【課題】出力波高値の変動を抑え、高いＳＮ比を備える荷電粒子線装置を提供することを課題とする。
【解決手段】荷電粒子線装置において、出力信号が当該検出器へ一つの荷電粒子が入射される状態における出力信号であるか、当該検出器へ複数の荷電粒子が入射される状態における出力信号であるかを判定する判定部と、前記出力信号が当該検出器へ一つの荷電粒子が入射される状態における出力信号であると判断された場合には、パルスカウント法による信号処理により画像形成を行い、前記出力信号が当該検出器へ複数の荷電粒子が入射される状態における出力信号であると判断された場合には、アナログ法による信号処理により画像形成を行う演算部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 （もっと読む）

【課題】光量変化を保ちながら気泡・ごみの影響を低減するデータ処理方法。
【解決手段】前方方向に２つの散乱光受光器を配置し、光軸に近い側の受光器３３ａを主角度受光器とし、光軸から遠い側の受光器３３ｂを副角度受光器とする。副角度受光器の反応過程データからノイズを推定し、推定したノイズを主角度受光器の反応過程データから差引くことによりノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大面積に成膜形成が可能なＥＳＤ装置及びＥＳＤ方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、材料を溶かした溶液に電圧を印加し、前記印加によって生じる電荷を有する噴霧液を処理対象に向けて噴霧し、前記印加を前記処理対象を搭載する搭載部との間で行なうに際し、前記噴霧は前記溶液を有し噴霧口を有する複数のノズル部で行ない、前記印加は隣接するノズル部から噴霧される噴霧液間の静電反発を抑制するように制御されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プラズマ密度の凸分布傾向を改善したマイクロ波プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置の伝送系が円形導波管を用いて構成され、電磁波供給機構が該円形導波管に接続された略円柱状の空洞部からなり、該空洞部にリッジ３０１を設けること、あるいは、リッジ３０１とテーパ導波管４０１を併用することでマイクロ波の中心集中傾向を改善する。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークの画像を取得する画像取得装置の視野内に、マスクのアライメントマークを短時間で容易に入れる。
【解決手段】フォトマスク２に、複数のアライメントマーク２ａＲ，２ａＧ，２ａＢを設け、アライメントマーク２ａＲ，２ａＧ，２ａＢの周囲に、アライメントマーク２ａＲ，２ａＧ，２ａＢの位置の情報を含む複数の位置情報マーク２ｂ，２ｃを設ける。位置情報マーク２ｂ，２ｃの画像を複数の画像取得装置により取得し、取得した位置情報マーク２ｂ，２ｃの画像に含まれるアライメントマーク２ａＲ，２ａＧ，２ａＢの位置の情報に基づいて、各画像取得装置を移動することにより、画像取得装置の視野内に、マスクのアライメントマークを短時間で容易に入れることができる。 （もっと読む）

【課題】
車体歪みによる基準レーザ光の上下変動の範囲を抑えることで車両の床下と車体フレームとの間に車体歪み測定装置を設置することが可能でかつ検測車の床上には多くの機器、測定装置を搭載するスペースを確保することができる検測車の車体歪み測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レーザ投光器と第１の受光器との間にレーザビームを受けてその光軸の角度を調整する角度調節器を設けることで歪みによるレーザビームの光軸の変動、特に、上側への変動を角度調節器で調節できるようにして検測車の床下に設ける第１，第２の受光器の高さを低く抑え、この角度調節器とレーザ投光器と第１および第２の受光器とを検測車の車体フレーム上でかつ検測車の床下に配置することができるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】複数のローラを用い、ローラの基板への接触面積を増加させることなく、基板の搬送を安定して行う。
【解決手段】基板移動方向に所定の間隔で設けた複数の第１のローラ２０に基板１を搭載し、複数の第１のローラ２０を回転して、基板１を基板移動方向へ移動しながら、複数の第１のローラ２０により移動される基板１の下面を複数の第２のローラ１０で支持し、複数の第２のローラ１０を、複数の第１のローラ２０により移動される基板１と共に基板移動方向へ移動する。第１のローラ間で発生する基板１の変形が、第２のローラにより抑制され、第１のローラ及び第２のローラを合わせたローラの基板１への接触面積を増加させることなく、基板１の搬送が安定して行われる。 （もっと読む）

【課題】Ｗ（３１０）面からの放出電流の減衰の仕方の特徴を用いて、電界放出型電子源をより安定して使う方法の開示を目的とする。
【課題手段】本発明では、タングステンの＜３１０＞単結晶からなる電界放出電子源と、当該電子源が配置される真空室と、前記真空室を排気する排気系と、前記電子源と接続され、電流を流して前記電子源を加熱するフィラメントと、当該フィラメントに電流を流す電源と、当該電子源から放出される総電流量を測定する電流計と、を備える荷電粒子線装置であって、前記総電流量を定期的に測定し、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して所定の比率以下になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御する制御部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】
キセノンフラッシュランプを用いた分光光度計において、過去の蓄積データとの照合が可能な分光光度計、及びその性能測定方法を提供する。
【解決手段】
通常は、キセノンフラッシュランプ１からの光束２を用い、凹面鏡３を介して分光器４で任意の波長に分光し、試料５を透過した光束を光検知器６で検出することで、分光分析を行う。性能測定を行うときは、キセノンフラッシュランプ１と分光器４との間の光束２上に低圧水銀ランプ９を配置し、シャッター機構を構成する遮光板１１を作動して遮光及び透過させて光強度を検出することで、低圧水銀ランプ９の輝線スペクトルを用いた「波長正確さ」または「分解」の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】材料利用効率が高く、膜厚分布を均一にでき、かつ、装置が大型化することを抑制できる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】長手方向を有する蒸発源１及び前記蒸発源１を前記蒸発源１の長手方向と垂直なスキャン方向に駆動させる機構を有する真空蒸着装置において、前記蒸発源１の長手方向に複数の異なる形状を有するノズル２を備え、前記ノズル２から噴射する蒸気の放射分布が、長手方向の中央部に対して両端部では狭まった放射分布を有する。これによって、長手方向の両端部付近のノズル２から噴射して基板３の有効面の外側に蒸着される無駄な有機材料の消費量を抑え、膜厚均一性の高い有機薄膜を高い材料利用効率で成膜することができる。 （もっと読む）