【課題】レーザ光による回路基板等のワークを加工する際に、ワークに対する加工溝幅、深さを均一に加工することができるようにする。
【解決手段】パルス状のレーザとガルバノスキャナを用いて溝を加工するレーザ加工方法において、前記ガルバノスキャナによるビームスキャン速度に同期させてレーザビームのパルス高さを増減させることで、レーザ光によるワークの加工溝幅、深さを均一に加工することができ、ワークに対する加工品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】２層の反転装置を用いて、基板の搬送、反転を合理的に行い、１台のレーザ露光機を用いるものでありながら、高い生産性で基板の両面露光を行う。
【解決手段】レーザ露光機８で露光された基板Ｂは、ハンドリング装置３１により反転装置１９の上方位置Ｕにある基板保持路２２_１に搬入される。同時に、待機部３５で待機している反転済の基板Ｂは、ハンドリング装置５６により露光台９上に移送される。両面露光済の基板Ｂは、下方位置Ｄの基板保持路２２_２から排出部３６に排出される。 （もっと読む）

【課題】 ドリルがプリント基板に突入した後に折損が発生した場合や、刃の先端部分のみが部分的に損失したチッピング等の折損を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】 ドリル折損判定の基準高さとしてドリルがワークに突入する突入側基準高さと抜け出す側の抜け側基準高さとをそれぞれ設定し、加工開始時、ドリル交換時、又はワークが所定距離以上移動した時に、所定回数の基準決め動作を行うことによって、前記突入側基準高さと前期抜け側基準高さをそれぞれの最も低い位置とした後、通常加工動作を行わせる。 （もっと読む）

【課題】 工具測定をプリント基板１スタックの加工後毎に行い、プリント基板１スタック加工前後の工具径を比較することで、不良基板の発生枚数を最小限に抑えることができ、加工効率の低下を防止でき、かつ、欠けた工具で加工した不良基板を後工程へ渡すことを防止できる加工方法を提供する。
【解決手段】 工具径測定手段を有する加工装置を用いて、プリント基板と工具とを相対的に移動させることで前記プリント基板を加工する加工方法において、工具径を測定し、前記プリント基板１スタックを加工し、加工後、再び工具径を測定し、前記プリント基板１スタックの加工前の工具径と加工後の工具径との差の絶対値が、予め設定された工具径差許容値よりも大きい場合は、アラームを出し加工動作を停止することで、不良基板の発生枚数を最小限に抑えることができ、加工効率の低下を防止でき、かつ、欠けた工具で加工した不良基板を後工程へ渡すことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 露光装置の設置床面積を小さくすることができる露光装置を提供すること。
【解決手段】 光学エンジン３１と、軌道９Ｒｂと軸受け９Ｒａとからなる直線案内装置９Ｒにより第１のＸテーブル５Ｒ上をＹ方向に移動自在な第１のＹテーブル２０Ｒとからなり、該軸受け９Ｒａが該第１のＹテーブル２０ＲのＹ方向の長さの１／２未満を支持する第１のＸＹテーブルＲと、光学エンジン３１のＹ方向の左側に配置され、光学エンジンのＹ方向に垂直な対称面Ｐに関して第１のＸＹテーブルＲと構成が対称である第２のＸＹテーブルＬと、を設け、第１のＹテーブル２０Ｒ又は第２のＹテーブル２０Ｌを露光位置に位置決めしたときに第１のＹテーブル２０Ｒ又は第２のＹテーブル２０Ｌを支持する、実質的な支持端（端面９Ｒａ１ｆ）が、対称面Ｐから１０ｍｍ以下になるように配置する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で精度よく工具とワークとの接触を検出可能な加工装置を提供する。
【解決手段】絶縁された電極部材１７ｅをロータシャフト１６の受圧部１６ａに近接して配置し、これら受圧部１６ａと電極部材１７ｅとの間でキャパシタＣを形成する。ステータ１９ｂにインバータ電源２０から電流が供給されると、ロータシャフト１６には、軸電圧が誘起され、この軸電圧は、キャパシタＣを介して電極部材１７ｅにも誘起されると共に、電極部材１７ｅには軸電圧を検知する検知装置２９が接続されている。検知装置２９は、スピンドルが下降して、ドリル５の先端がアースされた状態のワークに当接することによって、今まで検知していた軸電圧が検知できなくなると、検知信号をＮＣ装置３０に出力する。ＮＣ装置３０は、検知信号が入力されると、ドリル５がワークに当接したと判断し、その位置から所定の深さまでドリル５を加工して穴を穿設する。 （もっと読む）

