【課題】不純物の混入を可及的に防止でき、高純度の精製物を筒状体を切断する必要なく容易に且つコスト安に収率良く得ることが可能な極めて実用性に秀れた昇華精製装置の提供。
【解決手段】加熱部１が周囲に配設された外筒体２内に加熱気化せしめた有機材料を流通させることで所望の化合物を精製する昇華精製装置であって、前記外筒体２内に複数の内筒体３を軸方向に連設状態に設けて、この内筒体３内を前記有機材料が流通する材料流通部４に設定し、この材料流通部４に、この材料流通部４を開口部６を残して閉塞することで前記有機材料の流通を調整する整流板５を前記軸方向に複数設けて、前記内筒体３と前記整流板５とで前記有機材料の流通路を形成する。 （もっと読む）

【課題】波長変換ユニットや波長変換用の設備が不要で、装置のコンパクト化・低コスト化を図れる極めて実用性に優れた有機デバイスの製造装置並びに有機デバイスの製造方法の提供。
【解決手段】基板上に有機化合物層を含む複数の薄膜層を積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造装置であって、前記各薄膜層を夫々レーザアブレーション加工するレーザ加工部を備え、このレーザ加工部は、前記各薄膜層に、夫々１０００〜１６００ｎｍの範囲で同一の波長の短パルスレーザを０．１〜１．５Ｊ／ｃｍ^２のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工するように構成する。 （もっと読む）

【課題】搬送距離が大きく、かつ構造が簡易で低コストな搬送装置を提供する。
【解決手段】第１ベルト２３が巻回されてなる第１コンベアを上面に有する固定部２と、第１ベルトの下側部分に固定され第１ベルトから上方に延びる支持部材６と、支持部材に支持されて固定部の上方に配置され、かつ第２ベルトが巻回されてなる第２コンベアを上面に有する第１可動部３と、第２ベルトの上側部分に固定されて第１可動部の上方に配置され、搬送物を載置可能な第２可動部４とを有し、第２ベルトと第１ベルトの対向部分の一部８が互いに固定され、第１可動部は第１ベルトの進退方向に摺動可能であり、第２可動部は第１可動部に対し摺動可能であり、第１可動部が固定部に対して距離Ｌ摺動したとき、第２可動部は第１可動部に対して距離２Ｌだけ摺動し、第２可動部が固定部に対して距離３Ｌ摺動する搬送装置である。 （もっと読む）

【課題】被研磨面を短時間で全面均一にポリシングできるポリシング装置の提供。
【解決手段】被研磨面２が上向きとなるように被研磨体１を保持する保持部３と、保持部３に保持される被研磨体１の被研磨面２と対向状態に設けられるポリシング材４と、ポリシング材４を被研磨体１側に押さえるポリシングプレート５と、ポリシングプレート５を保持部３に対し接離動させる接離機構と、被研磨面２がポリシング材４に対して往復直線運動と偏心運動との複合運動をするように被研磨体１を移動させる複合運動機構９とを備え、ポリシング材４を複数並設状態に設け、被研磨面２の略全面を一時にポリシングできるようにポリシング材４の並設数及び並設間隔を設定し、この複数のポリシング材４同士の間から被研磨面２にポリシング液７を供給するポリシング液供給部を備える。 （もっと読む）

