説明

フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウにより出願された特許

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【課題】所定のアンテナ体積で可能な限り大きな到達範囲と可能な限り良好なパワーマッチングを行うことができる、コンパクトかつ可能な限り完全にプレーナ形であり技術的に良好に再現することができるRFIDトランスポンダを提供すること。
【解決手段】誘電体支持エレメントを被覆する第1のメタライジングと第2のメタライジングとを導電接続することによってアンテナが構成され、該第1のメタライジングは前記アンテナの2つの電気的端子を形成するようにパターニングされており、該チップは、前記第1の表面においてかつ/または少なくとも局所的に該第1の表面内に組み込まれるように配置することができるかまたは配置されており、アンテナとチップとを複素共役マッチングするマッチングネットワークは少なくとも部分的に、第1のメタライジングのパターニングによって形成されている。 (もっと読む)


本発明は、少なくとも1つのボンディング基板と反応性多層システムとを含むマイクロ構造に関し、ここで反応性多層システムは、互いに離間された垂直配向のナノ構造を備えるボンディング基板の少なくとも1つの表面層と、ナノ構造間に位置し、且つナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも1つの材料で充填された領域とを有する。本発明は、さらに、少なくとも1つのボンディング基板及び反応性多層システムの作製方法を含み、ここでは、反応性多層システムを形成するため、ボンディング基板の少なくとも1つの表面層がパターニングされ、又はパターン状に堆積されて、それに伴い互いに離間された垂直配向のナノ構造が形成され、及びナノ構造間の領域が、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも1つの材料で充填される。加えて、本発明は、少なくとも1つのボンディング基板と反応性多層システムとを有するマイクロ構造を、ボンディング基板を有する別の構造とボンディングする装置を含み、ここでこの装置は、開閉及び排気を行うことのできるボンディングチャンバであって、そこにマイクロ構造及び別の構造を導入して互いに位置合わせすることのできるボンディングチャンバを有し、また、ボンディングチャンバに連結される活性化機構であって、それによって、マイクロ構造の反応性多層システムであって、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす材料を−ナノ構造間に位置して−備える反応性ナノ構造から形成される反応性多層システムを、ナノ構造とナノ構造の材料に関する反応相手をなす材料との間に自己伝播発熱反応が起こるような方法で機械的に、電気的に、電磁的に、光学的に及び/又は熱的に活性化することのできる活性化機構も有する。さらに、本発明は、2つのボンディング基板とボンディング基板の間に位置する構成体とから形成されたマイクロシステムに関し、前記構成体は既反応の反応性層システムを有し、ここで既反応の反応性層システムは、互いに離間された垂直配向のナノ構造を備える−ボンディング基板上に提供された−少なくとも1つの表面層と、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも1つの材料でナノ構造間が充填された領域とから構成される既反応の構造配列であり、ここでこのマイクロシステムは、バイオマテリアルで被覆されたセンサであり、及び/又はポリマー材料から構成される素子及び/又は少なくとも1つの磁性及び/又は圧電性及び/又はピエゾ抵抗性部品を有する。
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実験式 L(OH)z [式中、Lはヒドロキシル基のないリグニンを意味し、OHはLに結合された遊離ヒドロキシル基を意味し、且つzは、Lに結合された遊離ヒドロキシル基の100%を意味する] のリグニンから製造されるリグニン誘導体であって、該リグニン誘導体において、Lに結合された遊離ヒドロキシル基のx≧0.1%が、二価の残基Rxと共に誘導体化され、前記二価の残基Rxはエステル基、エーテル基またはウレタン基を介してLと連結しており、
Lに結合された遊離ヒドロキシル基のy≧0.1%が、一価の残基Ryと共に誘導体化され、前記一価の残基Ryはエステル基、エーテル基またはウレタン基を介してLと連結しており、x+y=100%であり、且つ、z=0%であることを特徴とする、リグニン誘導体が発表される。さらに、該リグニン誘導体を含む成形体が発表される。該成形体は、繊維の形態、例えば、炭素繊維の製造のための前駆体繊維として存在できる。最終的に、先述の前駆体繊維から製造される炭素繊維が発表される。
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【課題】耐酸化性および/または耐食性が改良された、開気孔質構造を有する金属発泡体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】開気孔質構造を有する金属発泡体は、開気孔質構造のウェブ中に、製造により決定される溝状空洞がある。同時に、ウェブおよび空洞は、発泡体の出発金属材料とは異なった材料から構成された金属保護層が施されるか、または溝状空洞がこの材料により充填される。これには、適切な金属粉末または合金成分を含む粉末を使用し、この粉末が、ベース発泡体の金属が融解する温度未満で行う熱処理の際に液体になり、液相を形成する。毛管作用により、ウェブ中にある溝状空洞の表面が湿潤するので、冷却後、金属の保護層が形成されるか、または溝状空洞が充填される。 (もっと読む)


