印刷装置
【課題】歪みの補正を適切なタイミングで行うことが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００は、プリント基板５への印刷を行う印刷機構部４０と、歪み補正に使用される基準マーク７０が設けられ、印刷機構部４０の少なくとも一部を移動可能に支持するとともに固定的に設置されたフレーム構造体３０と、歪み補正を行う際にフレーム構造体３０の基準マーク７０を撮像するマスク用カメラ２９とを備える。
【解決手段】この印刷装置１００は、プリント基板５への印刷を行う印刷機構部４０と、歪み補正に使用される基準マーク７０が設けられ、印刷機構部４０の少なくとも一部を移動可能に支持するとともに固定的に設置されたフレーム構造体３０と、歪み補正を行う際にフレーム構造体３０の基準マーク７０を撮像するマスク用カメラ２９とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板への印刷を行う印刷部を備えた印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板への印刷を行う印刷部を備えた印刷装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、テーブル上に固定されたワーク（印刷対象）に、マスクを介して半田ペーストを印刷するスクリーン印刷機が開示されている。このスクリーン印刷機では、ワーク（印刷対象）固定用のテーブルの上面の少なくとも２箇所に誤差補正用の読取りマークが設けられている。また、ワーク（印刷対象）固定用のテーブルの上方に、テーブルの上面と平行な面内を移動するカメラが設置されている。そして、カメラを移動させながら２箇所の読取りマークを撮像することにより、読取りマーク間の距離を計測してテーブルの歪み（温度・湿度変化に伴うテーブルの伸び縮み）を検出するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８１６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載のスクリーン印刷機では、ワーク（印刷対象）固定用のテーブルの上面に読取りマークが設けられているため、ワークのサイズや外形形状によっては、読取りマークがワークによって覆われる場合があると考えられる。この場合、少なくとも読取りマーク上からワークを排除しない限り、上方のカメラによって２箇所の読取りマーク間の距離を計測することができない。なお、テーブルの歪みは、継続的な印刷動作とともに発生するため、歪みの補正は印刷動作の進行状況に関係なく適切なタイミングで行われることが望まれる。したがって、このスクリーン印刷機では、テーブル上からワークが排除されなければ読取りマークを確実に撮像することができないため、歪みの補正を適切なタイミングで行うことができないという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、歪みの補正を適切なタイミングで行うことが可能な印刷装置を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面における印刷装置は、基板への印刷を行う印刷部と、歪み補正に使用されるマークが設けられ、印刷部の少なくとも一部を移動可能に支持するとともに固定的に設置された枠体部材と、歪み補正を行う際に枠体部材のマークを撮像する撮像部とを備える。
【０００８】
この発明の一の局面による印刷装置では、上記のように、歪み補正に使用されるマークが設けられ固定的に設置された枠体部材と、歪み補正を行う際に枠体部材のマークを撮像する撮像部とを備えることによって、撮像部は、印刷部による基板への印刷動作に直接的に関与しない枠体部材の部分で、枠体部材に設けられた歪み補正用のマークを撮像することができる。これにより、適切なタイミングでマークを撮像して歪みの補正を行うことができる。この結果、基板への印刷動作が継続的に行われる印刷装置において、印刷精度を安定的に維持することができる。
【０００９】
上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、基板を搬送可能に構成された基板搬送部をさらに備え、撮像部は、基板搬送部に設置されているとともに、基板搬送部の移動に伴って移動するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部が移動する際に撮像部を移動させて枠体部材に設けられたマークを適切なタイミングで撮像することができる。これにより、撮像部を移動させる専用の駆動機構を別途設ける場合と異なり、印刷装置の構成を簡素化することができる。
【００１０】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、枠体部材は、基板の印刷が行われる印刷領域よりも外側に配置されており、撮像部は、基板搬送部の移動とともに移動される際に印刷領域の外側領域において、マークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、撮像部は、基板への印刷動作に直接的に関与しない印刷領域の外側領域において歪み補正用のマークを撮像するので、印刷領域内においてマークの撮像が行われない分、基板への印刷動作に直接影響を及ぼすことなく歪みの補正を行うことができる。
【００１１】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、基板搬送部を駆動する駆動機構と、撮像部がマークを撮像した結果に基づいて、駆動機構の発熱に伴う歪みの補正を行う制御部とをさらに備える。このように構成すれば、制御部により、マークの撮像結果に基づいて駆動機構の発熱に伴う歪みの補正を適切なタイミングで行うことができる。
【００１２】
上記駆動機構と制御部とをさらに備える構成において、好ましくは、駆動機構は、駆動源と、基板搬送部に螺合することにより駆動源の駆動力を基板搬送部の移動方向に伝達して基板搬送部を移動させる送りねじ軸とを含み、制御部は、撮像部がマークを撮像した結果に基づいて、基板搬送部に螺合する送りねじ軸の歪みを補正するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部に駆動力を伝達する送りねじ軸に、発熱に起因した軸延びが発生した場合であっても、歪み補正を必要とする適切なタイミングで送りねじ軸が有する歪みに応じた回転量の補正を行うことができる。この結果、基板搬送部による基板の搬送動作を精度良く行うことができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、送りねじ軸は、基板の印刷が行われる印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びており、基板搬送部は、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びる送りねじ軸に螺合することにより、印刷領域と外側領域との間を移動するように構成されている。このように、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びる長尺な送りねじ軸を備えていても、歪み補正を必要とする適切なタイミングで送りねじ軸が有する歪みに応じた回転量の補正を行うことができるので、本発明の効果を有効に享受することができる。
【００１４】
上記駆動機構と制御部とをさらに備える構成において、好ましくは、制御部は、撮像部によって撮像されたマークの座標を駆動機構の位置座標の基準位置として駆動機構を駆動することにより、基板搬送部を移動する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、制御上、枠体部材に設けられたマークの座標を基準位置として駆動機構を制御しながら基板搬送部を移動させることができる。また、マークの座標を基準位置とするので、駆動源や送りねじ軸などを部品交換した場合であっても、制御上の基準位置にマークの座標を設定するだけで駆動機構を容易に駆動させることができる。
【００１５】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、撮像部は、基板搬送部が基板の印刷が行われる印刷領域に基板を搬入する動作、および、基板搬送部が印刷領域から基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作が行われる際にマークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部による搬送動作の中にマークの撮像動作を含めることができるので、その分、マークの撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置における動作時間（タクトタイム）を短縮することができる。
【００１６】
この場合、好ましくは、撮像部は、基板搬送部が基板の印刷が行われる印刷領域に基板を搬入する動作、および、基板搬送部が印刷領域から基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作における移動途中で、マークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部の移動中にマークの撮像を同時に行うことができるので、マークの撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置における動作時間（タクトタイム）を容易にかつ効果的に短縮することができる。
【００１７】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、枠体部材は、スクリーンマスクを保持するマスク保持部を基板搬送部の搬送方向と交差する方向に移動可能に支持するように固定的に設置されており、撮像部は、基板搬送部が基板の搬送経路に沿って移動される際に、枠体部材に設けられたマークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、枠体部材に基板搬送部の搬送方向と交差する方向に移動されるマスク保持部が設けられていても、固定的に設置された枠体部材に歪み補正用のマークが設けられているので、歪みの補正を適切なタイミングで確実に行うことができる。
【００１８】
この場合、好ましくは、撮像部は、スクリーンマスクの表面を撮像する際に、枠体部材に設けられたマークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、スクリーンマスクの表面観察用（検査用）に設けられた撮像部を用いて歪み補正用のマークを撮像することができるので、歪み補正用のマークを撮像するための撮像部を別途設ける必要がない。
【００１９】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、マークは、枠体部材の下面または側面に設けられており、撮像部は、上方の撮像が可能なように基板搬送部に設置されている。このように構成すれば、基板搬送部が移動経路上において枠体部材の近傍を通過する際に、撮像部により枠体部材の下面または側面に設けられたマークを確実に撮像することができる。
【００２０】
上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、撮像部がマークを撮像した結果に基づいて歪み補正を行う制御部をさらに備え、撮像部は、撮像対象に対して照明光を照射可能に構成されており、枠体部材には、マークに加えて照明光の照度を調整するための背景板がマークに隣接して設けられており、制御部は、撮像部がマークを撮像する際に、照明光が照射された背景板を撮像した結果に基づいて、照明光の明るさを調整する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、マークの撮像とともに撮像部が照射する照明光の照度を調整することができるので、マークの撮像を精度良く行うことができる。この結果、歪みの補正を精度良く行うことができる。また、マークの撮像と同時に照明光の照度を調整することができるので、照明光の調整に要する時間（タクトロス）を最小限に抑えることができる。これによっても、印刷装置におけるタクトタイムを短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態による印刷装置の全体構成を示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による印刷装置の概略的なレイアウトを示した平面図である。
【図３】図１に示した印刷装置を構成する印刷ユニットの構成を示したブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態による印刷装置における正面側の印刷ユニットの内部構造を示した斜視図である。
【図５】図４に示した印刷ユニットを構成する基板搬送部の構造を示した斜視図である。
【図６】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットにおいて、コンベア部を含む下部の構造を示した平面図である。
【図７】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットをＹ１方向に沿って見た場合の側面図である。
【図８】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットを構成するフレーム構造体を基台側（下面側）から見た場合の平面図である。
【図９】図８に示したフレーム構造体の梁部に設けられたマークおよびその周辺の構造を示した平面図である。
【図１０】本発明の一実施形態による印刷装置において歪み補正を行う際の方法を説明するための概略図である。
【図１１】本発明の第１変形例による印刷装置の概略的なレイアウトを示した平面図である。
【図１２】本発明の第２変形例による印刷装置における印刷ユニットをＹ１方向に沿って見た場合の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
まず、図１〜図１０を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。
【００２４】
本発明の一実施形態による印刷装置１００は、図１に示すように、装置本体内に搬送されるプリント基板（配線基板）５の上面５ａに半田ペーストをマスク印刷する印刷機である。床面１（Ｘ−Ｙ平面）に据え付けられる印刷装置１００は、２つの印刷ユニット９０および９１を備えており、各々の印刷ユニットが個別に駆動することにより、各印刷ユニットにおいてプリント基板５にマスク印刷を行うことが可能に構成されている。この際、互いに異なるサイズのプリント基板５が各々の印刷ユニットにおいて印刷可能であるように構成されている。なお、プリント基板５は、本発明の「基板」の一例である。
【００２５】
印刷装置１００は、平面的に見て、図２に示すように、床面１（図１参照）に載置された基台１０上に、２つの印刷ユニット９０および９１がＹ方向に沿って並べられている。また、印刷ユニット９０および９１は、プリント基板５の搬入／搬出方向となる長手方向を、基台１０のＸ方向に略一致させて配置されている。ここで、印刷ユニット９０（９１）におけるプリント基板５の搬送方向がＸ方向であり、半田２（図５参照）のプリント基板５への印刷方向がＹ方向である。また、Ｘ方向およびＹ方向は、基台１０上において互いに直交する方向である。
【００２６】
また、印刷ユニット９０（９１）において、図２の右側（Ｘ２側）がプリント基板５の搬入側であり、図２の左側（Ｘ１側）がプリント基板５の搬出側である。また、図２の右側に配置された後述するフレーム構造体３０（梁部３２）よりも右側の基台１０上の領域が、印刷前のプリント基板５の待機領域である。また、図２の左側に配置されたフレーム構造体３０（梁部３２）よりも左側の領域が、印刷終了後のプリント基板５の搬出領域である。また、左右の梁部３２に挟まれた領域が、プリント基板５の印刷領域に対応している。なお、２つの印刷ユニット９０および９１は、互いにほぼ同じ構成を有するため、以降では、手前側（Ｙ２側（正面側））の印刷ユニット９０に関する構成についての説明を行う。
【００２７】