【課題】トルク定数と慣性モーメントの比を向上させ、駆動に必要な電流を小さくして駆動時の消費電力の低減を図る。
【解決手段】回転中心となる軸１０と該軸周りに配置され該軸の円周方向に複数極に分極された永久磁石１１で構成される回転子と、該回転子の外側に空隙を介して配置されたコイル１３とヨーク１４とアウターケース１５とで構成される固定子とを有し、回転子が所定の角度範囲内で揺動するガルバノスキャナ１において、永久磁石１１には回転軸方向の溝５０を周方向に隣り合う永久磁石１１の磁極に跨って形成し、当該永久磁石１１は分割線６０によって１極あたり２個以上に分割した。 （もっと読む）

【課題】 加工品質を維持しつつ、工具の交換寿命を長くすることができる加工方法を提供する。
【解決手段】 テーブルを移動させるためのＸ軸と、工具１４を移動させるためのＹ軸およびＺ軸と、前記Ｘ、Ｙ、Ｚ軸を制御する制御部を有する加工装置を用いて、ワーク１をテーブルに載置し、前記工具１４をＸ、Ｙ軸方向に相対的に移動させて、ワーク１を加工する加工方法において、前記工具を上昇または下降させる間の水平方向の移動距離（距離Ａ）を予め設定し、水平方向の移動距離が前記距離Ａに到達するまで前記工具１４を連続して上昇または下降させる。 （もっと読む）

【課題】 ミラーマウントの剛性が高く、ミラーを短時間で交換することができるガルバノスキャナを提供すること。
【解決手段】 レーザ光を反射するミラーと一体のミラーマウントをモータの出力軸に固定して、ミラーを揺動動作させるガルバノスキャナにおいて、内径が出力軸４の外径よりも大径で、外周部にテーパ部を備える楔形リング７と、内径が出力軸４の外径よりも大径で、楔形リング７を出力軸４の軸線O方向に付勢するフランジ８（付勢手段）と、を設けると共に、ミラーマウント５に、テーパ角度が楔形リング７のテーパ部と同一の穴５ｂを設けておき、フランジ８、楔形リング７、ミラーマウント５の順で出力軸４に係合させ、この状態で、フランジ８をミラーマウント５に付勢することにより楔形リング７を径方向に変形させ、摩擦力によりミラーマウント５を出力軸４に固定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、移動テーブルによって移動される被加工部材の固定テーブルとの間に発生する摩擦抵抗を抑制し、被加工部材の位置決めを素早くかつ精度良く行うことが可能な穴明け加工装置を提供すること。
【解決手段】第１方向Ｘに移動可能な加工部４４と、加工部４４と対向する位置にあって、プリント基板２を載置する固定テーブル５０及び固定テーブル５０に載置されたプリント基板２を固定すると共に、載置されたプリント基板２を第１方向Ｘと直交する第２方向Ｙに移動させる移動テーブル５１を有する加工テーブル１０と、を備え、加工部４４と移動テーブル５１とを移動させてプリント基板２の加工位置の位置決めを行うプリント基板加工機１において、固定テーブル５０にエアを供給するエア供給器５３を備え、固定テーブル５０は、固定テーブル５０に載置されたプリント基板２にエア供給器５３から供給されるエアを噴射する複数の噴射穴５２を有する。 （もっと読む）