【課題】 半導体基板裏面を高スループットで研削、研磨加工し、基板を薄肉化・平坦化することができる異物の付着が少ない半導体基板を製造する平坦化加工装置、およびそれに用いる仮置台定盤の提供。
【解決手段】 半導体基板のローディング／アンローディングステージ室１１ａ、裏面研磨ステージ室１１ｃ、裏面研削加工ステージ室１１ｂに各々の機械要素を収納した平坦化装置１であって、同時に２枚の基板を研磨加工する裏面研磨ステージ７０のスループット時間を１枚の基板を研削加工する裏面研削加工ステージ２０のスループット時間の約２倍に設計した平坦化加工装置１。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板裏面を高スループットで研削、研磨加工し、基板を薄肉化・平坦化することができる異物の付着が少ない半導体基板を製造する平坦化加工装置の提供。
【解決手段】 半導体基板のローディング／アンローディングステージ室１１ａ、裏面研磨ステージ室１１ｃ、裏面研削加工ステージ室１１ｂに各々の機械要素を収納した平坦化装置１であって、同時に２枚の基板を研磨加工する裏面研磨ステージ７０のスループット時間を１枚の基板を研削加工する裏面研削加工ステージ２０のスループット時間の約２倍に設計した平坦化加工装置１。 （もっと読む）

【課題】 被研削材の円筒研削加工時間を短縮できる円筒研削方法の提供。
【解決手段】
カップホイール型砥石１１ｇを軸承する前後移動可能な砥石軸１１ａと前記カップホイール型砥石の直径より１０〜２５ｍｍ小さい直径のカップホイール型砥石１１ｇを軸承する前後移動可能な砥石軸１１ａを、これら砥石軸１１ａ，１１ａの軸芯１１ｏが同一直線上にあり、かつ、この同一直線は前記ワーク軸に対し直角になる位置に設けた円筒研削装置１を用いて、クランプ機構７ａ，７ｂに支架された回転している円柱状ワークｗに切り込みを掛け、ついで、回転している円柱状ワークｗを横方向に移動させながら前記カップホイール型砥石１１ｇ，１１ｇでトラバース研削加工する。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトな角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置を提供する。
【解決手段】角柱状インゴットの４隅Ｒコーナ部の円筒研削加工を１個の研削車９ｇで、角柱状インゴットの４側平面の面取りを一対の粗研削砥石１０ｇ，１０ｇで同期制御研削加工行ったのち、その面取り面４面を一対の精密仕上げ研削砥石１１ｇ，１１ｇで同期制御研削加工して面取りを完成させるインゴットの面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板裏面を高スループットで研削、研磨加工し、基板を薄肉化・平坦化することができる異物の付着が少ない半導体基板を製造する平坦化装置の提供。
【解決手段】 半導体基板のローディング／アンローディングステージ室１１ａ、裏面研磨ステージ室１１ｃ、裏面研削加工ステージ室１１ｂに各々の機械要素を収納した平坦化装置１であって、同時に２枚の基板を研磨加工する裏面研磨ステージ７０のスループット時間を１枚の基板を研削加工する裏面研削加工ステージ２０のスループット時間の約２倍に設計した平坦化装置１。 （もっと読む）

【課題】 寸法精度の優れる研削加工ワークを与える。
【解決手段】 機上画像計測７，８システムおよびエアブロー機器６を備えたＮＣ研削装置１。 （もっと読む）

【課題】被研削加工ワークの補正研削加工時間を短縮でき、かつ、寸法精度の優れる加工ワークを与える。
【解決手段】機上画像計測システムおよびエアブローを備えたＮＣ研削装置を用いて、ワークの測定基準位置と公差を数値制御装置に入力した後に砥石によるワークの研削加工を開始し、ついで、研削加工を終了させて得られた研削加工ワークにエアブローしながら公差を測定し、補正研削加工プログラムを作成した後、補正研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】 哺乳類、爬虫類、両生類、鳥類、魚類、甲殻類、軟体類等の移動体に付帯させて移動体の姿勢や環境データなどを蓄積するコンパクトなデータロガー装置の提供。
【解決手段】 メモリ装置１０３とサーミスタ１０４と圧力センサ１０５と３軸加速度センサ２０１と中央演算装置（ＭＣＵ）２０３を搭載するデータロガー装置１００。温度、圧力の環境データとともに、移動体の姿勢のデータも採録できる。 （もっと読む）

【課題】 被研削材の研削加工時間を短縮できる複合平面研削装置の提供。
【解決手段】 左右方向に往復移動するワークテーブル３１上に載置された被研削物の表面を、ワークテーブルの中心点３１ｃと粗研削砥石２６ａの直径方向と仕上研削砥石２６ｂの直径方向を含む鉛直平面上に、かつ、ワークテーブルの中心点３１ｃ位置が、研削加工開始時待機位置の前記粗研削砥石の中心点２５ａと前記仕上研削砥石の中心点２５ｂから等距離の位置に砥石２６ａ，２６ｂを配置してなり、砥石軸に超音波発信器４９を備えさせた複合平面研削装置１。砥石の交換をすることが不要であり、砥石軸を超音波振動させることにより被研削材と砥石間の研削屑の離脱を容易とするので、研削加工時間を短縮できる。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの値が小さい歯形、歯筋を有する傘歯車を創成する。
【解決手段】 ワーク軸Ｗをクレードル軸Ａ_ＣＲに対して傾け、前記ワーク軸に固定された台形円錐状ワーク１０をクレードルで揺動させながらこの台形円錐状ワーク外周面に切削工具軸Ｔに回転可能に軸承された切削工具３を前進・当接・回転させて前記ワーク外周面に歯形、歯筋を創成するクレードル式傘歯車創成装置１であって、前記回転および前進する切削工具軸Ｔに超音波振動を付加する超音波発生装置９を設ける。 （もっと読む）