印刷装置１００を覆う複数の外装カバー１０１（図１参照）を取り除いた状態において、印刷ユニット９０は、図４に示すように、プリント基板５を搬送する搬送機構部２０と、基台１０上に固定的に設置されたフレーム構造体３０と、印刷機構部４０と、クリーナ部５０とを備えている。なお、図４では、搬送機構部２０およびフレーム構造体３０が載置される基台１０（図２参照）の図示を省略している。また、図３に示すように、印刷装置１００には、以下に説明する各部の動作制御を行うための後述する制御装置８０が内蔵されている。なお、フレーム構造体３０は、本発明の「枠体部材」の一例であり、印刷機構部４０は、本発明の「印刷部」の一例である。
【００２８】
搬送機構部２０は、印刷ユニット９０内に搬入された印刷前のプリント基板５を印刷領域まで搬送する機能を有している。ここで、印刷領域とは、印刷時にスクリーンマスク６（図７参照）がプリント基板５の上面５ａ上に載置される領域を示す。フレーム構造体３０は、搬送機構部２０の上方をＹ方向に跨ぐようにして基台１０（図２参照）の上面１０ａに固定されている。印刷機構部４０は、プリント基板５の上面５ａに半田２（図５に示す破線枠内）の印刷を行う機能を有している。また、印刷機構部４０は、フレーム構造体３０の上方を印刷方向（Ｙ方向）に沿って移動可能な状態でフレーム構造体３０に取り付けられている。また、クリーナ部５０は、印刷終了後のスクリーンマスク６（図７参照）の下面（Ｚ２側）およびマスク開口部に付着した余分な半田ぺーストを拭き取る機能を有している。
【００２９】
また、図５に示すように、搬送機構部２０は、基台１０（図２参照）上をプリント基板５の搬入／搬出方向となるＸ方向（基板搬送方向）に沿って延びる一対の基準コンベア２１と、一対の基準コンベア２１の外側から基準コンベア２１を挟み込むように設けられ、基準コンベア２１に対してＸ方向に沿って相対的に往復移動可能な基板搬送部２２とを含んでいる。基準コンベア２１は、Ｘ１方向に移動するコンベアベルト（図示せず）によって、印刷ユニット９０の基板搬入側に配置されたプリント基板５を基準コンベア２１上の待機領域（図２参照）まで搬送する機能と、印刷が終了されたプリント基板５を印刷領域から搬出領域（図２参照）まで搬送する機能とを担っている。また、基板搬送部２２は、待機領域に配置されたプリント基板５を保持した状態で印刷領域まで搬送する役割を有している。なお、搬送機構部２０は、本発明の「基板搬送部」の一例である。
【００３０】
また、一対の基準コンベア２１は、Ｘ方向と略直交するＹ方向（印刷方向）に所定の間隔を隔てて対向して配置されており、基台１０上の一方側（Ｘ１側）の端部から他方側（Ｘ２側）の端部まで延びている。基板搬送部２２は、プリント基板５を載置するための基板テーブル２２ａと、基板テーブル２２ａの側方（Ｙ１側およびＹ２側）に設けられ、基板テーブル２２ａ上に配置されたプリント基板５の側端面をＹ方向（Ｙ１方向およびＹ２方向）から挟み込んで一時的に保持するクランプ片２２ｂ（２箇所）とを有している。なお、基板テーブル２２ａには、上面（Ｚ１側）から上方に延びる複数のピン（図示せず）が取り付けられている。そして、プリント基板５は、基板テーブル２２ａ上において、下面がピンにより支持された状態で載置されている。また、基板搬送部２２は、基板テーブル２２ａとクランプ片２２ｂとが一体となって基準コンベア２１に沿って移動するように構成されている。
【００３１】
また、図６に示すように、基台１０上には、各々がＸ方向に所定の間隔を隔てて配置されるとともにＹ方向に延びる４本のレール１１が敷設されており、搬送機構部２０は、４本のレール１１を基準コンベア２１の延びるＸ方向に跨いだ状態でレール１１上に載置されている。ここで、印刷ユニット９０を正面から見た場合（図７参照）における基台１０の上面１０ａと搬送機構部２０との間に、サーボモータ２３とサーボモータ２３の回転軸（Ｙ軸）に接続されるボールネジ軸２４とが設けられている。なお、サーボモータ２３は、本発明の「駆動源」の一例であり、ボールネジ軸２４は、本発明の「送りねじ軸」の一例である。
【００３２】
サーボモータ２３は、回転軸をＹ方向に一致させた状態で搬送機構部２０（基準コンベア２１）の底部２１ａ（図７参照）の下面側に固定されている。また、ボールネジ軸２４は、サーボモータ２３の回転軸に沿ってＹ方向に軸を延ばした状態で基台１０の上面１０ａ上に回転可能に固定されている。また、図４および図６に示すように、ボールネジ軸２４の延長線上における基台１０の上面１０ａ（図６参照）には、ナット部材２５が取り付けられている。そして、ナット部材２５は、ボールネジ軸２４と螺合しており、サーボモータ２３によりボールネジ軸２４を回転させることによって、基台１０に固定されたナット部材２５に対してサーボモータ２３側がＹ方向（Ｙ１方向およびＹ２方向）に移動されるように構成されている。これにより、サーボモータ２３の回転制御とともにサーボモータ２３と一体的に形成された搬送機構部２０が、レール１１上をＹ方向に沿って往復移動するように構成されている。なお、搬送機構部２０のＹ方向への可動範囲は、ボールネジ軸２４の長さよりも若干短い。なお、サーボモータ２３、ボールネジ軸２４およびナット部材２５は、本発明の「駆動機構」の一例である。
【００３３】
また、図６に示すように、一対の基準コンベア２１がＹ方向に対向する領域に、サーボモータ２６とサーボモータ２６の回転軸（Ｘ軸）に接続されるボールネジ軸２７とが設けられている。サーボモータ２６は、回転軸をＸ方向に一致させた状態で基準コンベア２１の底部２１ａに固定されている。ここで、サーボモータ２３とサーボモータ２６とは、底部２１ａにおいて互いに異なる位置に固定されている。また、ボールネジ軸２７は、サーボモータ２６の回転軸に沿ってＸ方向に軸を延ばした状態で基準コンベア２１の底部２１ａ下に回転可能に固定されている。また、図７に示すように、基板搬送部２２の底部２２ｃには、下面側にナット部材２８が取り付けられている。なお、サーボモータ２６は、本発明の「駆動源」の一例であり、ボールネジ軸２７は、本発明の「送りねじ軸」の一例である。また、サーボモータ２６、ボールネジ軸２７およびナット部材２８は、本発明の「駆動機構」の一例である。
【００３４】
ナット部材２８は、ボールネジ軸２７と螺合しており、基準コンベア２１に固定されたサーボモータ２６によりボールネジ軸２７を回転させることによって、ナット部材２８がＸ方向（Ｘ１方向およびＸ２方向）に移動されるように構成されている。これにより、サーボモータ２６の回転制御とともに基準コンベア２１に対して基板搬送部２２がＸ方向に沿って相対的に往復移動するように構成されている。なお、基板搬送部２２のＸ方向への可動範囲は、基準コンベア２１のＸ１側の端部領域からＸ２側の端部領域までである。
【００３５】
搬送機構部２０において、上記した駆動機構が備えられていることにより、基板搬送部２２は、図２に示すように、基準コンベア２１の基板搬入側（Ｘ２側）の待機位置まで移動した後、他機などから基準コンベア２１上の待機位置に搬送されてきたプリント基板５をクランプ片２２ｂにより把握した状態でＸ１方向に移動することにより、プリント基板５を印刷領域まで搬送するように構成されている。また、搬送機構部２０は、基板搬送部２２のＸ方向における現在位置に関係なく、基準コンベア２１の延びる方向と略直交する印刷方向（Ｙ方向）に沿って基台１０の上面１０ａ上を往復移動するように構成されている。これにより、搬送機構部２０は、所定の運転パターンに基づいて、Ｘ方向およびＹ方向への移動が制御されるように構成されている。
【００３６】
また、基板搬送部２２には、図示しない駆動機構が設けられることにより、基板テーブル２２ａが上下方向（Ｚ方向）に昇降するように構成されている。これにより、図７に示すように、印刷領域まで搬送されたプリント基板５は、基板テーブル２２ａとともに基準コンベア２１の上面（Ｚ１側の表面）よりも所定の高さだけ持ち上げられた位置まで移動される。そして、後述するマスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６が下降してプリント基板５の上面５ａに所定の押圧力で当接するように構成されている。
【００３７】
また、基板搬送部２２には、図示しない駆動機構が設けられることにより、基板搬送部２２のＹ方向の幅が所定範囲内で拡大および縮小するように構成されている。これにより、プリント基板５の幅（Ｙ方向の長さ）に応じて基板搬送部２２のＹ方向の幅が調整された状態でクランプ片２２ｂにより保持されるように構成されている。
【００３８】
また、図４および図６に示すように、フレーム構造体３０は、基台１０のＸ方向（基板搬送方向）において所定の間隔を隔てて一対設けられている。また、各々のフレーム構造体３０は、門型構造を有しており、基台１０（図６参照）のＹ方向（印刷方向）における両側端部（Ｙ１側およびＹ２側）近傍から上方に延びる脚部３１（２箇所）と、Ｙ方向に対向する脚部３１同士を水平方向に繋ぐ梁部３２とを含んでいる。つまり、印刷ユニット９０をＸ方向に沿って側方から見た場合、Ｙ方向に延びる梁部３２が、脚部３１を介して搬送機構部２０上を跨いでいる。また、脚部３１は、図示しない締結部材により、基台１０（図６参照）の上面１０ａに固定されている。また、一対の梁部３２の上面３２ａは、基台１０の上面１０ａと同様に水平面を構成している。また、各々の梁部３２の上面３２ａには、Ｙ方向に延びるレール１２（図４参照）が設けられている。そして、後述する印刷機構部４０が、梁部３２に固定されたレール１２上をＹ方向に沿って移動可能であるように構成されている。
【００３９】
また、図５に示すように、搬送機構部２０における基板搬送部２２にマスク用カメラ２９が設置されている。マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２の一方（Ｙ２側）の基板テーブル２２ａよりも外側においてレンズを上方（Ｚ１方向）に向けて取り付けられている。印刷ユニット９０では、プリント基板５を保持した基板搬送部２２がＸ１方向へ移動する際に、マスク用カメラ２９によってスクリーンマスク６（図７参照）のマスク開口部（図示せず）の観察や、スクリーンマスク６の下面（Ｚ２側の表面）に付された図示しないフィデューシャルマーク（位置合わせマーク）を検出するように構成されている。これにより、印刷を行う前に、印刷領域に搬送されたプリント基板５とスクリーンマスク６との位置合わせが精度良く行われるように構成されている。なお、マスク用カメラ２９は、本発明の「撮像部」の一例である。
【００４０】
ここで、本実施形態では、図７に示すように、フレーム構造体３０を構成する梁部３２の下面３２ｂ（Ｚ２側）に、基準マーク７０が設けられている。すなわち、基準マーク７０は、プリント基板５の印刷が行われる印刷領域よりも外側（Ｘ２側）に配置されている。また、図２に示すように、基準マーク７０は、Ｙ方向に延びる梁部３２の下面３２ｂ（図７参照）のうち、搬送機構部２０（基準コンベア２１）がＹ方向に移動する範囲内の所定の位置に設けられている。そして、搬送機構部２０とともに所定の印刷動作に基づいて水平面内（Ｘ−Ｙ面内）を移動する基板搬送部２２が、印刷領域の外側領域である梁部３２の下部を通過する際に、マスク用カメラ２９によって基準マーク７０が撮像されるように構成されている。なお、マスク用カメラ２９による基準マーク７０の撮像は、基板搬送部２２がプリント基板５を保持して搬送する場合と搬送しない場合とに関係なく行われるように構成されている。これにより、印刷動作の進行とともに発生する搬送機構部２０の歪みが、演算処理部８１（図３参照）によって適宜決定したタイミングで補正されるように構成されている。なお、基準マーク７０は、本発明の「マーク」の一例である。
【００４１】
ここで、図１０を参照して、搬送機構部２０における歪み補正の方法について説明する。印刷ユニット９０が運転されている際、演算処理部８１（図３参照）の指令に基づいて、所定のタイミングにおいて基板搬送部２２の移動とともにマスク用カメラ２９によって基準マーク７０が撮像されたとする。この際、基準マーク７０のＸ−Ｙ面内における位置は、サーボモータ２６によりボールネジ軸２７を回転量Ｕだけ回転させるとともに、サーボモータ２３によりボールネジ軸２４を回転量Ｖだけ回転させた場合に、マスク用カメラ２９が有する撮像領域の中央に基準マーク７０が撮像されるように構成されている。
【００４２】
ここで、回転量Ｕは、ナット部材２８がボールネジ軸２７上の端部（たとえば図６に示すＸ２側の端部）に移動した位置からマスク用カメラ２９の撮像領域の中央が基準マーク７０に重なるまでナット部材２８（基板搬送部２２）をＸ１方向に移動させる際に必要とされるボールネジ軸２７の回転量である。同様に、回転量Ｖは、ナット部材２５がボールネジ軸２４上の端部（たとえば図５に示すＹ２側の端部）に移動した位置からマスク用カメラ２９が基準マーク７０に重なるまでナット部材２５（搬送機構部２０）をＹ１方向に移動させる際に必要とされるボールネジ軸２４の回転量である。また、回転量Ｕに対応するサーボモータ２６のステップ数および回転量Ｖに対応するサーボモータ２３のステップ数も同時に制御データ記憶部８２ｂ（図３参照）に記憶されるように構成されている。したがって、ボールネジ軸２７および２４が回転量（Ｕ、Ｖ）だけ回転された場合、図１０に示すように、撮像領域中の位置Ｐ（中央部）に、基準マーク７０が撮像される。
【００４３】
プリント基板５の印刷が所定枚数だけ繰り返された後、所定のタイミングにおいて基板搬送部２２の移動とともにマスク用カメラ２９によって基準マーク７０が再び撮像されたとする。この際、本実施形態では、サーボモータ２６および２３のステップ数を先の撮像時に記憶されているステップ数まで回転させることにより、マスク用カメラ２９（基板搬送部２２）は、現時点でのボールネジ軸２７および２４を初期位置から回転量（Ｕ、Ｖ）だけ回転させた場合に相当する位置まで移動される。これにより、図１０に示すように、撮像領域中の位置Ｑに基準マーク７０が撮像される。なお、実際には基準マーク７０の位置Ｐおよび位置Ｑは、別々の画像データとして撮像されるが、位置Ｐから位置Ｑへの変化を説明するために、同じ図を用いて便宜的に図示している。
【００４４】
なお、プリント基板５が複数枚に亘って連続して印刷されることによって、搬送機構部２０を駆動するボールネジ軸２７および２４は、各々と螺号するナット部材２８および２５との間に摺動に伴う摩擦熱が発生する。また、搬送機構部２０は、タクトアップ（生産性の向上）のために比較的高速度でＸ−Ｙ面内を移動するように構成されている。したがって、ナット部材とボールネジ軸との摺動に伴う摩擦熱に起因して、ボールネジ軸２７および２４は、各々の延びる軸方向に沿って熱膨張を起こす。したがって、ボールネジ軸２７および２４を制御上の初期位置（基準位置）に対して同じ回転量（Ｕ、Ｖ）だけ回転させたとしても、ボールネジ軸が熱膨張している分、ナット部材２８（２５）の移動ピッチ（ボールネジ軸の１回転当たりのナット部材２８（２５）の移動量）が前回から変化している。このため、図１０における位置Ｑは、位置Ｐに対してずれた状態で撮像される。
【００４５】
そして、画像処理による位置Ｐの座標と位置Ｑの座標とに基づいて、位置Ｐから位置Ｑへの基準マーク７０の変位量が算出される。この場合、Ｘ方向への変位量ΔＸと、Ｙ方向への変位量ΔＹとがそれぞれ算出される。そして、変位量ΔＸと回転量Ｕとの関係から、基準マーク７０のＸ方向の変位量に相当するボールネジ軸２７の熱膨張率が割り出される。また、変位量ΔＹと回転量Ｖとの関係から、基準マーク７０のＹ方向の変位量に相当するボールネジ軸２４の熱膨張率が割り出される。印刷ユニット９０においては、基台１０に対して固定的に設置されたフレーム構造体３０に付された基準マーク７０の位置Ｑ（歪み発生後）と位置Ｐ（歪み発生前）とが一致している必要があるため、上記算出された各々のボールネジ軸が有する熱膨張率を考慮して、ボールネジ軸２７および２４の各々の回転量が調整されるように構成されている。
【００４６】
印刷ユニット９０では、このようにして、ボールネジ軸２７および２４の各々の回転量を調整することにより、搬送機構部２０の歪み補正が動作が行われるように構成されている。この歪み補正により、ボールネジ軸２７および２４が熱膨張を起こして移動ピッチ（ボールネジ軸の１回転当たりのナット部材２８（２５）の移動量）が変化したとしても、ボールネジ軸２７（２４）側の回転量を調整することにより、搬送機構部２０（基板搬送部２２）のＸ−Ｙ面内における位置決めを正確に行うことができるように構成されている。
【００４７】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９によって撮像された基準マーク７０の座標（図１０における位置Ｐの座標）を、搬送機構部２０（基準コンベア２１および基板搬送部２２）のＸ−Ｙ面内における位置座標の基準位置としてサーボモータ２３および２６を駆動することにより搬送機構部２０が移動されるように構成されている。
