【課題】エネルギー効率の高いグールドタイプの液体吐出ヘッドのマルチノズル化を促進する。
【解決手段】筒状の加圧室２は、平板状の圧電体に加工された半筒状溝によって、ベースプレート１との間に形成され、加圧室２の反対側に分離溝４を加工することで、隣接する加圧室２を分離させた圧電素子層７が形成される。２つの電極層６、８によって圧電素子層７の厚み方向すなわち加圧室２の径方向にポーリングを与えておき、周方向に駆動電圧を印加することで、圧電素子層７をノーマル変形させ、径方向および周方向の寸法変化によって加圧室２内のインク等液体を加圧し、ノズルから吐出する。 （もっと読む）

【課題】支持基板の材料の制約を受けることがなく、その支持基板上に成膜される圧電体の膜応力を低減させ、支持基板の変形を抑制可能にする。
【解決手段】この圧電アクチュエータ６０は、振動板となるZrO2基板６２上にエアロゾルデポジション法によりＰＺＴ圧電膜６４を成膜して構成されるが、このZrO2基板６２とＰＺＴ圧電膜６４との間にスパッタ法等により所要の厚みをもった白金(Pt)からなる応力バッファ層６６を介在させる。ZrO2の熱膨張係数はＰＺＴの熱膨張係数よりも大きいが、Ptの熱膨張係数はＰＺＴの熱膨張係数よりも小さい。ＰＺＴ圧電膜６４にはZrO2基板６２との熱膨張係数の差等により圧縮応力が働くが、ＰＺＴよりも熱膨張係数の小さい適宜の厚みの応力バッファ層６６を介在させることで、ＰＺＴ圧電膜６４の膜応力を相殺するよういしている。 （もっと読む）

【課題】円筒形圧電素子のノーマル変形によってインク等液体を加圧するグールドタイプの液体吐出ヘッドのマルチノズル化を促進する。
【解決手段】ノーマル変形によって筒状加圧室２を加圧する圧電素子層７は、筒状加圧室２の上部の半円筒状に湾曲した内壁面３に沿って形成された湾曲部を有し、該湾曲部のノーマル変形によって筒状加圧室２を加圧する。筒状加圧室２の下部は、ベースプレート１の表面による平面部となっているため、ベースプレート１上にフォトリソグラフィー技術によって柱状型を形成し、その上に金属層４や下地層５を積層し、さらに圧電素子層７を真空成膜等によって積層することによって、複数の筒状加圧室２を高密度に一括して製作することができる。 （もっと読む）

【課題】 常温で高粘度インクを吐出可能なインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】 吐出を指示する信号がスイッチングＩＣより送られ、アクチュエータが駆動されることによってインク流路部材１２がインク吐出方向に対して凹に撓みを持たせるようにされた状態では、回転エンコーダ２０を正転させるとインク流路部材１２は回転エンコーダ２０に近い方、すなわち両端から次第に吐出方向に凸へと撓み方向が変化する。この変化が両端から中央に近付くと、インク流路部材１２（あるいは梁部材１４）はある点で急峻な座屈反転を起こし、インク吐出方向へと急激に変形する。インク流路部材１２の長さ方向略中央にはノズル１６が設けられている。 （もっと読む）

【解決手段】 少なくとも一つのキャビティから少なくとも一つのノズルを通じて流体を射出することによって、ドロップ・オン・デマンドのインクジェット印刷を効率的に行うのに適した微細流体アクチュエータ。アクチュエータは、膜に動作可能に結合されて、少なくとも一つの電解質の流体を含むアクチュエータチャンバと、電解質の流体に含まれる少なくとも一つのナノ構造物とを備え、ナノ構造物は、少なくともナノ構造物に印加された操作電圧に応じて、膜に対して偏向することにより、膜を偏向させ、ノズルから流体を射出させる。
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【課題】 ヒータの両側面で加熱されながらもインク供給圧を直接的に受けることなく，高効率特性を維持し，ヒータの寿命を長くすることの可能なインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】 カートリッジ１０に貯蔵されたインクを供給する供給孔を有する基板１１０と，供給孔に連通するインクチャンバー１２４を形成する流路層と，インクチャンバー内のインクを外部に排出する少なくとも１つのノズル１２８を有するノズル板１２６と，インクチャンバー１２４の内壁に隣接して位置し，表裏面がインクチャンバー１２４内のインクに当接して配置される少なくとも１つのヒータ１１８と，ヒータ１１８に電気的に連結される少なくとも１つのリードとを備えることにより，ヒータ１１８の両面がインクに接触して加熱され，熱效率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 省スペース、省資源及び高い環境保全性を実現した記録装置を提供する。
【解決手段】 インクを吐出して記録媒体に記録を行う記録手段を備えたインクジェット記録装置において、前記記録手段のインク吐出口から導き出されるインクを再利用するための記録モードを備える。 （もっと読む）

本発明によって、プリントヘッド構造などに用いられるマイクロ電気機械構造の圧電アクチュエータ（１５０）を活性化するために要求される電力量を削減するための技術が提供される。絶縁層（１８５）は、圧電層（１６５）の上に堆積される。絶縁層（１８５）は、その層の一部分を除去し、エッチングされたエリア内の圧電層（１６５）を露出するために、エッチングされる。電極層（１７０）は、圧電層（１６５）および絶縁層（１８５）の上に堆積される。
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【課題】インクの滞留、インク漏れ、あるいは、電極にかかる短絡、マイグレーション等の問題発生につながる要素を徹底的に排除したインクジェットプリントヘッドに好適に用いられる圧電／電歪アクチュエータを提供すること。
【解決手段】２つの側壁６と、その２つの側壁６を接続する天井壁７及び底壁２と、を含む壁部により形成された１又は複数のセル３を具備し、少なくとも２つの側壁６が圧電／電歪作動部４で構成され、その圧電／電歪作動部４の変位によってセル３の容積が変化するセル駆動型圧電／電歪アクチュエータである。このセル駆動型圧電／電歪アクチュエータは、天井壁７に２つの微小孔８が備わるとともに、壁部のセル内面を全て覆う１層以上のシームレスな薄膜１７が形成されているところに特徴があり、このアクチュエータをインクジェットプリントヘッドに適用することにより課題が解決される。 （もっと読む）