【課題】コストを削減しつつ正確に基板を位置決めすることができる基板処理装置等の技術を提供すること。
【解決手段】本技術の一形態に係る基板処理装置は、テーブルと、偏心カム機構と、基準マークと、撮像部と、制御部とを具備する。前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】基板上に多層パターンを印刷する方法及び装置を提供する。
【解決手段】一実施形態では、多層パターンを印刷する方法は、基板の表面の一領域上に第１パターン化層を堆積させることを含む第１印刷工程と、表面の前記領域、すなわち第１パターン化層の上に第２パターン化層を堆積させることを含む第２印刷工程と、第１パターン化層に対する第２パターン化層の位置決めの精度を確認する工程とを含む。確認する工程は、第１印刷工程後に第１パターン化層の第１光学画像を取得する工程と、第２印刷工程後に第２パターン化層の第２光学画像を取得する工程と、第１減算光学画像を形成するために画像減算を行う工程と、減算光学画像を第１画像と比較することによって第２パターン化層の位置を決定する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】歪みの補正を適切なタイミングで行うことが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００は、プリント基板５への印刷を行う印刷機構部４０と、歪み補正に使用される基準マーク７０が設けられ、印刷機構部４０の少なくとも一部を移動可能に支持するとともに固定的に設置されたフレーム構造体３０と、歪み補正を行う際にフレーム構造体３０の基準マーク７０を撮像するマスク用カメラ２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷機の状態の変化による印刷ずれを検出し、検出した印刷ずれ量をフィードバックすることによって、高精度の印刷の維持を可能とするスクリーン印刷機を提供する。
【解決手段】被印刷物にスクリーンを介してクリーム半田を印刷するスクリーン印刷機において、前記被印刷物の基準となるランドとこのランドに対応して印刷されたクリーム半田の画像を取得する基板認識カメラと、取得された画像から前記ランドと印刷されたクリーム半田とのずれ量を演算し、演算された前記ずれ量に１未満の所定の係数を乗算し、前記乗算した値を次の印刷時に印刷ずれ補正量として出力する制御部と、前記印刷ずれ補正量に基づいて前記次の印刷時に印刷ずれを補正する位置合わせ機構とを備えた。 （もっと読む）

【課題】マスク開口部の形状を正確に観察することが可能なスクリーンマスクの観察装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００は、マスクプレート９０が取り付けられたフレーム９５を固定するマスク支持部３１と、マスクプレート９０を撮像するカメラ１５と、フレーム９５がマスク支持部３１に固定された状態でカメラ１５によりマスクプレート９０の下面９０ａを撮像する際に、マスクプレート９０の撓みを矯正する下面側矯正治具１１０および上面側矯正治具１２０を備える。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクプレートを撮像対象とする２つの撮像光軸を備えた撮像部を水平移動させる構成において、生産開始前の点検時や生産継続過程にて基板位置合わせ精度の良否を簡便に確認することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板およびマスクの位置合わせのために認識マークの位置検出を目的として実行されるマーク撮像工程に先立って、撮像光軸間の水平方向相対位置を検出する光軸キャリブレーション処理工程と、撮像部の移動に起因して生じる撮像光軸の局地的な位置ずれを検出する面補正データ作成処理工程とを実行し、生産開始前に検証用基板、マスクを用いて基板位置合わせ精度を評価するために生産開始前精度評価工程を、生産開始後に実生産用の基板、マスクを用いて、生産開始後の基板位置合わせ精度を評価する生産開始後精度評価工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】スキージ方式を二重に行うことにより、互いに異なる形態のバンプを同時に形成することができる半導体パッケージ基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体パッケージ基板の製造方法は、スクリーン印刷用マスク１０４の下部に回路基板１０５を位置させる段階と、マスク１０４上に、互いに異なる硬度を有する第１スキージ１０１と第２スキージ１０２からなる一対のスキージを配置する段階と、第１スキージ１０１をマスク１０４の一側から他側へスライドさせて回路基板１０５にバンプを１次印刷する段階と、第２スキージ１０２をマスク１０４の他側から一側へスライドさせて回路基板１０５にバンプを２次印刷する段階とを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】複数種類の基板面のランダムな混合生産を、確実に最適な印刷条件で行うことを可能にし、複数種類の基板面の切り替え時間を大幅に短縮することを可能にするスクリーン印刷用マスク、並びに、それを用いたスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷用マスク１は、金属製で厚みが１００〜１５０μｍ程度の薄板状のメタルマスクであり、プリント基板の基板面にクリーム半田等の印刷ペーストをスクリーン印刷するために用いられる。１つのスクリーン印刷用マスク１には、２種類の基板面に対応する２種類の開口パターン２、３が形成されている。ここで、開口の形状は、プリント基板の基板面上のランドに対応した形状である。また、スクリーン印刷用マスク１には、各開口パターン２、３についての情報をそれぞれ記録した２種類の情報認識マーク２ａ、３ａが付与されている。ここで、情報認識マーク２ａ、３ａとしては、バーコードやＱＲコード等を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】スキージからのペーストの除去を十分に行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】スキージ１６のペースト掻き寄せ面４１ａと対向する位置に水平方向に延びて設けられたワイヤ４４と、スキージ１６の両端部に設けられた一対の壁状部材４２と、ワイヤ４４の両端部を保持する一対のワイヤ保持部材４５と、一対の壁状部材４２にスキージ１６のペースト掻き寄せ面４１ａに沿って形成されて一対のワイヤ保持部材４５を移動自在に支持し、スキージ１６が上昇するとき、ワイヤ４４がスキージ１６のペースト掻き寄せ面４１ａに接触又は近接した状態でペースト掻き寄せ面４１ａに対して相対的に下動するように一対のワイヤ保持部材４５を案内する一対の案内溝４２ａを備える。 （もっと読む）