【００４８】
また、本実施形態では、図８および図９に示すように、梁部３２の下面３２ｂには、背景板７５が基準マーク７０に隣接して設けられている。また、背景板７５は、基準マーク７０の近傍において、ネジ部材７６（２箇所）により梁部３２の下面３２ｂに固定されている。また、背景板７５は、各々が互いに異なる色に塗られた一方領域７５ａと他方領域７５ｂとを有している。ここで、マスク用カメラ２９には、レンズの近傍（マスク用カメラ２９の上面側）に撮像時に撮像対象（基準マーク７０）に向けて照明光を照射する照射部（ＬＥＤ）２９ａ（図７参照）が円環状に設けられている。これにより、照射部２９ａにより照射された照明光が背景板７５の一方領域７５ａおよび他方領域７５ｂで反射されることにより、マスク用カメラ２９が撮像する背景板７５の写り具合が異なる。したがって、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像する際に、照明光が照射された背景板７５を撮像した結果に基づいて、照明光の明るさが適切に調整されるように構成されている。
【００４９】
また、図８に示すように、梁部３２の下面３２ｂには、基板用カメラ９９が設置されている。基板用カメラ９９は、レンズを下方（Ｚ２方向）に向けて取り付けられている。印刷ユニット９０では、プリント基板５を保持した基板搬送部２２がＸ１方向へ移動する際に、基板用カメラ９９によってプリント基板５の上面５ａに付された図示しないフィデューシャルマーク（位置合わせマーク）を検出するように構成されている。これにより、印刷を行う前に、印刷領域に搬送されたプリント基板５とスクリーンマスク６との位置合わせが精度良く行われるように構成されている。
【００５０】
また、印刷機構部４０は、図４に示すように、梁部３２の上面３２ａ上をＹ方向に移動可能に構成されたフレーム構造体からなる印刷機構支持部４１と、印刷機構支持部４１の内側（印刷領域内）に印刷機構支持部４１に対して昇降可能（Ｚ方向）に取り付けられ、スクリーンマスク６を保持するマスク保持部４２と、スクリーンマスク６を介してプリント基板５に半田を印刷する印刷部６０とを含んでいる。
【００５１】
印刷機構支持部４１は、梁部３２の上面３２ａから上方に延びる一対の側壁部４１ａと、一対の側壁部４１ａのＹ１側の端部間をＸ方向に繋ぐ側壁部４１ｂと、一対の側壁部４１ａの上端部間をＸ方向に繋ぐ梁部４１ｃとを有している。つまり、印刷ユニット９０をＹ方向に沿って正面側（Ｙ２側）から見た場合、印刷機構支持部４１は、門型構造を有している。
【００５２】
また、梁部３２の上面３２ａ上に、サーボモータ４３とサーボモータ４３の回転軸に接続されるボールネジ軸４４とが設けられている。サーボモータ４３は、回転軸をＹ方向に一致させた状態で梁部３２の上面３２ａに固定されている。また、ボールネジ軸４４は、サーボモータ４３の回転軸に沿ってＹ方向に軸を延ばした状態で上面３２ａ上に回転可能に固定されている。また、側壁部４１ａには、ナット部材４５が取り付けられている。そして、ナット部材４５は、ボールネジ軸４４と螺合しており、サーボモータ４３によりボールネジ軸４４を回転させることによって、ナット部材４５がＹ方向（Ｙ１方向およびＹ２方向）に移動されるように構成されている。また、サーボモータ４３、ボールネジ軸４４およびナット部材４５は、左右（Ｘ方向）の梁部３２の上面３２ａ上に各々設けられている。したがって、左右のサーボモータ４３を個別に駆動することにより、印刷機構支持部４１をＹ方向に平行移動させるのみならず、印刷機構支持部４１をＸ−Ｙ面内でＺ軸を中心に若干回動させることも可能であるように構成されている。これにより、印刷機構部４０においては、印刷領域に搬入されたプリント基板５に対して、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６のＸ−Ｙ面内における詳細な位置合わせが行われるように構成されている。
【００５３】
また、マスク保持部４２は、印刷機構支持部４１の側壁部４１ａに対して上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に取り付けられている。具体的には、印刷機構支持部４１には、サーボモータ４６と、ベルト駆動によってサーボモータ４６の駆動力が伝達される４本のボールネジ軸４７が回転可能に組み込まれている。また、マスク保持部４２には、ナット部材４８が設けられている。そして、Ｚ方向に延びるボールネジ軸４７の各々にナット部材４８が螺合している。これにより、サーボモータ４６の回転制御とともにマスク保持部４２がＺ方向に沿って昇降するように構成されている。これにより、印刷時には、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６をＺ２方向に下降させて印刷領域に搬入されたプリント基板５の上面に当接させるとともに、印刷後には、スクリーンマスク６をＺ１方向に上昇させてプリント基板５の上面５ａから版離れ動作を行うように構成されている。
【００５４】
印刷部６０は、図７に示すように、門型構造を有する印刷機構支持部４１の内側に配置されている。また、印刷部６０は、スクリーンマスク６の上面（Ｚ１側）に対してペースト状の半田２（図５参照）を押圧しながらＹ方向に摺動するスキージユニット６１と、スクリーンマスク６の上面に半田２を供給する半田供給部６２とを有している。スキージユニット６１は、スクリーンマスク６に形成された複数のマスク開口部（図示せず）を介して半田をプリント基板５上に押し出す機能を有している。また、印刷部６０は、スキージユニット６１および半田供給部６２を支持するように構成された図示しない支持機構により、マスク保持部４２の内側の側面上に移動可能に設置されている。印刷部６０がマスク保持部４２に対して印刷方向（Ｙ方向）に往復移動することにより、半田２がプリント基板５に印刷されるように構成されている。
【００５５】
また、スクリーンマスク６（図７参照）は、約２０μｍ以上約１５０μｍ以下の厚みを有する板状（シート状）の部材からなり、複数の開口部（図示せず）がパターニングされた開口領域を有している。このようにシート状のスクリーンマスク６は屈曲性を有するため、スクリーンマスク６は、周囲が剛性の高い部材からなるフレーム７に固定されている。フレーム７は、最大で約７５０ｍｍ角（縦×横）の大きさを有しており、スクリーンマスク６のサイズに応じて、フレーム７のサイズも適宜決定される。印刷ユニット９０では、ユーザがアクセスカバー１０１ａ（図１参照）を開けて、スクリーンマスク６が固定されたフレーム７をマスク保持部４２に差し込んで固定するように構成されている。
【００５６】
また、図３に示すように、制御装置８０は、ＣＰＵ（演算処理部）と基板回路部とにより構成されている。具体的には、制御装置８０は、演算処理部８１、記憶部８２、外部入出力部８３、画像処理部８４および駆動機構制御部８５によって主に構成されている。なお、演算処理部８１は、本発明の「制御部」の一例である。
【００５７】
演算処理部８１はＣＰＵからなり、印刷ユニット９０の動作を全般的に統括している。記憶部８２は、演算処理部８１が実行可能な制御プログラムなどが格納されている動作プログラム記憶部８２ａと、印刷動作を行う際に必要となるデータ類が格納されている制御データ記憶部８２ｂとを含んでいる。ここで、動作プログラム記憶部８２ａは、フラッシュＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）からなり、制御データ記憶部８２ｂは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）からなる。
【００５８】
また、外部入出力部８３は、運転開始ボタン９５を含む運転操作上の各種ボタン類や、基板位置センサ、マスク位置センサ、スキージ位置センサなどの各種センサ類（図３参照）からの入出力を制御する機能を有している。画像処理部８４は、基板用カメラ９９およびマスク用カメラ２９の各々が撮像した画像データの処理を行って、印刷ユニット９０の動作に必要とされるデータを内部的に生成する役割を有している。この場合、マスク用カメラ２９が撮像した基準マーク７０の画像データは画像処理部８４によって画像処理が行われる。これにより、演算処理部８１により歪みの大きさ（ボールネジ軸２４および２７の延び量）が把握されるように構成されている。
【００５９】
駆動機構制御部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、印刷ユニット９０の各サーボモータ（基板搬送部２２をＸ方向に移動させるサーボモータ２６（図６参照）、搬送機構部２０をＹ方向に移動させるサーボモータ２３（図６参照）、マスク保持部４２をＺ方向に移動させるサーボモータ４３（図４参照）など）を制御するように構成されている。また、駆動機構制御部８５は、基準コンベア２１に設けられた基板搬送軸（図示せず）のサーボモータを制御するように構成されている。また、駆動機構制御部８５は、各サーボモータが有するエンコーダ（図示せず）からの信号に基づいて基板搬送部２２のＸ−Ｙ面内の位置、マスク保持部４２の高さ位置（Ｚ方向）および回転位置（Ｚ軸まわり）などが認識可能に構成されている。
【００６０】
また、制御装置８０は、装置本体に設けられた非常停止回路部９２に接続されている。非常停止回路部９２には、装置本体内の所定の位置に設けられたカバーオープンスイッチ９３と、押しボタン式の非常停止ボタン９４とが電気的に接続されている。カバーオープンスイッチ９３は、アクセスカバー１０１ａ（図１参照）の開閉状態に応じてスイッチの開閉が切り換わるように構成されている。これにより、アクセスカバー１０１ａが開いた状態では、非常停止回路部９２が機能して印刷ユニット９０の運転が開始（再開）されないように構成されている。また、運転中にユーザが非常停止ボタン９４を押下した場合、非常停止回路部９２が機能して即時に運転が中断されるように構成されている。
【００６１】
なお、印刷ユニット９１（図２参照）についても、上記した印刷ユニット９０と略同様の構成が備えられている。したがって、印刷装置１００では、各々の印刷ユニットが駆動する際、個々の動作状況に応じて各印刷ユニットに関する歪み補正の動作が行われるように構成されている。
【００６２】
また、図１に示すように、印刷装置１００の外部には印刷ユニット９０（９１）毎に表示パネル１０２が設けられている。ユーザは、各々の表示パネル１０２を介して印刷動作の進行状況を把握したり、表示パネル１０２の表示内容に応じた機器操作を行うように構成されている。また、印刷装置１００には表示灯１０３が設けられている。表示灯１０３は、印刷装置１００の天面部よりも高い位置に配置されており、印刷装置１００から離れた位置からでもユーザが印刷装置１００の運転状況を視認することが可能に構成されている。このようにして、印刷装置１００は構成されている。
【００６３】
次に、図３〜図５、図７および図８を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００において歪み補正を行う際の印刷ユニット９０の動作について説明する。
【００６４】
まず、印刷終了後のプリント基板５が印刷領域から基準コンベア２１によりＸ１方向に搬出領域まで搬送された状態（図５参照）では、基板搬送部２２は、クランプ片２２ｂを開放し、かつ、基板テーブル２２ａを下げた状態で、印刷領域（印刷時にスクリーンマスク６（図７参照）がプリント基板５の上面５ａに載置される領域）において停止されている。
【００６５】
その後、他機などから基準コンベア２１上の待機位置に印刷前のプリント基板５が新たに移送されてきたとする。印刷ユニット９０における印刷動作が継続される場合、印刷領域に停止中の基板搬送部２２が、基準コンベア２１に沿って待機位置までＸ２方向に移動される。そして、図５に示すように、基板搬送部２２は、クランプ片２２ｂを用いて新たなプリント基板５を把握した後、再び印刷領域に向かってＸ１方向に移動する。
【００６６】
この際、本実施形態では、図７に示すように、基板搬送部２２が梁部３２の下部をＸ１方向に通過する際に、マスク用カメラ２９によって梁部３２の下面３２ｂに設けられた基準マーク７０を撮像する。これにより、Ｘ−Ｙ面内における基準マーク７０の現在の位置座標が認識される。また、基板搬送部２２が梁部３２の下部をＸ１方向に通過する際、梁部３２の下面３２ｂに設けられた基板用カメラ９９（図８参照）によってプリント基板５の上面５ａに付された図示しないフィデューシャルマークが検出される。
【００６７】
その後、図４に示すように、基板搬送部２２が印刷領域に停止されてクランプ片２２ｂが開放される。そして、複数のピンが設けられた基板テーブル２２ａが上昇するとともに、プリント基板５の下面がピンにより支持された状態で、所定の高さまでＺ１方向に持ち上げられる。また、基板搬送部２２が印刷領域に停止した際、マスク用カメラ２９によってスクリーンマスク６の下面に付された図示しないフィデューシャルマークが検出される。
【００６８】
その後、基板用カメラ９９によって検出されたプリント基板５のフィデューシャルマークと、マスク用カメラ２９によって検出されたスクリーンマスク６のフィデューシャルマークとに基づいて、マスク保持部４２（図４参照）のＸ−Ｙ面内での位置合わせが行われる。そして、この状態で、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６（図７参照）がＺ２方向に下降してプリント基板５の上面５ａに所定の押圧力で当接される。
【００６９】
その後、スクリーンマスク６上に半田２（図５参照）が供給された状態で印刷部６０（図７参照）が駆動されることにより、プリント基板５の上面５ａに、スクリーンマスク６を介して半田２が印刷される。
【００７０】
半田２の印刷後、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６がＺ１方向に上昇されて版離れが行われる。そして、プリント基板５が載置された基板テーブル２２ａがＺ２方向に下降されて、プリント基板５が基準コンベア２１上に載置される。印刷ユニット９０では、上記した印刷動作を繰り返すことにより、プリント基板５への印刷が継続的に行われる。そして、上記した一連の印刷動作の途中で、基板搬送部２２が梁部３２の下部を通過する際に、演算処理部８１（図３参照）の指令に基づく適切なタイミングで基準マーク７０が撮像されることにより、搬送機構部２０の歪みが補正される。
【００７１】
本実施形態では、上記のように、歪み補正に使用される基準マーク７０が設けられ基台１０上に固定的に設置されたフレーム構造体３０と、歪み補正を行う際にフレーム構造体３０の梁部３２の下面３２ｂに設けられた基準マーク７０を撮像するマスク用カメラ２９とを備えることによって、マスク用カメラ２９は、印刷機構部４０によるプリント基板５への印刷動作に直接的に関与しないフレーム構造体３０の部分で、梁部３２の下面３２ｂに設けられた歪み補正用の基準マーク７０を撮像することができる。これにより、適切なタイミングで基準マーク７０を撮像して歪みの補正を行うことができる。この結果、プリント基板５への印刷動作が継続的に行われる印刷ユニット９０（９１）において、印刷精度を安定的に維持することができる。
【００７２】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２に設置されているとともに、基板搬送部２２の水平面内（Ｘ−Ｙ面内）の移動に伴って移動するように構成されている。これにより、基板搬送部２２が移動する際にマスク用カメラ２９を移動させて梁部３２の下面に設けられた基準マーク７０を適切なタイミングで撮像することができる。したがって、マスク用カメラ２９を移動させる専用の駆動機構を別途設ける場合と異なり、印刷装置１００（印刷ユニット９０および９１）の構成を簡素化することができる。
【００７３】
また、本実施形態では、フレーム構造体３０は、プリント基板５の印刷が行われる印刷領域（印刷時にスクリーンマスク６がプリント基板５上に載置される領域）よりも外側に配置されており、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２の移動とともに移動される際に印刷領域の外側領域において、基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、マスク用カメラ２９は、プリント基板５への印刷動作に直接的に関与しない印刷領域の外側領域において歪み補正用の基準マーク７０を撮像するので、印刷領域内において基準マーク７０の撮像が行われない分、プリント基板５への印刷動作に直接影響を及ぼすことなく歪みの補正を行うことができる。