【課題】精密に位置合わせした基板とマスクとの重合状態を確実に維持しつつこの基板と重り部材や磁石体とを良好に重合固定することが可能な成膜装置の提供。
【解決手段】成膜用マスク５とこの成膜用マスク５を重合した基板６の表面に薄膜を成膜する成膜手段とを備えた成膜装置であって、成膜用マスク５と基板６とを相対的に移動せしめて成膜用マスク５と基板６との位置合わせを行う位置合わせ機構と、この位置合わせ機構により位置合わせした成膜用マスク５と基板６とを重合固定する第一の重合固定機構と、この第一の重合固定機構により成膜用マスク５に重合固定された基板６とこの基板６の裏面側に配設され基板６を撓ませて成膜用マスク５に基板６を密着重合せしめるシート状の重り部材８または成膜用マスク５を基板６の表面側に磁気的に吸引して基板６に成膜用マスク５を密着重合せしめる磁石体14とを重合固定する第二の重合固定機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板と良好に密着して成膜パターン精度の良い成膜を可能とした極めて実用性に秀れた成膜用マスク及びマスク密着方法の提供。
【解決手段】成膜材料の通過を許容する開口パターンを有するマスク本体１と、このマスク本体１を保持する保持フレーム２とから成り、前記開口パターンを介して前記成膜材料が付着せしめられる基板６が積層される成膜用マスクであって、前記保持フレーム２は、前記マスク本体１の４辺のうち対向する一対の辺部３に沿って夫々配設されこの一対の辺部３を夫々保持する一対の保持部４を備え、この一対の保持部４によってのみ前記マスク本体１を保持するように構成し、前記一対の保持部４によって保持される前記一対の辺部３間で前記マスク本体１が自重によって撓み且つこの一対の辺部３の対向方向で前記撓み量が変化するようにこの一対の辺部３を前記一対の保持部４に固定する。 （もっと読む）

【課題】有機発光層の側面を完全に封止し、発光特性の劣化が少ないと共に、薄型化が可能な有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】基板３０上に形成される基板側電極２と、基板側電極の上面に形成される有機発光層４と、有機発光層の上面に形成される上部電極６と、上部電極の上面及び側面並びに有機発光層の側面を連続して完全に覆う第１の無機膜１２と、第１の無機膜を覆うポリマー膜１４と、ポリマー膜を覆う第２の無機膜１６とを備え、第１の無機膜が第２の無機膜より疎になっている。 （もっと読む）

【課題】磁性流体の意図しないブリッジを防止して長期間使用しても真空性能を維持できる磁性流体軸受を提供する。
【解決手段】磁性を有し、それぞれ軸方向に間隔Ｄで設けられた多段の環状突部２ａを有し、かつ環状突部の外径２Ｄが軸本体の外径とほぼ同一である回転軸２と、回転軸の外周に配置されるポールピース４と、ポールピースと回転軸との間に磁気回路を形成する磁石６と、磁気回路に沿ってポールピースと回転軸の環状突部との間に介在し、ポールピースと回転軸との間の隙間を封止する磁性流体８とを備え、最外側の環状突部に隣接する軸本体の肩部２ｃと、肩部に対向するポールピースの端縁４ｃとの軸方向距離の最大値をＳmaxとしたとき、Ｓmax≧Ｄ／２＋Ｌ（Ｌは、軸方向における回転軸の最大ずれ量）で表される。 （もっと読む）

【課題】加工形状を高精度に制御した加工が可能となる極めて実用性に秀れた有機デバイス加工装置の提供。
【解決手段】基板上に第一電極膜層、有機膜層、第二電極膜層及び保護層のうち少なくとも有機膜層を含む２層以上を積層して成る有機デバイスに対してレーザを照射して配線パターン加工若しくは開口加工を行う有機デバイス加工装置において、前記有機デバイスに照射される加工用レーザを出力する加工用レーザ発振機構と、前記有機デバイスの被加工部位へ照射した測定用レーザの反射光を検出し、前記有機デバイスの被加工部位の反射率を測定する反射率測定機構と、前記有機デバイスの被加工部位の反射率に基づき、前記加工用レーザの出力を調整する出力調整機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】トラップ入口の目詰まりを防止してトラップのメンテナンス頻度を少なくしたトラップ装置及びこれを用いた真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空室からの排気経路に接続され排気ガス中に含まれる気化物質を凝縮させて捕捉するトラップ装置であって、気化物質が流入する流入口２と、排気ガスが流出する流出口４と、流入口から流出口に至るトラップ経路Ｔとを備え、トラップ経路を２個以上の分割経路Ｓ１、Ｓ２に分割したとき、各分割経路のコンダクタンスが流入口２側から次第に小さくなっている。 （もっと読む）