし、出口扉側８２を下流として、移動室２に搬入された基板７０を上流から下流へ移動させる移動機構と、移動室２内の基板の移動方向に沿って複数設けられ、移動室２内を入口扉８１と出口扉８２の間で複数の領域に直列に区分けする複数の仕切装置８３とを有している。入口扉８１と出口扉８２との間の移動室２には、移動室２の内部雰囲気を希ガス雰囲気にできるガス導入装置５５が接続されている。ガス導入装置５５により移動室２内部に希ガスを導入してドライな環境でリチウム二次電池を形成する。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気を維持したまま、多数の基板の薄膜の膜厚を成膜中に測定する。
【解決手段】真空槽１２内に複数のサンプル板１６を配置し、基板の成膜面に薄膜を成長させる際に、サンプル板１６の検出面６１にも薄膜を成長させ、サンプル板１６表面に測定光を照射して薄膜の膜厚測定を行うことができる。サンプル板１６には金属電極が不要であり、高温に加熱することができるので、検出面６１に形成された薄膜を加熱して除去し、サンプル板１６を再使用することができる。その結果、真空雰囲気を維持したまま、多数枚数の基板に対する薄膜の膜厚測定を行うことができる。真空雰囲気内に複数のサンプル板１６を用意し、薄膜が形成されたサンプル板１６を加熱する間に別のサンプル板１６によって膜厚測定を行うと、薄膜除去の待ち時間は生じない。 （もっと読む）