【００７４】
また、本実施形態では、搬送機構部２０全体をＹ方向に駆動するサーボモータ２３と、基板搬送部２２をＸ方向に駆動するサーボモータ２６と、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像した結果に基づいて、ボールネジ軸２４および２７の発熱に伴う歪みの補正を行う演算処理部８１とを備えている。これにより、演算処理部８１により、基準マーク７０の撮像結果に基づいて、ボールネジ軸２４および２７の各々の発熱に伴う歪みの補正を適切なタイミングで行うことができる。
【００７５】
また、本実施形態では、演算処理部８１は、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像した結果に基づいて、基板搬送部２２に螺合するボールネジ軸２７（２４）の歪みを補正するように構成されている。これにより、基板搬送部２２に駆動力を伝達するボールネジ軸２７（２４）に、発熱に起因した軸延びが発生した場合であっても、歪み補正を必要とする適切なタイミングでボールネジ軸２７（２４）が有する歪みに応じた回転量の補正を行うことができる。この結果、基板搬送部２２によるプリント基板５の搬送動作を精度良く行うことができる。
【００７６】
また、本実施形態では、ボールネジ軸２７（２４）は、プリント基板５の印刷が行われる印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びており、基板搬送部２２は、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びるボールネジ軸２７（２４）に螺合することにより、印刷領域と外側領域との間を移動するように構成されている。このように、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びる長尺なボールネジ軸２７（２４）を備えていても、歪み補正を必要とする適切なタイミングでボールネジ軸２７（２４）が有する歪みに応じたボールネジ軸２７（２４）の回転量の補正を行うことができるので、印刷装置１００が有する印刷精度を安定的に維持することができる。
【００７７】
また、本実施形態では、演算処理部８１は、マスク用カメラ２９によって撮像された基準マーク７０の座標を、搬送機構部２０（基準コンベア２１および基板搬送部２２）のＸ−Ｙ面内における位置座標の基準位置としてサーボモータ２３および２６を駆動することにより、搬送機構部２０を移動する制御を行うように構成されている。これにより、制御上、フレーム構造体３０に設けられた基準マーク７０の座標を基準位置としてサーボモータ２６（２３）およびボールネジ軸２７（２４）を制御しながら基板搬送部２２を移動させることができる。また、基準マーク７０の座標を基準位置とするので、サーボモータ２６（２３）やボールネジ軸２７（２４）などを部品交換した場合であっても、制御上の基準位置に基準マーク７０の座標を設定するだけでサーボモータ２６（２３）を容易に駆動させることができる。
【００７８】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２がプリント基板５の印刷が行われる印刷領域にプリント基板５を搬入する動作が行われる際に基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、基板搬送部２２による搬送動作の中に基準マーク７０の撮像動作を含めることができるので、その分、基準マーク７０の撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置１００におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００７９】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２がプリント基板５の印刷が行われる印刷領域にプリント基板５を搬入する動作における移動途中で、基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、基板搬送部２２の移動中に基準マーク７０の撮像を同時に行うことができるので、基準マーク７０の撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置１００におけるタクトタイムを容易にかつ効果的に短縮することができる。
【００８０】
また、本実施形態では、フレーム構造体３０は、スクリーンマスクを保持するマスク保持部４２を基板搬送部２２の搬送方向（Ｘ方向）と交差する方向（Ｙ方向）に移動可能に支持するように固定的に設置されている。そして、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２がプリント基板５の搬送経路に沿って移動される際に、フレーム構造体３０に設けられた基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、フレーム構造体３０に基板搬送部２２の搬送方向と交差するＹ方向に移動されるマスク保持部４２が設けられていても、固定的に設置されたフレーム構造体３０に歪み補正用の基準マーク７０が設けられているので、歪みの補正を適切なタイミングで確実に行うことができる。
【００８１】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、スクリーンマスク６の表面（下面）を撮像する際に、フレーム構造体３０に設けられた基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、スクリーンマスク６の表面観察用（検査用）に設けられたマスク用カメラ２９を用いて歪み補正用の基準マーク７０を撮像することができるので、歪み補正用の基準マーク７０を撮像するための「撮像部」を別途設ける必要がない。
【００８２】
また、本実施形態では、基準マーク７０は、フレーム構造体３０の下面３２ｂに設けられており、マスク用カメラ２９は、上方（Ｚ１方向）の撮像が可能なように基板搬送部２２に設置されている。これにより、基板搬送部２２がＸ−Ｙ面内における移動経路上においてフレーム構造体３０の下部を通過する際に、マスク用カメラ２９により下面３２ｂに設けられた基準マーク７０を確実に撮像することができる。
【００８３】
また、本実施形態では、フレーム構造体３０には、基準マーク７０に加えて照明光の照度を調整するための背景板７５が基準マーク７０に隣接して設けられている。そして、演算処理部８１は、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像する際に、照明光が照射された背景板７５を撮像した結果に基づいて、照明光の明るさを調整する制御を行うように構成されている。これにより、基準マーク７０の撮像とともにマスク用カメラ２９が照射する照明光の照度を調整することができるので、基準マーク７０の撮像を精度良く行うことができる。この結果、歪みの補正を精度良く行うことができる。また、マスク用カメラ２９においては、基準マーク７０の撮像と同時に照明光の照度を調整することができるので、照明光の調整に要する時間（タクトロス）を最小限に抑えることができる。これによっても、印刷装置１００におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００８４】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００８５】
たとえば、上記実施形態では、基板搬送部２２が印刷領域にプリント基板５を搬入する動作が行われる際に基準マーク７０を撮像するように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明の「マーク」を印刷領域の外側領域に設ける点においては、たとえば、基板搬送部２２が印刷終了後のプリント基板５を搬出する動作が行われる際に基準マーク７１を撮像するように構成してもよい。
【００８６】
具体的には、図１１に示す第１変形例のように、図中の左側（搬出側）に配置されたフレーム構造体３０における梁部３２の下面に基準マーク７１（破線）を設けるように構成してもよい。この場合、マスク用カメラ２９による基準マーク７１の撮像動作は、印刷終了後のプリント基板５が載置された搬送機構部２０（基板搬送部２２）が、基台１０上をＹ１方向に所定の距離だけ移動される経路の途中で行われるように構成されている。なお、搬送機構部２０がＹ１方向に所定の距離だけ移動された後、プリント基板５は、基準コンベア２１上をＸ１方向に搬送されて印刷ユニット９０の外部に搬出される。この第１変形例のように構成しても、搬送機構部２０による搬送動作の中に基準マーク７１の撮像動作を含めることができるので、印刷装置１００におけるタクトタイムを短縮することができる。なお、図１１では、説明の都合上、印刷ユニット９０のＹ１側に設けられている印刷ユニット９１（図２参照）については、図示を省略している。
【００８７】
また、上記実施形態で例示した基準マーク７０と、上記第１変形例で例示した基準マーク７１との両方を、印刷ユニット９０に設けてもよい。そして、歪みの補正を行う際には、演算処理部８１の指令に基づいて、マスク用カメラ２９により基準マーク７０または７１のいずれかを撮像して歪みの補正を行うように構成してもよい。この場合、歪みの補正を行う際には、基準マーク７０および７１のうち、動作中（移動中）のマスク用カメラ２９により近い側のマークを撮像するように構成されるのが好ましい。これにより、歪み補正動作の所要時間をより短縮することができる。
【００８８】
また、上記実施形態では、基準マーク７０を梁部３２の下面３２ｂに設けた例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１２に示す変形例のように、マスク用カメラ２９が上方を撮像可能であるならば、基準マーク７２を梁部３２の側面３２ｃに設けてもよい。
【００８９】
また、上記実施形態では、搬送機構部２０の基準コンベア２１および基板搬送部２２を、それぞれ、サーボモータにより駆動されるボールネジ軸とナット部材とを用いて駆動するように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。ボールネジ軸およびナット部材以外のたとえば、ベルト駆動や、ラックギアおよびピニオンギアなどの駆動機構を用いて搬送機構部２０（基準コンベア２１および基板搬送部２２）を駆動するように構成してもよい。この場合においても、駆動に伴うベルト部材の熱延びや、ラックギアの熱延びに対して歪みの補正を行う必要があるので、しかるべきタイミングで駆動部が有する歪みの補正を行うことができる。
【００９０】
また、上記実施形態では、印刷ユニット９０および９１の各々において、制御装置８０の演算処理部８１の指令に基づいて歪み補正の動作が行われるように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。印刷装置１００に、印刷ユニット９０および９１の動作制御を統括する本発明の「制御部」を設けてもよい。この制御部により、個々の印刷ユニット単独ではなく、印刷ユニット９０および９１の相互動作（基板搬送部２０の基台１０上における位置関係）の状況に基づいて、各々の印刷ユニットにおける歪み補正の動作を適切なタイミングで行うことが可能である。
【符号の説明】
【００９１】
５ プリント基板（基板）
６ スクリーンマスク
２０ 搬送機構部（基板搬送部）
２２ 基板搬送部
２３、２６ サーボモータ（駆動源、駆動機構）
２４、２７ ボールネジ軸（送りねじ軸、駆動機構）
２５、２８ ナット部材（駆動機構）
２９ マスク用カメラ（撮像部）
３０ フレーム構造体（枠体部材）
４０ 印刷機構部（印刷部）
４２ マスク保持部
７０、７１、７２ 基準マーク（マーク）
７５ 背景板
８１ 演算処理部（制御部）
１００ 印刷装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板への印刷を行う印刷部を備えた印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板への印刷を行う印刷部を備えた印刷装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、テーブル上に固定されたワーク（印刷対象）に、マスクを介して半田ペーストを印刷するスクリーン印刷機が開示されている。このスクリーン印刷機では、ワーク（印刷対象）固定用のテーブルの上面の少なくとも２箇所に誤差補正用の読取りマークが設けられている。また、ワーク（印刷対象）固定用のテーブルの上方に、テーブルの上面と平行な面内を移動するカメラが設置されている。そして、カメラを移動させながら２箇所の読取りマークを撮像することにより、読取りマーク間の距離を計測してテーブルの歪み（温度・湿度変化に伴うテーブルの伸び縮み）を検出するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８１６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載のスクリーン印刷機では、ワーク（印刷対象）固定用のテーブルの上面に読取りマークが設けられているため、ワークのサイズや外形形状によっては、読取りマークがワークによって覆われる場合があると考えられる。この場合、少なくとも読取りマーク上からワークを排除しない限り、上方のカメラによって２箇所の読取りマーク間の距離を計測することができない。なお、テーブルの歪みは、継続的な印刷動作とともに発生するため、歪みの補正は印刷動作の進行状況に関係なく適切なタイミングで行われることが望まれる。したがって、このスクリーン印刷機では、テーブル上からワークが排除されなければ読取りマークを確実に撮像することができないため、歪みの補正を適切なタイミングで行うことができないという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、歪みの補正を適切なタイミングで行うことが可能な印刷装置を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面における印刷装置は、基板への印刷を行う印刷部と、歪み補正に使用されるマークが設けられ、印刷部の少なくとも一部を移動可能に支持するとともに固定的に設置された枠体部材と、歪み補正を行う際に枠体部材のマークを撮像する撮像部とを備える。
【０００８】
この発明の一の局面による印刷装置では、上記のように、歪み補正に使用されるマークが設けられ固定的に設置された枠体部材と、歪み補正を行う際に枠体部材のマークを撮像する撮像部とを備えることによって、撮像部は、印刷部による基板への印刷動作に直接的に関与しない枠体部材の部分で、枠体部材に設けられた歪み補正用のマークを撮像することができる。これにより、適切なタイミングでマークを撮像して歪みの補正を行うことができる。この結果、基板への印刷動作が継続的に行われる印刷装置において、印刷精度を安定的に維持することができる。
【０００９】
上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、基板を搬送可能に構成された基板搬送部をさらに備え、撮像部は、基板搬送部に設置されているとともに、基板搬送部の移動に伴って移動するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部が移動する際に撮像部を移動させて枠体部材に設けられたマークを適切なタイミングで撮像することができる。これにより、撮像部を移動させる専用の駆動機構を別途設ける場合と異なり、印刷装置の構成を簡素化することができる。
【００１０】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、枠体部材は、基板の印刷が行われる印刷領域よりも外側に配置されており、撮像部は、基板搬送部の移動とともに移動される際に印刷領域の外側領域において、マークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、撮像部は、基板への印刷動作に直接的に関与しない印刷領域の外側領域において歪み補正用のマークを撮像するので、印刷領域内においてマークの撮像が行われない分、基板への印刷動作に直接影響を及ぼすことなく歪みの補正を行うことができる。
