【課題】
本発明により、転写装置において、レジスト膜厚、及び被転写材の薄い厚みを従来よりも高精度に制御することができる。
【解決手段】
シリコンウェハなどの金型と被転写体、またはレジストフィルムとが接触する面内の、出来るだけ生産に関係の無い一部に微小穴を開けておき、その微小穴から被転写体のみの膜厚を測定する従来よりも高精度センサを取り付けることにより、被転写体のみの寸法が測定でき、転写中における寸法変化に線形性のある簡素な補正値を掛けることにより従来よりも高精度な薄膜の厚み制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】全体の冷却効率を向上させたパッケージ型圧縮機の提供する。
【解決手段】空気を圧縮する圧縮機本体と、圧縮機を駆動するモータ１５と、モータおよび圧縮機本体に設けられ、モータの動力を圧縮機本体に伝えるプーリと、圧縮機本体によって圧縮された圧縮空気を冷却するアフタークーラー８１と、圧縮機本体とモータとを覆うパッケージと、パッケージに形成された吸気口とパッケージの内部に形成された導風口と介し、パッケージの外部と内部とを連通させる吸気ダクト６８と、圧縮機本体のプーリに設けられ、導風口を介してパッケージの内部へ冷却風を流通させる冷却ファンと、アフタークーラーを吸気ダクト内に配置するパッケージ型圧縮機１を提供する。 （もっと読む）

【課題】
油入り変圧器やリアクトルなど静止機器において、漏れ磁束がタンクに流れ、機器の損失が増大し局所化熱が生じていた。また、漏れ磁束が周辺機器に悪影響を及ぼしたりしていた。従来、この対策として、磁気シールドをタンク面にネジで固定する方法が取られていたが、対策費用や作業性で問題となっていた。
【解決手段】
本発明は、上記の問題を解消するため、鉄心と、コイルと、該鉄心及びコイルを絶縁、冷却する絶縁油をタンク内に収納した静止機器において、前記タンクには外側の周囲に垂直方向に波リブを形成し、前記タンクの内壁に垂直方向に所定の間隔でステーを取り付け、該ステーは、磁気シールドを挿入できるコ字形形状を有し、該コ字形形状に磁気シールドを挿入し、固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発電電動機の固定子周方向に亘って電機子巻線をバランス良く冷却させること。
【解決手段】ハウジング１８の内径側に固設された固定子１と、軸受５で回転自在に支承された回転子１３０と、固定子鉄心１１０のティースに巻回された電機子巻線と、を備えた発電電動機において、軸受５を介在して設けられたブラケット２００には、冷却油の流れる通路２０１，２０２と、通路と連通して電機子巻線の巻線端部に対向する位置に冷却油を噴出する噴射孔２０４と、が設けられ、シャフト６の軸方向の両側に配されたブラケット２００の噴射孔２０４から電機子巻線の巻線端部に向けて冷却油が噴出され、複数の噴射孔２０４からの油の流量分布は、シャフト６の高さ位置よりも上方の位置になるにしたがって高く設定されること。ブラケット２００に設けた噴射孔２０４の配設ピッチは、ブラケット２００の垂直方向上部で密であり、シャフト６の高さ位置になるにしたがって次第に疎であること。 （もっと読む）

【課題】距離計測部を用いて高精度に位置決めを行う。
【解決手段】周辺物体までの距離と方向を計測する距離計測部３と、前記距離計測部が計測した周辺物体までの距離と方向を用いて目標物体の停止地点に対する当該移動ロボットの相対位置と相対方向を検出する相対姿勢検出部４と、前記相対位置と前記相対方向を用いて、前記移動機能部を制御する制御部５と、を備え、前記相対姿勢検出部は、前記目標物体を特定する線分を求めることにより、前記相対位置と前記相対方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】小型で長寿命のインバータモータ装置を提供する。
【解決手段】複数スロットに巻装された三相のステータ巻線をモータの周方向に複数組並べて配置されたステータと外周に永久磁石を有する回転子とを備えたモータと、前記複数の三相のステータ巻線を駆動する複数の三相インバータとを備えたインバータモータ装置において、上記三相のステータ巻線を構成する各相巻線は、複数の丸線の素線からなり、複数のスロットに納められた各組のステータ巻線を対応する三相インバータに直接接続するとともに、複数のステータ巻線の巻線間のわたり部で、複数のスロット間に収納されたステータ巻線間のわたり部には絶縁強度の高い絶縁物を設け、隣のスロット間に収納されたステータ巻線間のわたり部には上記絶縁物より絶縁強度の低い絶縁物を設けた。 （もっと読む）

【課題】フィンの高さとフィン間のピッチの比（＝冷却フィンの高さ／冷却フィン間のピッチ）が大きいモータにおいて、冷却フィンに効率よく冷却風を流す冷却構造を提供する。
【解決手段】ステータコア表面に軸方向に設けた多数の冷却フィン１０２１と、冷却フィンの根元でステータコアを固着させるための溶接部１４１と溶接部を生むための溶接空間１０３２をもち、冷却ファン１７からの冷却風ＣＡを前記冷却フィンを覆う案内カバーにより冷却フィン１０２１に導いてモータを冷却する全閉式サーボモータにおいて、前記溶接空間１０３２に風量調整部材１８１、１８２、１８３、１８５を設ける。 （もっと読む）

【課題】送信側と受信側の負荷が共に低い適応変調符号化方式を提供する。
【解決手段】送信側である測定端末１０２と受信側である測定情報集約局１０１で独立に測定可能な、共通の伝搬路品質情報を指標とする変調符号化方式の遷移条件を作成し、受信側から送信側に送信（５０２）し、遷移条件を送信側と受信側で共有する。これら品質情報と遷移条件に基づいて送信側と受信側が各々の判断で変調符号化方式を切り替え、受信側は候補となる変調符号化方式のうちの一部のみを受信処理（５０４）の対象とすることで、送信側と受信側の負荷が共に低い適応変調符号化方式を提供する。 （もっと読む）

【課題】
同期電動機を１２０度通電方式から１８０度通電方式に切り替える際に、切換速度より小さい速度付近で１２０通電方式のでは電流位相が進んで力率が悪化する問題があった。停止状態から中高速域に至る広い速度範囲において、トルクショックの小さいシームレス駆動を行うことができる同期電動機の制御システムを提供する。
【解決手段】
同期電動機を１２０度通電方式で起動し、その後、１８０度通電方式に切り替えて駆動する制御システムで、１２０度通電方式から１８０度通電方式へ切り替える際に、１２０度通電中の力率を改善する力率改善手段を設け、この力率の改善された１２０度通電方式から１８０度通電方式に切り替えて同期電動機を駆動する。 （もっと読む）

【課題】
安全キャビネットで作業する作業者の身長の高さに対応した安全キャビネットを、すな
わち前面シャッタの開口寸法を変化させても、作業空間内に外部の雑菌を侵入させず、か
つ、作業室内の微生物・病原体を外部に出さない安全キャビネットを提供する。
【解決手段】
前面シャッタの開口寸法を検出し、それに応じて作業室内への清浄気流吹き出し風速、
前面開口部の流入風速を、感染を防止する物理的隔離性能を維持できる所定の風速に変化
させたものである。 （もっと読む）