プラズマ装置内で基板をプラズマ加工する方法および装置であって、・加工される基板の表面と電極との間隔がdとなるよう、基板(110)を電極(112)と対向電極(108)との間に配置し、・電極(112)と対向電極(108)との間で容量性結合されたプラズマ放電を、DC自己バイアスの形成により励起し、・被加工表面領域と電極との間の、擬似中性バルクプラズマ(114)を伴うプラズマ放電領域に、少なくとも活性化可能なガス種が存在するようにし、このガス種を加工すべきサブストレートの表面に打ち込む方法および装置において、・プラズマ放電を励起し、・該プラズマ放電では、前記間隔dがsから2.5sの間の範囲を有するようにし、ただしs=se+sgであり、seは電極前方のプラズマ縁部層の厚さを表わし、sgは対向電極前方のプラズマ縁部層の厚さを表わし、または・被加工表面領域と電極との間の擬似中性バルクプラズマが、線形の広がりdpを有し、ただしdp<1/3d、dp<max(se+sg)またはdp<0.5sである。
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少なくとも一つのフローパラメータを測定するための装置は、第1のフロー制限エリア(12)、第1の測定エリア(14)、第2のフロー制限エリア(16)および第2の測定エリア(18)による流体直列接続体(10)を含む。第1のセンサ(20)は、第1の測定エリアにおける第1の圧力の数量的測定を行うために設けられる。第2のセンサは、第2の測定エリアにおける第2の圧力の数量的測定を行うために設けられる。評価手段(24)は、第1および第2のセンサ(20、22)によって検知された測定値を使用しつつ、直列接続体内を流れる流体の流量を測定し、および/または、第1のフロー制限エリア(12)、第2のフロー制限エリア(16)あるいは第2の測定エリアに隣接する流体エリアに閉塞が発生しているかどうかを判定するように設けられる。 (もっと読む)


プラズを用いた化学反応によって、基板上に層を析出する方法および装置である。
本発明は、真空チャンバ(11)内の化学反応を用いて、プラズマを用いて基板(12)上に層を析出する方法に関する。ここで、化学反応の少なくとも1つの基礎材料は、入口(13)を通じて真空チャンバ(11)内に供給され、入口(13)は、少なくとも入口開口部(18)の領域において、ガス放電の電極として接続されている。
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本発明は、特性を低下させる添加剤なしで高いコランダム含有量を有する熱溶射されたAl23層及びこの層の製造方法に関する。本発明は、特に、電気絶縁体の分野で、誘電体として及び摩耗保護のために使用することができる。本発明の場合に、熱溶射されたAl23層は、最大で19%の多孔性及び少なくとも72体積%のα−Al23の高い含有量(コランダムの含有量)を有することを特徴とする。この層は、>1×1012オーム・cmの比電気抵抗及び純度>97%を有する。この層の本発明による製造は、>100nmの粒度を有する純粋なα−Al23からなる水性又はアルコール性懸濁液を使用して、熱溶射のグループからなる方法を用いて行われる。 (もっと読む)


本発明は、基板上の透明バリア層システムに関しており、このバリア層システムには一連の個別層が含まれており、これらの個別層は層Aおよび層Bから交互に構成されており、層Aと層Bとは、水蒸気が透過する際の活性化エネルギが少なくとも1.5kJ/molの差分だけ異なる。
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本発明に係るカバーは、マイクロシステムをカプセル化するために役立つ。カバーは、単数若しくは複数のカバーユニットを有するか、又は単数若しくは複数のカバーユニットからなり、少なくとも1つのカバーユニットは、変形によって形成される少なくとも1つの第1の凹部を有しており、第1の凹部は少なくとも部分的に、25nm以下の二乗平均平方根粗さを有する少なくとも1つの光学窓により画成されている。さらに本発明の対象は、光学部品を製造する方法である。本発明に係る方法は、特に、ウエハレベルでのカプセル化を可能にする本発明に係るカバーを製造するためにも適している。
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