【００１１】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、基板搬送部を駆動する駆動機構と、撮像部がマークを撮像した結果に基づいて、駆動機構の発熱に伴う歪みの補正を行う制御部とをさらに備える。このように構成すれば、制御部により、マークの撮像結果に基づいて駆動機構の発熱に伴う歪みの補正を適切なタイミングで行うことができる。
【００１２】
上記駆動機構と制御部とをさらに備える構成において、好ましくは、駆動機構は、駆動源と、基板搬送部に螺合することにより駆動源の駆動力を基板搬送部の移動方向に伝達して基板搬送部を移動させる送りねじ軸とを含み、制御部は、撮像部がマークを撮像した結果に基づいて、基板搬送部に螺合する送りねじ軸の歪みを補正するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部に駆動力を伝達する送りねじ軸に、発熱に起因した軸延びが発生した場合であっても、歪み補正を必要とする適切なタイミングで送りねじ軸が有する歪みに応じた回転量の補正を行うことができる。この結果、基板搬送部による基板の搬送動作を精度良く行うことができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、送りねじ軸は、基板の印刷が行われる印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びており、基板搬送部は、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びる送りねじ軸に螺合することにより、印刷領域と外側領域との間を移動するように構成されている。このように、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びる長尺な送りねじ軸を備えていても、歪み補正を必要とする適切なタイミングで送りねじ軸が有する歪みに応じた回転量の補正を行うことができるので、本発明の効果を有効に享受することができる。
【００１４】
上記駆動機構と制御部とをさらに備える構成において、好ましくは、制御部は、撮像部によって撮像されたマークの座標を駆動機構の位置座標の基準位置として駆動機構を駆動することにより、基板搬送部を移動する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、制御上、枠体部材に設けられたマークの座標を基準位置として駆動機構を制御しながら基板搬送部を移動させることができる。また、マークの座標を基準位置とするので、駆動源や送りねじ軸などを部品交換した場合であっても、制御上の基準位置にマークの座標を設定するだけで駆動機構を容易に駆動させることができる。
【００１５】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、撮像部は、基板搬送部が基板の印刷が行われる印刷領域に基板を搬入する動作、および、基板搬送部が印刷領域から基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作が行われる際にマークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部による搬送動作の中にマークの撮像動作を含めることができるので、その分、マークの撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置における動作時間（タクトタイム）を短縮することができる。
【００１６】
この場合、好ましくは、撮像部は、基板搬送部が基板の印刷が行われる印刷領域に基板を搬入する動作、および、基板搬送部が印刷領域から基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作における移動途中で、マークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、基板搬送部の移動中にマークの撮像を同時に行うことができるので、マークの撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置における動作時間（タクトタイム）を容易にかつ効果的に短縮することができる。
【００１７】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、枠体部材は、スクリーンマスクを保持するマスク保持部を基板搬送部の搬送方向と交差する方向に移動可能に支持するように固定的に設置されており、撮像部は、基板搬送部が基板の搬送経路に沿って移動される際に、枠体部材に設けられたマークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、枠体部材に基板搬送部の搬送方向と交差する方向に移動されるマスク保持部が設けられていても、固定的に設置された枠体部材に歪み補正用のマークが設けられているので、歪みの補正を適切なタイミングで確実に行うことができる。
【００１８】
この場合、好ましくは、撮像部は、スクリーンマスクの表面を撮像する際に、枠体部材に設けられたマークを撮像するように構成されている。このように構成すれば、スクリーンマスクの表面観察用（検査用）に設けられた撮像部を用いて歪み補正用のマークを撮像することができるので、歪み補正用のマークを撮像するための撮像部を別途設ける必要がない。
【００１９】
上記基板搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、マークは、枠体部材の下面または側面に設けられており、撮像部は、上方の撮像が可能なように基板搬送部に設置されている。このように構成すれば、基板搬送部が移動経路上において枠体部材の近傍を通過する際に、撮像部により枠体部材の下面または側面に設けられたマークを確実に撮像することができる。
【００２０】
上記一の局面による印刷装置において、好ましくは、撮像部がマークを撮像した結果に基づいて歪み補正を行う制御部をさらに備え、撮像部は、撮像対象に対して照明光を照射可能に構成されており、枠体部材には、マークに加えて照明光の照度を調整するための背景板がマークに隣接して設けられており、制御部は、撮像部がマークを撮像する際に、照明光が照射された背景板を撮像した結果に基づいて、照明光の明るさを調整する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、マークの撮像とともに撮像部が照射する照明光の照度を調整することができるので、マークの撮像を精度良く行うことができる。この結果、歪みの補正を精度良く行うことができる。また、マークの撮像と同時に照明光の照度を調整することができるので、照明光の調整に要する時間（タクトロス）を最小限に抑えることができる。これによっても、印刷装置におけるタクトタイムを短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態による印刷装置の全体構成を示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態による印刷装置の概略的なレイアウトを示した平面図である。
【図３】図１に示した印刷装置を構成する印刷ユニットの構成を示したブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態による印刷装置における正面側の印刷ユニットの内部構造を示した斜視図である。
【図５】図４に示した印刷ユニットを構成する基板搬送部の構造を示した斜視図である。
【図６】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットにおいて、コンベア部を含む下部の構造を示した平面図である。
【図７】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットをＹ１方向に沿って見た場合の側面図である。
【図８】本発明の一実施形態による印刷装置における印刷ユニットを構成するフレーム構造体を基台側（下面側）から見た場合の平面図である。
【図９】図８に示したフレーム構造体の梁部に設けられたマークおよびその周辺の構造を示した平面図である。
【図１０】本発明の一実施形態による印刷装置において歪み補正を行う際の方法を説明するための概略図である。
【図１１】本発明の第１変形例による印刷装置の概略的なレイアウトを示した平面図である。
【図１２】本発明の第２変形例による印刷装置における印刷ユニットをＹ１方向に沿って見た場合の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
まず、図１〜図１０を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００の構造について説明する。
【００２４】
本発明の一実施形態による印刷装置１００は、図１に示すように、装置本体内に搬送されるプリント基板（配線基板）５の上面５ａに半田ペーストをマスク印刷する印刷機である。床面１（Ｘ−Ｙ平面）に据え付けられる印刷装置１００は、２つの印刷ユニット９０および９１を備えており、各々の印刷ユニットが個別に駆動することにより、各印刷ユニットにおいてプリント基板５にマスク印刷を行うことが可能に構成されている。この際、互いに異なるサイズのプリント基板５が各々の印刷ユニットにおいて印刷可能であるように構成されている。なお、プリント基板５は、本発明の「基板」の一例である。
【００２５】
印刷装置１００は、平面的に見て、図２に示すように、床面１（図１参照）に載置された基台１０上に、２つの印刷ユニット９０および９１がＹ方向に沿って並べられている。また、印刷ユニット９０および９１は、プリント基板５の搬入／搬出方向となる長手方向を、基台１０のＸ方向に略一致させて配置されている。ここで、印刷ユニット９０（９１）におけるプリント基板５の搬送方向がＸ方向であり、半田２（図５参照）のプリント基板５への印刷方向がＹ方向である。また、Ｘ方向およびＹ方向は、基台１０上において互いに直交する方向である。
【００２６】
また、印刷ユニット９０（９１）において、図２の右側（Ｘ２側）がプリント基板５の搬入側であり、図２の左側（Ｘ１側）がプリント基板５の搬出側である。また、図２の右側に配置された後述するフレーム構造体３０（梁部３２）よりも右側の基台１０上の領域が、印刷前のプリント基板５の待機領域である。また、図２の左側に配置されたフレーム構造体３０（梁部３２）よりも左側の領域が、印刷終了後のプリント基板５の搬出領域である。また、左右の梁部３２に挟まれた領域が、プリント基板５の印刷領域に対応している。なお、２つの印刷ユニット９０および９１は、互いにほぼ同じ構成を有するため、以降では、手前側（Ｙ２側（正面側））の印刷ユニット９０に関する構成についての説明を行う。
【００２７】
印刷装置１００を覆う複数の外装カバー１０１（図１参照）を取り除いた状態において、印刷ユニット９０は、図４に示すように、プリント基板５を搬送する搬送機構部２０と、基台１０上に固定的に設置されたフレーム構造体３０と、印刷機構部４０と、クリーナ部５０とを備えている。なお、図４では、搬送機構部２０およびフレーム構造体３０が載置される基台１０（図２参照）の図示を省略している。また、図３に示すように、印刷装置１００には、以下に説明する各部の動作制御を行うための後述する制御装置８０が内蔵されている。なお、フレーム構造体３０は、本発明の「枠体部材」の一例であり、印刷機構部４０は、本発明の「印刷部」の一例である。
【００２８】
搬送機構部２０は、印刷ユニット９０内に搬入された印刷前のプリント基板５を印刷領域まで搬送する機能を有している。ここで、印刷領域とは、印刷時にスクリーンマスク６（図７参照）がプリント基板５の上面５ａ上に載置される領域を示す。フレーム構造体３０は、搬送機構部２０の上方をＹ方向に跨ぐようにして基台１０（図２参照）の上面１０ａに固定されている。印刷機構部４０は、プリント基板５の上面５ａに半田２（図５に示す破線枠内）の印刷を行う機能を有している。また、印刷機構部４０は、フレーム構造体３０の上方を印刷方向（Ｙ方向）に沿って移動可能な状態でフレーム構造体３０に取り付けられている。また、クリーナ部５０は、印刷終了後のスクリーンマスク６（図７参照）の下面（Ｚ２側）およびマスク開口部に付着した余分な半田ぺーストを拭き取る機能を有している。
【００２９】
また、図５に示すように、搬送機構部２０は、基台１０（図２参照）上をプリント基板５の搬入／搬出方向となるＸ方向（基板搬送方向）に沿って延びる一対の基準コンベア２１と、一対の基準コンベア２１の外側から基準コンベア２１を挟み込むように設けられ、基準コンベア２１に対してＸ方向に沿って相対的に往復移動可能な基板搬送部２２とを含んでいる。基準コンベア２１は、Ｘ１方向に移動するコンベアベルト（図示せず）によって、印刷ユニット９０の基板搬入側に配置されたプリント基板５を基準コンベア２１上の待機領域（図２参照）まで搬送する機能と、印刷が終了されたプリント基板５を印刷領域から搬出領域（図２参照）まで搬送する機能とを担っている。また、基板搬送部２２は、待機領域に配置されたプリント基板５を保持した状態で印刷領域まで搬送する役割を有している。なお、搬送機構部２０は、本発明の「基板搬送部」の一例である。
【００３０】
また、一対の基準コンベア２１は、Ｘ方向と略直交するＹ方向（印刷方向）に所定の間隔を隔てて対向して配置されており、基台１０上の一方側（Ｘ１側）の端部から他方側（Ｘ２側）の端部まで延びている。基板搬送部２２は、プリント基板５を載置するための基板テーブル２２ａと、基板テーブル２２ａの側方（Ｙ１側およびＹ２側）に設けられ、基板テーブル２２ａ上に配置されたプリント基板５の側端面をＹ方向（Ｙ１方向およびＹ２方向）から挟み込んで一時的に保持するクランプ片２２ｂ（２箇所）とを有している。なお、基板テーブル２２ａには、上面（Ｚ１側）から上方に延びる複数のピン（図示せず）が取り付けられている。そして、プリント基板５は、基板テーブル２２ａ上において、下面がピンにより支持された状態で載置されている。また、基板搬送部２２は、基板テーブル２２ａとクランプ片２２ｂとが一体となって基準コンベア２１に沿って移動するように構成されている。
【００３１】
また、図６に示すように、基台１０上には、各々がＸ方向に所定の間隔を隔てて配置されるとともにＹ方向に延びる４本のレール１１が敷設されており、搬送機構部２０は、４本のレール１１を基準コンベア２１の延びるＸ方向に跨いだ状態でレール１１上に載置されている。ここで、印刷ユニット９０を正面から見た場合（図７参照）における基台１０の上面１０ａと搬送機構部２０との間に、サーボモータ２３とサーボモータ２３の回転軸（Ｙ軸）に接続されるボールネジ軸２４とが設けられている。なお、サーボモータ２３は、本発明の「駆動源」の一例であり、ボールネジ軸２４は、本発明の「送りねじ軸」の一例である。
【００３２】
サーボモータ２３は、回転軸をＹ方向に一致させた状態で搬送機構部２０（基準コンベア２１）の底部２１ａ（図７参照）の下面側に固定されている。また、ボールネジ軸２４は、サーボモータ２３の回転軸に沿ってＹ方向に軸を延ばした状態で基台１０の上面１０ａ上に回転可能に固定されている。また、図４および図６に示すように、ボールネジ軸２４の延長線上における基台１０の上面１０ａ（図６参照）には、ナット部材２５が取り付けられている。そして、ナット部材２５は、ボールネジ軸２４と螺合しており、サーボモータ２３によりボールネジ軸２４を回転させることによって、基台１０に固定されたナット部材２５に対してサーボモータ２３側がＹ方向（Ｙ１方向およびＹ２方向）に移動されるように構成されている。これにより、サーボモータ２３の回転制御とともにサーボモータ２３と一体的に形成された搬送機構部２０が、レール１１上をＹ方向に沿って往復移動するように構成されている。なお、搬送機構部２０のＹ方向への可動範囲は、ボールネジ軸２４の長さよりも若干短い。なお、サーボモータ２３、ボールネジ軸２４およびナット部材２５は、本発明の「駆動機構」の一例である。
【００３３】
また、図６に示すように、一対の基準コンベア２１がＹ方向に対向する領域に、サーボモータ２６とサーボモータ２６の回転軸（Ｘ軸）に接続されるボールネジ軸２７とが設けられている。サーボモータ２６は、回転軸をＸ方向に一致させた状態で基準コンベア２１の底部２１ａに固定されている。ここで、サーボモータ２３とサーボモータ２６とは、底部２１ａにおいて互いに異なる位置に固定されている。また、ボールネジ軸２７は、サーボモータ２６の回転軸に沿ってＸ方向に軸を延ばした状態で基準コンベア２１の底部２１ａ下に回転可能に固定されている。また、図７に示すように、基板搬送部２２の底部２２ｃには、下面側にナット部材２８が取り付けられている。なお、サーボモータ２６は、本発明の「駆動源」の一例であり、ボールネジ軸２７は、本発明の「送りねじ軸」の一例である。また、サーボモータ２６、ボールネジ軸２７およびナット部材２８は、本発明の「駆動機構」の一例である。
