【課題】暖機運転に必要な時間を短縮すると共に、煩雑な作業を伴わずに加工精度を安定させる。
【解決手段】レーザ発振器から出射されたレーザビームを、加工光学系を介してワークに入射し、ワークをレーザ加工するレーザ加工装置であって、加工光学系が、レーザビームをワークに対して垂直に入射・集光させるためのスキャンレンズ９と、スキャンレンズ９を予め設定された温度に加熱するヒータ１１と、を備え、ヒータ１１はスキャンレンズ９の外周部に対して近接離間可能に設けられている。ヒータ１１に対しては、ヒータ１１が離間した場合には断熱部材１３をヒータ１１とスキャンレンズ９との間に位置させ、近接した場合には断熱部材１３をヒータ１１とスキャンレンズ９との間から後退させる。 （もっと読む）

【課題】冷媒通過による潤滑不良やグリース漏れを生じることなく永久磁石の温度上昇を抑制することができるようにする。
【解決手段】永久磁石１２を保持する回転軸１１の一方にミラー１００が、他方にエンコーダ板１７がそれぞれ取り付けられた回転子２０と、自身の内部空間に前記回転子を回転可能に収納した固定子３０と、を備え、回転子２０が所定の角度範囲内で微小回転するガルバノスキャナ１において、回転軸１１の軸方向に設けられた中空部２と、中空部２に配置され、エンコーダ板１７側の端部から供給される回収不要の冷媒を中空部２内に噴射するノズル６０と、噴射された冷媒が回転子２０内を通過し、回転子２０の端部側から排出される冷却経路４０，４１，４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】移動テーブルの移動方向に狭い幅のワークを搬入位置から加工位置へ移動させてもワークの破損を防ぎ、加工品質の劣化を防止する。
【解決手段】ワークとドリルとを相対的に移動させてワークを加工するワーク加工方法であって、固定テーブルからX方向に外れた予め設定された搬入位置にワークを配置する工程と、ワークを第1の速度V₁でX方向の加工位置側に移動させる工程(S201)と、搬入位置にあるワークの固定テーブル側のX方向の端部W_xが、固定テーブルから搬入位置側に予め定められたX方向の第1の位置C_xに到達したとき、速度を第1の速度V₁から第2の速度V_xに減速する工程(S204,S205)と、ワークの固定テーブル側のX方向の端部W_xが、固定テーブルからX方向の機械原点に対応する第2の位置O_xへ到達したとき、速度を第2の速度V₂から第1の速度V₁に戻し、加工位置に移動させる工程(S207)と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】厚さにバラツキのある基板を加工する場合でも貫通穴が確実に加工できるようにする。
【解決手段】前記ドリルの刃長をＨ_４、ワーク１スタックの厚さをｔ_１、導電板の厚さをｔ_２、調整値をαとしたときに「Ｈ_４＞ｔ_１＋ｔ_２＋α」の関係が成り立つことを確認する第１の工程と、テーブル上に下板を、下板上に導電板を、導電坂上にワークを、順に重ねる第２の工程（Ｓ１）と、第２の工程で重ねられたワークの加工位置の上方にドリルを移動させた後、下板の表面までの切り込み量として予め設定された切り込み量で下降させる第３の工程（Ｓ２）と、第３の工程で下降している過程でロータシャフトに誘起される電圧が導電板に印加されるか否かを検出した後、前記ドリルの先端長である追加切込み量だけ前記ドリルを下降させる第４の工程（Ｓ３）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】陰極で発生する水素などの気体の影響を低減して、陽極となる基材表面の金属層に効率良く金属酸化物を形成することが可能な水平型の電解表面処理装置を提供する。
【解決手段】水平状態の基材表面に金属酸化物を形成する電解表面処理装置１において、陽極となる基材２と対向する陰極９との間に液体の流通を許容すると共に気体の流通を阻止する気液分離層１５を設ける。この気液分離層１５によって、陰極９にて発生した気体は、基材側へと移動することが阻止され、気液分離層１５の端部から金属酸化物が形成される基材２の表面と接触することがなく排出される。 （もっと読む）