【課題】スクリーンのサイズを変えずに、搬送方向のサイズが長いプリント基板にも印刷できるようにすること。
【解決手段】プリント基板Ｐを位置決めし、スクリーン認識用カメラがスクリーン認識マークを、基板認識用カメラ８が基板認識マークを撮像して認識処理し、基板Ｐとスクリーン１の相対的な位置ズレを補正して位置決めする。次いで、基板Ｐをスクリーン１下面に密着させ、スキージ５Ａを移動させて小さな印刷パターンエリアＰＡ２の印刷パターン孔を介して印刷する。次に、基板Ｐの上方へ大きな印刷パターンエリアＰＡ１が位置するように移動させて、位置決めする。そして、再びスクリーン認識マーク及び基板認識マークを撮像して認識処理し、同様に、相対的な位置ズレを補正して位置決めし、基板Ｐをスクリーン１下面に密着させ、スキージ５Ｂを移動させて大きな印刷パターンエリアＰＡ１の印刷パターン孔を介して印刷する。 （もっと読む）

【課題】作業実行中の基板位置決め部への基板の進入を確実に防止することができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供すること目的とする。
【解決手段】下受けユニット２４ｃが昇降テーブル２２ａに対する下降位置Ｑ１に位置し、かつ昇降テーブル２２ａがベーステーブル２１ｄに対する下降位置Ｐ１に位置した状態では基板２の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア２３に進入する基板２と当接しない位置に位置し、下受けユニット２４ｃが昇降テーブル２２ａに対する上昇位置Ｑ２に位置し、かつ昇降テーブル２２ａがベーステーブル２１ｄに対する上昇位置Ｐ２に位置した状態では、基板２の搬送方向の上流側から基板位置決めコンベア２３に進入する基板２と当接する位置に位置する第１の基板進入規制部材４１を基板位置決めコンベア２３に設ける。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で複数の基板に対してペーストを高精度で、しかも効率的に印刷することができる印刷装置および印刷方法を低コストで提供する。
【解決手段】１つの印刷ステージ２０に対して互いに異なる２つの搬送レーン（つまり、コンベア３１Ａ、２１Ａ、３２Ａの搬送経路と、コンベア３１Ｂ、２１Ｂ、３２Ｂの搬送経路）が設けられた、いわゆるデュアルレーン構造を有しており、この印刷ステージ２０に２つの基板１Ａ、１Ｂを固定することが可能となっている。そして、基板１Ａに対する被印刷パターンの位置ズレと、基板１Ｂに対する被印刷パターンの位置ズレとの相対差（相対精度差）が許容範囲内である、しかも、印刷ステージ２０に固定された基板１Ａ、１Ｂの相対的な位置ズレ量（相対位置ズレ量）が許容値以下であるときには、１回のスキージ移動により基板１Ａ、１Ｂへのペースト印刷が一括して行われる。 （もっと読む）

【課題】２種類の印刷パターンをもつマスクを備えるスクリーン印刷装置において、付帯設備を要することなく一系統の装置と二系統の装置との間に介設できるようにする。
【解決手段】スクリーン印刷装置は、印刷パターン２１１、２１２を含むマスク２１を備える印刷実行部２０と、第１、第２の基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２および基板搬出部Ｅｘと、基板支持装置１０と、制御装置等とを備える。基板支持装置１０は、第１基板搬入部Ｅｎ１からの基板Ｗを受取る第１受取位置と、第２基板搬入部Ｅｎ２からの基板Ｗを受取る第２受取位置と、基板搬出部Ｅｘから基板Ｗを搬出する送出位置との間を移動し、制御装置は、基板Ｗを受取るべく基板支持装置１０を第１又は第２受取位置に配置し、印刷パターン２１１、２１２のうち何れかのパターンを用いて印刷が行われるように基板支持装置１０を配置し、印刷後の基板Ｗを搬出すべく基板支持装置１０を送出位置に配置する。 （もっと読む）

