【課題】安定した高品質の酸化剤を高い生産性で得ることのできる酸化剤の精製方法及びその精製装置を提供する。
【解決手段】酸化剤の精製方法が、不純物を含む酸化剤溶液を無機吸着材と接触させて前記不純物を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接続作業を容易かつ確実に行うことができ、しかも施工後の接続接合部からの微粒子の発生を少なくした高純度液体用配管の接続方法を提供すること。
【解決手段】合成樹脂管の一端の管内面と管外面のエッジ部に面取り加工を施し、この合成樹脂管を溶解又は膨潤させる揮発性溶剤で面取り部とその近傍を拭ってから、この端部を合成樹脂製スリーブに挿入する。 （もっと読む）

【課題】レジスト上にナノサイズのバブル（気泡）や凹凸を発生させることのない液浸露光装置用超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置で処理され半導体製造工程へ洗浄水として供給される超純水を分取し脱気膜を通過させて溶存窒素ガス量が３ｍｇ／Ｌ以下、溶存酸素ガス量が５０μｇ／Ｌ以下になるまで脱気する。脱気した超純水をイオン交換装置、限外濾過膜に通過させて超純水中のイオン成分と微粒子を除去する。 （もっと読む）

【課題】電力コストが安価で、光源の交換が半永久的に不要なため維持管理負担が小さく、小型化された構造に形成可能で、有機化合物の分解効率の高い超純水製造装置を提供する。
【解決手段】被処理水の流路に沿って順に配置された有機質分解手段とイオン吸着手段からなる有機質除去装置を備えた超純水製造装置において、前記有機質分解手段は、被処理水の流路となる紫外線透過性材料からなる管体と、前記管体の被処理水と接する側に被着された光触媒層と、前記管体の光触媒の被着された側と反対側に前記光触媒層に向けて配置された紫外線を照射する発光ダイオードと、前記発光ダイオードを駆動させる電源装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報を取得することができるスラリー中の異物の検査方法を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である孔径を有したろ過膜に、サンプリング工程で採取したスラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、スラリーを通液したろ過膜の表面に存在する異物を検査する異物検査工程と、を有する異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】生育環境の溶存酸素濃度を効率的に高めると共に、活魚の生体へ影響を与えることがない活魚生残率向上装置及び活魚生残率向上方法を提供する。
【解決手段】活魚が生育可能な液体２を収容することができる水槽３と、該水槽３に収容された海水中に酸素を供給して溶存酸素濃度を高めることができる微小気泡放出手段４とからなる活魚生残率向上装置１。微小気泡放出手段４は、水槽３の底部に設置され微小気泡５を液体２中に放出する。 （もっと読む）

【課題】
低コストで簡易な方法により、使用済みのスラリを未使用のスラリと同様の研磨品質に再生させるスラリ再生方法を提供すること。
【解決手段】
不純物が含まれたことによりゼータ電位が変化した使用済みスラリＵＳを、金属除去フィルタ１３を通過させることにより使用済みスラリＵＳ内の不純物を除去し、使用済みスラリＵＳのゼータ電位を不純物が含まれる前のスラリと同様なゼータ電位の状態まで回復させることにより、低コストで簡便に使用済みスラリＵＳの再生を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高純度液体のユースポイントへの移送配管を組むことなく配管部材内壁からの微粒子発生傾向を推定することができる微粒子発生の評価方法を提供する。
【解決手段】（ａ）被測定配管の一部で、内径が２ｃｍ以上、１０ｃｍ以下で、長さが内径の２５倍以上、３００ｃｍ以下の実質的に直線状部位を測定管とし、（ｂ）測定管の一端部を閉じ、（ｃ）測定管に、測定管内容積の７０％以上、９５％以下に相当する量の液体を封入し、（ｃ）測定管のもう一方の端部を閉じ、（ｄ）測定管を水平長手方向に往復振盪させ、（ｅ）測定管から液体を取出し、（ｆ）この液体中の微粒子数を計測する、の各段階を経て配管部材内壁からの微粒子発生傾向を評価する。振盪は、測定配管の長手片道方向に毎秒、内径の０．３倍以上、４０ｃｍ以下の速度で水平に移動させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、開閉動作を繰返してもシートリングから微粒子の放出を抑制し、かつ、装置自体が簡便な構成からなることを特徴とするバタフライバルブを提供する。
【解決手段】流体通路を構成する開口を有する円筒状バルブ本体２と、開口内面に装着されたシートリング３と、シートリングと圧接することによって流体通路を閉止状態とする弁体４と、この弁体を回動自在とし、円筒状バルブ本体に保持された回転軸５と、を有するバタフライバルブであって、弁体の閉止状態における限界位置が、流体通路に直交する平面と閉止状態における弁体とのなす角が３〜１０°となる位置であることを特徴とするバタフライバルブ１。 （もっと読む）

【課題】製造工程において金属汚染を受け搬送タンクに保管されている研磨スラリーや研磨工程で使用されて廃液タンクに保管されているような研磨スラリーの汚染金属を除染して、再使用を可能とする金属汚染された研磨スラリーの除染方法を提供すること。
【解決手段】金属汚染を受けたｐＨ８〜１４に調整された研磨スラリーを、金属汚染を受けたときから２４時間以内に金属キレート形成能を有する官能基が少なくとも表面に固定化されている繊維もしくは粒状体と接触させる。これによって、従来再生が事実上不可能だったタンク保管の研磨スラリーについても除染することが可能になる。 （もっと読む）