【課題】 搬入装置と搬出装置との間の移動時間をなくして作業効率を向上でき、搬入装置と搬出装置での作業状況を同時に確認、把握できるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 レーザ加工機と、加工前のワークを積載する搬入側ストッカと、吸着パッドが設けられた前記複数のワークと同数の吸着パッドフレームと、ワークを一時的に保持しておき前記複数のワークより１つ少ない個数の搬入側ワーク載置台と、から構成された搬入部と、加工後のワークを積載する搬出側ストッカと、吸着パッドが設けられた前記複数のワークと同数の吸着パッドフレームと、ワークを一時的に保持しておき前記複数のワークより１つ少ない個数の搬出側ワーク載置台と、から構成された搬出部と、を備え、前記搬入部と前記搬出部を上下に配置し、前記搬入側ストッカと前記搬出側ストッカを前記レーザ加工機に対して一方向に並べて配置した。 （もっと読む）

【課題】冷却液が垂れ出し、また、冷却液が飛散して加工装置内を汚すことがないように短時間での冷却液の排出を可能にする。
【解決手段】エアーとの共通配管であるクーラント液供給配管によってクーラント液をノズルに送り、当該ノズルからエアーによりクーラント液をワークへ噴射させながら工具で加工するワークの加工方法であって、ノズルからのクーラント液噴射を停止した後、クーラント液供給配管内のクーラント液をエアーにより排出させる第１の工程（ステップＳ２ないしＳ４）と、第１の工程でクーラント液を排出させた後、エアーを前記配管内に断続的に供給することにより残ったクーラント液を排出させる第２の工程（ステップＳ６〜Ｓ９）と、第２の工程でクーラント液を排出させた後、エアーを前記配管内に供給し、当該配管内を乾燥させる第３の工程（ステップＳ１０、Ｓ１１）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】加工動作中に常時ガルバノスキャナの振動特性を取得し、また取得データと加工条件から加工形状を推測することで、ガルバノスキャナの機能低下による加工形状不良が発生しないレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】指令信号と現在位置との偏差に基づいてミラーを揺動させるアクチュエータを動作させ、前記ミラーに入射する光の出射角を制御するガルバノスキャナ制御装置を持つレーザ加工装置において、偏差１１１の振動成分の特徴量を算出する偏差信号分析部２０７と、特徴量を記録する記憶部２０８と、記録された偏差波形の特徴量とレーザ光照射条件から加工形状を予測する加工形状推定部２０９と、予測された加工形状を使用者に伝える表示部２１０を持つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ドリルの軸心Ｏの位置を常に予め設定した位置に位置決めすることができ、加工精度を向上させることができる穴明け加工機を提供すること。
【解決手段】 ドリル１２を保持するためのコレットチャック２２を備え、ドリル１２を回転させるスピンドルモータ２０と、コレットチャック２２を開閉させるシリンダ３０と、スピンドルモータ２０を軸線Ｏ方向に移動自在に支持するスリーブ５０と、スリーブ５０を軸線Ｏ方向と直角な２方向に移動可能な貫通穴５１ａ（空間）を内部に備えるスリーブホルダ５１と、スリーブ５０をスリーブホルダ５１に対してＸＹＺの３軸方向に固定するシリンダ５２とを設ける。そして、コレットチャック２２でテーブル２上に配置された位置決め基準ピン６０を保持させることによりコレットチャック２２を介してスリーブホルダ５１に対するスリーブ５０の位置を定め、その後、スリーブ５０をスリーブホルダ５１に固定する。 （もっと読む）

【課題】高出力でかつ品質の安定したパターン露光装置を提供する。
【解決手段】平行光ビームとワークとを相対的に移動させ、前記平行光ビームにより前記ワークにパターンを露光するパターン露光装置において、前記平行光ビームを主走査方向に走査させる主走査手段と、前記ワークを副走査方向に走査させるステージと、前記平行光ビームを出射するための、活性層に沿う方向が前記主走査方向に対して垂直であるマルチモードの半導体レーザとを備え、前記ワークの任意の露光箇所を前記平行光ビームで露光することを特徴とするパターン露光装置。 （もっと読む）