【００３４】
ナット部材２８は、ボールネジ軸２７と螺合しており、基準コンベア２１に固定されたサーボモータ２６によりボールネジ軸２７を回転させることによって、ナット部材２８がＸ方向（Ｘ１方向およびＸ２方向）に移動されるように構成されている。これにより、サーボモータ２６の回転制御とともに基準コンベア２１に対して基板搬送部２２がＸ方向に沿って相対的に往復移動するように構成されている。なお、基板搬送部２２のＸ方向への可動範囲は、基準コンベア２１のＸ１側の端部領域からＸ２側の端部領域までである。
【００３５】
搬送機構部２０において、上記した駆動機構が備えられていることにより、基板搬送部２２は、図２に示すように、基準コンベア２１の基板搬入側（Ｘ２側）の待機位置まで移動した後、他機などから基準コンベア２１上の待機位置に搬送されてきたプリント基板５をクランプ片２２ｂにより把握した状態でＸ１方向に移動することにより、プリント基板５を印刷領域まで搬送するように構成されている。また、搬送機構部２０は、基板搬送部２２のＸ方向における現在位置に関係なく、基準コンベア２１の延びる方向と略直交する印刷方向（Ｙ方向）に沿って基台１０の上面１０ａ上を往復移動するように構成されている。これにより、搬送機構部２０は、所定の運転パターンに基づいて、Ｘ方向およびＹ方向への移動が制御されるように構成されている。
【００３６】
また、基板搬送部２２には、図示しない駆動機構が設けられることにより、基板テーブル２２ａが上下方向（Ｚ方向）に昇降するように構成されている。これにより、図７に示すように、印刷領域まで搬送されたプリント基板５は、基板テーブル２２ａとともに基準コンベア２１の上面（Ｚ１側の表面）よりも所定の高さだけ持ち上げられた位置まで移動される。そして、後述するマスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６が下降してプリント基板５の上面５ａに所定の押圧力で当接するように構成されている。
【００３７】
また、基板搬送部２２には、図示しない駆動機構が設けられることにより、基板搬送部２２のＹ方向の幅が所定範囲内で拡大および縮小するように構成されている。これにより、プリント基板５の幅（Ｙ方向の長さ）に応じて基板搬送部２２のＹ方向の幅が調整された状態でクランプ片２２ｂにより保持されるように構成されている。
【００３８】
また、図４および図６に示すように、フレーム構造体３０は、基台１０のＸ方向（基板搬送方向）において所定の間隔を隔てて一対設けられている。また、各々のフレーム構造体３０は、門型構造を有しており、基台１０（図６参照）のＹ方向（印刷方向）における両側端部（Ｙ１側およびＹ２側）近傍から上方に延びる脚部３１（２箇所）と、Ｙ方向に対向する脚部３１同士を水平方向に繋ぐ梁部３２とを含んでいる。つまり、印刷ユニット９０をＸ方向に沿って側方から見た場合、Ｙ方向に延びる梁部３２が、脚部３１を介して搬送機構部２０上を跨いでいる。また、脚部３１は、図示しない締結部材により、基台１０（図６参照）の上面１０ａに固定されている。また、一対の梁部３２の上面３２ａは、基台１０の上面１０ａと同様に水平面を構成している。また、各々の梁部３２の上面３２ａには、Ｙ方向に延びるレール１２（図４参照）が設けられている。そして、後述する印刷機構部４０が、梁部３２に固定されたレール１２上をＹ方向に沿って移動可能であるように構成されている。
【００３９】
また、図５に示すように、搬送機構部２０における基板搬送部２２にマスク用カメラ２９が設置されている。マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２の一方（Ｙ２側）の基板テーブル２２ａよりも外側においてレンズを上方（Ｚ１方向）に向けて取り付けられている。印刷ユニット９０では、プリント基板５を保持した基板搬送部２２がＸ１方向へ移動する際に、マスク用カメラ２９によってスクリーンマスク６（図７参照）のマスク開口部（図示せず）の観察や、スクリーンマスク６の下面（Ｚ２側の表面）に付された図示しないフィデューシャルマーク（位置合わせマーク）を検出するように構成されている。これにより、印刷を行う前に、印刷領域に搬送されたプリント基板５とスクリーンマスク６との位置合わせが精度良く行われるように構成されている。なお、マスク用カメラ２９は、本発明の「撮像部」の一例である。
【００４０】
ここで、本実施形態では、図７に示すように、フレーム構造体３０を構成する梁部３２の下面３２ｂ（Ｚ２側）に、基準マーク７０が設けられている。すなわち、基準マーク７０は、プリント基板５の印刷が行われる印刷領域よりも外側（Ｘ２側）に配置されている。また、図２に示すように、基準マーク７０は、Ｙ方向に延びる梁部３２の下面３２ｂ（図７参照）のうち、搬送機構部２０（基準コンベア２１）がＹ方向に移動する範囲内の所定の位置に設けられている。そして、搬送機構部２０とともに所定の印刷動作に基づいて水平面内（Ｘ−Ｙ面内）を移動する基板搬送部２２が、印刷領域の外側領域である梁部３２の下部を通過する際に、マスク用カメラ２９によって基準マーク７０が撮像されるように構成されている。なお、マスク用カメラ２９による基準マーク７０の撮像は、基板搬送部２２がプリント基板５を保持して搬送する場合と搬送しない場合とに関係なく行われるように構成されている。これにより、印刷動作の進行とともに発生する搬送機構部２０の歪みが、演算処理部８１（図３参照）によって適宜決定したタイミングで補正されるように構成されている。なお、基準マーク７０は、本発明の「マーク」の一例である。
【００４１】
ここで、図１０を参照して、搬送機構部２０における歪み補正の方法について説明する。印刷ユニット９０が運転されている際、演算処理部８１（図３参照）の指令に基づいて、所定のタイミングにおいて基板搬送部２２の移動とともにマスク用カメラ２９によって基準マーク７０が撮像されたとする。この際、基準マーク７０のＸ−Ｙ面内における位置は、サーボモータ２６によりボールネジ軸２７を回転量Ｕだけ回転させるとともに、サーボモータ２３によりボールネジ軸２４を回転量Ｖだけ回転させた場合に、マスク用カメラ２９が有する撮像領域の中央に基準マーク７０が撮像されるように構成されている。
【００４２】
ここで、回転量Ｕは、ナット部材２８がボールネジ軸２７上の端部（たとえば図６に示すＸ２側の端部）に移動した位置からマスク用カメラ２９の撮像領域の中央が基準マーク７０に重なるまでナット部材２８（基板搬送部２２）をＸ１方向に移動させる際に必要とされるボールネジ軸２７の回転量である。同様に、回転量Ｖは、ナット部材２５がボールネジ軸２４上の端部（たとえば図５に示すＹ２側の端部）に移動した位置からマスク用カメラ２９が基準マーク７０に重なるまでナット部材２５（搬送機構部２０）をＹ１方向に移動させる際に必要とされるボールネジ軸２４の回転量である。また、回転量Ｕに対応するサーボモータ２６のステップ数および回転量Ｖに対応するサーボモータ２３のステップ数も同時に制御データ記憶部８２ｂ（図３参照）に記憶されるように構成されている。したがって、ボールネジ軸２７および２４が回転量（Ｕ、Ｖ）だけ回転された場合、図１０に示すように、撮像領域中の位置Ｐ（中央部）に、基準マーク７０が撮像される。
【００４３】
プリント基板５の印刷が所定枚数だけ繰り返された後、所定のタイミングにおいて基板搬送部２２の移動とともにマスク用カメラ２９によって基準マーク７０が再び撮像されたとする。この際、本実施形態では、サーボモータ２６および２３のステップ数を先の撮像時に記憶されているステップ数まで回転させることにより、マスク用カメラ２９（基板搬送部２２）は、現時点でのボールネジ軸２７および２４を初期位置から回転量（Ｕ、Ｖ）だけ回転させた場合に相当する位置まで移動される。これにより、図１０に示すように、撮像領域中の位置Ｑに基準マーク７０が撮像される。なお、実際には基準マーク７０の位置Ｐおよび位置Ｑは、別々の画像データとして撮像されるが、位置Ｐから位置Ｑへの変化を説明するために、同じ図を用いて便宜的に図示している。
【００４４】
なお、プリント基板５が複数枚に亘って連続して印刷されることによって、搬送機構部２０を駆動するボールネジ軸２７および２４は、各々と螺号するナット部材２８および２５との間に摺動に伴う摩擦熱が発生する。また、搬送機構部２０は、タクトアップ（生産性の向上）のために比較的高速度でＸ−Ｙ面内を移動するように構成されている。したがって、ナット部材とボールネジ軸との摺動に伴う摩擦熱に起因して、ボールネジ軸２７および２４は、各々の延びる軸方向に沿って熱膨張を起こす。したがって、ボールネジ軸２７および２４を制御上の初期位置（基準位置）に対して同じ回転量（Ｕ、Ｖ）だけ回転させたとしても、ボールネジ軸が熱膨張している分、ナット部材２８（２５）の移動ピッチ（ボールネジ軸の１回転当たりのナット部材２８（２５）の移動量）が前回から変化している。このため、図１０における位置Ｑは、位置Ｐに対してずれた状態で撮像される。
【００４５】
そして、画像処理による位置Ｐの座標と位置Ｑの座標とに基づいて、位置Ｐから位置Ｑへの基準マーク７０の変位量が算出される。この場合、Ｘ方向への変位量ΔＸと、Ｙ方向への変位量ΔＹとがそれぞれ算出される。そして、変位量ΔＸと回転量Ｕとの関係から、基準マーク７０のＸ方向の変位量に相当するボールネジ軸２７の熱膨張率が割り出される。また、変位量ΔＹと回転量Ｖとの関係から、基準マーク７０のＹ方向の変位量に相当するボールネジ軸２４の熱膨張率が割り出される。印刷ユニット９０においては、基台１０に対して固定的に設置されたフレーム構造体３０に付された基準マーク７０の位置Ｑ（歪み発生後）と位置Ｐ（歪み発生前）とが一致している必要があるため、上記算出された各々のボールネジ軸が有する熱膨張率を考慮して、ボールネジ軸２７および２４の各々の回転量が調整されるように構成されている。
【００４６】
印刷ユニット９０では、このようにして、ボールネジ軸２７および２４の各々の回転量を調整することにより、搬送機構部２０の歪み補正が動作が行われるように構成されている。この歪み補正により、ボールネジ軸２７および２４が熱膨張を起こして移動ピッチ（ボールネジ軸の１回転当たりのナット部材２８（２５）の移動量）が変化したとしても、ボールネジ軸２７（２４）側の回転量を調整することにより、搬送機構部２０（基板搬送部２２）のＸ−Ｙ面内における位置決めを正確に行うことができるように構成されている。
【００４７】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９によって撮像された基準マーク７０の座標（図１０における位置Ｐの座標）を、搬送機構部２０（基準コンベア２１および基板搬送部２２）のＸ−Ｙ面内における位置座標の基準位置としてサーボモータ２３および２６を駆動することにより搬送機構部２０が移動されるように構成されている。
【００４８】
また、本実施形態では、図８および図９に示すように、梁部３２の下面３２ｂには、背景板７５が基準マーク７０に隣接して設けられている。また、背景板７５は、基準マーク７０の近傍において、ネジ部材７６（２箇所）により梁部３２の下面３２ｂに固定されている。また、背景板７５は、各々が互いに異なる色に塗られた一方領域７５ａと他方領域７５ｂとを有している。ここで、マスク用カメラ２９には、レンズの近傍（マスク用カメラ２９の上面側）に撮像時に撮像対象（基準マーク７０）に向けて照明光を照射する照射部（ＬＥＤ）２９ａ（図７参照）が円環状に設けられている。これにより、照射部２９ａにより照射された照明光が背景板７５の一方領域７５ａおよび他方領域７５ｂで反射されることにより、マスク用カメラ２９が撮像する背景板７５の写り具合が異なる。したがって、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像する際に、照明光が照射された背景板７５を撮像した結果に基づいて、照明光の明るさが適切に調整されるように構成されている。
【００４９】
また、図８に示すように、梁部３２の下面３２ｂには、基板用カメラ９９が設置されている。基板用カメラ９９は、レンズを下方（Ｚ２方向）に向けて取り付けられている。印刷ユニット９０では、プリント基板５を保持した基板搬送部２２がＸ１方向へ移動する際に、基板用カメラ９９によってプリント基板５の上面５ａに付された図示しないフィデューシャルマーク（位置合わせマーク）を検出するように構成されている。これにより、印刷を行う前に、印刷領域に搬送されたプリント基板５とスクリーンマスク６との位置合わせが精度良く行われるように構成されている。
【００５０】
また、印刷機構部４０は、図４に示すように、梁部３２の上面３２ａ上をＹ方向に移動可能に構成されたフレーム構造体からなる印刷機構支持部４１と、印刷機構支持部４１の内側（印刷領域内）に印刷機構支持部４１に対して昇降可能（Ｚ方向）に取り付けられ、スクリーンマスク６を保持するマスク保持部４２と、スクリーンマスク６を介してプリント基板５に半田を印刷する印刷部６０とを含んでいる。
【００５１】
印刷機構支持部４１は、梁部３２の上面３２ａから上方に延びる一対の側壁部４１ａと、一対の側壁部４１ａのＹ１側の端部間をＸ方向に繋ぐ側壁部４１ｂと、一対の側壁部４１ａの上端部間をＸ方向に繋ぐ梁部４１ｃとを有している。つまり、印刷ユニット９０をＹ方向に沿って正面側（Ｙ２側）から見た場合、印刷機構支持部４１は、門型構造を有している。
【００５２】
また、梁部３２の上面３２ａ上に、サーボモータ４３とサーボモータ４３の回転軸に接続されるボールネジ軸４４とが設けられている。サーボモータ４３は、回転軸をＹ方向に一致させた状態で梁部３２の上面３２ａに固定されている。また、ボールネジ軸４４は、サーボモータ４３の回転軸に沿ってＹ方向に軸を延ばした状態で上面３２ａ上に回転可能に固定されている。また、側壁部４１ａには、ナット部材４５が取り付けられている。そして、ナット部材４５は、ボールネジ軸４４と螺合しており、サーボモータ４３によりボールネジ軸４４を回転させることによって、ナット部材４５がＹ方向（Ｙ１方向およびＹ２方向）に移動されるように構成されている。また、サーボモータ４３、ボールネジ軸４４およびナット部材４５は、左右（Ｘ方向）の梁部３２の上面３２ａ上に各々設けられている。したがって、左右のサーボモータ４３を個別に駆動することにより、印刷機構支持部４１をＹ方向に平行移動させるのみならず、印刷機構支持部４１をＸ−Ｙ面内でＺ軸を中心に若干回動させることも可能であるように構成されている。これにより、印刷機構部４０においては、印刷領域に搬入されたプリント基板５に対して、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６のＸ−Ｙ面内における詳細な位置合わせが行われるように構成されている。
【００５３】
また、マスク保持部４２は、印刷機構支持部４１の側壁部４１ａに対して上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に取り付けられている。具体的には、印刷機構支持部４１には、サーボモータ４６と、ベルト駆動によってサーボモータ４６の駆動力が伝達される４本のボールネジ軸４７が回転可能に組み込まれている。また、マスク保持部４２には、ナット部材４８が設けられている。そして、Ｚ方向に延びるボールネジ軸４７の各々にナット部材４８が螺合している。これにより、サーボモータ４６の回転制御とともにマスク保持部４２がＺ方向に沿って昇降するように構成されている。これにより、印刷時には、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６をＺ２方向に下降させて印刷領域に搬入されたプリント基板５の上面に当接させるとともに、印刷後には、スクリーンマスク６をＺ１方向に上昇させてプリント基板５の上面５ａから版離れ動作を行うように構成されている。
【００５４】
印刷部６０は、図７に示すように、門型構造を有する印刷機構支持部４１の内側に配置されている。また、印刷部６０は、スクリーンマスク６の上面（Ｚ１側）に対してペースト状の半田２（図５参照）を押圧しながらＹ方向に摺動するスキージユニット６１と、スクリーンマスク６の上面に半田２を供給する半田供給部６２とを有している。スキージユニット６１は、スクリーンマスク６に形成された複数のマスク開口部（図示せず）を介して半田をプリント基板５上に押し出す機能を有している。また、印刷部６０は、スキージユニット６１および半田供給部６２を支持するように構成された図示しない支持機構により、マスク保持部４２の内側の側面上に移動可能に設置されている。印刷部６０がマスク保持部４２に対して印刷方向（Ｙ方向）に往復移動することにより、半田２がプリント基板５に印刷されるように構成されている。