【課題】構造を複雑化させることなく基板の反りの矯正を行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板保持部２４よりも上方の位置に水平に設置されたプレート部材３３を備え、基板２を保持した基板保持部２４をマスクプレート１３に対して昇降させて基板２をマスクプレート１３の下方から接触させる昇降部２２が、基板保持部２４に保持された基板２をマスクプレート１３に接触させる前に、プレート部材３３に下方から押し付けて基板２の反りの矯正を行う。 （もっと読む）

【課題】スクリーン印刷装置においてスループットを向上させること。
【解決手段】スクリーン印刷装置は、印刷実行部２０と、基板搬入部Ｅｎと、基板搬出部Ｅｘと、基板搬入部Ｅｎから基板待機位置Ｐ１に搬入された基板Ｗを印刷実行位置Ｐ２に搬送して保持する搬送保持手段と、基板を撮像する基板認識カメラ５０とを備える。搬送保持手段は、クランプユニット１４とその駆動機構とを含み、クランプユニット１４により基板待機位置Ｐ１において事前に印刷実行部２０による印刷が可能となる状態に基板Ｗを保持した上で印刷実行位置Ｐ２に搬送するように構成されており、基板認識カメラ５０は、クランプユニット１４により保持されて基板待機位置Ｐ１から印刷実行位置Ｐ２へ搬送される基板Ｗをその搬送途中で撮像可能となるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】振り分け装置等の付帯設備を要することなくシングル搬送型の装置とデュアル搬送型（又は二系統）の装置との間に設置できるようにする。
【解決手段】スクリーン印刷装置は、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂと、第１、第２の基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２および基板搬出部Ｅｘと、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂで印刷が可能となるように基板Ｗを支持する第１、第２の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂとを備える。第１基板支持テーブル１０Ａは、第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入される基板Ｗを受け取る第１受取位置と基板搬出部Ｅｘから基板Ｗを搬出する送出位置との間を移動し、第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２基板搬入部Ｅｎ２から搬入される基板Ｗを受け取る第２受取位置と前記送出位置との間を移動し、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂは、それぞれ基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上の基板Ｗに印刷可能な位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】キャビティ基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができるスクリーン印刷システム及びスクリーン印刷システムのマスクのクリーニング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒを第１のマスク１３ａのひとつの凸状部１３ｔの下面に接触させてその部分に付着したペーストＰｓｔの除去を行った後、ペーパー部材４２が次にペーストＰｓｔの除去を行う凸状部１３ｔに接触するまでの間にペーパー部材４２の巻き取りを行ってマスク接触領域Ｒを更新させる。 （もっと読む）

【課題】基板の上下方向の厚さの変更と、基板の搬送方向に対して略直交する方向の長さの変更と、に簡単に対応可能なスクリーン印刷機を提供することを課題とする。
【解決手段】スクリーン印刷機１は、印刷時にマスク５０の下面を支持するマスクバックアップ装置２を備える。基板Ｂの搬送方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向に略直交する方向をＹ軸方向とする。マスクバックアップ装置２は、複数のマスクバックアップ片２０Ｌ、２０Ｒを有する。複数のマスクバックアップ片２０Ｌ、２０Ｒのうち、印刷時にマスク５０の下面を支持するマスクバックアップ片２０Ｌ、２０Ｒの数は、基板ＢのＹ軸方向の長さに応じて、加除可能である。基板Ｂの上下方向の厚さによらず、印刷時に、マスク５０の下面を支持するマスクバックアップ片２０Ｌ、２０Ｒの上面と、基板Ｂの上面と、を略同じ高さにする。 （もっと読む）

【課題】搬入されたワークの反りをその搬入方向のみならず、搬入方向に対して直角方向であってワークの幅方向の反りをも修正することによって印刷精度を向上させる。
【解決手段】押え爪によってワークの幅方向の両側を上方から押えた状態で反り修正手段によってワークの中間位置を上方から押圧して反りの修正を行なうように構成する。これにより、ワークの反りを有効に修正することができ、スキージの摺動時や版離れ時の基板の動きを低減でき、高精度な印刷が可能になる。 （もっと読む）

【課題】廃棄されるクリーム半田の量を減少させることができるスクリーン印刷装置及びスキージ機構を提供すること。
【解決手段】スキージ機構１１、１２は、それぞれ、メインスキージ１３と、メインスキージ１３の幅方向の両端側に設けられた一対の補助スキージ１４、１５とを有する。補助スキージ１４、１５は、全体がメインスキージ１３の摺動方向の後方に配置され、メインスキージ１３に対してスキュー角度θ傾斜して配置される。補助スキージ１４、１５の外側の端部１４ａ、１５ａは、メインスキージ１３の端部１３ａ、１３ｂよりも外側に配置され、内側の端部１４ｂ、１５ｂは、メインスキージ１３の端部１３ａ、１３ｂよりも内側に配置される。補助スキージ１４、１５により、メインスキージの端部から横漏れしたクリーム半田４をスクリーン１の内側に戻し、循環させることができる。これにより、廃棄されるクリーム半田４の量を減少させることができる。 （もっと読む）