【課題】特別な試薬を必要とせず直接的にオゾン濃度を測定することができる、安価で精度の高いオゾン濃度の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象となるオゾン水に可視光を照射可能な投光部２ａとこの投光部から照射された可視光の前記測定対象オゾン水による反射光又は透過光を検出する受光部２ｂとからなる光電センサ２と、測定対象となるオゾン水を収容することができるオゾン水収容槽３と、受光部で検出した受光量に基づいてオゾン水中のオゾン濃度を算出する演算部４と、を有するオゾン濃度測定装置１。 （もっと読む）

【課題】スピンコーターカップ、半導体ウェハ、液晶ガラス基板等の被洗浄物に被着した
有機被膜を、短時間で除去するとともに、洗浄剤を代えずに多数回にわたり繰り返し洗浄
できる生産性、経済性の優れた洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の噴射口を備えた洗浄液噴射アーム及びすすぎ液噴射アームを、被洗浄
物の上下に噴射口を前記被洗浄物に向けて回転可能に配設して、洗浄液としての炭酸アル
キレン、すすぎ液としての純水を順に、高速で吹き付けて洗浄及びすすぎを行う。炭酸ア
ルキレンによる洗浄、純水によるすすぎの後に、被洗浄物に向けて高速気体を噴射して液
切りする。洗浄後の炭酸アルキレンは、ヒーターを備えた洗浄液再生槽でオゾンで汚染物
質を分解して循環再使用する。 （もっと読む）

【課題】オゾン濃度を高く維持し、かつ安定したオゾン氷を製造することができる高濃度オゾン氷の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】イオン交換膜の両側にそれぞれ多孔質の陽極物質、及び、陰極物質を密着配置させ、イオン交換膜を固体電解質として純水を電解することにより、陽極側よりオゾンガス及び酸素ガスを、陰極側より水素ガスを発生させることが可能な電解ガス発生手段２と、電解ガス発生手段の陽極側へ純水に炭酸ガスを溶解させた炭酸水を供給する炭酸水供給手段３と、電解ガス発生手段の陽極から発生したオゾンガスを、純水に炭酸ガスを溶解させた炭酸水と接触させオゾン水とするオゾン接触手段４と、オゾン接触手段により得られたオゾン水を氷点下に冷却してオゾン氷とするオゾン水冷却手段５と、からなるオゾン氷の製造装置１。 （もっと読む）

【課題】純水及び超純水製造におけるＲＯ膜処理工程において、ＲＯ膜材質を侵さず、かつ、広範囲にわたる抗菌スペクトルを有し、処理して得られる純水及び超純水の水質に影響しない殺菌剤及び純水又は超純水の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、分子内に臭素原子を含有する化合物Ａ及び分子内にアミノ基を含有する化合物Ｂを混合してなる組成物を有効成分とする殺菌剤、及び該殺菌剤を使用した純水又は超純水の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】極めて低い濃度の不純物まで定量することでき、かつ分析操作中に外部からの汚染を少なくして測定精度を高めることができ、しかも簡単な操作で実施できる水中成分定量用サンプリング装置、およびサンプリング方法を提供する。
【解決手段】水中成分定量用サンプリング装置は、水主配管から分岐されたサンプリングラインに流量調整バルブ、マニホールドを接続し、マニホールドの下流側には、少なくとも一つの流量調整器と複数の固相抽出カートリッジ、さらに必要によりフィルターホルダーが接続される。固相抽出カートリッジには、陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂、あるいはキレート機能のある樹脂が充填され、フィルターホルダーにはフィルターが取付けられる。サンプリング方法は、この装置に水を流して水中の特定成分を濃縮固定させることにある。 （もっと読む）

【課題】不純物を含有する炭酸エチレンを、オゾン分解等の特別な装置等を用いることなく、再生を効率的に行うことができる簡易な炭酸エチレン精製方法を提供する。
【解決手段】炭酸エチレンを含む少なくとも２種の有機溶剤を含み、炭酸エチレンが許容溶解量又は許容溶解量に近い量溶解している混合溶剤に、不純物を含有する炭酸エチレンを加えて混合溶剤の許容溶解量を超えた炭酸エチレンの粗結晶を析出させる結晶析出工程と、結晶析出工程で析出した炭酸エチレン粗結晶を混合溶剤から分離する固液分離工程と、固液分離工程で分離された炭酸エチレン粗結晶を加温し表面の炭酸エチレン結晶を溶解するとともに表面の不純物を除去する結晶精製工程とを有する炭酸エチレン精製方法。 （もっと読む）