【００５５】
また、スクリーンマスク６（図７参照）は、約２０μｍ以上約１５０μｍ以下の厚みを有する板状（シート状）の部材からなり、複数の開口部（図示せず）がパターニングされた開口領域を有している。このようにシート状のスクリーンマスク６は屈曲性を有するため、スクリーンマスク６は、周囲が剛性の高い部材からなるフレーム７に固定されている。フレーム７は、最大で約７５０ｍｍ角（縦×横）の大きさを有しており、スクリーンマスク６のサイズに応じて、フレーム７のサイズも適宜決定される。印刷ユニット９０では、ユーザがアクセスカバー１０１ａ（図１参照）を開けて、スクリーンマスク６が固定されたフレーム７をマスク保持部４２に差し込んで固定するように構成されている。
【００５６】
また、図３に示すように、制御装置８０は、ＣＰＵ（演算処理部）と基板回路部とにより構成されている。具体的には、制御装置８０は、演算処理部８１、記憶部８２、外部入出力部８３、画像処理部８４および駆動機構制御部８５によって主に構成されている。なお、演算処理部８１は、本発明の「制御部」の一例である。
【００５７】
演算処理部８１はＣＰＵからなり、印刷ユニット９０の動作を全般的に統括している。記憶部８２は、演算処理部８１が実行可能な制御プログラムなどが格納されている動作プログラム記憶部８２ａと、印刷動作を行う際に必要となるデータ類が格納されている制御データ記憶部８２ｂとを含んでいる。ここで、動作プログラム記憶部８２ａは、フラッシュＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）からなり、制御データ記憶部８２ｂは、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）からなる。
【００５８】
また、外部入出力部８３は、運転開始ボタン９５を含む運転操作上の各種ボタン類や、基板位置センサ、マスク位置センサ、スキージ位置センサなどの各種センサ類（図３参照）からの入出力を制御する機能を有している。画像処理部８４は、基板用カメラ９９およびマスク用カメラ２９の各々が撮像した画像データの処理を行って、印刷ユニット９０の動作に必要とされるデータを内部的に生成する役割を有している。この場合、マスク用カメラ２９が撮像した基準マーク７０の画像データは画像処理部８４によって画像処理が行われる。これにより、演算処理部８１により歪みの大きさ（ボールネジ軸２４および２７の延び量）が把握されるように構成されている。
【００５９】
駆動機構制御部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、印刷ユニット９０の各サーボモータ（基板搬送部２２をＸ方向に移動させるサーボモータ２６（図６参照）、搬送機構部２０をＹ方向に移動させるサーボモータ２３（図６参照）、マスク保持部４２をＺ方向に移動させるサーボモータ４３（図４参照）など）を制御するように構成されている。また、駆動機構制御部８５は、基準コンベア２１に設けられた基板搬送軸（図示せず）のサーボモータを制御するように構成されている。また、駆動機構制御部８５は、各サーボモータが有するエンコーダ（図示せず）からの信号に基づいて基板搬送部２２のＸ−Ｙ面内の位置、マスク保持部４２の高さ位置（Ｚ方向）および回転位置（Ｚ軸まわり）などが認識可能に構成されている。
【００６０】
また、制御装置８０は、装置本体に設けられた非常停止回路部９２に接続されている。非常停止回路部９２には、装置本体内の所定の位置に設けられたカバーオープンスイッチ９３と、押しボタン式の非常停止ボタン９４とが電気的に接続されている。カバーオープンスイッチ９３は、アクセスカバー１０１ａ（図１参照）の開閉状態に応じてスイッチの開閉が切り換わるように構成されている。これにより、アクセスカバー１０１ａが開いた状態では、非常停止回路部９２が機能して印刷ユニット９０の運転が開始（再開）されないように構成されている。また、運転中にユーザが非常停止ボタン９４を押下した場合、非常停止回路部９２が機能して即時に運転が中断されるように構成されている。
【００６１】
なお、印刷ユニット９１（図２参照）についても、上記した印刷ユニット９０と略同様の構成が備えられている。したがって、印刷装置１００では、各々の印刷ユニットが駆動する際、個々の動作状況に応じて各印刷ユニットに関する歪み補正の動作が行われるように構成されている。
【００６２】
また、図１に示すように、印刷装置１００の外部には印刷ユニット９０（９１）毎に表示パネル１０２が設けられている。ユーザは、各々の表示パネル１０２を介して印刷動作の進行状況を把握したり、表示パネル１０２の表示内容に応じた機器操作を行うように構成されている。また、印刷装置１００には表示灯１０３が設けられている。表示灯１０３は、印刷装置１００の天面部よりも高い位置に配置されており、印刷装置１００から離れた位置からでもユーザが印刷装置１００の運転状況を視認することが可能に構成されている。このようにして、印刷装置１００は構成されている。
【００６３】
次に、図３〜図５、図７および図８を参照して、本発明の一実施形態による印刷装置１００において歪み補正を行う際の印刷ユニット９０の動作について説明する。
【００６４】
まず、印刷終了後のプリント基板５が印刷領域から基準コンベア２１によりＸ１方向に搬出領域まで搬送された状態（図５参照）では、基板搬送部２２は、クランプ片２２ｂを開放し、かつ、基板テーブル２２ａを下げた状態で、印刷領域（印刷時にスクリーンマスク６（図７参照）がプリント基板５の上面５ａに載置される領域）において停止されている。
【００６５】
その後、他機などから基準コンベア２１上の待機位置に印刷前のプリント基板５が新たに移送されてきたとする。印刷ユニット９０における印刷動作が継続される場合、印刷領域に停止中の基板搬送部２２が、基準コンベア２１に沿って待機位置までＸ２方向に移動される。そして、図５に示すように、基板搬送部２２は、クランプ片２２ｂを用いて新たなプリント基板５を把握した後、再び印刷領域に向かってＸ１方向に移動する。
【００６６】
この際、本実施形態では、図７に示すように、基板搬送部２２が梁部３２の下部をＸ１方向に通過する際に、マスク用カメラ２９によって梁部３２の下面３２ｂに設けられた基準マーク７０を撮像する。これにより、Ｘ−Ｙ面内における基準マーク７０の現在の位置座標が認識される。また、基板搬送部２２が梁部３２の下部をＸ１方向に通過する際、梁部３２の下面３２ｂに設けられた基板用カメラ９９（図８参照）によってプリント基板５の上面５ａに付された図示しないフィデューシャルマークが検出される。
【００６７】
その後、図４に示すように、基板搬送部２２が印刷領域に停止されてクランプ片２２ｂが開放される。そして、複数のピンが設けられた基板テーブル２２ａが上昇するとともに、プリント基板５の下面がピンにより支持された状態で、所定の高さまでＺ１方向に持ち上げられる。また、基板搬送部２２が印刷領域に停止した際、マスク用カメラ２９によってスクリーンマスク６の下面に付された図示しないフィデューシャルマークが検出される。
【００６８】
その後、基板用カメラ９９によって検出されたプリント基板５のフィデューシャルマークと、マスク用カメラ２９によって検出されたスクリーンマスク６のフィデューシャルマークとに基づいて、マスク保持部４２（図４参照）のＸ−Ｙ面内での位置合わせが行われる。そして、この状態で、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６（図７参照）がＺ２方向に下降してプリント基板５の上面５ａに所定の押圧力で当接される。
【００６９】
その後、スクリーンマスク６上に半田２（図５参照）が供給された状態で印刷部６０（図７参照）が駆動されることにより、プリント基板５の上面５ａに、スクリーンマスク６を介して半田２が印刷される。
【００７０】
半田２の印刷後、マスク保持部４２に保持されたスクリーンマスク６がＺ１方向に上昇されて版離れが行われる。そして、プリント基板５が載置された基板テーブル２２ａがＺ２方向に下降されて、プリント基板５が基準コンベア２１上に載置される。印刷ユニット９０では、上記した印刷動作を繰り返すことにより、プリント基板５への印刷が継続的に行われる。そして、上記した一連の印刷動作の途中で、基板搬送部２２が梁部３２の下部を通過する際に、演算処理部８１（図３参照）の指令に基づく適切なタイミングで基準マーク７０が撮像されることにより、搬送機構部２０の歪みが補正される。
【００７１】
本実施形態では、上記のように、歪み補正に使用される基準マーク７０が設けられ基台１０上に固定的に設置されたフレーム構造体３０と、歪み補正を行う際にフレーム構造体３０の梁部３２の下面３２ｂに設けられた基準マーク７０を撮像するマスク用カメラ２９とを備えることによって、マスク用カメラ２９は、印刷機構部４０によるプリント基板５への印刷動作に直接的に関与しないフレーム構造体３０の部分で、梁部３２の下面３２ｂに設けられた歪み補正用の基準マーク７０を撮像することができる。これにより、適切なタイミングで基準マーク７０を撮像して歪みの補正を行うことができる。この結果、プリント基板５への印刷動作が継続的に行われる印刷ユニット９０（９１）において、印刷精度を安定的に維持することができる。
【００７２】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２に設置されているとともに、基板搬送部２２の水平面内（Ｘ−Ｙ面内）の移動に伴って移動するように構成されている。これにより、基板搬送部２２が移動する際にマスク用カメラ２９を移動させて梁部３２の下面に設けられた基準マーク７０を適切なタイミングで撮像することができる。したがって、マスク用カメラ２９を移動させる専用の駆動機構を別途設ける場合と異なり、印刷装置１００（印刷ユニット９０および９１）の構成を簡素化することができる。
【００７３】
また、本実施形態では、フレーム構造体３０は、プリント基板５の印刷が行われる印刷領域（印刷時にスクリーンマスク６がプリント基板５上に載置される領域）よりも外側に配置されており、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２の移動とともに移動される際に印刷領域の外側領域において、基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、マスク用カメラ２９は、プリント基板５への印刷動作に直接的に関与しない印刷領域の外側領域において歪み補正用の基準マーク７０を撮像するので、印刷領域内において基準マーク７０の撮像が行われない分、プリント基板５への印刷動作に直接影響を及ぼすことなく歪みの補正を行うことができる。
【００７４】
また、本実施形態では、搬送機構部２０全体をＹ方向に駆動するサーボモータ２３と、基板搬送部２２をＸ方向に駆動するサーボモータ２６と、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像した結果に基づいて、ボールネジ軸２４および２７の発熱に伴う歪みの補正を行う演算処理部８１とを備えている。これにより、演算処理部８１により、基準マーク７０の撮像結果に基づいて、ボールネジ軸２４および２７の各々の発熱に伴う歪みの補正を適切なタイミングで行うことができる。
【００７５】
また、本実施形態では、演算処理部８１は、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像した結果に基づいて、基板搬送部２２に螺合するボールネジ軸２７（２４）の歪みを補正するように構成されている。これにより、基板搬送部２２に駆動力を伝達するボールネジ軸２７（２４）に、発熱に起因した軸延びが発生した場合であっても、歪み補正を必要とする適切なタイミングでボールネジ軸２７（２４）が有する歪みに応じた回転量の補正を行うことができる。この結果、基板搬送部２２によるプリント基板５の搬送動作を精度良く行うことができる。
【００７６】
また、本実施形態では、ボールネジ軸２７（２４）は、プリント基板５の印刷が行われる印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びており、基板搬送部２２は、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びるボールネジ軸２７（２４）に螺合することにより、印刷領域と外側領域との間を移動するように構成されている。このように、印刷領域から印刷領域の外側領域まで延びる長尺なボールネジ軸２７（２４）を備えていても、歪み補正を必要とする適切なタイミングでボールネジ軸２７（２４）が有する歪みに応じたボールネジ軸２７（２４）の回転量の補正を行うことができるので、印刷装置１００が有する印刷精度を安定的に維持することができる。
【００７７】
また、本実施形態では、演算処理部８１は、マスク用カメラ２９によって撮像された基準マーク７０の座標を、搬送機構部２０（基準コンベア２１および基板搬送部２２）のＸ−Ｙ面内における位置座標の基準位置としてサーボモータ２３および２６を駆動することにより、搬送機構部２０を移動する制御を行うように構成されている。これにより、制御上、フレーム構造体３０に設けられた基準マーク７０の座標を基準位置としてサーボモータ２６（２３）およびボールネジ軸２７（２４）を制御しながら基板搬送部２２を移動させることができる。また、基準マーク７０の座標を基準位置とするので、サーボモータ２６（２３）やボールネジ軸２７（２４）などを部品交換した場合であっても、制御上の基準位置に基準マーク７０の座標を設定するだけでサーボモータ２６（２３）を容易に駆動させることができる。
【００７８】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２がプリント基板５の印刷が行われる印刷領域にプリント基板５を搬入する動作が行われる際に基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、基板搬送部２２による搬送動作の中に基準マーク７０の撮像動作を含めることができるので、その分、基準マーク７０の撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置１００におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００７９】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２がプリント基板５の印刷が行われる印刷領域にプリント基板５を搬入する動作における移動途中で、基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、基板搬送部２２の移動中に基準マーク７０の撮像を同時に行うことができるので、基準マーク７０の撮像のための動作時間を短縮することができる。これにより、印刷装置１００におけるタクトタイムを容易にかつ効果的に短縮することができる。
【００８０】
また、本実施形態では、フレーム構造体３０は、スクリーンマスクを保持するマスク保持部４２を基板搬送部２２の搬送方向（Ｘ方向）と交差する方向（Ｙ方向）に移動可能に支持するように固定的に設置されている。そして、マスク用カメラ２９は、基板搬送部２２がプリント基板５の搬送経路に沿って移動される際に、フレーム構造体３０に設けられた基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、フレーム構造体３０に基板搬送部２２の搬送方向と交差するＹ方向に移動されるマスク保持部４２が設けられていても、固定的に設置されたフレーム構造体３０に歪み補正用の基準マーク７０が設けられているので、歪みの補正を適切なタイミングで確実に行うことができる。
【００８１】
また、本実施形態では、マスク用カメラ２９は、スクリーンマスク６の表面（下面）を撮像する際に、フレーム構造体３０に設けられた基準マーク７０を撮像するように構成されている。これにより、スクリーンマスク６の表面観察用（検査用）に設けられたマスク用カメラ２９を用いて歪み補正用の基準マーク７０を撮像することができるので、歪み補正用の基準マーク７０を撮像するための「撮像部」を別途設ける必要がない。
【００８２】
また、本実施形態では、基準マーク７０は、フレーム構造体３０の下面３２ｂに設けられており、マスク用カメラ２９は、上方（Ｚ１方向）の撮像が可能なように基板搬送部２２に設置されている。これにより、基板搬送部２２がＸ−Ｙ面内における移動経路上においてフレーム構造体３０の下部を通過する際に、マスク用カメラ２９により下面３２ｂに設けられた基準マーク７０を確実に撮像することができる。
