説明

学校法人 関西大学により出願された特許

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【課題】 半導体ウェハに対する回路パターンの転写を阻害するデブリを発生させることなく、半導体ウェハに高集積化した回路を形成するのに最適な短波長の光を発生させることのできる半導体リソグラフィ用光源装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 内部空間が形成された空洞共振器と、電気絶縁性を有する非磁性の材料で形成され、内部に希ガス又は希ガスが充填される空洞体と、前記空洞共振器の内部空間に電磁波を供給するための電磁波供給手段とを備え、前記空洞体は、少なくとも一部から短波長の光成分又は該光成分を含んだ光を放出可能に構成されるとともに、空洞共振器の内部空間に少なくとも一部が位置するように配置され、空洞共振器は、前記空洞体から放出される短波長の光成分又は該光成分を含んだ光を外部へ放出可能な光放出部が形成されている。 (もっと読む)




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