【００８３】
また、本実施形態では、フレーム構造体３０には、基準マーク７０に加えて照明光の照度を調整するための背景板７５が基準マーク７０に隣接して設けられている。そして、演算処理部８１は、マスク用カメラ２９が基準マーク７０を撮像する際に、照明光が照射された背景板７５を撮像した結果に基づいて、照明光の明るさを調整する制御を行うように構成されている。これにより、基準マーク７０の撮像とともにマスク用カメラ２９が照射する照明光の照度を調整することができるので、基準マーク７０の撮像を精度良く行うことができる。この結果、歪みの補正を精度良く行うことができる。また、マスク用カメラ２９においては、基準マーク７０の撮像と同時に照明光の照度を調整することができるので、照明光の調整に要する時間（タクトロス）を最小限に抑えることができる。これによっても、印刷装置１００におけるタクトタイムを短縮することができる。
【００８４】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００８５】
たとえば、上記実施形態では、基板搬送部２２が印刷領域にプリント基板５を搬入する動作が行われる際に基準マーク７０を撮像するように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明の「マーク」を印刷領域の外側領域に設ける点においては、たとえば、基板搬送部２２が印刷終了後のプリント基板５を搬出する動作が行われる際に基準マーク７１を撮像するように構成してもよい。
【００８６】
具体的には、図１１に示す第１変形例のように、図中の左側（搬出側）に配置されたフレーム構造体３０における梁部３２の下面に基準マーク７１（破線）を設けるように構成してもよい。この場合、マスク用カメラ２９による基準マーク７１の撮像動作は、印刷終了後のプリント基板５が載置された搬送機構部２０（基板搬送部２２）が、基台１０上をＹ１方向に所定の距離だけ移動される経路の途中で行われるように構成されている。なお、搬送機構部２０がＹ１方向に所定の距離だけ移動された後、プリント基板５は、基準コンベア２１上をＸ１方向に搬送されて印刷ユニット９０の外部に搬出される。この第１変形例のように構成しても、搬送機構部２０による搬送動作の中に基準マーク７１の撮像動作を含めることができるので、印刷装置１００におけるタクトタイムを短縮することができる。なお、図１１では、説明の都合上、印刷ユニット９０のＹ１側に設けられている印刷ユニット９１（図２参照）については、図示を省略している。
【００８７】
また、上記実施形態で例示した基準マーク７０と、上記第１変形例で例示した基準マーク７１との両方を、印刷ユニット９０に設けてもよい。そして、歪みの補正を行う際には、演算処理部８１の指令に基づいて、マスク用カメラ２９により基準マーク７０または７１のいずれかを撮像して歪みの補正を行うように構成してもよい。この場合、歪みの補正を行う際には、基準マーク７０および７１のうち、動作中（移動中）のマスク用カメラ２９により近い側のマークを撮像するように構成されるのが好ましい。これにより、歪み補正動作の所要時間をより短縮することができる。
【００８８】
また、上記実施形態では、基準マーク７０を梁部３２の下面３２ｂに設けた例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１２に示す変形例のように、マスク用カメラ２９が上方を撮像可能であるならば、基準マーク７２を梁部３２の側面３２ｃに設けてもよい。
【００８９】
また、上記実施形態では、搬送機構部２０の基準コンベア２１および基板搬送部２２を、それぞれ、サーボモータにより駆動されるボールネジ軸とナット部材とを用いて駆動するように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。ボールネジ軸およびナット部材以外のたとえば、ベルト駆動や、ラックギアおよびピニオンギアなどの駆動機構を用いて搬送機構部２０（基準コンベア２１および基板搬送部２２）を駆動するように構成してもよい。この場合においても、駆動に伴うベルト部材の熱延びや、ラックギアの熱延びに対して歪みの補正を行う必要があるので、しかるべきタイミングで駆動部が有する歪みの補正を行うことができる。
【００９０】
また、上記実施形態では、印刷ユニット９０および９１の各々において、制御装置８０の演算処理部８１の指令に基づいて歪み補正の動作が行われるように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。印刷装置１００に、印刷ユニット９０および９１の動作制御を統括する本発明の「制御部」を設けてもよい。この制御部により、個々の印刷ユニット単独ではなく、印刷ユニット９０および９１の相互動作（基板搬送部２０の基台１０上における位置関係）の状況に基づいて、各々の印刷ユニットにおける歪み補正の動作を適切なタイミングで行うことが可能である。
【符号の説明】
【００９１】
５ プリント基板（基板）
６ スクリーンマスク
２０ 搬送機構部（基板搬送部）
２２ 基板搬送部
２３、２６ サーボモータ（駆動源、駆動機構）
２４、２７ ボールネジ軸（送りねじ軸、駆動機構）
２５、２８ ナット部材（駆動機構）
２９ マスク用カメラ（撮像部）
３０ フレーム構造体（枠体部材）
４０ 印刷機構部（印刷部）
４２ マスク保持部
７０、７１、７２ 基準マーク（マーク）
７５ 背景板
８１ 演算処理部（制御部）
１００ 印刷装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板への印刷を行う印刷部と、
歪み補正に使用されるマークが設けられ、前記印刷部の少なくとも一部を移動可能に支持するとともに固定的に設置された枠体部材と、
前記歪み補正を行う際に前記枠体部材の前記マークを撮像する撮像部とを備える、印刷装置。
【請求項２】
前記基板を搬送可能に構成された基板搬送部をさらに備え、
前記撮像部は、前記基板搬送部に設置されているとともに、前記基板搬送部の移動に伴って移動するように構成されている、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記枠体部材は、前記基板の印刷が行われる印刷領域よりも外側に配置されており、
前記撮像部は、前記基板搬送部の移動とともに移動される際に前記印刷領域の外側領域において、前記マークを撮像するように構成されている、請求項２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記基板搬送部を駆動する駆動機構と、
前記撮像部が前記マークを撮像した結果に基づいて、前記駆動機構の発熱に伴う歪みの補正を行う制御部とをさらに備える、請求項２または３に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記駆動機構は、駆動源と、前記基板搬送部に螺合することにより前記駆動源の駆動力を前記基板搬送部の移動方向に伝達して前記基板搬送部を移動させる送りねじ軸とを含み、
前記制御部は、前記撮像部が前記マークを撮像した結果に基づいて、前記基板搬送部に螺合する前記送りねじ軸の歪みを補正するように構成されている、請求項４に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記送りねじ軸は、前記基板の印刷が行われる印刷領域から前記印刷領域の外側領域まで延びており、
前記基板搬送部は、前記印刷領域から前記印刷領域の外側領域まで延びる前記送りねじ軸に螺合することにより、前記印刷領域と前記外側領域との間を移動するように構成されている、請求項５に記載の印刷装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記撮像部によって撮像された前記マークの座標を前記駆動機構の位置座標の基準位置として前記駆動機構を駆動することにより、前記基板搬送部を移動する制御を行うように構成されている、請求項４〜６のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項８】
前記撮像部は、前記基板搬送部が前記基板の印刷が行われる印刷領域に前記基板を搬入する動作、および、前記基板搬送部が前記印刷領域から前記基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作が行われる際に前記マークを撮像するように構成されている、請求項２〜７のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項９】
前記撮像部は、前記基板搬送部が前記基板の印刷が行われる印刷領域に前記基板を搬入する動作、および、前記基板搬送部が前記印刷領域から前記基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作における移動途中で、前記マークを撮像するように構成されている、請求項８に記載の印刷装置。
【請求項１０】
前記枠体部材は、スクリーンマスクを保持するマスク保持部を前記基板搬送部の搬送方向と交差する方向に移動可能に支持するように固定的に設置されており、
前記撮像部は、前記基板搬送部が前記基板の搬送経路に沿って移動される際に、前記枠体部材に設けられた前記マークを撮像するように構成されている、請求項２〜９のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項１１】
前記撮像部は、前記スクリーンマスクの表面を撮像する際に、前記枠体部材に設けられた前記マークを撮像するように構成されている、請求項１０に記載の印刷装置。
【請求項１２】
前記マークは、前記枠体部材の下面または側面に設けられており、
前記撮像部は、上方の撮像が可能なように前記基板搬送部に設置されている、請求項２〜１１のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項１３】
前記撮像部が前記マークを撮像した結果に基づいて前記歪み補正を行う制御部をさらに備え、
前記撮像部は、撮像対象に対して照明光を照射可能に構成されており、
前記枠体部材には、前記マークに加えて前記照明光の照度を調整するための背景板が前記マークに隣接して設けられており、
前記制御部は、前記撮像部が前記マークを撮像する際に、前記照明光が照射された前記背景板を撮像した結果に基づいて、前記照明光の明るさを調整する制御を行うように構成されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項１】
基板への印刷を行う印刷部と、
歪み補正に使用されるマークが設けられ、前記印刷部の少なくとも一部を移動可能に支持するとともに固定的に設置された枠体部材と、
前記歪み補正を行う際に前記枠体部材の前記マークを撮像する撮像部とを備える、印刷装置。
【請求項２】
前記基板を搬送可能に構成された基板搬送部をさらに備え、
前記撮像部は、前記基板搬送部に設置されているとともに、前記基板搬送部の移動に伴って移動するように構成されている、請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記枠体部材は、前記基板の印刷が行われる印刷領域よりも外側に配置されており、
前記撮像部は、前記基板搬送部の移動とともに移動される際に前記印刷領域の外側領域において、前記マークを撮像するように構成されている、請求項２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記基板搬送部を駆動する駆動機構と、
前記撮像部が前記マークを撮像した結果に基づいて、前記駆動機構の発熱に伴う歪みの補正を行う制御部とをさらに備える、請求項２または３に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記駆動機構は、駆動源と、前記基板搬送部に螺合することにより前記駆動源の駆動力を前記基板搬送部の移動方向に伝達して前記基板搬送部を移動させる送りねじ軸とを含み、
前記制御部は、前記撮像部が前記マークを撮像した結果に基づいて、前記基板搬送部に螺合する前記送りねじ軸の歪みを補正するように構成されている、請求項４に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記送りねじ軸は、前記基板の印刷が行われる印刷領域から前記印刷領域の外側領域まで延びており、
前記基板搬送部は、前記印刷領域から前記印刷領域の外側領域まで延びる前記送りねじ軸に螺合することにより、前記印刷領域と前記外側領域との間を移動するように構成されている、請求項５に記載の印刷装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記撮像部によって撮像された前記マークの座標を前記駆動機構の位置座標の基準位置として前記駆動機構を駆動することにより、前記基板搬送部を移動する制御を行うように構成されている、請求項４〜６のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項８】
前記撮像部は、前記基板搬送部が前記基板の印刷が行われる印刷領域に前記基板を搬入する動作、および、前記基板搬送部が前記印刷領域から前記基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作が行われる際に前記マークを撮像するように構成されている、請求項２〜７のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項９】
前記撮像部は、前記基板搬送部が前記基板の印刷が行われる印刷領域に前記基板を搬入する動作、および、前記基板搬送部が前記印刷領域から前記基板を搬出する動作の少なくともいずれかの動作における移動途中で、前記マークを撮像するように構成されている、請求項８に記載の印刷装置。
【請求項１０】
前記枠体部材は、スクリーンマスクを保持するマスク保持部を前記基板搬送部の搬送方向と交差する方向に移動可能に支持するように固定的に設置されており、
前記撮像部は、前記基板搬送部が前記基板の搬送経路に沿って移動される際に、前記枠体部材に設けられた前記マークを撮像するように構成されている、請求項２〜９のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項１１】
前記撮像部は、前記スクリーンマスクの表面を撮像する際に、前記枠体部材に設けられた前記マークを撮像するように構成されている、請求項１０に記載の印刷装置。
【請求項１２】
前記マークは、前記枠体部材の下面または側面に設けられており、
前記撮像部は、上方の撮像が可能なように前記基板搬送部に設置されている、請求項２〜１１のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項１３】
前記撮像部が前記マークを撮像した結果に基づいて前記歪み補正を行う制御部をさらに備え、
前記撮像部は、撮像対象に対して照明光を照射可能に構成されており、
前記枠体部材には、前記マークに加えて前記照明光の照度を調整するための背景板が前記マークに隣接して設けられており、
前記制御部は、前記撮像部が前記マークを撮像する際に、前記照明光が照射された前記背景板を撮像した結果に基づいて、前記照明光の明るさを調整する制御を行うように構成されている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の印刷装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１２−２３６３７４（Ｐ２０１２−２３６３７４Ａ）
【公開日】平成２４年１２月６日（２０１２．１２．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１０７８０８（Ｐ２０１１−１０７８０８）
【出願日】平成２３年５月１３日（２０１１．５．１３）
【出願人】（００００１００７６）ヤマハ発動機株式会社 (3,045)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月６日（２０１２．１２．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年５月１３日（２０１１．５．１３）
【出願人】（００００１００７６）ヤマハ発動機株式会社 (3,045)
【Ｆターム（参考）】
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